JPH06168557A - 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 - Google Patents
磁気ヘッド及び磁気ディスク装置Info
- Publication number
- JPH06168557A JPH06168557A JP31757592A JP31757592A JPH06168557A JP H06168557 A JPH06168557 A JP H06168557A JP 31757592 A JP31757592 A JP 31757592A JP 31757592 A JP31757592 A JP 31757592A JP H06168557 A JPH06168557 A JP H06168557A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- disk medium
- magnetic
- slider
- disk device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】高記録密度の固定磁気ディスク装置を設計する
ために、低浮上量でもディスク媒体の表面に損傷を与え
ない信頼性のよい磁気ヘッドを提供する。 【構成】スライダー１、電磁変換部２及びコイル３より
構成される磁気ヘッドのスライダー１について、ディス
ク媒体対向面５に微小な凹凸を持つ表面凹凸層４を低融
点金属または合金のスパッタ膜で形成する、あるいはこ
の表面凹凸層４は機械的研磨法でも形成できる。
ために、低浮上量でもディスク媒体の表面に損傷を与え
ない信頼性のよい磁気ヘッドを提供する。 【構成】スライダー１、電磁変換部２及びコイル３より
構成される磁気ヘッドのスライダー１について、ディス
ク媒体対向面５に微小な凹凸を持つ表面凹凸層４を低融
点金属または合金のスパッタ膜で形成する、あるいはこ
の表面凹凸層４は機械的研磨法でも形成できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク装置等に
用いられる磁気ヘッドに関する。
用いられる磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、コンピュータなどの情報処理装置
の外部記憶装置として磁気ディスク装置が多用されてき
ている。周知のように、現在の固定磁気ディスク装置の
データーの書き込み読み出し（以下Ｒ／Ｗと称す）部
は、図３に示すように基板６の上に薄膜層７を形成した
ディスク媒体と、スライダー１、電磁変換部２及びコイ
ル３により構成された磁気ヘッドからなり、装置停止時
はディスク媒体表面と磁気ヘッドが線接触しており、デ
ィスク媒体が回転方向10に回転した時におきる空気流11
により磁気ヘッドが浮上し、浮上量９を確保するコンタ
クトスタートストップ方式（以下ＣＳＳと称する）が一
般的に採用されている。この装置の起動、停止に伴う磁
気ヘッドとディスク媒体表面との摺動に起因して生じる
ＣＳＳ特性の低下を防止するため、及びＲ／Ｗ部に於け
る磁気ヘッドの浮上量を適正に維持するため、図３に示
す基板６の表面に一般的な機械研磨法であるテクスチャ
リングを行い、基板表面を粗くする。このテクスチャリ
ングは、基板の円周方向に細かい溝を形成し表面に凹凸
を設けるものである。
の外部記憶装置として磁気ディスク装置が多用されてき
ている。周知のように、現在の固定磁気ディスク装置の
データーの書き込み読み出し（以下Ｒ／Ｗと称す）部
は、図３に示すように基板６の上に薄膜層７を形成した
ディスク媒体と、スライダー１、電磁変換部２及びコイ
ル３により構成された磁気ヘッドからなり、装置停止時
はディスク媒体表面と磁気ヘッドが線接触しており、デ
ィスク媒体が回転方向10に回転した時におきる空気流11
により磁気ヘッドが浮上し、浮上量９を確保するコンタ
クトスタートストップ方式（以下ＣＳＳと称する）が一
般的に採用されている。この装置の起動、停止に伴う磁
気ヘッドとディスク媒体表面との摺動に起因して生じる
ＣＳＳ特性の低下を防止するため、及びＲ／Ｗ部に於け
る磁気ヘッドの浮上量を適正に維持するため、図３に示
す基板６の表面に一般的な機械研磨法であるテクスチャ
リングを行い、基板表面を粗くする。このテクスチャリ
ングは、基板の円周方向に細かい溝を形成し表面に凹凸
を設けるものである。
【０００３】このテクスチャリング技術により、現在Ｃ
ＳＳ２万回後で摩擦係数0.6 以下、浮上量0.2 〜0.1 μ
ｍの固定磁気ディスク装置が提供されている。なお従来
技術による磁気ヘッドのＣＳＳ特性（スライドμ）は図
２に示されている。ここで図２の内容に付き詳述すると
ａは従来技術による滑らかなディスク媒体対向面をもつ
磁気ヘッドの特性ｂ、ｃはそれぞれ実施例１、２の磁気
ヘッドの特性を示す。
ＳＳ２万回後で摩擦係数0.6 以下、浮上量0.2 〜0.1 μ
ｍの固定磁気ディスク装置が提供されている。なお従来
技術による磁気ヘッドのＣＳＳ特性（スライドμ）は図
２に示されている。ここで図２の内容に付き詳述すると
ａは従来技術による滑らかなディスク媒体対向面をもつ
磁気ヘッドの特性ｂ、ｃはそれぞれ実施例１、２の磁気
ヘッドの特性を示す。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】最近磁気ディスク装置
のダウンサイジング化が要求され、これに対応するため
低浮上量にしディスク媒体の線記録密度を高くしなけれ
ばならない。前記したテクスチャリング技術により、さ
らにＣＳＳ特性を向上しかつ浮上量を低下させ、高密度
化に対応した固定磁気ディスク装置を提供するには、次
のような不具合が発生する。
のダウンサイジング化が要求され、これに対応するため
低浮上量にしディスク媒体の線記録密度を高くしなけれ
ばならない。前記したテクスチャリング技術により、さ
らにＣＳＳ特性を向上しかつ浮上量を低下させ、高密度
化に対応した固定磁気ディスク装置を提供するには、次
のような不具合が発生する。
【０００５】浮上量を低下させるためには、ディスク媒
体の表面を完全に滑らかにする事により達成できるが、
逆にディスク媒体表面の凹凸が無くなり、磁気ヘッドと
ディスク媒体表面間の摩擦係数が増加し、磁気ヘッドと
ディスク媒体が損傷を受けるという問題が発生する。さ
らにディスク媒体が回転を始める際、磁気ヘッドとディ
スク媒体が吸着を起こし、ディスク媒体の回転がスムー
ズに行われなくなり、ディスク媒体表面の損傷を起こす
問題も発生する。
体の表面を完全に滑らかにする事により達成できるが、
逆にディスク媒体表面の凹凸が無くなり、磁気ヘッドと
ディスク媒体表面間の摩擦係数が増加し、磁気ヘッドと
ディスク媒体が損傷を受けるという問題が発生する。さ
らにディスク媒体が回転を始める際、磁気ヘッドとディ
スク媒体が吸着を起こし、ディスク媒体の回転がスムー
ズに行われなくなり、ディスク媒体表面の損傷を起こす
問題も発生する。
【０００６】すなわち、現状のテクスチャリング技術だ
けでＣＳＳ特性を向上しようとすれば浮上量を低くでき
ず、低浮上量を確保しようとすればＣＳＳ特性が低下す
ることになる。本発明は、低浮上量にしても磁気ヘッド
とディスク媒体表面が損傷を受けない、信頼性の高い磁
気ヘッドと、それを組み込んだ磁気ディスク装置を提供
することにある。
けでＣＳＳ特性を向上しようとすれば浮上量を低くでき
ず、低浮上量を確保しようとすればＣＳＳ特性が低下す
ることになる。本発明は、低浮上量にしても磁気ヘッド
とディスク媒体表面が損傷を受けない、信頼性の高い磁
気ヘッドと、それを組み込んだ磁気ディスク装置を提供
することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的は、スライダー
のディスク媒体対向面に、微小な凹凸を持つ面即ち表面
凹凸層を形成することにより達成される。またこの微小
な凹凸を持つ面、表面凹凸層は一般的な機械的研磨法、
スパッタ法によるＡｌ、Ｂｉ、Ｔｉ等低融点金属の形
成、又はスパッタ法によるＡｌ、Ｂｉ、Ｔｉを少なくと
も１種類以上含む合金の形成等により実現される。
のディスク媒体対向面に、微小な凹凸を持つ面即ち表面
凹凸層を形成することにより達成される。またこの微小
な凹凸を持つ面、表面凹凸層は一般的な機械的研磨法、
スパッタ法によるＡｌ、Ｂｉ、Ｔｉ等低融点金属の形
成、又はスパッタ法によるＡｌ、Ｂｉ、Ｔｉを少なくと
も１種類以上含む合金の形成等により実現される。
【０００８】
【作用】上記の構成によれば、Ｒ／Ｗ部に於ける低浮上
量化の為にディスク媒体表面の粗さをより滑らかにして
も、ＣＳＳ部では磁気ヘッドとディスク媒体の表面が、
お互いに微小な凹凸を持つ面で点接触し停止しているた
め、その相乗効果により摩擦係数が低くなり、かつ長期
間放置後起動しても磁気ヘッドとディスク媒体間の吸着
が少なくなる。
量化の為にディスク媒体表面の粗さをより滑らかにして
も、ＣＳＳ部では磁気ヘッドとディスク媒体の表面が、
お互いに微小な凹凸を持つ面で点接触し停止しているた
め、その相乗効果により摩擦係数が低くなり、かつ長期
間放置後起動しても磁気ヘッドとディスク媒体間の吸着
が少なくなる。
【０００９】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
図１において滑らかなスライダー１のディスク媒体対向
面５に表面凹凸層４を設けてある。以下、表面凹凸層４
の形成方法を詳細に述べる。 実施例１ 滑らかな表面を持つスライダー１のディスク媒体対向面
５を、ターゲット材に対向するようにスパッタ装置にセ
ットし、スパッタ装置内の真空度を３×10-6Torr以下に
し、続いて真空度５０ｍTorrのＡｒガス雰囲気中でＡｌ
をターゲット材としてスパッタし、膜厚３０ｎｍのＡｌ
薄膜を形成する。この時のＡｌ薄膜の中心線平均粗さは
３ｎｍである。
図１において滑らかなスライダー１のディスク媒体対向
面５に表面凹凸層４を設けてある。以下、表面凹凸層４
の形成方法を詳細に述べる。 実施例１ 滑らかな表面を持つスライダー１のディスク媒体対向面
５を、ターゲット材に対向するようにスパッタ装置にセ
ットし、スパッタ装置内の真空度を３×10-6Torr以下に
し、続いて真空度５０ｍTorrのＡｒガス雰囲気中でＡｌ
をターゲット材としてスパッタし、膜厚３０ｎｍのＡｌ
薄膜を形成する。この時のＡｌ薄膜の中心線平均粗さは
３ｎｍである。
【００１０】この結果得られた磁気ヘッドのＣＳＳ特性
を図２のｂに示す。 実施例２ 実施例１のＡｒガス雰囲気を、Ａｒ＋５％Ｎ2 雰囲気に
変え他の条件は変えずにスパッタし、膜厚３０ｎｍのＡ
ｌ薄膜を形成する。この時のＡｌ薄膜の中心線平均粗さ
は２ｎｍである。
を図２のｂに示す。 実施例２ 実施例１のＡｒガス雰囲気を、Ａｒ＋５％Ｎ2 雰囲気に
変え他の条件は変えずにスパッタし、膜厚３０ｎｍのＡ
ｌ薄膜を形成する。この時のＡｌ薄膜の中心線平均粗さ
は２ｎｍである。
【００１１】この結果得られた磁気ヘッドのＣＳＳ特性
を図２のｃに示す。実施例１の磁気ヘッドよりＣＳＳ特
性が向上している。実施例１・２の選択については要求
品質により自由に選定される。以上の実施例ではＡｌを
ターゲット材として用いたが、Ｂｉ、Ｔｉ及びこれら合
金材料を用いても同様の結果が得られる。
を図２のｃに示す。実施例１の磁気ヘッドよりＣＳＳ特
性が向上している。実施例１・２の選択については要求
品質により自由に選定される。以上の実施例ではＡｌを
ターゲット材として用いたが、Ｂｉ、Ｔｉ及びこれら合
金材料を用いても同様の結果が得られる。
【００１２】またこのような表面凹凸層４はテープ研
磨、ホーニング等機械的研磨法によってディスク媒体対
向面５に形成される凹凸層を有する磁気ヘッドとする事
が出来る。
磨、ホーニング等機械的研磨法によってディスク媒体対
向面５に形成される凹凸層を有する磁気ヘッドとする事
が出来る。
【００１３】
【発明の効果】以上述べたように、本発明による磁気ヘ
ッドを用いれば低浮上量でも、磁気ヘッドとディスク媒
体が損傷を受けず、より高記録密度の磁気ディスク装置
の設計が可能となる。
ッドを用いれば低浮上量でも、磁気ヘッドとディスク媒
体が損傷を受けず、より高記録密度の磁気ディスク装置
の設計が可能となる。
【図１】本発明の実施例を示す概念図
【図２】本発明技術と従来技術による磁気ヘッドのＣＳ
Ｓ特性（スライドμ）比較図
Ｓ特性（スライドμ）比較図
【図３】従来技術のＲ／Ｗ部概念図
１ スライダー ２ 電磁変換部 ３ コイル ４ 表面凹凸層 ５ ディスク媒体対向面 ６ 基板 ７ 薄膜層 ８ ディスク媒体表面 ９ 浮上量 １０ ディスク媒体回転方向 １１ 空気流
Claims (5)
- 【請求項１】スライダー及びこれに隣接するコイルを持
った電磁変換部より構成される磁気ヘッドにおいて、ス
ライダーのディスク媒体表面に対向する面を、微小な凹
凸を持つ面で形成したことを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項２】特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッドに
おいて、凹凸面を低融点金属または合金のスパッタ膜で
形成したことを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項３】特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッドに
おいて、凹凸面を機械的研磨法で形成したことを特徴と
する磁気ヘッド。 - 【請求項４】特許請求の範囲第２項記載の磁気ヘッドに
おいて、凹凸面をＡｌ、Ｂｉ、Ｔｉを少なくとも１種類
以上含む合金のスパッタ膜で形成したことを特徴とする
磁気ヘッド。 - 【請求項５】特許請求の範囲第１〜４項記載の磁気ヘッ
ドを具備したことを特徴とする磁気ディスク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31757592A JPH06168557A (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31757592A JPH06168557A (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06168557A true JPH06168557A (ja) | 1994-06-14 |
Family
ID=18089776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31757592A Pending JPH06168557A (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06168557A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11199030B2 (en) | 2018-02-26 | 2021-12-14 | Ford Global Technologies, Llc | Closure system that resists separation when laterally loaded |
-
1992
- 1992-11-27 JP JP31757592A patent/JPH06168557A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11199030B2 (en) | 2018-02-26 | 2021-12-14 | Ford Global Technologies, Llc | Closure system that resists separation when laterally loaded |
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