JPH06164222A - マイクロ波用磁性体及びその製造方法 - Google Patents

マイクロ波用磁性体及びその製造方法

Info

Publication number
JPH06164222A
JPH06164222A JP4314885A JP31488592A JPH06164222A JP H06164222 A JPH06164222 A JP H06164222A JP 4314885 A JP4314885 A JP 4314885A JP 31488592 A JP31488592 A JP 31488592A JP H06164222 A JPH06164222 A JP H06164222A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
microwave
thickness
magnetic body
laminate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4314885A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Marusawa
博 丸澤
Takehiro Konoike
健弘 鴻池
Kunisaburo Tomono
国三郎 伴野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP4314885A priority Critical patent/JPH06164222A/ja
Priority to DE69326218T priority patent/DE69326218T2/de
Priority to EP93118585A priority patent/EP0599201B1/en
Priority to US08/154,586 priority patent/US5459439A/en
Publication of JPH06164222A publication Critical patent/JPH06164222A/ja
Priority to US08/382,609 priority patent/US5620543A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P11/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing waveguides or resonators, lines, or other devices of the waveguide type
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
    • H01F1/0027—Thick magnetic films
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
    • H01F41/14—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
    • H01F41/16—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates the magnetic material being applied in the form of particles, e.g. by serigraphy, to form thick magnetic films or precursors therefor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00—Auxiliary devices
    • H01P1/32—Non-reciprocal transmission devices
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
    • Y10T156/10—Methods of surface bonding and/or assembly therefor
    • Y10T156/1052—Methods of surface bonding and/or assembly therefor with cutting, punching, tearing or severing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Non-Reversible Transmitting Devices (AREA)
  • Soft Magnetic Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 厚みの変更が容易であり、かつより薄い厚み
のものを安価に提供し得るように構成されたマイクロ波
用磁性体を得る。 【構成】 マイクロ波用非可逆回路素子に用いられるマ
イクロ波用磁性体であって、複数枚の磁性体シート1を
積層して得られた積層体3を焼成してなることを特徴と
する、マイクロ波用磁性体。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波帯で用いら
れる非可逆回路素子に使用されるマイクロ波用磁性体及
びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、携帯電話や自動車電話等の移動体
通信機器では、小型化及び多様化が進行している。これ
に伴って、上記移動体通信機器に用いられる非可逆回路
素子においても、小型化及び多様化が求められている。
【0003】上記のような非可逆回路素子としては、例
えば、電気的に絶縁された状態で、かつ互いに交差する
ように配置された複数の中心電極を有し、該複数の中心
電極の上部及び下部に板状のマイクロ波用磁性体を配置
し、さらに永久磁石により直流磁界が上記複数の中心電
極部分に印加されるように構成された素子、いわゆる集
中定数型非可逆回路素子があり、例えば、集中定数型サ
ーキュレータやアイソレータなどが挙げられる。
【0004】上記マイクロ波用非可逆回路素子の製造方
法の一例を図3を参照して説明する。円板状のマイクロ
波用磁性体11a上に中心電極12aを配置する。中心
電極12aは、マイクロ波用磁性体11aの上面の中心
を通り径方向に延び、さらにマイクロ波用磁性体11a
の側面に至る形状とされている。つぎに、上記中心電極
12a上に絶縁性材料よりなる絶縁膜13aを配置し、
その上に中心電極12aと交差するように中心電極12
bを配置する。さらに中心電極12b上に絶縁膜13
b、中心電極12c、絶縁膜13cを順に配置し、マイ
クロ波用磁性体11bを重ねて固定する。しかる後、上
記マイクロ波用磁性体11a,11bで挟持された構造
体に直流磁界が印加されるように永久磁石を上部及び下
部に配置する。
【0005】ところで、上記マイクロ波用磁性体11
a,11bは、従来、下記の方法で作製されていた。即
ち、磁性体粉末を金型内に投入してプレス成形して成形
体を得、得られた成形体を焼成することにより、図4に
示すマイクロ波用磁性体14を得、該マイクロ波用磁性
体14を所定の厚みを有するように機械的に研磨するこ
とにより図5に示すマイクロ波用磁性体15を作製して
いた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来、
非可逆回路素子に用いられるマイクロ波用磁性体15
は、粉末プレス成形法により成形体を得、該成形体を焼
成して得られた焼結体を機械的に研磨することにより作
製していた。粉末プレス成形法では、薄い成形体を作製
することができないため、上記のように予め厚みの大き
な成形体を作製し、焼成後に研磨により厚みの小さいマ
イクロ波用磁性体15を作製せざるを得なかったからで
ある。
【0007】また、従来法では、マイクロ波用磁性体を
得るにあたり、粉末プレス成形法を用いていたため、目
的とするマイクロ波用磁性体の寸法に応じた金型をそれ
ぞれ用意し、それによって部品の多様化に対応してい
た。しかしながら、部品の小型化及び多品種化が進むに
従って、金型等の種類が増加し、かつ上記研磨工程及び
粉末成形工程が複雑となりがちであった。その結果、量
産性が低下し、製造コストが非常に高くなるという問題
が生じてきている。
【0008】本発明の目的は、マイクロ波用回路素子の
小型化及び多品種化に容易に対応し得るように構成され
たマイクロ波用磁性体、並びに部品の小型化及び多品種
化に対応することができ、かつ上記マイクロ波用磁性体
を安価に供給しうるマイクロ波用磁性体の製造方法を提
供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本願の第1発明は、複数
枚の磁性体シートを積層して得られた積層体を焼結して
なることを特徴とする、マイクロ波用非可逆回路素子に
用いられるマイクロ波用磁性体である。
【0010】また、本願の第2発明は、磁性体粉末をバ
インダ樹脂及び溶剤と混練して得られた磁性体ペースト
をシート成形し、得られた磁性体シートを複数枚積層し
て積層体を得、該積層体を焼成する各工程を備えること
を特徴とする、マイクロ波用磁性体の製造方法である。
【0011】
【作用】本願の第1,第2発明では、複数枚の磁性体シ
ートを積層・焼成することにより最終的にマイクロ波用
磁性体が得られる。この場合、磁性体シートの成形は、
ドクターブレード法等の任意のシート成形法により行う
ことができるが、従来用いられていた粉末プレス成形法
に比べて非常に厚みの薄い磁性体シートを容易に得るこ
とができる。しかも、磁性体シートの枚数及び厚みを制
御することにより、所望の厚みの、特に厚みの薄いマイ
クロ波用磁性体を容易に得ることができる。
【0012】
【実施例の説明】以下、本発明のマイクロ波用磁性体及
びその製造方法についての非限定的な実施例を説明する
ことにより、本発明を明らかにする。まず、磁性体粉末
を、バインダ樹脂及び溶剤等と混練して磁性体ペースト
を得る。磁性体粉末としては、例えば、酸化イットリウ
ム(Y2 O3 )及び酸化鉄(Fe2 O3 )を主成分とす
るもの、あるいは酸化ニッケル(NiO)及び酸化鉄
(Fe2 O3 )を主成分とするものなどが用いられる。
上記バインダ樹脂は、上記磁性体粉末同士を結合するた
めに用いられているものであり、例えばポリビニルアル
コールなどが用いられる。溶剤は、磁性体粉末及びバイ
ンダ樹脂を用いて上記磁性体ペーストを得るために用い
られているものであり、例えばトルエンやエタノールな
どが用いられる。
【0013】次に、上記磁性体ペーストを、シート成形
法により成形し、厚さ数μm〜数十μmの薄い磁性体シ
ートを得る。シート成形法としては、ドクターブレード
法などの公知のシート成形法を採用することができる。
得られた磁性体シートを目的とするマイクロ波用磁性体
の厚みに応じて図1(a)に示すように複数枚積層す
る。なお、図1(a)において、1は各磁性体シートを
示す。
【0014】上記のようにして複数枚の磁性体シート1
を積層して得られた積層体を厚み方向に圧着し、図1
(b)に示す積層体2を得る。しかる後、積層体2をパ
ンチ等を用いて打ち抜くことにより、図1(c)に示す
円板状の積層体3を得る。次に、上記円板状の積層体3
を、例えば1300℃〜1600℃の温度で焼成するこ
とにより、図2に示すマイクロ波用磁性体4を得る。
【0015】上記のように、本実施例では、最終的に得
られるマイクロ波用磁性体4の厚みは、複数枚の磁性体
シート1を積層して得られた積層体2の厚みで決定され
る。従って、上記積層体2を得るに当たっての圧着及び
焼結に際しての収縮を考慮し、使用する磁性体シート1
の枚数を調整することにより、所望の厚みのマイクロ波
用磁性体4を容易に得ることができる。よって、従来法
ではマイクロ波用磁性体15を得るに当り、厚みの大き
なマイクロ波用磁性体14を機械的に研磨する必要があ
ったが、本実施例では上記研磨作業による厚みの調整を
省略することができ、厚み数十μm〜数百μm程度の薄
いマイクロ波用磁性体を容易に提供することができる。
【0016】なお、上記実施例で得られたマイクロ波用
磁性体4は、例えば図3を参照して説明した従来のマイ
クロ波用非可逆回路素子の製造方法において用いられる
マイクロ波用磁性体11a,11bとしてそのまま用い
ることができる。
【0017】また、上記実施例では、マイクロ波用磁性
体4は、最終的に円板型の形状を有するように構成され
ていたが、マイクロ波用磁性体の平面形状については、
図示のように円板型のものに限らず、矩形形状等の任意
の形状に変更することができる。しかも、本実施例で
は、上記積層体2をパンチ等により打ち抜くことにより
所望の平面形状の積層体3を得るものであるため、従来
の粉末プレス成形法を用いたマイクロ波用磁性体の製造
方法に比べて、金型の変更等の煩雑かつコストが高くつ
く作業を要することなく、所望の形状のマイクロ波用磁
性体を提供することができる。
【0018】
【発明の効果】本発明のマイクロ波用磁性体及びその製
造方法においては、複数枚の磁性体シートを積層して得
られた積層体を焼成することによりマイクロ波用磁性体
が構成されている。磁性体シートは、ドクターブレード
法等のシート成形法により非常に薄い厚みに容易に成形
することができる。従って、複数枚の磁性体シートのそ
れぞれの厚みを調整することにより、さらに複数枚の磁
性体シートの枚数を調整することにより、所望の厚みの
マイクロ波用磁性体を容易に作製することが可能とな
る。
【0019】よって、従来のマイクロ波用磁性体の製造
方法では、最終的に厚みを調整するために煩雑な研磨作
業が必要であったが、本発明によればこのような研磨作
業を省略することができる。しかも、従来法では粉末プ
レス成形法を用いていたため、高価な金型をマイクロ波
用磁性体の形状に応じて種々用意しなければならなかっ
たが、本発明ではこのような高価な金型を必要としない
ため、所望の形状及び厚みのマイクロ波用磁性体を安価
に提供することができ、マイクロ波用非可逆回路素子の
小型化及び多用化に円滑に対応することができる。よっ
て、本発明は、自動車電話等の移動体通信機器の小型化
及び多用化に大きく貢献することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)〜(c)は、それぞれ、実施例のマイク
ロ波用磁性体の製造工程を説明するための各斜視図であ
り、(a)は積層される複数枚の磁性体シートを示し、
(b)は積層体を示し、(c)は所望の形状に打ち抜か
れた積層体を示す。
【図2】本発明の一実施例のマイクロ波用磁性体を示す
斜視図。
【図3】マイクロ波用非可逆回路素子を組み立てる工程
を説明するための斜視図。
【図4】従来のマイクロ波用磁性体を作製するにあたり
用意される磁性体を示す斜視図。
【図5】従来のマイクロ波用磁性体の製造方法により得
られたマイクロ波用磁性体を示す斜視図。
【符号の説明】
1…磁性体シート 2…積層体 3…積層体

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マイクロ波用非可逆回路素子に用いられ
    るマイクロ波用磁性体であって、複数枚の磁性体シート
    を積層して得られた積層体を焼結してなることを特徴と
    する、マイクロ波用磁性体。
  2. 【請求項2】 磁性体粉末を、バインダ樹脂及び溶媒と
    混練して得られた磁性体ペーストをシート成形し、得ら
    れたシートを複数枚積層して積層体を得、該積層体を焼
    成する各工程を備えることを特徴とする、マイクロ波用
    磁性体の製造方法。
JP4314885A 1992-11-25 1992-11-25 マイクロ波用磁性体及びその製造方法 Pending JPH06164222A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4314885A JPH06164222A (ja) 1992-11-25 1992-11-25 マイクロ波用磁性体及びその製造方法
DE69326218T DE69326218T2 (de) 1992-11-25 1993-11-18 Magnetisches Mikrowellenmaterial und Verfahren zu dessen Herstellung
EP93118585A EP0599201B1 (en) 1992-11-25 1993-11-18 Microwave magnetic material and method of fabricating the same
US08/154,586 US5459439A (en) 1992-11-25 1993-11-18 Microwave magnetic material body and method of fabricating same
US08/382,609 US5620543A (en) 1992-11-25 1995-02-02 Method of manufacturing microwave magnetic material body

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4314885A JPH06164222A (ja) 1992-11-25 1992-11-25 マイクロ波用磁性体及びその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06164222A true JPH06164222A (ja) 1994-06-10

Family

ID=18058801

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4314885A Pending JPH06164222A (ja) 1992-11-25 1992-11-25 マイクロ波用磁性体及びその製造方法

Country Status (4)

Country Link
US (2) US5459439A (ja)
EP (1) EP0599201B1 (ja)
JP (1) JPH06164222A (ja)
DE (1) DE69326218T2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5611878A (en) * 1994-04-01 1997-03-18 Tdk Corporation Method of manufacturing microwave circulator
US6645394B2 (en) 2001-05-17 2003-11-11 Murata Manufacturing Co., Ltd. High frequency magnetic material ceramic composition and irreversible circuit component
US20100012881A1 (en) * 2006-08-31 2010-01-21 Sony Chemical & Informatioin Device Corporation Method for manufacturing magnetic sheet and magnetic sheet

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5709811A (en) * 1995-04-11 1998-01-20 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Magnetic material for microwave and high-frequency circuit component using the same
US5653841A (en) * 1995-04-13 1997-08-05 Martin Marietta Corporation Fabrication of compact magnetic circulator components in microwave packages using high density interconnections
US5772820A (en) * 1995-08-07 1998-06-30 Northrop Grumman Corporation Process for fabricating a microwave power device
US5994990A (en) * 1996-07-11 1999-11-30 Magx Co., Ltd. Magnet sheet for display
SE524748C2 (sv) * 1999-03-09 2004-09-28 Matsushita Electric Industrial Co Ltd Irreciprok kretsanordning, tillverkningsförfarande av sådan samt mobil kommunikationsapparat där denna kretsanordning används
JP3356121B2 (ja) * 1999-07-02 2002-12-09 株式会社村田製作所 非可逆回路素子および通信装置
JP2002344206A (ja) * 2001-05-11 2002-11-29 Murata Mfg Co Ltd 非可逆回路素子及び通信装置
JP3649155B2 (ja) * 2001-05-31 2005-05-18 株式会社村田製作所 非可逆回路素子および通信装置
JP3578115B2 (ja) * 2001-06-05 2004-10-20 株式会社村田製作所 中心電極組立体、その製造方法、非可逆回路素子及び通信装置
JP2003008306A (ja) * 2001-06-22 2003-01-10 Murata Mfg Co Ltd 非可逆回路素子及び通信装置
CN103022609A (zh) * 2013-01-01 2013-04-03 彭龙 一种x波段叠层片式微带铁氧体环行器
WO2015052059A1 (en) 2013-10-07 2015-04-16 Koninklijke Philips N.V. Precision batch production method for manufacturing ferrite rods
JP6939860B2 (ja) * 2019-09-20 2021-09-22 Tdk株式会社 非可逆回路素子
CN110803921B (zh) * 2019-12-18 2021-01-08 横店集团东磁股份有限公司 一种复合微波铁氧体磁片及其制备方法和用途

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE521341A (ja) * 1952-07-10
BE633477A (ja) * 1962-06-11
US3334318A (en) * 1964-12-05 1967-08-01 Mitsubishi Electric Corp Stripline circulator having means causing electrostatic capacitance between adjacent pairs of terminals to be substantially equal to each other
US3505139A (en) * 1965-10-20 1970-04-07 Rca Corp Method of making a laminated ferrite memory
US3662387A (en) * 1966-10-29 1972-05-09 Us Air Force Ferrite radar absorbing material
US3535200A (en) * 1967-09-18 1970-10-20 Gen Motors Corp Multilayered mechanically oriented ferrite
US3623035A (en) * 1968-02-02 1971-11-23 Fuji Electric Co Ltd Magnetic memory matrix and process for its production
US3763045A (en) * 1970-04-03 1973-10-02 Nippon Electric Co Calcium-vanadium ferrimagnetic garnets
US3789324A (en) * 1971-06-18 1974-01-29 Tokyo Shibaura Electric Co Lumped constant circulator
US4388131A (en) * 1977-05-02 1983-06-14 Burroughs Corporation Method of fabricating magnets
FR2564826B1 (fr) * 1984-05-25 1986-08-22 Thomson Csf Procede d'assemblage d'au moins deux pieces en ceramique, presentant chacune au moins une surface plane
JP2526219B2 (ja) * 1986-10-23 1996-08-21 日立フェライト 株式会社 集中定数型サ−キユレ−タ及びアイソレ−タ
JPH01198802A (ja) * 1987-10-07 1989-08-10 Murata Mfg Co Ltd 非可逆回路素子
JPH0360471A (ja) * 1989-07-25 1991-03-15 Alps Electric Co Ltd 積層セラミックスの製造方法
US4991283A (en) * 1989-11-27 1991-02-12 Johnson Gary W Sensor elements in multilayer ceramic tape structures
FR2659499B1 (fr) * 1990-03-09 1992-11-27 Tekelec Airtronic Sa Systeme de transmission d'energie electrique, aux hyperfrequences, a effet gyromagnetique, tel que circulateur, isolateur ou filtre.
US5349743A (en) * 1991-05-02 1994-09-27 At&T Bell Laboratories Method of making a multilayer monolithic magnet component
JP3239959B2 (ja) * 1992-08-05 2001-12-17 株式会社村田製作所 マイクロ波用非可逆回路素子

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5611878A (en) * 1994-04-01 1997-03-18 Tdk Corporation Method of manufacturing microwave circulator
US6645394B2 (en) 2001-05-17 2003-11-11 Murata Manufacturing Co., Ltd. High frequency magnetic material ceramic composition and irreversible circuit component
US20100012881A1 (en) * 2006-08-31 2010-01-21 Sony Chemical & Informatioin Device Corporation Method for manufacturing magnetic sheet and magnetic sheet

Also Published As

Publication number Publication date
EP0599201B1 (en) 1999-09-01
US5620543A (en) 1997-04-15
DE69326218T2 (de) 2000-02-03
US5459439A (en) 1995-10-17
DE69326218D1 (de) 1999-10-07
EP0599201A1 (en) 1994-06-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3239959B2 (ja) マイクロ波用非可逆回路素子
US5620543A (en) Method of manufacturing microwave magnetic material body
US5498999A (en) High-frequency use non-reciprocal circuit element
JPH088111A (ja) 異方性永久磁石及びその製造方法
JP3173590B2 (ja) 高周波非可逆回路素子およびその製造方法
JPH07312509A (ja) 非可逆回路素子
US6045747A (en) Method of producing an LC-circuit
US4165226A (en) Process for preparing an element of a dual-in-line ceramic package provided with a layer of sealing glass
JP3261779B2 (ja) マイクロ波用回路素子
CN100375331C (zh) 非可逆电路元件
JP2013016727A (ja) 電子部品及びその製造方法
US5662754A (en) Method of making a high frequency non-reciprocal circuit element
EP0888631A1 (en) A method of producing an lc-circuit
JP3265831B2 (ja) 非可逆回路素子及びその製造方法
JP2946844B2 (ja) 積層セラミックコンデンサの製造方法
JPH08222912A (ja) 非可逆回路素子
JPH09213523A (ja) 非可逆回路素子
JPH02126798A (ja) 圧電振動板とその製造方法
KR100472666B1 (ko) 시트형 탄탈 소자 제조방법 및 시트형 탄탈 소자
JPH1126279A (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法
JPS62211975A (ja) 積層アクチユエ−タおよびその製造方法
JPH09214209A (ja) 高周波回路素子およびその製造方法
JPH06291515A (ja) マイクロ波用非可逆回路素子
JPH06291385A (ja) 圧電セラミックスの製造方法
JP2006230031A (ja) 圧粉成形鉄心、圧粉成形体を組み合わせた鉄心及び鉄心製造方法