JPH06155212A - チャック機構 - Google Patents
チャック機構Info
- Publication number
- JPH06155212A JPH06155212A JP30377392A JP30377392A JPH06155212A JP H06155212 A JPH06155212 A JP H06155212A JP 30377392 A JP30377392 A JP 30377392A JP 30377392 A JP30377392 A JP 30377392A JP H06155212 A JPH06155212 A JP H06155212A
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- JP
- Japan
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- shaft
- air supply
- outer cylinder
- chuck body
- hole
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 回転時に生じる回転振れを防止し、シャフト
を回転軸心に精密に保持する。 【構成】 シャフト11を、円筒状の多孔質部材62の
中空部に挿入して多孔質部材62に圧縮空気を供給する
ことによって保持し、また、シャフト11の先端部にチ
ャック本体71をOリング72を介して回転方向を拘束
して固定し、シャフト11をチャック本体71に、ま
た、チャック本体71を台座4に真空吸着する。これに
より、シャフト11は、回転軸心に位置決めされて非接
触保持され、回転振れが生じることなく精密に回転軸心
に保持される。
を回転軸心に精密に保持する。 【構成】 シャフト11を、円筒状の多孔質部材62の
中空部に挿入して多孔質部材62に圧縮空気を供給する
ことによって保持し、また、シャフト11の先端部にチ
ャック本体71をOリング72を介して回転方向を拘束
して固定し、シャフト11をチャック本体71に、ま
た、チャック本体71を台座4に真空吸着する。これに
より、シャフト11は、回転軸心に位置決めされて非接
触保持され、回転振れが生じることなく精密に回転軸心
に保持される。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ブラシレスモータのロ
ータ部分の着磁装置等に適用して好適なチャック機構の
改良に関するものである。
ータ部分の着磁装置等に適用して好適なチャック機構の
改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、チャック機構としては、例えば、
VTR用のキャプスタンモータのロータを構成する多極
磁石を着磁する着磁装置を例にとると、図2に示すよう
な構成を有する。すなわち、チャック機構10は、流体
軸受部3及び支持部5とから構成され、流体軸受部3
は、中空の円筒状の外筒3bの一端にフランジ状のつば
部3aが形成され、外筒3bの内周面の上端及び下端に
は、多孔質部材31a及び31bが埋設されている。多
孔質部材31a及び31bの外周面中央部には、それぞ
れ、円環状の給気溝32a及び32bが形成され、外筒
3bに形成された給気孔33から圧縮空気を注入するこ
とにより、給気溝32a及び32bを介して多孔質部材
31a及び31bに圧縮空気が供給され、これにより、
スピンドル2を保持している。また、外筒3bには、排
気孔34a及びb、及びスピンドル2に形成された給気
孔21と連通し圧縮空気の給気及び排気を行う給気孔3
6が形成されている。
VTR用のキャプスタンモータのロータを構成する多極
磁石を着磁する着磁装置を例にとると、図2に示すよう
な構成を有する。すなわち、チャック機構10は、流体
軸受部3及び支持部5とから構成され、流体軸受部3
は、中空の円筒状の外筒3bの一端にフランジ状のつば
部3aが形成され、外筒3bの内周面の上端及び下端に
は、多孔質部材31a及び31bが埋設されている。多
孔質部材31a及び31bの外周面中央部には、それぞ
れ、円環状の給気溝32a及び32bが形成され、外筒
3bに形成された給気孔33から圧縮空気を注入するこ
とにより、給気溝32a及び32bを介して多孔質部材
31a及び31bに圧縮空気が供給され、これにより、
スピンドル2を保持している。また、外筒3bには、排
気孔34a及びb、及びスピンドル2に形成された給気
孔21と連通し圧縮空気の給気及び排気を行う給気孔3
6が形成されている。
【0003】流体軸受部3の上面には、スピンドル2に
固定され給気孔41が形成された台座4を介して支持部
5が配設され、支持部5は、外筒51、固定部56及び
挟持部57から構成されている。外筒51は、中空の円
筒状で、その一端にはフランジ状のつば部51aが形成
され、つば部51aの端面と台座4とが対向して取り付
けられている。外筒51の他端には、挿通孔51cが形
成された蓋体51bが配設されている。台座4の中央部
には、図3に示すX─X断面図のように、先端部が先割
れ状に形成された挟持部57が配設され、挟持部57の
先割れ状の爪部57aを締めつけるように固定部56が
配設されている。固定部56の上端と蓋体51bとの間
には、コイルスプリング58が配設され、固定部56を
下方に移動させる方向に予圧を与えている。
固定され給気孔41が形成された台座4を介して支持部
5が配設され、支持部5は、外筒51、固定部56及び
挟持部57から構成されている。外筒51は、中空の円
筒状で、その一端にはフランジ状のつば部51aが形成
され、つば部51aの端面と台座4とが対向して取り付
けられている。外筒51の他端には、挿通孔51cが形
成された蓋体51bが配設されている。台座4の中央部
には、図3に示すX─X断面図のように、先端部が先割
れ状に形成された挟持部57が配設され、挟持部57の
先割れ状の爪部57aを締めつけるように固定部56が
配設されている。固定部56の上端と蓋体51bとの間
には、コイルスプリング58が配設され、固定部56を
下方に移動させる方向に予圧を与えている。
【0004】そして、流体軸受部3の外筒3bに形成さ
れた給気孔36を通して圧縮空気を注入し、給気溝3
7、スピンドル2に形成された給気孔21、台座4に形
成された給気孔41を介して、固定部56の下端部に圧
縮空気によって圧力を加える。これにより、固定部56
が上方向に移動し、移動に伴って固定部56により締め
つけられていた挟持部57の先割れ状の爪部57aが開
放され、シャフト挿入可能となる。このとき、挿通孔5
1cからシャフト11を挿入し、その後、給気孔36へ
の圧縮空気の注入を停止することにより、固定部56が
その上端に配設されたコイルスプリング58によって下
方に移動し、挟持部57の爪部57aが固定部56によ
って締めつけられ、シャフト11を把持する。
れた給気孔36を通して圧縮空気を注入し、給気溝3
7、スピンドル2に形成された給気孔21、台座4に形
成された給気孔41を介して、固定部56の下端部に圧
縮空気によって圧力を加える。これにより、固定部56
が上方向に移動し、移動に伴って固定部56により締め
つけられていた挟持部57の先割れ状の爪部57aが開
放され、シャフト挿入可能となる。このとき、挿通孔5
1cからシャフト11を挿入し、その後、給気孔36へ
の圧縮空気の注入を停止することにより、固定部56が
その上端に配設されたコイルスプリング58によって下
方に移動し、挟持部57の爪部57aが固定部56によ
って締めつけられ、シャフト11を把持する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のチャック機構においては、シャフト部材を回転体に
取り付けられた機械的部材で直接把持しているので、セ
ンタリングを良好に行うことができないため回転時に回
転振れが生じる場合があり、このため、シャフトを回転
軸心に精密に保持することができないという未解決の課
題がある。
来のチャック機構においては、シャフト部材を回転体に
取り付けられた機械的部材で直接把持しているので、セ
ンタリングを良好に行うことができないため回転時に回
転振れが生じる場合があり、このため、シャフトを回転
軸心に精密に保持することができないという未解決の課
題がある。
【0006】そこで、この発明は、上記従来の未解決の
課題に着目してなされたものであり、回転振れの発生を
防止し、シャフトを回転軸心に精密に保持することので
きるチャック機構を提供することを目的としている。
課題に着目してなされたものであり、回転振れの発生を
防止し、シャフトを回転軸心に精密に保持することので
きるチャック機構を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係わるチャック機構は、筒状保持体の軸心
に形成した挿通孔内に被チャック部材の軸部を挿通して
把持するようにしたチャック機構において、前記筒状保
持体の挿通孔に前記被チャック部材の軸部を保持する流
体軸受を配設したことを特徴としている。
に、本発明に係わるチャック機構は、筒状保持体の軸心
に形成した挿通孔内に被チャック部材の軸部を挿通して
把持するようにしたチャック機構において、前記筒状保
持体の挿通孔に前記被チャック部材の軸部を保持する流
体軸受を配設したことを特徴としている。
【0008】
【作用】本発明においては、被チャック部材の軸部を挿
通して把持する筒状保持体の挿通孔に、被チャック部材
の軸部を保持する流体軸受を配設する。筒状保持体の挿
通孔から被チャック部材の軸部を挿入し、その先端部を
Oリング等を介してチャック本体に固定したり、真空吸
着したりすることにより回転体に固定する。
通して把持する筒状保持体の挿通孔に、被チャック部材
の軸部を保持する流体軸受を配設する。筒状保持体の挿
通孔から被チャック部材の軸部を挿入し、その先端部を
Oリング等を介してチャック本体に固定したり、真空吸
着したりすることにより回転体に固定する。
【0009】
【実施例】以下に、本発明の実施例を図面に基づいて説
明する。図1は、本発明の一実施例を示す概略構成図で
あり、フェライト等の磁性体を着磁し、ロータ等に使用
する多極磁石を生成する着磁装置に、本発明によるチャ
ック機構を適用したものである。
明する。図1は、本発明の一実施例を示す概略構成図で
あり、フェライト等の磁性体を着磁し、ロータ等に使用
する多極磁石を生成する着磁装置に、本発明によるチャ
ック機構を適用したものである。
【0010】図1において、1は、被チャック部材とし
てのロータであり、チャック本体に挿通して把持される
シャフト11とフェライト等の着磁されていない磁性体
が配設された円盤状のロータ円盤12とから構成され、
ロータ円盤12中央部に軸方向に形成された挿通孔12
aにシャフト11が嵌合されている。チャック機構10
は、流体軸受部3及び支持部5から構成され、スピンド
ル2を流体軸受部3で保持し、スピンドル2に固定され
た台座4と支持部5とを固定することにより、スピンド
ル2とチャック機構10とが固定されている。
てのロータであり、チャック本体に挿通して把持される
シャフト11とフェライト等の着磁されていない磁性体
が配設された円盤状のロータ円盤12とから構成され、
ロータ円盤12中央部に軸方向に形成された挿通孔12
aにシャフト11が嵌合されている。チャック機構10
は、流体軸受部3及び支持部5から構成され、スピンド
ル2を流体軸受部3で保持し、スピンドル2に固定され
た台座4と支持部5とを固定することにより、スピンド
ル2とチャック機構10とが固定されている。
【0011】流体軸受部3は、中空の円筒状の外筒3b
の一端にフランジ状のつば部3aが形成され、外筒3b
の内周面の上端及び下端には、多孔質グラファイト等に
より形成された円環状の多孔質部材31a及び31bが
埋設されている。多孔質部材31a及び31bの外周面
中央部には、それぞれ、多孔質部材31a及び31bに
供給する圧縮空気等の加圧流体の流通路である円環状の
給気溝32a及び32bが形成されている。
の一端にフランジ状のつば部3aが形成され、外筒3b
の内周面の上端及び下端には、多孔質グラファイト等に
より形成された円環状の多孔質部材31a及び31bが
埋設されている。多孔質部材31a及び31bの外周面
中央部には、それぞれ、多孔質部材31a及び31bに
供給する圧縮空気等の加圧流体の流通路である円環状の
給気溝32a及び32bが形成されている。
【0012】外筒3bには、給気溝32a及び32bに
圧縮空気を供給する給気孔33が設けられている。外筒
3bの多孔質部材31aと多孔質部材31bとの間に
は、多孔質部材31a及び31bに供給された圧縮空気
を流体軸受部3外部に排気する排気孔34a〜cが、ほ
ぼ等間隔に軸と直角方向に貫通して形成され、また外筒
3bの内周面には、排気孔34a〜cに通じる円環状の
排気溝35a〜cが形成されている。排気孔34aと3
4bとのほぼ中間部には、支持部5の多孔質部材62に
供給する圧縮空気の流通路である給気孔36が軸と直角
方向に貫通して形成され、また、外筒3bの内周面に
は、給気孔36に通じる円環状の給気溝37が形成され
ている。
圧縮空気を供給する給気孔33が設けられている。外筒
3bの多孔質部材31aと多孔質部材31bとの間に
は、多孔質部材31a及び31bに供給された圧縮空気
を流体軸受部3外部に排気する排気孔34a〜cが、ほ
ぼ等間隔に軸と直角方向に貫通して形成され、また外筒
3bの内周面には、排気孔34a〜cに通じる円環状の
排気溝35a〜cが形成されている。排気孔34aと3
4bとのほぼ中間部には、支持部5の多孔質部材62に
供給する圧縮空気の流通路である給気孔36が軸と直角
方向に貫通して形成され、また、外筒3bの内周面に
は、給気孔36に通じる円環状の給気溝37が形成され
ている。
【0013】また、排気孔34bと34cとのほぼ中間
部には、シャフト11及びチャック本体71を真空吸着
するための空気の流通路である真空吸着孔38が軸と直
角方向に貫通して形成され、また外筒3bの内周面に
は、真空吸着孔38に通じる円環状の真空吸着溝39が
形成されている。なお、給気孔33及び給気孔36に
は、圧縮空気給気装置9が接続され、圧縮空気給気装置
9を作動することにより、給気孔33及び給気孔36に
圧縮空気を供給する。
部には、シャフト11及びチャック本体71を真空吸着
するための空気の流通路である真空吸着孔38が軸と直
角方向に貫通して形成され、また外筒3bの内周面に
は、真空吸着孔38に通じる円環状の真空吸着溝39が
形成されている。なお、給気孔33及び給気孔36に
は、圧縮空気給気装置9が接続され、圧縮空気給気装置
9を作動することにより、給気孔33及び給気孔36に
圧縮空気を供給する。
【0014】また、真空吸着孔38には、真空排気装置
8が接続され、真空排気装置8は圧力制御弁8aとロー
タリポンプ8bとから構成され、圧力制御弁8aをON
状態にすることによりロータリポンプ8aが作動する。
なお、給気孔33、排気孔34a〜c、給気孔36、真
空吸着孔38は、円周方向には、任意の位置に配設され
ている。
8が接続され、真空排気装置8は圧力制御弁8aとロー
タリポンプ8bとから構成され、圧力制御弁8aをON
状態にすることによりロータリポンプ8aが作動する。
なお、給気孔33、排気孔34a〜c、給気孔36、真
空吸着孔38は、円周方向には、任意の位置に配設され
ている。
【0015】スピンドル2は中空の円筒状であり、その
軸方向には、多孔質部材62へ供給する圧縮空気の流通
路である給気孔21が形成され、給気孔21は、途中で
垂直に屈折して給気溝37に通じている。また、スピン
ドル2には、真空吸着溝39に通じる真空吸着孔22が
軸と直角方向に貫通して形成されている。
軸方向には、多孔質部材62へ供給する圧縮空気の流通
路である給気孔21が形成され、給気孔21は、途中で
垂直に屈折して給気溝37に通じている。また、スピン
ドル2には、真空吸着溝39に通じる真空吸着孔22が
軸と直角方向に貫通して形成されている。
【0016】流体軸受部3の上端面中央部には、スピン
ドル2と一体化して回転する円環状の台座4が配設され
ている。台座4の、スピンドル2の給気孔21と対向す
る位置には、多孔質部材62に供給する圧縮空気の流通
路である給気孔41が軸方向に貫通して形成され、その
内径は給気孔21の内径と等しく形成されている。支持
部5は、筒状保持体としての外筒51、流体軸受として
のシャフト把持部61、チャック本体71とから構成さ
れている。外筒51は、円筒状であり、その一端には、
凹部51dが形成されると共に、台座4の外径と等しい
外径を有するフランジ状のつば部51aが形成され、外
筒51と台座4とは、つば部51aと台座4とをつば部
51a側から数カ所をねじNで固定することにより、一
体的に接合されている。他端には、外筒51に固定され
て蓋体51bが配設され、蓋体51bの中央部には、シ
ャフト11が挿入可能な挿通孔51cがテーパ状に形成
されている。
ドル2と一体化して回転する円環状の台座4が配設され
ている。台座4の、スピンドル2の給気孔21と対向す
る位置には、多孔質部材62に供給する圧縮空気の流通
路である給気孔41が軸方向に貫通して形成され、その
内径は給気孔21の内径と等しく形成されている。支持
部5は、筒状保持体としての外筒51、流体軸受として
のシャフト把持部61、チャック本体71とから構成さ
れている。外筒51は、円筒状であり、その一端には、
凹部51dが形成されると共に、台座4の外径と等しい
外径を有するフランジ状のつば部51aが形成され、外
筒51と台座4とは、つば部51aと台座4とをつば部
51a側から数カ所をねじNで固定することにより、一
体的に接合されている。他端には、外筒51に固定され
て蓋体51bが配設され、蓋体51bの中央部には、シ
ャフト11が挿入可能な挿通孔51cがテーパ状に形成
されている。
【0017】また、外筒51の軸心には挿通孔51eが
形成され、挿通孔51eの内側上部には、シャフト把持
部61を形成する多孔質部材62がその周縁部を外筒5
1に埋設して配設されている。外筒51の挿通孔51e
の軸方向ほぼ中央部には、多孔質部材62に供給した圧
縮空気の排気用流通路である排気溝52が円環状に形成
され、また外筒51には、排気溝52に通じる排気孔5
3aが形成されている。また、外筒51のチャック本体
71と対向する位置には、排気孔53bが軸と直角方向
に貫通して形成されている。外筒51には、多孔質部材
62に圧縮空気を供給する給気孔54が形成され、給気
孔54の軸方向の下端部は、台座4に形成された給気孔
41と対向し、上端は途中で二方向に分岐し、排気溝5
2を挟んでその上下ほぼ等しい位置で、半径方向内側に
屈折して貫通している。
形成され、挿通孔51eの内側上部には、シャフト把持
部61を形成する多孔質部材62がその周縁部を外筒5
1に埋設して配設されている。外筒51の挿通孔51e
の軸方向ほぼ中央部には、多孔質部材62に供給した圧
縮空気の排気用流通路である排気溝52が円環状に形成
され、また外筒51には、排気溝52に通じる排気孔5
3aが形成されている。また、外筒51のチャック本体
71と対向する位置には、排気孔53bが軸と直角方向
に貫通して形成されている。外筒51には、多孔質部材
62に圧縮空気を供給する給気孔54が形成され、給気
孔54の軸方向の下端部は、台座4に形成された給気孔
41と対向し、上端は途中で二方向に分岐し、排気溝5
2を挟んでその上下ほぼ等しい位置で、半径方向内側に
屈折して貫通している。
【0018】シャフト把持部61は、円柱状の多孔質グ
ラファイト等の多孔質部材62で形成され、その周縁部
は、外筒51に埋設されている。多孔質部材62の回転
軸心には、シャフト11を挿入する挿入孔62aが形成
され、その上端部は、蓋体51bの挿通孔51cと対応
してテーパ状に形成されている。外筒51に形成された
給気孔54に対向する多孔質部材62の外周面には、多
孔質部材62に供給する圧縮空気の流通路である給気溝
63a及び63bが円環状に形成され、また、排気溝5
2に対向する位置には、軸と直角方向に貫通する排気孔
64が形成されている。また、排気孔64は多孔質部材
62の内周面に設けた円環状の排気溝65に通じてい
る。
ラファイト等の多孔質部材62で形成され、その周縁部
は、外筒51に埋設されている。多孔質部材62の回転
軸心には、シャフト11を挿入する挿入孔62aが形成
され、その上端部は、蓋体51bの挿通孔51cと対応
してテーパ状に形成されている。外筒51に形成された
給気孔54に対向する多孔質部材62の外周面には、多
孔質部材62に供給する圧縮空気の流通路である給気溝
63a及び63bが円環状に形成され、また、排気溝5
2に対向する位置には、軸と直角方向に貫通する排気孔
64が形成されている。また、排気孔64は多孔質部材
62の内周面に設けた円環状の排気溝65に通じてい
る。
【0019】チャック本体71は、一端にフランジ状の
つば部71aが形成された円柱状であり、他端には、中
央部にシャフト11を挿通する凹部71bが形成され、
凹部71bの上端部はテーパ状に形成されている。ま
た、シャフト11と微小の半径方向すきまを介して対向
する凹部71bの内周面には、Oリング72が埋設さ
れ、シャフト11を密着して把持するようになされてい
る。チャック本体71の下端には、台座4の内径よりも
小さい内径の凹部71cが形成され、凹部71bの底部
から凹部71cにかけて軸方向に貫通して真空吸着孔7
3が形成されている。
つば部71aが形成された円柱状であり、他端には、中
央部にシャフト11を挿通する凹部71bが形成され、
凹部71bの上端部はテーパ状に形成されている。ま
た、シャフト11と微小の半径方向すきまを介して対向
する凹部71bの内周面には、Oリング72が埋設さ
れ、シャフト11を密着して把持するようになされてい
る。チャック本体71の下端には、台座4の内径よりも
小さい内径の凹部71cが形成され、凹部71bの底部
から凹部71cにかけて軸方向に貫通して真空吸着孔7
3が形成されている。
【0020】また、チャック本体71は、挿通孔51e
の下端部に移動可能に配設され、つば部71aと台座4
の上端面とが対向し、つば部71aと外筒51の凹部5
1dとが対向して配設される。そして、着磁装置を作動
する場合には、まず、圧縮空気給気装置9を作動させ
て、流体軸受部3に形成された給気孔33及び給気孔3
6に圧縮空気を注入し、次いで、シャフト11を支持部
5の挿通孔51cに上方から落とし込むように挿入し、
挿入孔62aを通してチャック本体71のOリング72
を押し退けて凹部71bに固定する。次いで、圧力制御
弁8aをON状態にして真空排気装置8を作動させる。
次いで、図示しない駆動装置を作動させてスピンドル2
を一定回転させ、ロータ円盤12に配設された磁性体を
着磁する。
の下端部に移動可能に配設され、つば部71aと台座4
の上端面とが対向し、つば部71aと外筒51の凹部5
1dとが対向して配設される。そして、着磁装置を作動
する場合には、まず、圧縮空気給気装置9を作動させ
て、流体軸受部3に形成された給気孔33及び給気孔3
6に圧縮空気を注入し、次いで、シャフト11を支持部
5の挿通孔51cに上方から落とし込むように挿入し、
挿入孔62aを通してチャック本体71のOリング72
を押し退けて凹部71bに固定する。次いで、圧力制御
弁8aをON状態にして真空排気装置8を作動させる。
次いで、図示しない駆動装置を作動させてスピンドル2
を一定回転させ、ロータ円盤12に配設された磁性体を
着磁する。
【0021】着磁が終了した場合には、作動時とは反対
に、駆動装置を停止してスピンドル2の回転を停止し、
圧力制御弁8aをOFF状態にして真空排気装置8の作
動を停止し、シャフト11を支持部5からとりはずした
後、圧縮空気給気装置9の作動を停止する。給気孔33
及び給気孔36への給気時には、スピンドル2は、圧縮
空気給気装置9から給気孔33に供給され、給気溝32
a及び32bを介して多孔質部材31a及び31bの内
周面及び側面から均一な圧力、流量で噴出される多孔質
部材31a及び31bとスピンドル2との間のラジアル
及びスラストの微小の軸受すき間内の圧縮空気によっ
て、回転軸心に支持され、スピンドル2が外筒3bに対
して、均一に一定のすき間寸法で支持される。
に、駆動装置を停止してスピンドル2の回転を停止し、
圧力制御弁8aをOFF状態にして真空排気装置8の作
動を停止し、シャフト11を支持部5からとりはずした
後、圧縮空気給気装置9の作動を停止する。給気孔33
及び給気孔36への給気時には、スピンドル2は、圧縮
空気給気装置9から給気孔33に供給され、給気溝32
a及び32bを介して多孔質部材31a及び31bの内
周面及び側面から均一な圧力、流量で噴出される多孔質
部材31a及び31bとスピンドル2との間のラジアル
及びスラストの微小の軸受すき間内の圧縮空気によっ
て、回転軸心に支持され、スピンドル2が外筒3bに対
して、均一に一定のすき間寸法で支持される。
【0022】また、シャフト11は、圧縮空気給気装置
9から給気孔36に供給され、給気溝37、給気孔2
1、給気孔41、給気孔54、給気溝63a及び63b
を介して多孔質部材62の内周面から均一な圧力、流量
で噴出される多孔質部材62とシャフト11との間の微
小のラジアル軸受すき間内の圧縮空気によって、回転軸
心に保持され、シャフト11が多孔質部材62に対し
て、均一に一定のすきま寸法で把持され、また、Oリン
グ等によってその回転方向を拘束される。そして、真空
排気装置8を作動することによって、真空吸着孔38か
ら真空吸着溝39、真空吸着孔22、真空吸着孔73を
介して、スピンドル2、台座4、及びチャック本体71
の中空部内の空気が排気され、真空状態となり、シャフ
ト11がチャック本体71の凹部71bに吸着して密接
に固定され、さらに、チャック本体71の下端面が台座
4に吸着して密接に固定される。
9から給気孔36に供給され、給気溝37、給気孔2
1、給気孔41、給気孔54、給気溝63a及び63b
を介して多孔質部材62の内周面から均一な圧力、流量
で噴出される多孔質部材62とシャフト11との間の微
小のラジアル軸受すき間内の圧縮空気によって、回転軸
心に保持され、シャフト11が多孔質部材62に対し
て、均一に一定のすきま寸法で把持され、また、Oリン
グ等によってその回転方向を拘束される。そして、真空
排気装置8を作動することによって、真空吸着孔38か
ら真空吸着溝39、真空吸着孔22、真空吸着孔73を
介して、スピンドル2、台座4、及びチャック本体71
の中空部内の空気が排気され、真空状態となり、シャフ
ト11がチャック本体71の凹部71bに吸着して密接
に固定され、さらに、チャック本体71の下端面が台座
4に吸着して密接に固定される。
【0023】したがって、上記実施例によれば、シャフ
ト11を多孔質部材62によって、回転軸心に保持し、
また、Oリング72によってその回転方向を拘束してチ
ャック本体71に固定し、シャフト11をチャック本体
71を介して台座4に真空吸着によって固定することに
より、シャフト11に生じる偏心及び軸振れを防止する
ことができる。
ト11を多孔質部材62によって、回転軸心に保持し、
また、Oリング72によってその回転方向を拘束してチ
ャック本体71に固定し、シャフト11をチャック本体
71を介して台座4に真空吸着によって固定することに
より、シャフト11に生じる偏心及び軸振れを防止する
ことができる。
【0024】また、シャフト11を流体軸受により、非
接触に保持しているので、繰り返しシャフト11の脱着
を行っても、再現性が損なわれることはない。
接触に保持しているので、繰り返しシャフト11の脱着
を行っても、再現性が損なわれることはない。
【0025】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明に係わる
チャック機構によれば、被チャック部材の軸部を流体軸
受で把持するので、被チャック部材の軸部の先端部をO
リング等を介してチャック本体に固定したり、回転体に
真空吸着したりすることにより、被チャック部材の軸部
を流体軸受により非接触に保持することができ、偏心が
少なく、軸振れの少ない精度のよい被チャック部材の軸
部の回転を実現することができる。
チャック機構によれば、被チャック部材の軸部を流体軸
受で把持するので、被チャック部材の軸部の先端部をO
リング等を介してチャック本体に固定したり、回転体に
真空吸着したりすることにより、被チャック部材の軸部
を流体軸受により非接触に保持することができ、偏心が
少なく、軸振れの少ない精度のよい被チャック部材の軸
部の回転を実現することができる。
【図1】本発明によるチャック機構の概略構成図であ
る。
る。
【図2】従来のチャック機構の概略構成図である。
【図3】図2のX−X断面図である。
11 シャフト 2 スピンドル 3 流体軸受部 3a つば部 3b 外筒 31a、31b 多孔質部材 4 台座 5 支持部 51 外筒 51a つば部 51b 蓋体 56 固定部 57 挟持部 57a 爪部 58 コイルスプリング 61 シャフト把持部 62 多孔質部材 71 チャック本体 71a つば部 72 Oリング 8 真空排気装置 9 圧縮空気給気装置 10 チャック機構
Claims (1)
- 【請求項1】 筒状保持体の軸心に形成した挿通孔内に
被チャック部材の軸部を挿通して把持するようにしたチ
ャック機構において、前記筒状保持体の挿通孔に前記被
チャック部材の軸部を保持する流体軸受を配設したこと
を特徴とするチャック機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30377392A JPH06155212A (ja) | 1992-11-13 | 1992-11-13 | チャック機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30377392A JPH06155212A (ja) | 1992-11-13 | 1992-11-13 | チャック機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06155212A true JPH06155212A (ja) | 1994-06-03 |
Family
ID=17925116
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30377392A Pending JPH06155212A (ja) | 1992-11-13 | 1992-11-13 | チャック機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06155212A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012228774A (ja) * | 2005-03-01 | 2012-11-22 | Gsi Group Ltd | 機械加工スピンドル |
-
1992
- 1992-11-13 JP JP30377392A patent/JPH06155212A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012228774A (ja) * | 2005-03-01 | 2012-11-22 | Gsi Group Ltd | 機械加工スピンドル |
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