JPH06137931A - 超音波音圧計 - Google Patents
超音波音圧計Info
- Publication number
- JPH06137931A JPH06137931A JP28433292A JP28433292A JPH06137931A JP H06137931 A JPH06137931 A JP H06137931A JP 28433292 A JP28433292 A JP 28433292A JP 28433292 A JP28433292 A JP 28433292A JP H06137931 A JPH06137931 A JP H06137931A
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- JP
- Japan
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- sound pressure
- ultrasonic
- pressure gauge
- vibrator
- wave
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は超音波洗浄機の音圧を長時間にわ
たって確実に測定することができるようにした超音波音
圧計を提供することを目的とする。 【構成】 超音波洗浄機の音圧を測定する超音波音圧計
において、音波の受波面２２ａと検出面２２ｂとを有
し、これらの間に空間部２２ｃが形成された基体２２
と、この基体の上記検出面に取着され上記音圧を電気信
号に変換する振動子２３とからなることを特徴とする。
たって確実に測定することができるようにした超音波音
圧計を提供することを目的とする。 【構成】 超音波洗浄機の音圧を測定する超音波音圧計
において、音波の受波面２２ａと検出面２２ｂとを有
し、これらの間に空間部２２ｃが形成された基体２２
と、この基体の上記検出面に取着され上記音圧を電気信
号に変換する振動子２３とからなることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は超音波洗浄機の音圧を
測定する超音波音圧計に関する。
測定する超音波音圧計に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造工程においては、種々
の微細加工の前後で、半導体ウエハに付着したサブミク
ロンオ−ダのパ−テイクルを洗浄除去する、超音波洗浄
が行われる。この洗浄工程は、半導体装置の歩留まりを
向上する上で、極めて重要である。
の微細加工の前後で、半導体ウエハに付着したサブミク
ロンオ−ダのパ−テイクルを洗浄除去する、超音波洗浄
が行われる。この洗浄工程は、半導体装置の歩留まりを
向上する上で、極めて重要である。
【０００３】このような洗浄を行う装置として従来より
バッチ式あるいはノズル式の超音波洗浄機が知られてい
る。図３はバッチ式の超音波洗浄機を示し、同図中１は
筒状の装置本体である。この装置本体１の底部には振動
板２が設けられている。この振動板２の外面には超音波
発振器３が接着などの手段によって取着されている。こ
の超音波発振器３には駆動電源４が接続されている。こ
の駆動電源４を作動させることで、上記振動板２をＭＨ
ｚ級の周波数で振動させることができる。
バッチ式あるいはノズル式の超音波洗浄機が知られてい
る。図３はバッチ式の超音波洗浄機を示し、同図中１は
筒状の装置本体である。この装置本体１の底部には振動
板２が設けられている。この振動板２の外面には超音波
発振器３が接着などの手段によって取着されている。こ
の超音波発振器３には駆動電源４が接続されている。こ
の駆動電源４を作動させることで、上記振動板２をＭＨ
ｚ級の周波数で振動させることができる。
【０００４】上記装置本体１内には洗浄液Ｌが入れられ
る。洗浄液Ｌには上記超音波発振器３で発生する超音波
振動が振動板２を介して印加される。したがって、上記
装置本体１内に半導体ウエハを収容すれば、その半導体
ウエハを超音波振動する洗浄液によって洗浄することが
できる。
る。洗浄液Ｌには上記超音波発振器３で発生する超音波
振動が振動板２を介して印加される。したがって、上記
装置本体１内に半導体ウエハを収容すれば、その半導体
ウエハを超音波振動する洗浄液によって洗浄することが
できる。
【０００５】このような超音波洗浄機においては、上記
超音波発振器３によって振動する、洗浄液Ｌの音圧を長
時間にわたって連続的に測定し、それによって超音波洗
浄機が正常に作動しているか否やかを監視するというこ
とが行われている。
超音波発振器３によって振動する、洗浄液Ｌの音圧を長
時間にわたって連続的に測定し、それによって超音波洗
浄機が正常に作動しているか否やかを監視するというこ
とが行われている。
【０００６】従来、上記洗浄液の音圧を測定する超音波
音圧計１１としては、図２に示すように厚さが１mm程度
の石英やタンタル（Ｔａ）によって形成された受信板１
２に、エポキシ系樹脂やアクリル系樹脂などの接着剤１
３によってＰＺＴからなる振動子１４を接着固定して形
成していた。
音圧計１１としては、図２に示すように厚さが１mm程度
の石英やタンタル（Ｔａ）によって形成された受信板１
２に、エポキシ系樹脂やアクリル系樹脂などの接着剤１
３によってＰＺＴからなる振動子１４を接着固定して形
成していた。
【０００７】上記構成の超音波音圧計１１は、図２に示
す装置本体１内の洗浄液Ｌに浸漬して設置され、上記超
音波発振器３からの音圧を上記受信板１２で受信する。
それによって、上記受信板１２に取着された振動子１４
が音圧を電気信号に変換して出力するから、その電気信
号を増幅して検知すれば、超音波洗浄機の音圧を測定す
ることができる。
す装置本体１内の洗浄液Ｌに浸漬して設置され、上記超
音波発振器３からの音圧を上記受信板１２で受信する。
それによって、上記受信板１２に取着された振動子１４
が音圧を電気信号に変換して出力するから、その電気信
号を増幅して検知すれば、超音波洗浄機の音圧を測定す
ることができる。
【０００８】ところで、このような構成の超音波音圧計
１１によると、受信板１２で受信された音波は、この受
信板１２および接着剤１３を透過して振動子１４に検出
される。そのため、長時間にわたって高いパワ−の超音
波を受信しつづけると、受信板１２を透過した透過波を
吸収した上記接着剤１３が発熱したり、剥離して測定が
確実に行えなくなるということがある。
１１によると、受信板１２で受信された音波は、この受
信板１２および接着剤１３を透過して振動子１４に検出
される。そのため、長時間にわたって高いパワ−の超音
波を受信しつづけると、受信板１２を透過した透過波を
吸収した上記接着剤１３が発熱したり、剥離して測定が
確実に行えなくなるということがある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の超
音波音圧計は音波が受信板を透過することで、この受信
板に振動子を取着した接着剤が加熱されたり、剥離する
ので、音波の測定が正確に行えなくなるということがあ
った。
音波音圧計は音波が受信板を透過することで、この受信
板に振動子を取着した接着剤が加熱されたり、剥離する
ので、音波の測定が正確に行えなくなるということがあ
った。
【００１０】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、振動子を取着した接着剤
が音波によって加熱されずらいようにした超音波音圧計
を提供することにある。
で、その目的とするところは、振動子を取着した接着剤
が音波によって加熱されずらいようにした超音波音圧計
を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、超音波洗浄機の音圧を測定する超音波音
圧計において、音波の受波面と検出面とを有し、これら
の間に空間部が形成された基体と、この基体の上記検出
面に取着され上記音圧を電気信号に変換する振動子とか
らなることを特徴とする。
にこの発明は、超音波洗浄機の音圧を測定する超音波音
圧計において、音波の受波面と検出面とを有し、これら
の間に空間部が形成された基体と、この基体の上記検出
面に取着され上記音圧を電気信号に変換する振動子とか
らなることを特徴とする。
【００１２】
【作用】上記構成によれば、基体の受波面を透過した透
過波は空間部で減衰して止まり、検出面を透過すること
がほとんどないから、上記検出面に振動子を接着した接
着剤が音波によって加熱されたり、剥離するのを防止で
きる。
過波は空間部で減衰して止まり、検出面を透過すること
がほとんどないから、上記検出面に振動子を接着した接
着剤が音波によって加熱されたり、剥離するのを防止で
きる。
【００１３】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図１を参照して
説明する。図１に示すこの発明の超音波音圧計２１は断
面矩形筒状をなした基体２２を備えている。つまり、こ
の基体２２は下面が音波の受波面２２ａをなし、上面が
検出面２２ｂに形成されていて、これら受波面２２ａと
検出面２２ｂとの間には空間部２２ｃが形成されてい
る。上記検出面２２ｂにはＰＺＴなどの材料によって形
成された振動子２３がエポキシ樹脂系やアクリル樹脂系
などの接着剤２４によって接着固定されている。この振
動子２３は図３に示す超音波発振器３からの音圧を電気
信号に変換し、その電気信号を図示せぬ計測器に出力す
るようになっている。
説明する。図１に示すこの発明の超音波音圧計２１は断
面矩形筒状をなした基体２２を備えている。つまり、こ
の基体２２は下面が音波の受波面２２ａをなし、上面が
検出面２２ｂに形成されていて、これら受波面２２ａと
検出面２２ｂとの間には空間部２２ｃが形成されてい
る。上記検出面２２ｂにはＰＺＴなどの材料によって形
成された振動子２３がエポキシ樹脂系やアクリル樹脂系
などの接着剤２４によって接着固定されている。この振
動子２３は図３に示す超音波発振器３からの音圧を電気
信号に変換し、その電気信号を図示せぬ計測器に出力す
るようになっている。
【００１４】上記基体２２は図２に示す装置本体１内に
収容される洗浄液によって溶出しづらい材料、たとえば
サイファイヤ（Ａｌ2 Ｏ3 ）や石英などによって形成さ
れている。
収容される洗浄液によって溶出しづらい材料、たとえば
サイファイヤ（Ａｌ2 Ｏ3 ）や石英などによって形成さ
れている。
【００１５】上記構成の超音波音圧計２１を用いて２０
０Ｗを越える高いパワ−をもった極超音波の測定を長時
間にわたって継続しても、検出面２２ｂに振動子２３を
接着固定した接着剤２４が発熱したり、上記検出面２２
ｂから剥離するというようなことがなかった。すなわ
ち、この発明の超音波音圧計２１によれば、従来の超音
波音圧計１１のように、極超音波に数時間さらすこと
で、その受信板１２に振動子１４を接着固定した接着剤
１３が発熱したり、剥離するようなことがなくなった。
したがって、上記超音波音圧計２１によれば、音圧を長
期間にわたって確実にモニタすることができる。
０Ｗを越える高いパワ−をもった極超音波の測定を長時
間にわたって継続しても、検出面２２ｂに振動子２３を
接着固定した接着剤２４が発熱したり、上記検出面２２
ｂから剥離するというようなことがなかった。すなわ
ち、この発明の超音波音圧計２１によれば、従来の超音
波音圧計１１のように、極超音波に数時間さらすこと
で、その受信板１２に振動子１４を接着固定した接着剤
１３が発熱したり、剥離するようなことがなくなった。
したがって、上記超音波音圧計２１によれば、音圧を長
期間にわたって確実にモニタすることができる。
【００１６】このように、超音波音圧計２１に空間部２
２ｃが形成された基体２２を用いれば、受波面２２ａに
入射してこの受波面２２ａを透過した透過波は上記空間
部２２ｃで減衰されて止まり、接着剤１３の層を透過す
ることなく、振動だけが図１に矢印で示すように上記受
波面２２ａから上記基体２２の周壁を通って振動子２３
に伝播する。そのため、基体２２の検出面２２ｂに振動
子２３を接着した接着剤２４が音波に直接、さらされる
ことがないから、その接着剤２４が発熱したり、剥離す
るのを防止できる。
２ｃが形成された基体２２を用いれば、受波面２２ａに
入射してこの受波面２２ａを透過した透過波は上記空間
部２２ｃで減衰されて止まり、接着剤１３の層を透過す
ることなく、振動だけが図１に矢印で示すように上記受
波面２２ａから上記基体２２の周壁を通って振動子２３
に伝播する。そのため、基体２２の検出面２２ｂに振動
子２３を接着した接着剤２４が音波に直接、さらされる
ことがないから、その接着剤２４が発熱したり、剥離す
るのを防止できる。
【００１７】実験により、従来の振動板２とこの発明の
基体２２とに同一の音波を与えたときに各振動子１４、
２３からの電気信号の大きさを測定したところ、従来の
振動子１４からの出力は１．７１Ｖであったのに対し、
この発明の振動子２３からの出力は０．６０Ｖであっ
た。つまり、基体２２を中空状とすることで、受波面２
２ａを透過した透過波が空間部２２ｃで減衰された分だ
け振動子２３から出力される電気信号は低下するが、上
記振動子２３からの電気信号は、通常、アンプによって
増幅して使用されるから、音圧の測定になんら影響を及
ぼすことがない。
基体２２とに同一の音波を与えたときに各振動子１４、
２３からの電気信号の大きさを測定したところ、従来の
振動子１４からの出力は１．７１Ｖであったのに対し、
この発明の振動子２３からの出力は０．６０Ｖであっ
た。つまり、基体２２を中空状とすることで、受波面２
２ａを透過した透過波が空間部２２ｃで減衰された分だ
け振動子２３から出力される電気信号は低下するが、上
記振動子２３からの電気信号は、通常、アンプによって
増幅して使用されるから、音圧の測定になんら影響を及
ぼすことがない。
【００１８】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明は、超音波洗
浄機の音圧を測定する超音波音圧計において、音波の受
波面と検出面とを有し、これらの間に空間部が形成され
た基体と、この基体の上記検出面に取着され上記音圧を
電気信号に変換する振動子とからなることを特徴とす
る。
浄機の音圧を測定する超音波音圧計において、音波の受
波面と検出面とを有し、これらの間に空間部が形成され
た基体と、この基体の上記検出面に取着され上記音圧を
電気信号に変換する振動子とからなることを特徴とす
る。
【００１９】したがって、受波面を透過した透過波は上
記空間部で止まり、検出面に振動子を接着固定した接着
剤が音波に直接、さらされることがないから、上記接着
剤が発熱したり、剥離するなどのことが防止される。つ
まり、この発明の超音波音圧計によれば、音波のモニタ
を長時間にわたって確実に行うことができる。
記空間部で止まり、検出面に振動子を接着固定した接着
剤が音波に直接、さらされることがないから、上記接着
剤が発熱したり、剥離するなどのことが防止される。つ
まり、この発明の超音波音圧計によれば、音波のモニタ
を長時間にわたって確実に行うことができる。
【図１】この発明の一実施例を示す超音波音圧計の拡大
断面図。
断面図。
【図２】従来の超音波音圧計の拡大断面図。
【図３】同じく超音波洗浄機の構成図。
２２…基体、２２ａ…受波面、２２ｂ…検出面、２２ｃ
…空間部、２３…振動子。
…空間部、２３…振動子。
Claims (3)
- 【請求項１】 超音波洗浄機の音圧を測定する超音波音
圧計において、音波の受波面と検出面とを有し、これら
の間に空間部が形成された基体と、この基体の上記検出
面に取着され上記音圧を電気信号に変換する振動子とか
らなることを特徴とする超音波音圧計。 - 【請求項２】 上記基体はサファイヤ（Ａｌ2 Ｏ3 ）に
よって形成されていることを特徴とする請求項１記載の
超音波音圧計。 - 【請求項３】 上記基体は石英によって形成されている
ことを特徴とする請求項１記載の超音波音圧計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28433292A JP2801820B2 (ja) | 1992-10-22 | 1992-10-22 | 超音波音圧計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28433292A JP2801820B2 (ja) | 1992-10-22 | 1992-10-22 | 超音波音圧計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06137931A true JPH06137931A (ja) | 1994-05-20 |
| JP2801820B2 JP2801820B2 (ja) | 1998-09-21 |
Family
ID=17677198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28433292A Expired - Fee Related JP2801820B2 (ja) | 1992-10-22 | 1992-10-22 | 超音波音圧計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2801820B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8662093B2 (en) | 2009-12-15 | 2014-03-04 | Nhk Spring Co., Ltd. | Method of and apparatus for measuring strength of ultrasonic waves |
-
1992
- 1992-10-22 JP JP28433292A patent/JP2801820B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8662093B2 (en) | 2009-12-15 | 2014-03-04 | Nhk Spring Co., Ltd. | Method of and apparatus for measuring strength of ultrasonic waves |
| US9234788B2 (en) | 2009-12-15 | 2016-01-12 | Nhk Spring Co., Ltd. | Method of and apparatus for measuring strength of ultrasonic waves |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2801820B2 (ja) | 1998-09-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080710 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090710 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |