JPH06136587A - アパチャーグリルの製造方法 - Google Patents
アパチャーグリルの製造方法Info
- Publication number
- JPH06136587A JPH06136587A JP30594592A JP30594592A JPH06136587A JP H06136587 A JPH06136587 A JP H06136587A JP 30594592 A JP30594592 A JP 30594592A JP 30594592 A JP30594592 A JP 30594592A JP H06136587 A JPH06136587 A JP H06136587A
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- JP
- Japan
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- aperture grill
- conductor
- peeled
- slit
- aperture
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electrolytic Production Of Metals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 アパチャーグリルを破損させることなく、導
体基板から剥離することができるアパチャーグリルの製
造方法を提供する。 【構成】 導体にレジスト層を形成し、パターニングし
た後、露出した導体部に電気鉄めっきを施し、ストライ
プ状のスリット形状を有したアパチャーグリルを形成
し、その後、導体よりアパチャーグリルを剥離する方法
において、該アパチャーグリルを該スリットの長辺の方
向に力を向けて剥離することを特徴とする。
体基板から剥離することができるアパチャーグリルの製
造方法を提供する。 【構成】 導体にレジスト層を形成し、パターニングし
た後、露出した導体部に電気鉄めっきを施し、ストライ
プ状のスリット形状を有したアパチャーグリルを形成
し、その後、導体よりアパチャーグリルを剥離する方法
において、該アパチャーグリルを該スリットの長辺の方
向に力を向けて剥離することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、導体にレジスト層を形
成し、パターニングした後、露出した導体部に電気鉄め
っきによりアパチャーグリルを形成させることによりア
パチャーグリルを製造する方法の改良に関する。
成し、パターニングした後、露出した導体部に電気鉄め
っきによりアパチャーグリルを形成させることによりア
パチャーグリルを製造する方法の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、シャドウマスクは、一般テレビ向
けのものとハイビジョンや産業用ディスプレイに用いら
れる高精細なものとがある。この高精細なシャドウマス
クは数μｍ程度の寸法精度が要求される。通常、電子ビ
ーム通過孔部は、丸穴、楕円もしくは格子状であるがス
トライプ状のスリット形状を有したアパチャーグリルと
呼ばれるシャドウマスクもあり、これは、トリニトロン
方式に使用されている。このトリニトロン方式に使用さ
れているアパチャーグリルは、鋼板にレジスト層を形成
しストライプ状のスリット形状をパターニングした後、
塩化第二鉄溶液でエッチングを施し、多数のスリットを
形成し、その後レジストを除去するエッチング法で製造
されている。
けのものとハイビジョンや産業用ディスプレイに用いら
れる高精細なものとがある。この高精細なシャドウマス
クは数μｍ程度の寸法精度が要求される。通常、電子ビ
ーム通過孔部は、丸穴、楕円もしくは格子状であるがス
トライプ状のスリット形状を有したアパチャーグリルと
呼ばれるシャドウマスクもあり、これは、トリニトロン
方式に使用されている。このトリニトロン方式に使用さ
れているアパチャーグリルは、鋼板にレジスト層を形成
しストライプ状のスリット形状をパターニングした後、
塩化第二鉄溶液でエッチングを施し、多数のスリットを
形成し、その後レジストを除去するエッチング法で製造
されている。
【０００３】然るに、高精密、高精細の画面が要求され
るディスプレイ用のカラー受像管に内装するアパチャー
グリルは、この画面に対応するように電子ビーム通過孔
部のスリット部のピッチも極めて微細なものが使用され
るようになってきた。
るディスプレイ用のカラー受像管に内装するアパチャー
グリルは、この画面に対応するように電子ビーム通過孔
部のスリット部のピッチも極めて微細なものが使用され
るようになってきた。
【０００４】このため、従来のエッチング法で作製され
たアパチャーグリルは寸法精度における不良発生が多
く、製品歩留りが低い。また廃エッチング液の廃液処理
に手間がかかるなどの欠点がある。
たアパチャーグリルは寸法精度における不良発生が多
く、製品歩留りが低い。また廃エッチング液の廃液処理
に手間がかかるなどの欠点がある。
【０００５】これに対して、最近では、めっき法による
アパチャーグリルの製造が試みられている。このめっき
法により形成されるアパチャーグリルは、導体基板にレ
ジスト層を形成しパターニングした後、露出した導体部
に電気鉄めっきを施し、アパチャーグリルを形成し、そ
の後、導体基板を外的な応力等により歪ませて、めっき
被膜の端の部分を剥離し、その部分よりめっき被膜全体
を剥離して製造される。このようなめっき法を用いるこ
とにより数μｍ程度の寸法精度を満たすため、めっき被
膜を薄くする場合もある。
アパチャーグリルの製造が試みられている。このめっき
法により形成されるアパチャーグリルは、導体基板にレ
ジスト層を形成しパターニングした後、露出した導体部
に電気鉄めっきを施し、アパチャーグリルを形成し、そ
の後、導体基板を外的な応力等により歪ませて、めっき
被膜の端の部分を剥離し、その部分よりめっき被膜全体
を剥離して製造される。このようなめっき法を用いるこ
とにより数μｍ程度の寸法精度を満たすため、めっき被
膜を薄くする場合もある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このめ
っき法では導体基板からアパチャーグリルを外的な力で
剥離する工程でアパチャーグリルを破損させ易く、製品
の歩留りが大きく低下するという問題がある。
っき法では導体基板からアパチャーグリルを外的な力で
剥離する工程でアパチャーグリルを破損させ易く、製品
の歩留りが大きく低下するという問題がある。
【０００７】よって、本発明の目的は、アパチャーグリ
ルを破損させることなく導体基板から剥離することがで
きる方法を提供することにある。
ルを破損させることなく導体基板から剥離することがで
きる方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記目的を
達成するために鋭意研究した結果、剥離の際、ストライ
プ状のスリット形状を有したアパチャーグリルが破損す
る割合は、アパチャーグリルを剥離する際にかける力の
方向と関係があることを見出し本発明に至った。
達成するために鋭意研究した結果、剥離の際、ストライ
プ状のスリット形状を有したアパチャーグリルが破損す
る割合は、アパチャーグリルを剥離する際にかける力の
方向と関係があることを見出し本発明に至った。
【０００９】即ち、上記課題を解決するための本発明の
アパチャーグリルの製造方法は、導体にレジスト層を形
成し、パターニングした後、露出した導体部に電気鉄め
っきを施し、ストライプ状のスリット形状を有したアパ
チャーグリルを形成し、その後、導体よりアパチャーグ
リルを剥離する方法において、該アパチャーグリルを該
スリットの長辺の方向に力を向けて剥離することを特徴
とするものである。
アパチャーグリルの製造方法は、導体にレジスト層を形
成し、パターニングした後、露出した導体部に電気鉄め
っきを施し、ストライプ状のスリット形状を有したアパ
チャーグリルを形成し、その後、導体よりアパチャーグ
リルを剥離する方法において、該アパチャーグリルを該
スリットの長辺の方向に力を向けて剥離することを特徴
とするものである。
【００１０】
【作用】高精細ディスプレイ用の電気鉄めっき法により
得られたアパチャーグリルは、通常寸法精度の要求を満
たすため３０〜５０μｍ程度の薄膜となり、また、スリ
ット部の帯部の幅は２００μｍ程度のため強度はさほど
無く、剥離の際、破損しやすい。特にスリット部の端の
帯部が破損し易い。
得られたアパチャーグリルは、通常寸法精度の要求を満
たすため３０〜５０μｍ程度の薄膜となり、また、スリ
ット部の帯部の幅は２００μｍ程度のため強度はさほど
無く、剥離の際、破損しやすい。特にスリット部の端の
帯部が破損し易い。
【００１１】本発明において、導体よりアパチャーグリ
ルを剥離する工程において、アパチャーグリルをスリッ
トの長辺の方向に力を向けることにより、破損すること
無く剥離することができる。
ルを剥離する工程において、アパチャーグリルをスリッ
トの長辺の方向に力を向けることにより、破損すること
無く剥離することができる。
【００１２】これは、破損しやすいスリット部の端部に
かかる鉄めっき被膜の剥離力のばらつきがその方向には
少なく、均等に剥離力がかかることによると考えられ
る。
かかる鉄めっき被膜の剥離力のばらつきがその方向には
少なく、均等に剥離力がかかることによると考えられ
る。
【００１３】
実施例 導体基板に縦２００ｍｍ、横１５０ｍｍ、厚さ０．３ｍ
ｍのステンレス鋼板を用い、その表面にフォトレジスト
を厚み４０μｍに塗布し、幅５０μｍ、長さ７５ｍｍ、
間隔２５０μｍのスリットを持つ写真製板用マスクを乗
せ、露光を行い、現像し、パターニングを行った。その
後、表１に示すめっき液組成および条件で、露出した導
体表面に電気鉄めっきを行い、アパチャーグリルを形成
し、ステンレス鋼板の端部に応力をかけ弾性的に曲げ、
その部分のめっき被膜を鋼板から剥離させ、剥離させた
部分からめっき被膜全体を、力をスリットの長辺の方向
に向けて剥離した。
ｍのステンレス鋼板を用い、その表面にフォトレジスト
を厚み４０μｍに塗布し、幅５０μｍ、長さ７５ｍｍ、
間隔２５０μｍのスリットを持つ写真製板用マスクを乗
せ、露光を行い、現像し、パターニングを行った。その
後、表１に示すめっき液組成および条件で、露出した導
体表面に電気鉄めっきを行い、アパチャーグリルを形成
し、ステンレス鋼板の端部に応力をかけ弾性的に曲げ、
その部分のめっき被膜を鋼板から剥離させ、剥離させた
部分からめっき被膜全体を、力をスリットの長辺の方向
に向けて剥離した。
【００１４】得られたアパチャーグリルは破損すること
はなく、高精細ディスプレイ用に要求される寸法精度を
満足していた。歩留りは７０％程度であった。
はなく、高精細ディスプレイ用に要求される寸法精度を
満足していた。歩留りは７０％程度であった。
【００１５】 表 １ めっき液組成および条件 （液組成） ＦｅＣｌ2 ・４Ｈ2 Ｏ ２．０１モル／リットル ＣａＣｌ2 １．６２モル／リットル サッカリン ９．１３ミリモル／リットル ＣＨ3 （ＣＨ2 ）6 ＣＨ2 ＯＳＯ3 Ｎａ ０．３０ミリモル／リットル （めっき条件） 温 度 ９０℃ 陰極電流密度 ５Ａ／ｄｍ2 陽 極 Ｐｔ 時 間 ４６分
【００１６】比較例１ 実施例において、アパチャーグリルを剥離する際、力を
スリットの短辺の方向に向けて剥離を行った以外は、実
施例と同様の手順でアパチャーグリルの製造を行った。
得られたアパチャーグリルは、スリット部の端の鉄帯部
を中心に破損が著しく、高精細ディスプレイ用に要求さ
れる寸法精度を満足するものではなかった。歩留りは１
０％以下であった。
スリットの短辺の方向に向けて剥離を行った以外は、実
施例と同様の手順でアパチャーグリルの製造を行った。
得られたアパチャーグリルは、スリット部の端の鉄帯部
を中心に破損が著しく、高精細ディスプレイ用に要求さ
れる寸法精度を満足するものではなかった。歩留りは１
０％以下であった。
【００１７】比較例２ 実施例において、アパチャーグリルを剥離する際、力を
基板の角部より対角線方向に向けて剥離を行った以外
は、実施例と同様の手順でアパチャーグリルの製造を行
った。得られたアパチャーグリルは、スリット部の端の
鉄帯部が破損したものも有り、高精細ディスプレイ用に
要求される寸法精度を満足するものではなかった。歩留
りは４５％程度であった。
基板の角部より対角線方向に向けて剥離を行った以外
は、実施例と同様の手順でアパチャーグリルの製造を行
った。得られたアパチャーグリルは、スリット部の端の
鉄帯部が破損したものも有り、高精細ディスプレイ用に
要求される寸法精度を満足するものではなかった。歩留
りは４５％程度であった。
【００１８】
【発明の効果】本発明方法によれば、アパチャーグリル
を破損させること無く製造することが可能となり、歩留
りは大いに改善される。
を破損させること無く製造することが可能となり、歩留
りは大いに改善される。
Claims (1)
- 【請求項１】 導体にレジスト層を形成し、パターニン
グした後、露出した導体部に電気鉄めっきを施し、スト
ライプ状のスリット形状を有するアパチャーグリルを形
成し、その後、導体よりアパチャーグリルを剥離する方
法において、該アパチャーグリルを該スリットの長辺の
方向に力を向けて剥離することを特徴とするアパチャー
グリルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30594592A JPH06136587A (ja) | 1992-10-21 | 1992-10-21 | アパチャーグリルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30594592A JPH06136587A (ja) | 1992-10-21 | 1992-10-21 | アパチャーグリルの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06136587A true JPH06136587A (ja) | 1994-05-17 |
Family
ID=17951193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30594592A Pending JPH06136587A (ja) | 1992-10-21 | 1992-10-21 | アパチャーグリルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06136587A (ja) |
-
1992
- 1992-10-21 JP JP30594592A patent/JPH06136587A/ja active Pending
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