JPH06177123A - 絶縁体の堆積方法 - Google Patents
絶縁体の堆積方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高アスペクト比の金属パターンであっても、
その上に実質的にソフトスポット及びキーホールを有さ
ない二酸化シリコン膜を比較的高速かつラジエーション
ダメージ、膜厚不均一性、及び微粒子混入等の潜在的な
問題点を有さずに堆積させる方法を提供する。 【構成】 酸素、アルゴン、及びテトラエチル・オルソ
シリケート（ＴＥＯＳ）あるいはテトラメチル・シクロ
テトラシロキサン（ＴＭＣＴＳ）よりなるプラズマから
高周波デポジションによって基板上に二酸化シリコン層
を形成する方法が記載されている。前記基板には負のバ
イアス電圧が印加されている。その結果、イオン打ち込
みにより表面マイグレーションが誘起される。ＴＥＯＳ
及びＴＭＣＴＳが表面マイグレーションに関して比較的
大きな平均自由行程を有するため、ソフトスポット及び
キーホールの充填が促進される。
その上に実質的にソフトスポット及びキーホールを有さ
ない二酸化シリコン膜を比較的高速かつラジエーション
ダメージ、膜厚不均一性、及び微粒子混入等の潜在的な
問題点を有さずに堆積させる方法を提供する。 【構成】 酸素、アルゴン、及びテトラエチル・オルソ
シリケート（ＴＥＯＳ）あるいはテトラメチル・シクロ
テトラシロキサン（ＴＭＣＴＳ）よりなるプラズマから
高周波デポジションによって基板上に二酸化シリコン層
を形成する方法が記載されている。前記基板には負のバ
イアス電圧が印加されている。その結果、イオン打ち込
みにより表面マイグレーションが誘起される。ＴＥＯＳ
及びＴＭＣＴＳが表面マイグレーションに関して比較的
大きな平均自由行程を有するため、ソフトスポット及び
キーホールの充填が促進される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、集積回路における電子
基板上の絶縁膜の形成方法に関する。
基板上の絶縁膜の形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】集積回路においては、少なくとも一部の
相互接続は、堆積した金属膜をパターニングすることに
よって形成された線状金属導体によってなされる。集積
回路技術がより高回路密度へと進むにつれ、回路設計
は、この種の金属相互接続の幅とそれらの間隔の双方を
減少させることを要求する。
相互接続は、堆積した金属膜をパターニングすることに
よって形成された線状金属導体によってなされる。集積
回路技術がより高回路密度へと進むにつれ、回路設計
は、この種の金属相互接続の幅とそれらの間隔の双方を
減少させることを要求する。
【０００３】金属配線間の幾何学的配置を記述する一つ
のパラメータがアスペクト比である。すなわち、金属膜
の高さを間隔を規定している隣接する線状導体間の距離
で割ったものである。従来は間隔が実質的に幅１μｍ以
上ありかつ実質的に１より小さいアスペクト比を有して
いたのに対し、最近の回路設計は１μｍさらにはそれ以
下でかつ１あるいはそれ以上のアスペクト比を要求す
る。
のパラメータがアスペクト比である。すなわち、金属膜
の高さを間隔を規定している隣接する線状導体間の距離
で割ったものである。従来は間隔が実質的に幅１μｍ以
上ありかつ実質的に１より小さいアスペクト比を有して
いたのに対し、最近の回路設計は１μｍさらにはそれ以
下でかつ１あるいはそれ以上のアスペクト比を要求す
る。
【０００４】従来技術においては、この種の相互接続と
して機能するパターニングされた金属層は絶縁体材料
層、代表的にはシリコン酸化物材料よりなる層、でコー
ティングされていた。（さらなる金属相互接続は、この
ような絶縁体層上に堆積された金属層をパターニングす
ることによって形成され得る。このような場合には、こ
の絶縁体層は”中間層絶縁体膜”と呼称される。）
して機能するパターニングされた金属層は絶縁体材料
層、代表的にはシリコン酸化物材料よりなる層、でコー
ティングされていた。（さらなる金属相互接続は、この
ような絶縁体層上に堆積された金属層をパターニングす
ることによって形成され得る。このような場合には、こ
の絶縁体層は”中間層絶縁体膜”と呼称される。）
【０００５】実効的に機能するためには、この絶縁体コ
ーティングは金属間のスペースを実質的に欠陥なく充填
するものでなければならない。現在までに重要な２種類
の欠陥が識別されている；それらは”ソフトスポット”
及び”キーホール”である。ソフトスポットは絶縁体コ
ーティングの密度の薄い領域であり、金属導体パターン
の”肩”によるシャドウイング（遮蔽）効果によってイ
オン打ち込みレートが低下している場所に形成される。
キーホールは絶縁体コーティングにおける空隙であり、
シャドウイングが非常に激しく金属間の領域においては
絶縁体のデポジションが妨げられておりかつ金属間の領
域を取り囲む”肩”の領域上に堆積した絶縁体が空隙上
で充分融合し得る程高速に成長する場合に形成される。
ーティングは金属間のスペースを実質的に欠陥なく充填
するものでなければならない。現在までに重要な２種類
の欠陥が識別されている；それらは”ソフトスポット”
及び”キーホール”である。ソフトスポットは絶縁体コ
ーティングの密度の薄い領域であり、金属導体パターン
の”肩”によるシャドウイング（遮蔽）効果によってイ
オン打ち込みレートが低下している場所に形成される。
キーホールは絶縁体コーティングにおける空隙であり、
シャドウイングが非常に激しく金属間の領域においては
絶縁体のデポジションが妨げられておりかつ金属間の領
域を取り囲む”肩”の領域上に堆積した絶縁体が空隙上
で充分融合し得る程高速に成長する場合に形成される。
【０００６】アスペクト比が増大するにつれて、絶縁体
層を、金属間スペースが実質的にソフトスポット及びキ
ーホールなく充填されているように堆積することがより
困難になってきている。これは、アスペクト比が大きく
なるにつれてシャドウイング効果がより激しくなってい
ることによるものである。１あるいはそれ以上のアスペ
クト比を有する金属相互接続を充填する絶縁体層、すな
わち金属間絶縁体膜、を形成するために種々の方法が提
案されてきている。例えば、二酸化シリコン膜を堆積す
るために高周波（ＲＦ）バイアススパッタリングを用い
る方法が、シー・ワイ・ティング（Ｃ．Ｙ．Ｔｉｎｇ）
らによってジャーナル・オブ・バキューム・サイエンス
・テクノロジー（Ｊ．Ｖａｃ．Ｓｃｉ．Ｔｅｃｈｎｏ
ｌ．）誌第１５巻第１１０５頁（１９７８年）に、ティ
ー・モガミ（Ｔ．Ｍｏｇａｍｉ）らによってジャーナル
・オブ・バキューム・サイエンス・テクノロジー誌第Ｂ
３巻第８５７頁（１９８５年）に、及び、ビー・シン
（Ｂ．Ｓｉｎｇｈ）らによってジャーナル・オブ・バキ
ューム・サイエンス・テクノロジー誌第Ｂ５巻第５６７
頁（１９８７年）にそれぞれ記載されている。しかしな
がら、この方法の商業的な応用は限定されている。なぜ
なら、この方法は現在毎分２００オングストロームより
小さいデポジションレートしか達成していないのに対
し、商業的応用においては通常単一ウエハ用リアクター
に対して毎分１０００オングストローム以上、複数ウエ
ハ用リアクターに対して（一度に処理できるウエハの枚
数に依存して）毎分５００オングストローム以上のデポ
ジションレートが要求されるからである。さらに、ＴＥ
ＯＳ（テトラエチル・オルソシリケート）前駆体を用い
たプラズマ・エンハンスト・ケミカル・ヴェイパー・デ
ポジション（ＰＥＣＶＤ）が、例えば、ビー・エル・チ
ン（Ｂ．Ｌ．Ｃｈｉｎ）らによってソリッド・ステート
・テクノロジー（Ｓｏｌｉｄ Ｓｔａｔｅ Ｔｅｃｈｎ
ｏｌ．）誌第１１９頁（１９８８年４月）に記述されて
いる。この方法は、中間二酸化シリコン膜を堆積するた
めに最も広く適用されている方法である。しかしなが
ら、この方法を用いてアスペクト比が約０．８より大き
い金属間スペースに高品質の絶縁体を堆積することは一
般には容易ではない。
層を、金属間スペースが実質的にソフトスポット及びキ
ーホールなく充填されているように堆積することがより
困難になってきている。これは、アスペクト比が大きく
なるにつれてシャドウイング効果がより激しくなってい
ることによるものである。１あるいはそれ以上のアスペ
クト比を有する金属相互接続を充填する絶縁体層、すな
わち金属間絶縁体膜、を形成するために種々の方法が提
案されてきている。例えば、二酸化シリコン膜を堆積す
るために高周波（ＲＦ）バイアススパッタリングを用い
る方法が、シー・ワイ・ティング（Ｃ．Ｙ．Ｔｉｎｇ）
らによってジャーナル・オブ・バキューム・サイエンス
・テクノロジー（Ｊ．Ｖａｃ．Ｓｃｉ．Ｔｅｃｈｎｏ
ｌ．）誌第１５巻第１１０５頁（１９７８年）に、ティ
ー・モガミ（Ｔ．Ｍｏｇａｍｉ）らによってジャーナル
・オブ・バキューム・サイエンス・テクノロジー誌第Ｂ
３巻第８５７頁（１９８５年）に、及び、ビー・シン
（Ｂ．Ｓｉｎｇｈ）らによってジャーナル・オブ・バキ
ューム・サイエンス・テクノロジー誌第Ｂ５巻第５６７
頁（１９８７年）にそれぞれ記載されている。しかしな
がら、この方法の商業的な応用は限定されている。なぜ
なら、この方法は現在毎分２００オングストロームより
小さいデポジションレートしか達成していないのに対
し、商業的応用においては通常単一ウエハ用リアクター
に対して毎分１０００オングストローム以上、複数ウエ
ハ用リアクターに対して（一度に処理できるウエハの枚
数に依存して）毎分５００オングストローム以上のデポ
ジションレートが要求されるからである。さらに、ＴＥ
ＯＳ（テトラエチル・オルソシリケート）前駆体を用い
たプラズマ・エンハンスト・ケミカル・ヴェイパー・デ
ポジション（ＰＥＣＶＤ）が、例えば、ビー・エル・チ
ン（Ｂ．Ｌ．Ｃｈｉｎ）らによってソリッド・ステート
・テクノロジー（Ｓｏｌｉｄ Ｓｔａｔｅ Ｔｅｃｈｎ
ｏｌ．）誌第１１９頁（１９８８年４月）に記述されて
いる。この方法は、中間二酸化シリコン膜を堆積するた
めに最も広く適用されている方法である。しかしなが
ら、この方法を用いてアスペクト比が約０．８より大き
い金属間スペースに高品質の絶縁体を堆積することは一
般には容易ではない。
【０００７】二酸化シリコン層の形成に関するＰＥＣＶ
Ｄの別なアプリケーションが、パーヅ（Ｐｕｒｄｅｓ）
らによる米国特許第４，６８１，６５３号に記載されて
いる。パーヅは、平坦な二酸化シリコン膜を堆積するた
めにシラン及び窒素酸化物プリカーサーを用いた。−９
００ボルトという非常に大きな基板バイアス電圧が、前
記膜を平坦化するための大きな逆スパッタリング収率を
実現した。しかしながら、この技法においた用いられた
高基板バイアス電圧は、デバイスの性能を劣化させ得る
ほどのラジエーションダメージを生じ得る。
Ｄの別なアプリケーションが、パーヅ（Ｐｕｒｄｅｓ）
らによる米国特許第４，６８１，６５３号に記載されて
いる。パーヅは、平坦な二酸化シリコン膜を堆積するた
めにシラン及び窒素酸化物プリカーサーを用いた。−９
００ボルトという非常に大きな基板バイアス電圧が、前
記膜を平坦化するための大きな逆スパッタリング収率を
実現した。しかしながら、この技法においた用いられた
高基板バイアス電圧は、デバイスの性能を劣化させ得る
ほどのラジエーションダメージを生じ得る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】つまり、当業者は、こ
れまで、高アスペクト比の金属パターンにわたって、す
ばらしい品質の（すなわち、実質的にソフトスポット及
びキーホールを有さない）二酸化シリコン膜を比較的高
速かつラジエーションダメージ、膜厚不均一性、及び微
粒子混入等の潜在的な問題点を有さずに形成する方法を
追求してきているが、未だに成功していない。
れまで、高アスペクト比の金属パターンにわたって、す
ばらしい品質の（すなわち、実質的にソフトスポット及
びキーホールを有さない）二酸化シリコン膜を比較的高
速かつラジエーションダメージ、膜厚不均一性、及び微
粒子混入等の潜在的な問題点を有さずに形成する方法を
追求してきているが、未だに成功していない。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、ＰＥＣＶＤを
二酸化シリコン膜の形成に用いる方法に係るものであ
る。用いられる混合ガスには、酸素、アルゴン、及びシ
リコン含有の前駆体が含まれる。このシリコン含有前駆
体は、テトラエチル・オルソシリケート（ＴＥＯＳ）も
しくはテトラメチル・シクロテトラシロキサン（ＴＭＣ
ＴＳ）のいずれかである。ＴＥＯＳ及びＴＭＣＴＳが表
面マイグレーションに関して比較的長い平均自由行程を
有しているために、ソフトスポット及びキーホールの充
填が促進される。
二酸化シリコン膜の形成に用いる方法に係るものであ
る。用いられる混合ガスには、酸素、アルゴン、及びシ
リコン含有の前駆体が含まれる。このシリコン含有前駆
体は、テトラエチル・オルソシリケート（ＴＥＯＳ）も
しくはテトラメチル・シクロテトラシロキサン（ＴＭＣ
ＴＳ）のいずれかである。ＴＥＯＳ及びＴＭＣＴＳが表
面マイグレーションに関して比較的長い平均自由行程を
有しているために、ソフトスポット及びキーホールの充
填が促進される。
【００１０】本発明の一実施例においては、以下のステ
ップが含まれる：真空チャンバー中に基板を配置するス
テップ；プラズマ中で反応して堆積される二酸化シリコ
ンを形成する混合ガスを供給するステップ、ここで、当
該混合ガスは酸素、アルゴン、及びＴＥＯＳあるいはＴ
ＭＣＴＳのいずれか、もしくはその双方を含む；前記基
板上に前記混合ガスを流すステップ；前記混合ガスをＲ
Ｆ電界によって励起するステップ；及び基板上に負のｄ
ｃバイアスを印加しておくステップ。このｄｃバイアス
及び混合ガスの組成は、生成される二酸化シリコン膜が
実質的にソフトスポット及び／あるいはキーホールを有
さないように選択される。
ップが含まれる：真空チャンバー中に基板を配置するス
テップ；プラズマ中で反応して堆積される二酸化シリコ
ンを形成する混合ガスを供給するステップ、ここで、当
該混合ガスは酸素、アルゴン、及びＴＥＯＳあるいはＴ
ＭＣＴＳのいずれか、もしくはその双方を含む；前記基
板上に前記混合ガスを流すステップ；前記混合ガスをＲ
Ｆ電界によって励起するステップ；及び基板上に負のｄ
ｃバイアスを印加しておくステップ。このｄｃバイアス
及び混合ガスの組成は、生成される二酸化シリコン膜が
実質的にソフトスポット及び／あるいはキーホールを有
さないように選択される。
【００１１】好ましい実施例においては、前記基板に印
加されるｄｃバイアス電圧は約−３００ボルトから約−
５００ボルトの範囲である。このような電圧において
は、ラジエーションダメージの危険性は比較的低くなっ
ている。
加されるｄｃバイアス電圧は約−３００ボルトから約−
５００ボルトの範囲である。このような電圧において
は、ラジエーションダメージの危険性は比較的低くなっ
ている。
【００１２】
【実施例】本発明に係る方法の好ましい実施例において
は、デポジションがパラレルプレートＲＦデポジション
リアクタ内で行なわれる。例えば、この目的に都合のよ
いリアクタは、プラズマ・サーム（Ｐｌａｓｍａ−Ｔｈ
ｅｒｍ）Ｃｏ．社製のパラレルプレートユニットＭｏｄ
ｅｌ７００である。（このリアクタは、以下に記述され
ているように、ＴＥＯＳあるいはＴＭＣＴＳ蒸気発生源
を備えているように改造されている。）特に、微粒子に
よる汚染を低減するために、ロードロックの備え付けら
れているリアクタを用いることが望ましい。
は、デポジションがパラレルプレートＲＦデポジション
リアクタ内で行なわれる。例えば、この目的に都合のよ
いリアクタは、プラズマ・サーム（Ｐｌａｓｍａ−Ｔｈ
ｅｒｍ）Ｃｏ．社製のパラレルプレートユニットＭｏｄ
ｅｌ７００である。（このリアクタは、以下に記述され
ているように、ＴＥＯＳあるいはＴＭＣＴＳ蒸気発生源
を備えているように改造されている。）特に、微粒子に
よる汚染を低減するために、ロードロックの備え付けら
れているリアクタを用いることが望ましい。
【００１３】図１に示されているように、上部電極１０
は”シャワーヘッド”、すなわち、（図示されているよ
うに）穿孔された平坦な下部表面を有する中空材であ
る。反応ガスは当該シャワーヘッドの中空部分で混合さ
れ、その結果、実質的に均一な混合ガスがウエハの上部
表面に（図示されているように）均等に分配される。当
該シャワーヘッドは、本実施例においては１１インチ
（２７．９ｃｍ）の直径を有している。”基板ホルダ
ー”とも呼称される下部電極２０は、上部電極と平行な
アルミニウム円板であり、上部電極から１．５インチ
（３．８ｃｍ）離れてその下部に位置している。下部電
極はシャワーヘッドと同一の直径（本実施例においては
１１インチ（２７．９ｃｍ））を有している。
は”シャワーヘッド”、すなわち、（図示されているよ
うに）穿孔された平坦な下部表面を有する中空材であ
る。反応ガスは当該シャワーヘッドの中空部分で混合さ
れ、その結果、実質的に均一な混合ガスがウエハの上部
表面に（図示されているように）均等に分配される。当
該シャワーヘッドは、本実施例においては１１インチ
（２７．９ｃｍ）の直径を有している。”基板ホルダ
ー”とも呼称される下部電極２０は、上部電極と平行な
アルミニウム円板であり、上部電極から１．５インチ
（３．８ｃｍ）離れてその下部に位置している。下部電
極はシャワーヘッドと同一の直径（本実施例においては
１１インチ（２７．９ｃｍ））を有している。
【００１４】上部及び下部電極は、通常、個別のケーブ
ルによって同一のＲＦ電源３０及び整合ネットワーク４
０に接続されている。ＲＦ電力は上部あるいは下部電極
のいずれかに対して供給される。一方の電極に電力が供
給されている間は、他方は接地されている。（通常、単
一の電源３０及び単一の整合ネットワーク４０が用いら
れる。図１においては、図を簡潔にするために電源及び
整合ネットワークが２つずつ示されている。）電極に印
加される高周波は、例えば１３．５６ＭＨｚである。本
実施例においては、上部電極に供給される最大ＲＦ出力
電力は６００Ｗであり、下部電極へは７００Ｗである。
ルによって同一のＲＦ電源３０及び整合ネットワーク４
０に接続されている。ＲＦ電力は上部あるいは下部電極
のいずれかに対して供給される。一方の電極に電力が供
給されている間は、他方は接地されている。（通常、単
一の電源３０及び単一の整合ネットワーク４０が用いら
れる。図１においては、図を簡潔にするために電源及び
整合ネットワークが２つずつ示されている。）電極に印
加される高周波は、例えば１３．５６ＭＨｚである。本
実施例においては、上部電極に供給される最大ＲＦ出力
電力は６００Ｗであり、下部電極へは７００Ｗである。
【００１５】下部電極へは、基板６０を代表的にはおよ
そ４００゜Ｃに加熱することが可能な埋め込み型抵抗ヒ
ーター５０が組み込まれている。（金属配線パターンが
アルミニウムよりなる場合には、基板温度の適切な範囲
は３２０゜Ｃから３５０゜Ｃである。なぜなら、３５０
゜Ｃより実質的に高温になるとアルミニウム膜にヒロッ
クが形成されるからである。アルミニウムの代わりにタ
ングステンによる配線が用いられる場合には、適切な温
度範囲は３２０゜Ｃから５００゜Ｃである。なぜなら、
タングステン膜はより高温に耐えられるからである。デ
ポジションの間の代表的な基板温度は３２０゜Ｃであ
る。）
そ４００゜Ｃに加熱することが可能な埋め込み型抵抗ヒ
ーター５０が組み込まれている。（金属配線パターンが
アルミニウムよりなる場合には、基板温度の適切な範囲
は３２０゜Ｃから３５０゜Ｃである。なぜなら、３５０
゜Ｃより実質的に高温になるとアルミニウム膜にヒロッ
クが形成されるからである。アルミニウムの代わりにタ
ングステンによる配線が用いられる場合には、適切な温
度範囲は３２０゜Ｃから５００゜Ｃである。なぜなら、
タングステン膜はより高温に耐えられるからである。デ
ポジションの間の代表的な基板温度は３２０゜Ｃであ
る。）
【００１６】デポジション前の通常のローディング動作
においては、各々直径１２５ｍｍの３枚のシリコンウエ
ハがアルミニウムウエハトレイ７０上に配置される。そ
の後、ウエハトレイは機械的はアームによってローディ
ングチャンバー８０からプロセシングチャンバー９０へ
と移動させられる。
においては、各々直径１２５ｍｍの３枚のシリコンウエ
ハがアルミニウムウエハトレイ７０上に配置される。そ
の後、ウエハトレイは機械的はアームによってローディ
ングチャンバー８０からプロセシングチャンバー９０へ
と移動させられる。
【００１７】代表的なパラレルプレートリアクタにおい
ては、数種類の相異なったプロセシングガス（例えば、
プラズマサーム社製モデル７００においては６種類）が
個別の流量計１００によって個々に計量されてシャワー
ヘッドへ供給され、シャワーヘッドによってプロセシン
グチャンバー内で分配される。本実施例においては、２
つの反応ガス、すなわち酸素とアルゴンが前記の要領で
計量されて分配される。膜のデポジションが完了した後
に高純度窒素がプロセシングチャンバー内にシャワーヘ
ッドを通じて流入させられ、リアクタが大気圧に逆充填
される。加えて、ＴＥＯＳあるいはＴＭＣＴＳ蒸気がシ
ャワーヘッドによって分配される。ＴＥＯＳ及びＴＭＣ
ＴＳは室温常圧では液体であるため、これら前駆体材料
は例えばステンレススチール管（図示せず）によってシ
ャワーヘッドに接続されたステンレススチールコンテナ
（図示せず）内に保持されている。例えばＴＥＯＳの蒸
気圧が２５゜Ｃにおいては僅か２Ｔｏｒｒであるため、
前記コンテナはＴＥＯＳの気化を促進するために熱浴に
よって加熱させられており、前記ステンレススチール管
はＴＥＯＳの凝結を防ぐために加熱テープによって包ま
れている。シャワーヘッドに流入するＴＥＯＳあるいは
ＴＭＣＴＳ蒸気の量は精密流量計（１１０）によって制
御されている。（ＴＥＯＳ及びＴＭＣＴＳの双方とも本
発明に係る方法におけるシリコン含有前駆体として利用
しやすいものであるが、本明細書においては、以下、例
としてＴＥＯＳを前駆体として用いるものと仮定するこ
とにする。）
ては、数種類の相異なったプロセシングガス（例えば、
プラズマサーム社製モデル７００においては６種類）が
個別の流量計１００によって個々に計量されてシャワー
ヘッドへ供給され、シャワーヘッドによってプロセシン
グチャンバー内で分配される。本実施例においては、２
つの反応ガス、すなわち酸素とアルゴンが前記の要領で
計量されて分配される。膜のデポジションが完了した後
に高純度窒素がプロセシングチャンバー内にシャワーヘ
ッドを通じて流入させられ、リアクタが大気圧に逆充填
される。加えて、ＴＥＯＳあるいはＴＭＣＴＳ蒸気がシ
ャワーヘッドによって分配される。ＴＥＯＳ及びＴＭＣ
ＴＳは室温常圧では液体であるため、これら前駆体材料
は例えばステンレススチール管（図示せず）によってシ
ャワーヘッドに接続されたステンレススチールコンテナ
（図示せず）内に保持されている。例えばＴＥＯＳの蒸
気圧が２５゜Ｃにおいては僅か２Ｔｏｒｒであるため、
前記コンテナはＴＥＯＳの気化を促進するために熱浴に
よって加熱させられており、前記ステンレススチール管
はＴＥＯＳの凝結を防ぐために加熱テープによって包ま
れている。シャワーヘッドに流入するＴＥＯＳあるいは
ＴＭＣＴＳ蒸気の量は精密流量計（１１０）によって制
御されている。（ＴＥＯＳ及びＴＭＣＴＳの双方とも本
発明に係る方法におけるシリコン含有前駆体として利用
しやすいものであるが、本明細書においては、以下、例
としてＴＥＯＳを前駆体として用いるものと仮定するこ
とにする。）
【００１８】誘導されるＤＣバイアス電圧は、図２に示
されているように、入力ＲＦ電力及び反応チャンバー圧
に依存する。例えば、３００ｍＴｏｒｒの反応チャンバ
ー圧の下では、誘導されるＤＣバイアス電圧は、ＲＦ電
力が２００Ｗから７００Ｗに増加するにつれておよそ２
００Ｖからおよそ４７０Ｖに上昇する。さらに、図２に
示されているように、入力ＲＦ電力が５００Ｗの場合に
は、バイアス電圧はチャンバー圧が５００ｍＴｏｒｒか
ら１００ｍＴｏｒｒに減少するにつれておよそ３５５Ｖ
からおよそ４９０Ｖに増加する。
されているように、入力ＲＦ電力及び反応チャンバー圧
に依存する。例えば、３００ｍＴｏｒｒの反応チャンバ
ー圧の下では、誘導されるＤＣバイアス電圧は、ＲＦ電
力が２００Ｗから７００Ｗに増加するにつれておよそ２
００Ｖからおよそ４７０Ｖに上昇する。さらに、図２に
示されているように、入力ＲＦ電力が５００Ｗの場合に
は、バイアス電圧はチャンバー圧が５００ｍＴｏｒｒか
ら１００ｍＴｏｒｒに減少するにつれておよそ３５５Ｖ
からおよそ４９０Ｖに増加する。
【００１９】バイアス電圧が（その絶対値として）余り
にも低い場合には、イオン打ち込みレートが余りにも低
くなり、キーホール及びソフトスポットを有する低品質
膜が形成される。バイアス電圧が高すぎる場合には、基
板に対してラジエーションダメージが生ずる。これらの
理由から、利用しやすいバイアス電圧の範囲はおよそ−
３００Ｖからおよそ−５００Ｖである。
にも低い場合には、イオン打ち込みレートが余りにも低
くなり、キーホール及びソフトスポットを有する低品質
膜が形成される。バイアス電圧が高すぎる場合には、基
板に対してラジエーションダメージが生ずる。これらの
理由から、利用しやすいバイアス電圧の範囲はおよそ−
３００Ｖからおよそ−５００Ｖである。
【００２０】デポジションの間のリアクタ内の圧力の利
用しうる範囲は１００−５００ｍＴｏｒｒであり、好ま
しい圧力はおよそ３００ｍＴｏｒｒである。およそ１０
０ｍＴｏｒｒ以下の圧力下では、デポジションレートが
低すぎて商業的に利用可能なほどのスループットが得ら
れない。およそ５００ｍＴｏｒｒ以上の圧力下では、バ
イアス電圧が一般的に余りにも低くなりすぎ、堆積され
た膜の品質が低下する。
用しうる範囲は１００−５００ｍＴｏｒｒであり、好ま
しい圧力はおよそ３００ｍＴｏｒｒである。およそ１０
０ｍＴｏｒｒ以下の圧力下では、デポジションレートが
低すぎて商業的に利用可能なほどのスループットが得ら
れない。およそ５００ｍＴｏｒｒ以上の圧力下では、バ
イアス電圧が一般的に余りにも低くなりすぎ、堆積され
た膜の品質が低下する。
【００２１】反応チャンバーに注入されるＲＦ電力の利
用可能な範囲は２００−１０００Ｗである。なぜなら、
この範囲においてはバイアス電圧が一般的に受容し得る
範囲にあるからである。この電力を１１インチ（２７．
９ｃｍ）の直径を有する電極の対向している部分の面積
で除することにより、利用可能な電力密度の範囲として
０．３３−１．６４Ｗ／ｃｍ2が得られる。好ましいＲ
Ｆ電力レベルはおよそ７００Ｗであり、これはおよそ
１．５５Ｗ／ｃｍ2の電力密度に対応する。
用可能な範囲は２００−１０００Ｗである。なぜなら、
この範囲においてはバイアス電圧が一般的に受容し得る
範囲にあるからである。この電力を１１インチ（２７．
９ｃｍ）の直径を有する電極の対向している部分の面積
で除することにより、利用可能な電力密度の範囲として
０．３３−１．６４Ｗ／ｃｍ2が得られる。好ましいＲ
Ｆ電力レベルはおよそ７００Ｗであり、これはおよそ
１．５５Ｗ／ｃｍ2の電力密度に対応する。
【００２２】図３の曲線Ａによって示されているよう
に、正味のデポジションレートは基板バイアス電圧の大
きさが増加するにつれて減少している。基板バイアス電
圧の大きさは入力ＲＦ電力につれて増加するため、正味
のデポジションレートは入力ＲＦ電力が増加するにつれ
て減少するような傾向を示している。例えば、酸素、ア
ルゴン、及びＴＥＯＳの流量が、それぞれ、１７５ＳＣ
ＣＭ、３５ＳＣＣＭ、及び９．５ＳＣＣＭでチャンバー
圧が３００ｍＴｏｒｒの場合には、正味のデポジション
レートは、基板バイアス電圧が絶対値としておよそ−３
００Ｖからおよそ−４６０Ｖへ増加するにつれて毎分お
よそ５００オングストロームから毎分およそ３１０オン
グストロームへと低下する。対応する入力ＲＦ電力の変
化は、図２に示されているように、およそ３００Ｗから
およそ７００Ｗである。ＲＦ電力を増加すると正味のデ
ポジションレートが低下する主たる理由は、ＲＦ電力を
増加するにつれて脱着も増加するからである。
に、正味のデポジションレートは基板バイアス電圧の大
きさが増加するにつれて減少している。基板バイアス電
圧の大きさは入力ＲＦ電力につれて増加するため、正味
のデポジションレートは入力ＲＦ電力が増加するにつれ
て減少するような傾向を示している。例えば、酸素、ア
ルゴン、及びＴＥＯＳの流量が、それぞれ、１７５ＳＣ
ＣＭ、３５ＳＣＣＭ、及び９．５ＳＣＣＭでチャンバー
圧が３００ｍＴｏｒｒの場合には、正味のデポジション
レートは、基板バイアス電圧が絶対値としておよそ−３
００Ｖからおよそ−４６０Ｖへ増加するにつれて毎分お
よそ５００オングストロームから毎分およそ３１０オン
グストロームへと低下する。対応する入力ＲＦ電力の変
化は、図２に示されているように、およそ３００Ｗから
およそ７００Ｗである。ＲＦ電力を増加すると正味のデ
ポジションレートが低下する主たる理由は、ＲＦ電力を
増加するにつれて脱着も増加するからである。
【００２３】脱着は、酸素及びアルゴンイオンの打ち込
みの結果である。脱着に加えて、吸着された反応副生成
物（例えば準安定種も含まれる）の表面マイグレーショ
ンもイオン打ち込みの結果として起こる。従来技術にお
いてはＲＦ電力はシャワーヘッドへの入力であり、その
ため結果として負のバイアスが仮定されており、基板は
接地されている。これに対して本発明に係る方法におい
ては下部電極への電力供給を含んでおり、結果として基
板上に負のバイアス電圧を生ずる。しかしながら、プラ
ズマは常に正に帯電している。その結果、プラズマと基
板との間に、正のイオンが基板方向に加速されるような
方向を有する比較的大きなポテンシャル差が生成され
る。このポテンシャル差は、従来技術においてプラズマ
と接地された基板との間に一般に得られるポテンシャル
差（通常約２０Ｖ）より通常およそ２５倍大きい。この
増大したポテンシャル差によってイオン打ち込みのエネ
ルギーがより大きくなる。
みの結果である。脱着に加えて、吸着された反応副生成
物（例えば準安定種も含まれる）の表面マイグレーショ
ンもイオン打ち込みの結果として起こる。従来技術にお
いてはＲＦ電力はシャワーヘッドへの入力であり、その
ため結果として負のバイアスが仮定されており、基板は
接地されている。これに対して本発明に係る方法におい
ては下部電極への電力供給を含んでおり、結果として基
板上に負のバイアス電圧を生ずる。しかしながら、プラ
ズマは常に正に帯電している。その結果、プラズマと基
板との間に、正のイオンが基板方向に加速されるような
方向を有する比較的大きなポテンシャル差が生成され
る。このポテンシャル差は、従来技術においてプラズマ
と接地された基板との間に一般に得られるポテンシャル
差（通常約２０Ｖ）より通常およそ２５倍大きい。この
増大したポテンシャル差によってイオン打ち込みのエネ
ルギーがより大きくなる。
【００２４】基板バイアスの効果は図４と図５との比較
によって表わされている。双方の図は、シリコン基板上
のアルミニウム金属パターンを覆うように堆積された二
酸化シリコン膜の形態を模式的に表わしたものである。
図４は接地された基板に堆積された膜に対応している。
図５は同一の条件下で負のバイアス電圧が印加された基
板上に堆積された膜に対応している。双方の場合におけ
る混合ガスは、各々１７５ＳＣＣＭ及び９．５ＳＣＣＭ
の流量を有する酸素及びＴＥＯＳよりなる。図４におい
ては、接地された基板に堆積された膜が、方向性を有す
るデポジションのために、アルミニウムによる段差のエ
ッジの部分においてわずかに成長しつつある肩を明らか
に示している（すなわち、肩の部分へのデポジション確
率が縞状金属パターン間の空間へのデポジション確率よ
り大きい）。この図からは、さらに、段差間においては
シャドウイング効果によって生ぜしめられた”ソフト”
領域が存在することが明らかに理解される。これに対し
て、図５からは、明らかに傾斜を有する断面形状によっ
て明示されているように、バイアス電圧を印加された基
板上に堆積された膜がよりよい段差カバレッジを有して
いることが明らかに理解される（すなわち、前記傾斜を
有する断面形状は実質的にシャドウイング効果が生じな
いことを表わしている）。
によって表わされている。双方の図は、シリコン基板上
のアルミニウム金属パターンを覆うように堆積された二
酸化シリコン膜の形態を模式的に表わしたものである。
図４は接地された基板に堆積された膜に対応している。
図５は同一の条件下で負のバイアス電圧が印加された基
板上に堆積された膜に対応している。双方の場合におけ
る混合ガスは、各々１７５ＳＣＣＭ及び９．５ＳＣＣＭ
の流量を有する酸素及びＴＥＯＳよりなる。図４におい
ては、接地された基板に堆積された膜が、方向性を有す
るデポジションのために、アルミニウムによる段差のエ
ッジの部分においてわずかに成長しつつある肩を明らか
に示している（すなわち、肩の部分へのデポジション確
率が縞状金属パターン間の空間へのデポジション確率よ
り大きい）。この図からは、さらに、段差間においては
シャドウイング効果によって生ぜしめられた”ソフト”
領域が存在することが明らかに理解される。これに対し
て、図５からは、明らかに傾斜を有する断面形状によっ
て明示されているように、バイアス電圧を印加された基
板上に堆積された膜がよりよい段差カバレッジを有して
いることが明らかに理解される（すなわち、前記傾斜を
有する断面形状は実質的にシャドウイング効果が生じな
いことを表わしている）。
【００２５】１μｍ以下の金属間間隔を有しかつ１以上
のアスペクト比を有する金属配線パターンを覆ってキー
ホールのない膜を堆積するために、肩の部分における正
味のデポジションレートを段差の頂部及び配線間間隔の
底部におけるレートに比較して低減することによりテー
パーのついた側壁を形成することが望ましい。窒素酸化
物あるいは酸素とともにシランを前駆体として用いる従
来技術に係るＰＥＣＶＤ法においては、テーパーのつい
た側壁はイオンスパッタリングによって形成されると信
じられている。（例えば、前掲の米国特許第４，６８
１，６５３号を参照。）これに対して、本発明に係る方
法においては、テーパーのついた側壁は、双方ともイオ
ン打ち込みによって活性化された表面マイグレーション
と脱着によって形成されると信じられている。重要なこ
とは、この目的のためのイオン打ち込みを効果的にして
いるのが基板バイアスであるということである。基板が
接地されていてバイアス電圧が印加されていない場合に
は、打ち込まれるイオンは充分な量の表面マイグレーシ
ョン及び脱着を活性化するために充分なエネルギーを持
ち得ないことになる。
のアスペクト比を有する金属配線パターンを覆ってキー
ホールのない膜を堆積するために、肩の部分における正
味のデポジションレートを段差の頂部及び配線間間隔の
底部におけるレートに比較して低減することによりテー
パーのついた側壁を形成することが望ましい。窒素酸化
物あるいは酸素とともにシランを前駆体として用いる従
来技術に係るＰＥＣＶＤ法においては、テーパーのつい
た側壁はイオンスパッタリングによって形成されると信
じられている。（例えば、前掲の米国特許第４，６８
１，６５３号を参照。）これに対して、本発明に係る方
法においては、テーパーのついた側壁は、双方ともイオ
ン打ち込みによって活性化された表面マイグレーション
と脱着によって形成されると信じられている。重要なこ
とは、この目的のためのイオン打ち込みを効果的にして
いるのが基板バイアスであるということである。基板が
接地されていてバイアス電圧が印加されていない場合に
は、打ち込まれるイオンは充分な量の表面マイグレーシ
ョン及び脱着を活性化するために充分なエネルギーを持
ち得ないことになる。
【００２６】部分的に分解された大きな前駆体分子（す
なわち、ＴＥＯＳ及びＴＭＣＴＳ）を含む反応副生成物
は、初期においては膜表面に吸着されると信じられてい
る。これらの分子は、吸着されてから分解して結果的に
ガラス状構造ネットワークに組み込まれることになるＳ
ｉＯ2ラジカルを生成するまでの間比較的高いモビリテ
ィ（移動度）を有すると信じられている。この移動度
は、既に議論されているように、イオン打ち込みによっ
て活性化された表面拡散に起因するものである。このよ
うな移動度の結果として、本発明に係る方法は段差にわ
たって比較的高度にコンフォーマルなデポジションを実
現する。さらに、アルゴンイオン打ち込みによって活性
化された脱着は、イオンのエネルギーが充分な量のスパ
ッタリングを生ずるのに不充分である場合においてもデ
ポジションレートを低減し得る。その結果、入射イオン
方向に対して実質的に４５゜の方向を有する面を持つ傾
向を有する肩の領域からの材料の離脱が充分に高速で比
較的低いバイアス電圧、すなわち絶対値がおよそ５００
Ｖ未満のバイアス電圧、においてもキーホールの形成が
妨げられる。
なわち、ＴＥＯＳ及びＴＭＣＴＳ）を含む反応副生成物
は、初期においては膜表面に吸着されると信じられてい
る。これらの分子は、吸着されてから分解して結果的に
ガラス状構造ネットワークに組み込まれることになるＳ
ｉＯ2ラジカルを生成するまでの間比較的高いモビリテ
ィ（移動度）を有すると信じられている。この移動度
は、既に議論されているように、イオン打ち込みによっ
て活性化された表面拡散に起因するものである。このよ
うな移動度の結果として、本発明に係る方法は段差にわ
たって比較的高度にコンフォーマルなデポジションを実
現する。さらに、アルゴンイオン打ち込みによって活性
化された脱着は、イオンのエネルギーが充分な量のスパ
ッタリングを生ずるのに不充分である場合においてもデ
ポジションレートを低減し得る。その結果、入射イオン
方向に対して実質的に４５゜の方向を有する面を持つ傾
向を有する肩の領域からの材料の離脱が充分に高速で比
較的低いバイアス電圧、すなわち絶対値がおよそ５００
Ｖ未満のバイアス電圧、においてもキーホールの形成が
妨げられる。
【００２７】基板へのバイアス電圧の印加に加えて、堆
積された二酸化シリコン膜からソフトスポットを除去す
るために混合ガスに対してアルゴンを添加することが必
要であると信じられている。すなわち、肩領域からの
（部分的に分解した）前駆体分子の表面マイグレーショ
ンが底部の段差の隅におけるデポジションレートを増大
し得るのでテーパーを有する側壁が形成される。前駆体
分子と衝突するアルゴンイオンはその運動エネルギーを
前駆体分子に伝達し得ると信じられている。すくなくと
も、そのようにして励起された前駆体分子の一部は衝突
した位置において前記ガラス状構造ネットワークに組み
込まれるには大きすぎる程の内部エネルギーを有するこ
とになる。その代わり、励起された分子は脱着されるか
あるいは表面に沿ってマイグレートする。アルゴンイオ
ンは酸素分子より２．５倍重いため、衝突の際に酸素イ
オンより効率的に運動量を伝達する。すなわち、混合ガ
スへのアルゴンの追加が側壁表面上の前駆体分子のマイ
グレーションを促進すると信じられている。結果とし
て、底部の隅においてより多くのデポジションが起こ
り、従ってソフトスポットの発生が低減あるいは除去さ
れる。
積された二酸化シリコン膜からソフトスポットを除去す
るために混合ガスに対してアルゴンを添加することが必
要であると信じられている。すなわち、肩領域からの
（部分的に分解した）前駆体分子の表面マイグレーショ
ンが底部の段差の隅におけるデポジションレートを増大
し得るのでテーパーを有する側壁が形成される。前駆体
分子と衝突するアルゴンイオンはその運動エネルギーを
前駆体分子に伝達し得ると信じられている。すくなくと
も、そのようにして励起された前駆体分子の一部は衝突
した位置において前記ガラス状構造ネットワークに組み
込まれるには大きすぎる程の内部エネルギーを有するこ
とになる。その代わり、励起された分子は脱着されるか
あるいは表面に沿ってマイグレートする。アルゴンイオ
ンは酸素分子より２．５倍重いため、衝突の際に酸素イ
オンより効率的に運動量を伝達する。すなわち、混合ガ
スへのアルゴンの追加が側壁表面上の前駆体分子のマイ
グレーションを促進すると信じられている。結果とし
て、底部の隅においてより多くのデポジションが起こ
り、従ってソフトスポットの発生が低減あるいは除去さ
れる。
【００２８】以上の理論的考察は、教育的理由のみに基
づいて本明細書に含まれているものであり、本発明の範
囲を限定することを意図していない。
づいて本明細書に含まれているものであり、本発明の範
囲を限定することを意図していない。
【００２９】混合ガスへのアルゴンの追加の効果は、図
５と図６との比較より明らかとなる。既に述べられてい
るように、図５は、酸素及びＴＥＯＳの流量がそれぞれ
１７５ＳＣＣＭ及び９．５ＳＣＣＭの場合のバイアス電
圧が印加された基板上へ堆積された二酸化シリコン膜の
けいたいを模式的に表わした図である。図６は同様の条
件下で混合ガスにアルゴンを流量３５ＳＣＣＭ追加した
場合に堆積された膜を示している。これらの図から明ら
かなように、アルゴンを追加して堆積された膜とアルゴ
ンなしで堆積された膜の形態的な差異は、図５に示され
ている膜にはソフトスポットがあるが図６に示されてい
る膜にはソフトスポットがないという点である。
５と図６との比較より明らかとなる。既に述べられてい
るように、図５は、酸素及びＴＥＯＳの流量がそれぞれ
１７５ＳＣＣＭ及び９．５ＳＣＣＭの場合のバイアス電
圧が印加された基板上へ堆積された二酸化シリコン膜の
けいたいを模式的に表わした図である。図６は同様の条
件下で混合ガスにアルゴンを流量３５ＳＣＣＭ追加した
場合に堆積された膜を示している。これらの図から明ら
かなように、アルゴンを追加して堆積された膜とアルゴ
ンなしで堆積された膜の形態的な差異は、図５に示され
ている膜にはソフトスポットがあるが図６に示されてい
る膜にはソフトスポットがないという点である。
【００３０】以上をまとめると、側壁上の正味のデポジ
ションレートは少なくとも４つのプロセスによって決定
される：レートｒgを有する全体としてのデポジショ
ン、レートｒspを有するスパッタリング、レートｒdを
有する脱着、及びレートｒmを有するイオン誘起マイグ
レーション。正味のデポジションレートｒnetは、従っ
て、ｒnet＝ｒg−ｒsp−ｒd−ｒmで表わされる。
ションレートは少なくとも４つのプロセスによって決定
される：レートｒgを有する全体としてのデポジショ
ン、レートｒspを有するスパッタリング、レートｒdを
有する脱着、及びレートｒmを有するイオン誘起マイグ
レーション。正味のデポジションレートｒnetは、従っ
て、ｒnet＝ｒg−ｒsp−ｒd−ｒmで表わされる。
【００３１】通常の実験条件の下では、（例えば、図３
の曲線Ｂにおいてバイアス電圧の関数として示されてい
るように）デポジションレートｒd及びマイグレーショ
ンレートｒmはスパッタリングレートｒspより遥かに大
きく、かつ、マイグレーションレートｒmはアルゴンイ
オン打ち込みによって著しく増大することが実験的に確
認されている。
の曲線Ｂにおいてバイアス電圧の関数として示されてい
るように）デポジションレートｒd及びマイグレーショ
ンレートｒmはスパッタリングレートｒspより遥かに大
きく、かつ、マイグレーションレートｒmはアルゴンイ
オン打ち込みによって著しく増大することが実験的に確
認されている。
【００３２】例えば、図３に示されている場合のよう
に、基板バイアス電圧がおよそ−３００Ｖからおよそ−
４８０Ｖの間のプロセス条件においては、スパッタリン
グレートがデポジションレートの１０％以上にならない
ことも確認されている。例えば、図３の曲線Ａは、酸
素、アルゴン、及びＴＥＯＳの流量が各々１７５ＳＣＣ
Ｍ、３５ＳＣＣＭ、及び９．５ＳＣＣＭの場合の正味の
デポジションレートを示しており、図３の曲線Ｂは同一
の条件（但し、ＴＥＯＳの流量は０である）下でのスパ
ッタリングレートを示している。この２つの曲線の比較
から、基板バイアス電圧が−４８０Ｖの場合にはスパッ
タリングレートは正味のデポジションレートの僅か約３
％であることが明らかとなる。さらに、この比は、バイ
アス電圧が−３００Ｖへ向かって変化する（すなわち、
絶対値が減少する）につれて急速に低下する。このこと
に関しては、スパッタリングは一般的に方向的であり、
４５゜入射のレートが通常９０゜入射のレートの２−３
倍であることに留意されたい。結果として、堆積された
膜の肩の部分におけるスパッタリングレートは、バイア
ス電圧が−４８０Ｖの場合の図３の条件においては正味
のデポジションレートのおよそ１０％ほどになる。しか
しながら、既に述べられているように、この比はバイア
ス電圧が−３００Ｖに近づくにつれて急速に低下する。
に、基板バイアス電圧がおよそ−３００Ｖからおよそ−
４８０Ｖの間のプロセス条件においては、スパッタリン
グレートがデポジションレートの１０％以上にならない
ことも確認されている。例えば、図３の曲線Ａは、酸
素、アルゴン、及びＴＥＯＳの流量が各々１７５ＳＣＣ
Ｍ、３５ＳＣＣＭ、及び９．５ＳＣＣＭの場合の正味の
デポジションレートを示しており、図３の曲線Ｂは同一
の条件（但し、ＴＥＯＳの流量は０である）下でのスパ
ッタリングレートを示している。この２つの曲線の比較
から、基板バイアス電圧が−４８０Ｖの場合にはスパッ
タリングレートは正味のデポジションレートの僅か約３
％であることが明らかとなる。さらに、この比は、バイ
アス電圧が−３００Ｖへ向かって変化する（すなわち、
絶対値が減少する）につれて急速に低下する。このこと
に関しては、スパッタリングは一般的に方向的であり、
４５゜入射のレートが通常９０゜入射のレートの２−３
倍であることに留意されたい。結果として、堆積された
膜の肩の部分におけるスパッタリングレートは、バイア
ス電圧が−４８０Ｖの場合の図３の条件においては正味
のデポジションレートのおよそ１０％ほどになる。しか
しながら、既に述べられているように、この比はバイア
ス電圧が−３００Ｖに近づくにつれて急速に低下する。
【００３３】一般に、高いプロセス効率を得るためには
高デポジションレートが望ましい。しかしながら、高デ
ポジションレートにおいてキーホールのない膜を生成す
るためには高イオン打ち込みレートが必要であり、この
ことは非常に高いイオン密度、バイアス電圧、及びＲＦ
電力が存在する場合にのみ到達され得るものである。こ
のような条件下ではラジエーションダメージが生じ易く
かつ金属配線パターンが侵されてしまうため、デポジシ
ョンレートは、実際問題としては、任意に高めることが
出来ない。デポジションレートの利用可能な範囲は毎分
およそ２００−６００オングストロームであり、（イオ
ン打ち込みによってしょうずる）スパッタリングレート
の利用可能な範囲は毎分１０−５０オングストロームで
ある。例えば図７に示されているように、デポジション
レートは酸素の流量のＴＥＯＳの流量に対する比に依存
する。酸素のＴＥＯＳに対する体積流量比の利用可能な
範囲はおよそ１０−１５である。特に、酸素の流量が１
７５ＳＣＣＭでありかつ前述の体積流量比の場合には、
結果として得られるデポジションレートは毎分２００オ
ングストロームから６００オングストロームの間とな
る。
高デポジションレートが望ましい。しかしながら、高デ
ポジションレートにおいてキーホールのない膜を生成す
るためには高イオン打ち込みレートが必要であり、この
ことは非常に高いイオン密度、バイアス電圧、及びＲＦ
電力が存在する場合にのみ到達され得るものである。こ
のような条件下ではラジエーションダメージが生じ易く
かつ金属配線パターンが侵されてしまうため、デポジシ
ョンレートは、実際問題としては、任意に高めることが
出来ない。デポジションレートの利用可能な範囲は毎分
およそ２００−６００オングストロームであり、（イオ
ン打ち込みによってしょうずる）スパッタリングレート
の利用可能な範囲は毎分１０−５０オングストロームで
ある。例えば図７に示されているように、デポジション
レートは酸素の流量のＴＥＯＳの流量に対する比に依存
する。酸素のＴＥＯＳに対する体積流量比の利用可能な
範囲はおよそ１０−１５である。特に、酸素の流量が１
７５ＳＣＣＭでありかつ前述の体積流量比の場合には、
結果として得られるデポジションレートは毎分２００オ
ングストロームから６００オングストロームの間とな
る。
【００３４】このことに関しては、図７が圧力３００ｍ
Ｔｏｒｒ、ＲＦ電力７００Ｗ、基板温度３５０゜Ｃの場
合に対応するものではあるが、質的に同様の結果が温度
及び圧力の比較的広い範囲にわたって得られていること
に留意されたい。表面マイグレーションが起こるために
は温度は最低約３００゜Ｃでなければならない。しかし
ながら、約３５０゜Ｃ以上では、デポジションレート
は、温度がさらに上昇するにつれて減少する。
Ｔｏｒｒ、ＲＦ電力７００Ｗ、基板温度３５０゜Ｃの場
合に対応するものではあるが、質的に同様の結果が温度
及び圧力の比較的広い範囲にわたって得られていること
に留意されたい。表面マイグレーションが起こるために
は温度は最低約３００゜Ｃでなければならない。しかし
ながら、約３５０゜Ｃ以上では、デポジションレート
は、温度がさらに上昇するにつれて減少する。
【００３５】イオン打ち込みレートは、部分的には、ア
ルゴンの酸素に対する体積流量比に依存する。酸素の流
量が１７５ＳＣＣＭの場合には、アルゴンの流量は約３
５ＳＣＣＭであることが望ましい。なぜなら、この流量
においてはスパッタリングレートが毎分１０−５０オン
グストロームとなるからである。
ルゴンの酸素に対する体積流量比に依存する。酸素の流
量が１７５ＳＣＣＭの場合には、アルゴンの流量は約３
５ＳＣＣＭであることが望ましい。なぜなら、この流量
においてはスパッタリングレートが毎分１０−５０オン
グストロームとなるからである。
【００３６】酸素の流量は約１７５ＳＣＣＭであること
が望ましい。なぜなら、このレートにおいては圧力、バ
イアス電圧、及びデポジションレートの望ましい値が維
持され得るからである。しかしながら、酸素の流量の利
用可能な範囲は９５ＳＣＣＭから１７５ＳＣＣＭであ
る。
が望ましい。なぜなら、このレートにおいては圧力、バ
イアス電圧、及びデポジションレートの望ましい値が維
持され得るからである。しかしながら、酸素の流量の利
用可能な範囲は９５ＳＣＣＭから１７５ＳＣＣＭであ
る。
【００３７】例 各々高さ０．５μｍで間隔が０．５μｍのアルミニウム
金属配線パターンを有するシリコンウエハが用意され
る。０．８−１．０μｍ厚の二酸化シリコン膜が本発明
に従って各々のウエハ上に形成される。デポジションの
間、温度は３２５゜Ｃ、リアクター内の圧力は３００ｍ
Ｔｏｒｒ、ＲＦ電力レベルは７００Ｗ、ＴＥＯＳの流量
は９．５ＳＣＣＭ、アルゴンの流量は３５ＳＣＣＭであ
った。
金属配線パターンを有するシリコンウエハが用意され
る。０．８−１．０μｍ厚の二酸化シリコン膜が本発明
に従って各々のウエハ上に形成される。デポジションの
間、温度は３２５゜Ｃ、リアクター内の圧力は３００ｍ
Ｔｏｒｒ、ＲＦ電力レベルは７００Ｗ、ＴＥＯＳの流量
は９．５ＳＣＣＭ、アルゴンの流量は３５ＳＣＣＭであ
った。
【００３８】各々相異なる酸素流量で、３バッチのウエ
ハが処理された。
ハが処理された。
【００３９】その結果得られた膜の品質はいくつかの相
異なった方法により検査された。ウエットエッチングレ
ートは、１００Ｈ2Ｏ：１ＨＦエッチング液を用いて２
５゜Ｃで測定された。残留ストレスは、レーザー光を用
いてウエハの曲率を膜のデポジション前後で測定するこ
とにより測定された。ＩＳＩ−４２走査型電子顕微鏡
（ＳＥＭ）が、１００Ｈ2Ｏ：１ＨＦエッチング液で１
分間エッチングされた後２００オングストロームの金を
オーバーコーティングしたサンプルを調べるために用い
られた。
異なった方法により検査された。ウエットエッチングレ
ートは、１００Ｈ2Ｏ：１ＨＦエッチング液を用いて２
５゜Ｃで測定された。残留ストレスは、レーザー光を用
いてウエハの曲率を膜のデポジション前後で測定するこ
とにより測定された。ＩＳＩ−４２走査型電子顕微鏡
（ＳＥＭ）が、１００Ｈ2Ｏ：１ＨＦエッチング液で１
分間エッチングされた後２００オングストロームの金を
オーバーコーティングしたサンプルを調べるために用い
られた。
【００４０】酸素流量が１７５ＳＣＣＭの場合には、ウ
エットエッチレートは毎分８９オングストローム、残留
ストレスは−２．６×１０9ｄｙｎｅ／ｃｍ2、及び屈折
率は１．４６５であった。酸素流量が１２５ＳＣＣＭの
場合には、ウエットエッチレートは毎分８２オングスト
ローム、残留ストレスは−２．０×１０9ｄｙｎｅ／ｃ
ｍ2、及び屈折率は１．４６６であった。酸素流量が７
５ＳＣＣＭの場合には、ウエットエッチレートは毎分８
０オングストローム、残留ストレスは３．４×１０9ｄ
ｙｎｅ／ｃｍ2、及び屈折率は１．４６３であった。
エットエッチレートは毎分８９オングストローム、残留
ストレスは−２．６×１０9ｄｙｎｅ／ｃｍ2、及び屈折
率は１．４６５であった。酸素流量が１２５ＳＣＣＭの
場合には、ウエットエッチレートは毎分８２オングスト
ローム、残留ストレスは−２．０×１０9ｄｙｎｅ／ｃ
ｍ2、及び屈折率は１．４６６であった。酸素流量が７
５ＳＣＣＭの場合には、ウエットエッチレートは毎分８
０オングストローム、残留ストレスは３．４×１０9ｄ
ｙｎｅ／ｃｍ2、及び屈折率は１．４６３であった。
【００４１】堆積された膜の赤外吸収分光により、各酸
素流量の場合とも、観測可能な水あるいはＯＨボンドが
存在していないことが明らかとなった。さらに、三角波
電圧掃引（ＴＶＳ）測定により、各酸素流量の場合にお
いても、可動性イオン不純物が存在しないことが明らか
となった。
素流量の場合とも、観測可能な水あるいはＯＨボンドが
存在していないことが明らかとなった。さらに、三角波
電圧掃引（ＴＶＳ）測定により、各酸素流量の場合にお
いても、可動性イオン不純物が存在しないことが明らか
となった。
【００４２】第二のテストにおいては、二酸化シリコン
膜が酸素流量１７５ＳＣＣＭ、ＴＥＯＳ流量９．５ＳＣ
ＣＭ、反応チャンバー内圧力３００ｍＴｏｒｒ、ＲＦ電
力レベル６００Ｗ、及び基板温度３２０゜Ｃで堆積され
た。図４にそのＳＥＭ写真が示されている一方の膜は、
基板を接地してシャワーヘッドにバイアスをかけた状態
で形成された。同様に図５に示されている他方の膜は、
基板にバイアスをかけかつシャワーヘッドを接地して形
成された。図６に示されている第三の膜は、図５と同様
の条件で混合ガスに流量３５ＳＣＣＭのアルゴンを添加
することによって形成された。
膜が酸素流量１７５ＳＣＣＭ、ＴＥＯＳ流量９．５ＳＣ
ＣＭ、反応チャンバー内圧力３００ｍＴｏｒｒ、ＲＦ電
力レベル６００Ｗ、及び基板温度３２０゜Ｃで堆積され
た。図４にそのＳＥＭ写真が示されている一方の膜は、
基板を接地してシャワーヘッドにバイアスをかけた状態
で形成された。同様に図５に示されている他方の膜は、
基板にバイアスをかけかつシャワーヘッドを接地して形
成された。図６に示されている第三の膜は、図５と同様
の条件で混合ガスに流量３５ＳＣＣＭのアルゴンを添加
することによって形成された。
【００４３】堆積された膜の形態的検査は、膜のサンプ
ルを１００Ｈ2Ｏ：１ＨＦエッチング液で１分間エッチ
ングをした後２００オングストロームの金をオーバーコ
ーティングしてから走査型電子顕微鏡によって行なっ
た。
ルを１００Ｈ2Ｏ：１ＨＦエッチング液で１分間エッチ
ングをした後２００オングストロームの金をオーバーコ
ーティングしてから走査型電子顕微鏡によって行なっ
た。
【００４４】図４のＳＥＭ画像は、ソフトスポット、キ
ーホール、及び丸まった肩の存在を示している。図５は
テーパーを有する側壁とソフトスポットを示している。
図６はテーパーを持った側壁を有しかつキーホールやソ
フトスポットを有さない膜を示している。
ーホール、及び丸まった肩の存在を示している。図５は
テーパーを有する側壁とソフトスポットを示している。
図６はテーパーを持った側壁を有しかつキーホールやソ
フトスポットを有さない膜を示している。
【００４５】以上の説明は、本発明の一実施例に関する
もので，この技術分野の当業者であれば、本発明の種々
の変形例が考え得るが、それらはいずれも本発明の技術
的範囲に包含される。
もので，この技術分野の当業者であれば、本発明の種々
の変形例が考え得るが、それらはいずれも本発明の技術
的範囲に包含される。
【００４６】
【発明の効果】以上述べたごとく、本発明によれば、金
属配線パターン上に、キーホール及びソフトスポットを
有さない高品質の絶縁体膜が形成される。
属配線パターン上に、キーホール及びソフトスポットを
有さない高品質の絶縁体膜が形成される。
【図１】 本発明に係る方法を実現するのに適したパラ
レルプレートリアクタの模式図。
レルプレートリアクタの模式図。
【図２】 基板上に誘導されたＤＣバイアスが入射ＲＦ
電力及び図１のリアクタ内の反応チャンバーの圧力にど
の様に依存するかを示したグラフ。
電力及び図１のリアクタ内の反応チャンバーの圧力にど
の様に依存するかを示したグラフ。
【図３】 正味のデポジションレート及びスパッタリン
グレートが、代表的な場合に、図１のリアクタにおいて
基板バイアス電圧にどの様に依存するかを示したグラ
フ。
グレートが、代表的な場合に、図１のリアクタにおいて
基板バイアス電圧にどの様に依存するかを示したグラ
フ。
【図４】 ある条件の下で形成された二酸化シリコン膜
の形態的性質を示す写真。
の形態的性質を示す写真。
【図５】 図４とは基板バイアス電圧のみ異なる条件の
下で形成された二酸化シリコン膜の形態的性質を表わす
写真。
下で形成された二酸化シリコン膜の形態的性質を表わす
写真。
【図６】 図５とは基板上を流す混合ガス中のアルゴン
の分圧のみ異なる条件の下で形成された二酸化シリコン
膜の形態的性質を表わす写真。
の分圧のみ異なる条件の下で形成された二酸化シリコン
膜の形態的性質を表わす写真。
【図７】 正味のデポジションレートが、代表的な場合
に、酸素のＴＥＯＳに対する流量比にどの様に依存する
かを示したグラフ。
に、酸素のＴＥＯＳに対する流量比にどの様に依存する
かを示したグラフ。
１０ 上部電極（シャワーヘッド） ２０ 下部電極（基板ホルダー） ３０ ＲＦ電源 ４０ 整合ネットワーク ５０ 抵抗ヒーター ６０ 基板 ７０ ウエハトレイ ８０ ローディングチャンバー ９０ プロセシングチャンバー １００ 流量計 １１０ 精密流量計
【手続補正書】
【提出日】平成５年１１月１９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】 ある条件の下で形成された二酸化シリコン薄
膜の写真である。
膜の写真である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】 図４とは基板バイアス電圧のみ異なる条件の
下で形成された二酸化シリコン薄膜の写真である。
下で形成された二酸化シリコン薄膜の写真である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正内容】
【図６】 図５とは基板上を流す混合ガス中のアルゴン
の分圧のみ異なる条件の下で形成された二酸化シリコン
薄膜の写真である。
の分圧のみ異なる条件の下で形成された二酸化シリコン
薄膜の写真である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 パン−ドウ フー アメリカ合衆国 07922 ニュージャージ ィ、バークレイ ハイツ、プレインフィー ルド アヴェニュー 733 (72)発明者 タイ−チャン ドナルド フオ アメリカ合衆国 07974 ニュージャージ ィ、ニュー プロビデンス、マウンテン アヴェニュー 777 (72)発明者 マン フェイ ヤン アメリカ合衆国 07922 ニュージャージ ィ、バークレイ ハイツ、ハイランド サ ークル 75
Claims (5)
- 【請求項１】 ａ）基板表面に形成されそれ以降に堆積
される二酸化シリコン膜中にソフトスポット及びキーホ
ールを生ぜしめる可能性を有する金属パターンを前記表
面に有する前記基板を真空チャンバー内に配置するステ
ップと； ｂ）プラズマ中において反応して堆積のための二酸化シ
リコンを形成し得る混合ガスを供給するステップと； ｃ）前記混合ガスを前記基板上に流すステップと； ｄ）前記混合ガスがプラズマを形成し、当該プラズマか
ら二酸化シリコンが基板上に堆積されて当該二酸化シリ
コンが膜を形成するよう前記基板にＲＦ電界を印加する
ステップと；を含み、 ｅ）前記混合ガスが、酸素、アルゴン、及び、ＴＥＯＳ
及びＴＭＣＴＳよりなるグループのうちの少なくとも一
つの有機シリコン化合物を含み； ｆ）前記基板が負のｄｃバイアス電圧に維持され； ｇ）前記ｄｃバイアス電圧及び前記混合ガスの組成が、
結果として得られる二酸化シリコン膜が実質的にソフト
スポット及び／あるいはキーホールを有さないものであ
るように選択される；ことを特徴とする絶縁体の堆積方
法。 - 【請求項２】 前記ｄｃバイアス電圧が、およそ−３０
０Ｖからおよそ−５００Ｖの間であることを特徴とする
請求項１に記載の方法。 - 【請求項３】 前記二酸化シリコン膜が、少なくとも毎
分約２００オングストローム以上かつ毎分約６００オン
グストローム以下のデポジションレートで堆積され、か
つ、イオン打ち込みが少なくとも毎分約１０オングスト
ローム以上かつ毎分約５０オングストローム以下のスパ
ッタリングレートであることを特徴とする請求項第１項
に記載の方法。 - 【請求項４】 前記アルゴンを流すステップの間、スパ
ッタリングが、もし存在すれば、デポジションレートの
０．１倍以下のスパッタリングレートであることを特徴
とする請求項第３項に記載の方法。 - 【請求項５】 ａ）前記有機シリコン化合物がＴＥＯＳ
であること； ｂ）酸素、ＴＥＯＳ、及びアルゴンの流れが各々それ自
体の流量を有すること； ｃ）酸素の流量が、ＴＥＯＳの流量の少なくとも約１０
倍以上かつ約１５倍以下であること； ｄ）酸素の流量がアルゴンの流量のおよそ５倍であるこ
と； ｅ）堆積ステップの間、前記基板の温度が少なくとも約
３２５゜Ｃ以上約５００゜Ｃ以下であること； ｆ）前記ＲＦ電界の電力密度が、少なくとも約０．３３
Ｗ／ｃｍ2以上かつ約１．６４Ｗ／ｃｍ2以下であるこ
と； ｇ）少なくとも前記ＲＦ電界が印加されている時間の一
部において、前記真空チャンバー内の圧力が少なくとも
約１００ｍＴｏｒｒ以上かつ約５００ｍＴｏｒｒ以下で
あること；を特徴とする請求項第３項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US555128 | 1990-07-19 | ||
| US07/555,128 US5120680A (en) | 1990-07-19 | 1990-07-19 | Method for depositing dielectric layers |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06177123A true JPH06177123A (ja) | 1994-06-24 |
| JPH07101687B2 JPH07101687B2 (ja) | 1995-11-01 |
Family
ID=24216082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3195027A Expired - Lifetime JPH07101687B2 (ja) | 1990-07-19 | 1991-07-10 | 絶縁体の堆積方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5120680A (ja) |
| JP (1) | JPH07101687B2 (ja) |
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| EP2256123A2 (en) | 2005-01-31 | 2010-12-01 | Tosoh Corporation | Cyclic siloxane compound, a material for forming Si-containing film, and its use |
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