JPH0613141U - ウェハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 低発塵、安価、安全なウェハ搬送装置を実現
する。 【構成】 カセットキャリア１からウェハ２を取り出す
為にカセットキャリア１を挟んでウェハ２を搬送方向に
沿って支持するウェハガイド３１を有しウェハ２を支持
したままウェハ２の搬送方向かつ搬送方向に対して上下
に移動可能な第１の搬送ア−ム３と、ウェハ２を搬送方
向に対して直角方向で支持するウェハガイド４１を有し
ウェハ２を支持したままウェハ２の搬送方向に移動可能
な第２の搬送ア−ム４を備え、第１，第２の搬送ア−ム
３，４のウェハガイド３１，４１はウェハ２の外周の一
部を取り囲むと共にウェハの側面及びウェハに対して上
下方向から空気を吐出する為の空気吐出口４１ａを設け
た構成とし、第１の搬送ア−ム３によりカセットキャリ
ア１に収納されたウェハ２をウェハガイド３１で搬送方
向に沿って取り出し、次に第２の搬送ア−ム４１により
ウェハ２を持ち変えてウェハ２を搬送する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体製造工程などで用いられるウェハ搬送装置に関し、特にウェ ハと搬送系の摩擦による発塵を低減できる装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、ウェハ搬送装置としては、ベルト搬送や各種ア−ム搬送などが使用され ていた。ベルト搬送は、多種の装置に渡って広く使用されているが、ウェハとベ ルトの接触・摩擦により発塵する場合が多い。また、最近主流となりつつある各 種ア−ム搬送は、ウェハとア−ム間での摩擦はほとんどないが、ア−ムがウェハ に接触するため、ウェハを汚染する場合がある。更に、非接触型のア−ム搬送も あり、ウェハの上面から早い空気を吹き出すア−ムを近づけ、ベルヌ−イの定理 により、ウェハ上面が下面より負圧になることを利用してウェハを支持するもの であり、移動の際には、ウェハを傾けて位置制御するなどの優れた機構を有する が、多くのセンサ類ときめ細かな制御系が必要であるため、高価であった。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

本考案は、上記従来技術の課題を踏まえて成されたものであり、低発塵、安価 、安全なウェハ搬送装置を提供することを目的としたものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するための本考案の構成は、 半導体製造工程などで用いられるウェハ搬送装置において、 複数のウェハが収納されたカセットキャリアからウェハを取り出すために、前 記カセットキャリアを挟んでウェハの搬送方向に対峙して配置され、前記ウェハ を搬送方向に沿って支持するウェハ支持用のウェハガイドを有し、このウェハガ イドにより前記ウェハを支持したまま、ウェハの搬送方向に移動可能であると共 に、ウェハの搬送方向に対して上下にも移動可能な第１の搬送ア−ムと、 この第１の搬送ア−ムと同一形状であって、この第１の搬送ア−ムにより前記 カセットキャリアから取り出された前記ウェハを搬送方向に対して直角方向で支 持するウェハ支持用のウェハガイドを有し、このウェハガイドにより前記ウェハ を支持したまま、ウェハの搬送方向に移動可能な第２の搬送ア−ムを備え、 前記第１および第２の搬送ア−ムのウェハ支持用のウェハガイドは、前記ウェ ハの外周の一部を取り囲むと共に、前記ウェハの側面および前記ウェハに対して 上下方向から空気を吐出するための空気吐出口を設けた構成とし、 前記第１の搬送ア−ムにより、前記カセットキャリアに収納された前記ウェハ を前記ウェハ支持用のウェハガイドで非接触に支持して搬送方向に沿って取り出 し、次に前記第２の搬送ア−ムにより、前記ウェハを持ち変えて非接触に支持し て、搬送方向に沿って前記ウェハを搬送するようにしたことを特徴とするもので ある。

【０００５】

【作用】

本考案によれば、空気を媒体として、ウェハと搬送系を繋ぐため、ウェハと搬 送系との間の摩擦を低減でき、低発塵性の装置にできる。

【０００６】

【実施例】

以下、本考案を図面に基づいて説明する。 図１は本考案のウェハ搬送装置の一実施例を示す構成図であり、（イ）図は搬 送系の構成斜視図、（ロ）図は（イ）図に用いられる搬送ア−ムとウェハの関係 を示す断面図である。 図１（イ）において、１はカセットキャリアであり、複数のウェハ２が収納さ れている。３はカセットキャリア１を挟んで、ウェハ２の搬送方向に対峙して配 置され、ウェハ２を搬送方向に沿って支持するウェハ支持用のウェハガイド３１ を有し、ウェハ２を支持したまま、ウェハ２の搬送方向に移動可能であると共に 、ウェハ２の搬送方向に対して上下にも移動可能な第１の搬送ア−ムである。４ は第１の搬送ア−ム３と同一形状であって、第１の搬送ア−ム３により、カセッ トキャリア１から取り出されたウェハ２を搬送方向に対して直角方向で支持する ウェハ支持用のウェハガイド４１を有し、ウェハ２を支持したまま、ウェハ２の 搬送方向に移動可能な第２の搬送ア−ムである。

【０００７】 ここで、（ロ）図は（イ）図に示す第２の搬送ア−ム４の一点鎖線部の断面図 である。（ロ）図に示すように、第２の搬送ア−ム４のウェハ支持用のウェハガ イド４１は、ウェハ２の外周を上下並びに円周方向に沿って取り囲むような形状 とされると共に、ウェハ２の側面およびウェハ２に対して上下の方向から空気を 吐出するための空気吐出口４１ａが設けてある。なお、図示はしないが、第１の 搬送ア−ム３のウェハ支持用のウェハガイド３１も、第２の搬送ア−ム４のウェ ハ支持用のウェハガイド４１と同一形状とされている。

【０００８】 このような構成において、本考案のウェハ搬送装置のウェハの搬送動作を図２ を用いて説明する。なお、図２はウェハ搬送装置を上面より見た図であり、図中 に示す矢印は、第１または第２の搬送ア−ムの動きを示すものである。まず、 に示すように、カセットキャリア１に収納されたウェハ２を第１の搬送ア−ム３ で挟む。この時、ウェハ２は第１の搬送ア−ムのウェハガイド３１に、その外周 の一部を取り囲むように支持されると共に、ウェハガイド３１に設けられた空気 吐出口３１ａから吐出される圧縮空気により、非接触で支持される。次に、に 示すように、ウェハ２は、第１の搬送ア−ム３により、カセットキャリア１から 搬送方向に沿って取り出され、定位置で停止する。ここで、第２の搬送ア−ム４ が搬送方向に対して直角方向からウェハ２に近づき、外周の一部を取り囲むよう に、非接触で支持する。この時、ウェハ２は一時的に第１と第２の搬送ア−ム３ ，４で支持されている。次に、に示すように、第１の搬送ア−ム３は、搬送方 向に沿ってウェハ２から離れ、初期位置まで戻った後、下降する。この時、ウェ ハ２は第２の搬送ア−ム４により非接触で支持されている。そして、に示すよ うに、第２の搬送ア−ム４は、ウェハ２を非接触で支持したまま、目的の場所に 搬送する。この時、第１の搬送ア−ム３は次のウェハ２´を搬送するために、所 定の位置へ移動して待機する。また、第２の搬送ア−ム４は、ウェハ２を搬送後 、初期位置まで戻って待機する。この〜の動作を繰り返して行うことにより 、非接触で順次ウェハを搬送することができる。

【０００９】 ここで、図３（イ）および（ロ）は第１及び第２の搬送ア−ム３，４のウェハ 支持動作を説明するための図である。（イ）および（ロ）図に示すように、ウェ ハ２は、左右のウェハガイド３１（４１）により空隙をあけて、その外周を取り 囲まれて支持されると共に、左右のウェハガイド３１（４１）に設けられた空気 吐出口３１ａ（４１ａ）から吐出される圧縮空気により非接触で支持される。こ の時、ウェハ２がウェハガイド３１（４１）から外に逃げようとする時、 ・ウェハ２がウェハガイド３１（４１）に近づいた部分では、ウェハガイド３１ （４１）から離れた部分に比べて、相対的に圧縮空気の圧力が高くなるため、ウ ェハ２は圧力が相対的に均一となる位置、つまり左右のウェハガイド３１（４１ ）から等距離に押し戻される。 ・ウェハ２がウェハガイド３１（４１）に近づいた部分で、相対的に吐出される 空気の流速が速くなる場合、ウェハ２は偏ろうとするが、空気の供給が絶えない 限り、ウェハガイド３１（４１）に接触することはない。 したがって、上記いずれの場合においても、ウェハ２はウェハガイド３１（４１ ）内に非接触で支持されている。

【００１０】

【考案の効果】

以上、実施例と共に具体的に説明したように、本考案によれば、空気を媒体と してウェハと搬送系を繋ぐため、安全で、かつ発塵を低減できる。また、機構上 、空気の吐出量を連続して変化させる必要が無いため、そのためのセンサや制御 系を必要としないため安価であるなどの効果を有する低発塵、安価、安全なウェ ハ搬送装置を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のウェハ搬送装置の一実施例を示す構成
図であり、（イ）図は搬送系の構成斜視図、（ロ）図は
（イ）図に用いられる搬送ア−ムとウェハの関係を示す
断面図である。

【図２】本考案のウェハ搬送装置のウェハの搬送動作を
説明するための図である。

【図３】本考案のウェハ搬送装置のウェハ支持動作を説
明するための図である。

【符号の説明】

１ カセットキャリア ２ ウェハ ３，４ 搬送ア−ム ３１，４１ ウェハガイド ３１ａ，４１ａ 空気吐出口

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体製造工程などで用いられるウェハ
   搬送装置において、 複数のウェハが収納されたカセットキャリアからウェハ
   を取り出すために、前記カセットキャリアを挟んでウェ
   ハの搬送方向に対峙して配置され、前記ウェハを搬送方
   向に沿って支持するウェハ支持用のウェハガイドを有
   し、このウェハガイドにより前記ウェハを支持したま
   ま、ウェハの搬送方向に移動可能であると共に、ウェハ
   の搬送方向に対して上下にも移動可能な第１の搬送ア−
   ムと、 この第１の搬送ア−ムと同一形状であって、この第１の
   搬送ア−ムにより前記カセットキャリアから取り出され
   た前記ウェハを搬送方向に対して直角方向で支持するウ
   ェハ支持用のウェハガイドを有し、このウェハガイドに
   より前記ウェハを支持したまま、ウェハの搬送方向に移
   動可能な第２の搬送ア−ムを備え、 前記第１および第２の搬送ア−ムのウェハ支持用のウェ
   ハガイドは、前記ウェハの外周の一部を取り囲むと共
   に、前記ウェハの側面および前記ウェハに対して上下方
   向から空気を吐出するための空気吐出口を設けた構成と
   し、 前記第１の搬送ア−ムにより、前記カセットキャリアに
   収納された前記ウェハを前記ウェハ支持用のウェハガイ
   ドで非接触に支持して搬送方向に沿って取り出し、次に
   前記第２の搬送ア−ムにより、前記ウェハを持ち変えて
   非接触に支持して、搬送方向に沿って前記ウェハを搬送
   するようにしたことを特徴とするウェハ搬送装置。