JPH06156676A - 搬送機構の停止装置と停止方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体素子搭載リードフレーム収納マガジン
１８を搬送するワイヤボンディング装置１用のマガジン
搬送機構２の所定位置に精確且つソフトにマガジン１８
を停止させるようにする。 【構成】 減速用マガジン位置検出センサ２１ａと停止
用マガジン位置検出センサ２１ｂを搬送方向に離間して
配置し、センサ２１ａでマガジン１８を位置検出したら
減速し、その後センサ２１ｂで位置検出したら停止す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、搬送機構の停止装置と
停止方法、特に半導体素子搭載リードフレーム収納マガ
ジンを搬送するワイヤボンディング装置用のマガジン搬
送機構等の搬送機構の被搬送物を正確に所定位置に停止
させる停止装置と停止方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤボンディング装置に対する被ワイ
ヤボンディング半導体装置搭載リードフレームの搬送
（ロード及びアンロード）は、一般に複数枚（例えば２
０枚、２５枚、５０枚等）のリードフレームを収納した
マガジンを単位として行われる。

【０００３】そして、マガジン単位で搬送する方式のワ
イヤボンディングシステムとして特開平４−２４５６５
１号公報により紹介されたものがある。それは、搬送路
を有する複数のワイヤボンディング装置を、全搬送路が
連通されて長い一つの搬送路を構成するように一直線上
に並設してなるものである。

【０００４】そして、各ワイヤボンディング装置の搬送
路には、離間して配置された一対の回転ローラにベルト
掛けしたベルト方式のマガジン搬送機構が設けられてい
た。ところで、マガジン搬送機構により搬送されたマガ
ジンに対してはワイヤボンディング部分近傍の所定位置
に停止させることが必要であるが、従来においてはそれ
を一つの透過型センサを用い、そのセンサでマガジンの
所定位置への到達を検知したとき搬送機構の動力源、具
体的にはモータを停止させるという方法で行っていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
従来のマガジン搬送機構にはマガジンが自身の慣性によ
りオーバーランしてしまい、停止位置が不正確になると
いう問題があった。特に、マガジンの重量がタイプによ
り異なり、しかも収納した半導体素子搭載リードフレー
ム全体の重量が異なるので、搬送速度が一定でも慣性が
異なり、従って、停止位置のバラツキは大きく、そのた
め、ワイヤボンディングを行うワイヤボンディング部へ
のマガジンの渡しがうまくいかないことが少なくなかっ
た。

【０００６】尤も、搬送速度を遅くするとオーバーラン
量を少なくすることができ、所定位置に比較的精度良く
停止させることができる。しかし、搬送速度を遅くする
とそれは作業能率の低下につながり好ましくない。ま
た、急停止させることによりオーバーラン量を少なくす
ることも考えられるが、急停止させると、マガジンの両
端が開放されていることからマガジンの一端、即ち搬送
先側の端からリードフレームが食み出してしまいトラブ
ルの原因となるという問題があった。そのため、食み出
したリードフレームをマガジン内に押し戻す複雑な機構
が必要となり、好ましくなかった。

【０００７】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、搬送速度を徒らに遅くすることなく
被搬送物を所定位置に正確且つソフトに停止させること
ができるようにすることを一つの目的とし、ハンドリン
グにより搬送経路上に置いた被搬送物を正確に所定位置
に位置合せして停止させるようにすることを他の目的と
する。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１の搬送機構の停
止装置は、適宜離間して配置した２個の位置検出センサ
と、一方の位置検出センサが被搬送物を検知したとき減
速を開始させ、他方の位置検出センサが被搬送物を検知
したとき停止させる制御手段とからなることを特徴とす
る。

【０００９】請求項２の搬送機構の停止方法は、適宜離
間して配置された２個の位置検出センサの双方が検知し
ないとき又は搬送元側の位置検出センサのみが検知した
ときは順方向に搬送し、その後双方の位置検出センサが
被搬送物を検知する状態になったときは搬送を停止し、
また、双方の位置検出センサが又は搬送先側の位置検出
センサのみが被搬送物を検知する状態のときはその被搬
送物を逆方向に転送し、その後搬送元側の位置検出セン
サのみが検知する状態になったときは搬送方向を順方向
に戻し、しかる後、搬送先側の位置検出センサも検知す
る状態になったときに被搬送物を停止させることを特徴
とする。

【００１０】請求項３の搬送機構の停止装置は、請求項
２の停止方法の実施に用いるものであって、互いに離間
して設けた２個の位置検出センサと、２個の位置検出セ
ンサが双方が検知しないとき又は搬送元側の位置検出セ
ンサのみが検知したときは順方向に搬送し、その後双方
の位置検出センサが被搬送物を検知する状態になったと
きは搬送を停止し、また、双方の位置検出センサが又は
搬送先側の位置検出センサのみが被搬送物を検知する状
態のときはその被搬送物を逆方向に転送し、その後搬送
元側の位置検出センサのみが検知する状態になったとき
は搬送方向を順方向に戻し、しかる後、搬送先側の位置
検出センサも検知する状態になったとき停止をする制御
手段と、を有することを特徴とする。

【００１１】

【作用】請求項１の搬送機構の停止装置によれば、一つ
の位置検出センサで被搬送物を検知したら減速し、他方
の位置検出センサでその検知をしたらその減速した被搬
送物を停止させるので、通常の搬送速度を徒らに遅くす
ることなく所定位置に正確且つソフトに被搬送物を停止
させることができる。

【００１２】請求項２の搬送機構の停止方法によれば、
被搬送物が停止すべき位置の搬送元側に置かれたときは
一つの位置検出センサで検知された状態になり、その
後、更に他方の位置検出センサでも検知された状態にな
った所定位置で停止せしめられる。また、オーバーラン
した位置（停止すべき位置より搬送先側）に被搬送物が
置かれたときは双方の位置検出センサを検知してそれを
逆方向に搬送し、その後オーバーラン状態でなくなった
ときは搬送元側の位置検出センサのみで被搬送物が検知
された状態になり、その後更に搬送先側の位置検出セン
サでも検知された状態になった停止すべき所定位置で停
止せしめられる。従って、搬送経路上に置かれた被搬送
物は置かれた位置が２つの位置検出センサの搬送元側で
あろうと、オーバーランした位置であろうと所定位置に
位置決めされて停止せしめられることになる。

【００１３】請求項３の搬送機構の停止装置によれば、
２つの位置検出センサにより被搬送物が停止位置の手前
側か、オーバーランした位置かを判断し、制御手段によ
り手前側のときは順方向に搬送して所定位置に停止さ
せ、逆にオーバーランしたときには、一旦逆方向に戻し
た後再度搬送して所定位置に停止をさせることができる
ので、搬送経路上に置かれた被搬送物は置かれた位置が
２つの位置検出センサの手前側であろうと、オーバーラ
ンした位置であろうと所定位置に位置決めされて停止せ
しめられることになる。

【００１４】

【実施例】以下、本発明搬送機構の停止装置と停止方法
を図示実施例に従って詳細に説明する。図１乃至図６は
本発明に係るマガジン搬送機構の一例を説明するための
もので、図１はそのマガジン搬送機構を備えたワイヤボ
ンディングシステムの全体を示す斜視図であり、先ず図
１に従ってワイヤボンディングシステムの概略を説明す
る。

【００１５】１、１、…は略同じ構造、機能を有するワ
イヤボンディング装置で、各々正面側にマガジン搬送機
構２を有している。ワイヤボンディング装置１、１、…
はそれぞれのマガジン搬送機構２、２、…が整合して一
本の搬送路をつくるように並設されている。３は各ワイ
ヤボンディング装置１のマガジンをワイヤボンディング
部近傍に取込むマガジン取込部である。該マガジン搬送
機構２、２、…はそれぞれカバーで覆われている。

【００１６】４ａはワイヤボンディング装置１、１、…
からなるマガジン搬送路へその一端部からマガジンを供
給する自動ロード用ステーション、５はワイヤボンディ
ング工程を終了したマガジンのリードフレームのワイヤ
リング形状を検査する自動ワイヤリング検査装置、４ｂ
は自動ワイヤリング検査装置５による検査工程を終えた
マガジンを取り出す自動アンロード用ステーションであ
る。

【００１７】図２はマガジン搬送機構の拡大斜視図であ
り、次に図２に従ってマガジン搬送機構２を具体的に説
明する。６はローラ支持体で、断面形状がコ字状に形成
され、一対の側片６ａ、６ｂが上を向き、中間片が底部
を成すようにして略水平に設けられており、一対の側片
６ａ、６ｂの上部には複数の回転軸７、７、…が略一定
の間隔を置いて回転自在に取り付けられている。この間
隔は少なくともマガジンの長さよりは小さく設定されて
いる。

【００１８】各回転軸７、７、…の一端はローラ支持体
６の側片６ａを貫通して外側（正面側）に突出せしめら
れており、その突出端部にはそれぞれプーリー８が固定
されている。そして、各回転軸７、７、…の側片６ａ・
６ｂ間の部分における両端部には搬送ローラ９、９が固
定されている。

【００１９】１０は回動支持体で、ローラ支持体６の一
端（右側の端）に回動自在取り付けられている。該回動
支持体１０にもローラ支持体６と同様に、回転軸７、
７、…、プーリー８、８、…及び搬送ローラ９、９、…
が設けられており、回動支持体１０は図示されたところ
の倒された状態ではローラ支持体６とで一つの搬送路を
構成するが、略９０度回動した向きになると搬送部はそ
の一部が切断されて手や人体が入り込んでメンテナンス
等を行うことができるようになる。１１、１１は回動支
持体１０の回動角度を規定するストッパーである。

【００２０】１２、１２はローラ支持体６及び回転支持
体の各回転軸７、７、…の一端に固定されたプーリー
８、８、…に掛けられたベルトで、このベルト１２、１
２が回転せしめられることによって各搬送ローラ９、
９、…が回転してマガジンを搬送することができる。
尚、１３、１３、…は遊び車である。１４はモータで、
その回転がベルト１２ａ、伝達ローラ１５及びベルト１
２ｂを介してローラ支持体６ａ側のベルト１２に伝達さ
れ、ベルト１２ａ、伝達ローラ１５及びベルト１２ｃを
介して回動支持体１０側のベルト１２に伝達される。

【００２１】従って、ローラ支持体６及び回動支持体１
０の搬送ローラ９、９、…はモータ１４が回転すると、
すべて同じ方向に回転することができ、延いてはマガジ
ンを搬送することができる。１６、１６、…は案内輪
（カムホロア）で、それぞれ支持軸（図面に現われな
い）に回転自在に取り付けられている。そして、各案内
輪１６、１６、…の支持軸はローラ支持体６及び回動支
持体１０の側片６ａ、６ｂ及び１０ａ、１０ｂの上端面
に適宜な間隔をおいて植設されている。

【００２２】案内輪１６、１６、…は搬送ローラ９、
９、…によって搬送されるマガジンを脇に逸れないよう
にガイドする役割を果す。尚、２１ａ、２１ｂは反射式
マガジン検出センサであり、ブラケット２２を介してロ
ーラ支持体６の側片６ｂに互いに離間して設けられてい
る。このマガジン位置検出センサ２１ａ、２１ｂについ
ては後で詳述する。

【００２３】図３はマガジン搬送機構２とワイヤボンデ
ィング装置のワイヤボンディング部との間のマガジンの
移送を説明するものである。１７、１７はマガジン持ち
上げ部材で、図示しない昇降機溝により駆動されマガジ
ン搬送機構２上のマガジン１８を持ち上げることによっ
て前進後退可能な搬送アーム１９、１９に渡したり、逆
に搬送アーム１９、１９からマガジン１８を受け取って
マガジン搬送機構２上にソフトランディングする役割を
果す。尚、通常時においては搬送ローラ９、９、…より
も低いところに退避している。

【００２４】ところで、マガジン持ち上げ部材１７、１
７によりマガジン１８を持ち上げることによって搬送ア
ーム１９、１９に渡すためには、その渡すのに最も好適
な所定位置にマガジン１８を停止させることが必要であ
り、しかも急停止させるのではなくソフトに停止させる
ことが必要であり、その実現のために前述の位置検出セ
ンサ２１ａ、２１ｂ及び後述する制御回路２２が設けら
れている。

【００２５】図４に示すように、減速用位置検出センサ
２１ａは搬送されているマガジン１８が停止すべき位置
の稍手前（搬送元側）に達したときにそのマガジン１８
を検出できる位置に設けられており、停止用位置検出セ
ンサ２１ｂはマガジン１８が停止すべき位置に達したと
きにそのマガジン１８を検出できる位置に設けられてい
る。両者間の間隔は例えば１ｃｍ程度である。

【００２６】図５は減速用位置検出センサ２１ａ及び停
止用位置検出センサ２１ｂの出力信号を受け、その信号
に基づいてモータ１４を制御する制御系を示すものであ
る。同図において、２３、２３は減速用位置検出センサ
２１ａ及び停止用２１ｂの出力信号を増幅するアンプ、
２４はアンプ２３、２３から出力された信号を処理する
制御回路、２５は該制御回路２４から出力されたモータ
制御信号を増幅するドライバで、モータ駆動信号をモー
タ１４へ出力する。

【００２７】２６はモード切換スイッチで、オートモー
ドとマニュアルモードとの間でモード切換をすることが
できる。先ず、オートモードにおける動作について図６
に従って説明する。マガジン１８は例えば１００ｍｍ／
ｓｅｃの速度で搬送されてくるが、図６の破線で示すよ
うに減速用位置検出センサ２１ａにより位置検出される
位置に達すると該位置検出センサ２１ａの出力信号に基
づいて制御回路２４は搬送速度を１００ｍｍ／ｓｅｃか
ら例えば３０ｍｍ／ｓｅｃに減速させる。つまり、１０
０ｍｍ／ｓｅｃのスピードが出る信号、例えばパルスを
送っていた状態から３０ｍｍ／ｓｅｃのスピードが出る
パルスを送る状態に切換わる。

【００２８】そして、減速されたマガジン１８が図６の
２点鎖線に示すように１ｃｍ程度進んで停止用位置検出
センサ２１ｂにより検出される位置、即ち停止位置に達
すると停止用位置検出センサ２１ｂが位置検出信号を発
生する。すると、制御回路２４は搬送させる信号の出力
を停止する。その結果、マガジン１８は停止すべき位置
として設定された位置で停止する。

【００２９】このような搬送機構の停止方式によれば、
搬送速度を２段階で切換えて停止させるので、通常時の
搬送速度を下げることなく、従って、作業能率を下げる
ことなく、所定位置に精確に且つソフトに停止させるこ
とができる。そして、ソフトに停止させることができる
ので、即ち急停止させないので、停止時にマガジン１８
内部のリードフレームがマガジン１８から食み出す虞れ
がない。

【００３０】尚、搬送方向の切換を行う場合には、位置
検出センサ２１ｂに減速用位置検出センサとしての働き
をさせ、位置検出センサ２１ａに停止用位置検出センサ
としての働きをさせるようにすれば良く、制御回路２４
そのものを交換する必要はない。２７は搬送方向切換ス
イッチであり、このスイッチ操作により搬送方向の切換
をすることができるようになっている。

【００３１】次に、マニュアルモード時における動作を
説明する。マニュアルモードというのは搬送経路上に手
でマガジン１８を置いたときにマガジン１８を所定の停
止位置に停止する動作をするモードであり、この場合に
はスイッチ２６を切換えてマニュアルモードにする。す
ると、制御回路２４は次のような働きをするようになっ
ている。図７はマニュアルモードにおける動作説明図で
ある。

【００３２】制御回路２４は、位置検出センサ２１ａ、
２１ｂのいずれもがマガジン１８を検出しない状態のと
きは、マガジン１８を例えば１００ｍｍ／ｓｅｃの速度
で搬送するようにモータ１４を制御する。そして、減速
位置検出センサ２１ａのみがマガジン１８を検出する状
態になったときは２０ｍｍ／ｓｅｃの速度で搬送するよ
うにモータ１４を制御する。

【００３３】そして、その後、マガジン１８が停止位置
検出センサ２１ｂによっても検出される状態になったと
き、即ち、図７（Ａ）の２点鎖線で示す状態になったと
きはマガジン１８が停止するようにする。この点ではオ
ートモードの場合と同じである。従って、マガジン１８
が停止位置よりも搬送元側に置かれたときは搬送されて
所定位置に停止する状態になる。

【００３４】次に、マニュアルモード下において制御回
路２４は、いきなり（突然）減速用位置検出センサ２１
ａ及び停止用位置検出センサ２１ｂが共にマガジン１８
を検知する状態になったとき、あるいは停止用位置検出
センサ２１ｂのみマガジン１８を検知する状態になった
とき制御回路２４はマガジン１８が停止位置よりも搬送
先側に位置している、謂わばオーバーラン状態にあると
判断してマガジン１８を搬送方法と逆方向に搬送する用
モータ１４を制御する。

【００３５】そして、その後減速用位置検出センサ２１
ａのみがマガジン１８を検知する状態になったとき搬送
方向を逆方向から順方向に反転し、しかる後、停止用位
置検出センサ２１ｂもマガジン１８を検知する状態にな
ったとき搬送を停止する。従って、図７（Ｂ）の実線に
おいて実線で示すように停止位置よりもオーバーランし
たところにマガジン１８が置かれた場合、減速用位置検
出センサ２１ａ、停止用位置検出センサ２１ｂが共にマ
ガジン１８を検出する状態になるので、マガジン１８は
搬送方向と逆方向に搬送される。尚、オーバーライン量
が非常に大きい場合には停止用位置検出センサ２１ｂの
みがマガジン１８を検知する状態になるが、この場合も
やはりマガジン１８は逆方向に搬送される。

【００３６】そして、図７（Ｂ）において破線に示すよ
うに減速用位置検出センサ２１ａのみが位置検出する状
態までマガジン１８が移動したときマガジン１８は搬送
方向を順方向に反転せしめられ、その後２点鎖線に示す
ように所定位置に達したとき、即ち、停止用位置検出セ
ンサ２１ｂにも位置検出される位置に達したときマガジ
ン１８が停止せしめられる。尚、マニュアルモードの時
には搬送速度は例えば１００ｍｍ／ｓｅｃから３０ｍｍ
／ｓｅｃへというような変化があるようにしても良い
し、例えば３０ｍｍ／ｓｅｃに速度が固定されるように
しても良い。

【００３７】尚、本マガジン搬送機構の停止装置におい
ては位置検出センサ２１ａ、２１ｂとして反射型のもの
を用いているが、透過型のものを用いても良い。透過型
の位置検出センサは、発光側と受光側を搬送経路を挟ん
で対向配置するものである。但し、透過型の位置検出セ
ンサは発光側と受光側との位置合せが難しく、保守、調
整が難しく、メンテナンス時の設備休止時間が長くなる
という欠点があるが、反射型のものにはそのような欠点
はない。

【００３８】

【発明の効果】請求項１の搬送機構の停止装置は、適宜
離間して配置した２個の位置検出センサと、一方の位置
検出センサが被搬送物を検知したとき減速を開始させ、
他方の位置検出センサが被搬送物を検知したとき停止さ
せる制御手段とからなることを特徴とするものである。
従って、請求項１の停止装置によれば、一つの位置検出
センサで被搬送物を検知したら減速し、他方の位置検出
センサでその検知をしたらその減速した被搬送物を停止
するので、通常の搬送速度を徒らに遅くすることなく所
定位置に正確且つソフトに被搬送物を停止させることが
できる。

【００３９】請求項２の搬送機構の停止方法は、２個の
位置検出センサの双方が検知しないとき又は搬送元側の
位置検出センサのみが検知したときは順方向に搬送し、
その後双方の位置検出センサが被搬送物を検知する状態
になったときは搬送を停止し、また、双方の位置検出セ
ンサが又は搬送先側の位置検出センサのみが被搬送物を
検知する状態のときはその被搬送物を逆方向に転送し、
その後搬送元側の位置検出センサのみが検知する状態に
なったときは搬送方向を順方向に戻し、その後、搬送先
側の位置検出センサも検知する状態になったとき停止を
することを特徴とするものである。従って、請求項２の
停止方法によれば、被搬送物は、停止位置の手前に置か
れたときは一つの位置検出センサで検知された状態にな
り、その後搬送されて他方の位置検出センサでも検知さ
れた状態になったとき所定位置で停止せしめられる。

【００４０】また、オーバーランした位置に被搬送物が
置かれたときは双方の位置検出センサを検知して被搬送
物を逆方向に搬送し、その後オーバーラン状態でなくな
ったときは一つの位置検出センサで検知された状態にな
り、順方向に搬送されその後更に他方の位置検出センサ
でも検知された状態になった所定位置で停止せしめられ
る。従って、搬送経路上に置かれた被搬送物は置かれた
位置が２つの位置検出センサの手前側であろうと、オー
バーランした位置であろうと所定位置に位置決めされて
停止せしめられる。

【００４１】請求項３の搬送機構の停止装置は、互いに
離間して設けた２個の位置検出センサと、２個の位置検
出センサが双方が検知しないとき又は搬送元側の位置検
出センサのみが検知したときは順方向に搬送し、その後
双方の位置検出センサが被搬送物を検知する状態になっ
たときは搬送を停止し、また、双方の位置検出センサが
又は搬送先側の位置検出センサのみが被搬送物を検知す
る状態のときはその被搬送物を逆方向に転送し、その後
搬送元側の位置検出センサのみが検知する状態になった
ときは搬送方向を順方向に戻し、その後、搬送先側の位
置検出センサも検知する状態になったとき停止をする制
御手段とを有することを特徴とするものである。従っ
て、請求項３の搬送機構の停止装置によれば、２つの位
置検出センサにより被搬送物が停止位置の手前側か、オ
ーバーランした位置かを判断し、制御手段により手前側
のときは順方向に搬送して所定位置に停止させ、オーバ
ーランしたときには逆方向に一端戻した後再度搬送して
所定位置に停止をさせることができるので、搬送経路上
に置かれた被搬送物は置かれた位置が２つの位置検出セ
ンサの手前側であろうと、オーバーランした位置であろ
うと所定位置に位置決めされて停止せしめられる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用したワイヤボンディングシステム
の略全体を示す斜視図である。

【図２】本発明の一実施例に係るマガジン搬送機構を示
す斜視図である。

【図３】上記マガジン搬送機構とワイヤボンディング部
側との間のマガジンの移送を説明する斜視図である。

【図４】位置検出センサの役割を説明するための斜視図
である。

【図５】制御手段の構成図である。

【図６】オートモード下における動作の説明図である。

【図７】（Ａ）、（Ｂ）はマニュアルモード下における
動作の説明図であり、（Ａ）はマガジンが停止すべき位
置よりも搬送元側に置かれた場合を、（Ｂ）は同じく搬
送先側に置かれた場合を説明する。

【符号の説明】

１ ワイヤボンディング装置 ２ 搬送機構 １８ マガジン（被搬送物） ２１ａ 減速用位置検出センサ ２１ｂ 停止用位置検出センサ ２４ 制御手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三好 秀明 東京都羽村市栄町３丁目１番地の５ 株式 会社カイジョー内 (72)発明者 野村 久司 東京都羽村市栄町３丁目１番地の５ 株式 会社カイジョー内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被搬送物を検出し互いに検出位置が搬送
   方向に沿って離間するように配置された２個の位置検出
   センサと、 上記２個の位置検出センサのうちの搬送元側の位置検出
   センサにより被搬送物が検知されたときは搬送を減速さ
   せ、搬送先側の位置検出センサによっても被搬送物が検
   知されたとき搬送を停止させる制御手段と、 からなることを特徴とする搬送機構の停止装置
2. 【請求項２】 被搬送物を検出する２個の位置検出セン
   サを互いに検出位置が搬送方向に沿って離間するように
   配置し、 上記位置検出センサのうちの搬送元側の位置検出センサ
   のみが被搬送物を検知したとき又は位置検出センサの双
   方が被搬送物を検知しないときは該被搬送物を順方向に
   搬送し、その後上記位置検出センサの双方が被搬送物を
   検知する状態になったとき搬送を停止し、また、上記位
   置検出センサの双方が又は搬送先側の位置検出センサの
   みが被搬送物を検知したときはこれを逆方向に搬送し、
   その後搬送元側の位置検出センサのみが被搬送物を検知
   する状態になったときに搬送方向を順方向に戻し、しか
   る後搬送先側の位置検出センサも被搬送物を検知する状
   態になったときに搬送を停止することを特徴とする搬送
   機構の停止方法
3. 【請求項３】 被搬送物を検出し互いに検出位置が搬送
   方向に沿って離間するように配置された２個の位置検出
   センサと、 上記位置検出センサの内の搬送元側の位置検出センサの
   みが被搬送物を検知したとき又は位置検出センサの双方
   が被搬送物を検知しないときはこれを順方向に搬送し、
   その後上記位置検出センサの双方が被搬送物を検知する
   状態になったとき搬送を停止し、 また、上記位置検出センサの双方が又は搬送先側の位置
   検出センサのみが被搬送物を検知したときはこれを逆方
   向に搬送し、その後搬送元側の位置検出センサのみが被
   搬送物を検知する状態になったときに搬送方向を順方向
   に戻し、しかる後搬送先側の位置検出センサも被搬送物
   を検知する状態になったときに搬送を停止させる制御手
   段と、 からなることを特徴とする請求項２の記載の搬送機構の
   停止方法の実施に用いる搬送機構の停止装置