JPH06181253A - 半導体ウエハ収納ケース及びその搬送装置 - Google Patents
半導体ウエハ収納ケース及びその搬送装置Info
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- JPH06181253A JPH06181253A JP33190192A JP33190192A JPH06181253A JP H06181253 A JPH06181253 A JP H06181253A JP 33190192 A JP33190192 A JP 33190192A JP 33190192 A JP33190192 A JP 33190192A JP H06181253 A JPH06181253 A JP H06181253A
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- Japan
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- semiconductor wafer
- storage case
- suction
- tray
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体ウエハを複数の箇所から出し入れする
ことができ、しかも半導体ウエハの搬送時にガタツキが
生じたり塵埃を発生したりすることがなく、高速搬送で
きる半導体ウエハ収納ケースを提供する。 【構成】 本半導体ウエハ収納ケース１０は、半導体ウ
エハＷを収納する、半導体ウエハＷと略同一寸法の外径
を有する円形状の凹陥部１１Ａが形成された矩形状のト
レイ１１と、このトレイ１１をその一側縁部で上下方向
に複数連結する連結部１２とを備え、上記各トレイ１１
にはそれぞれの周縁部の上記連結部１２以外の部位の三
辺に上記凹陥部１１Ａに達するウエハ挿脱用溝１１Ｂを
それぞれ設けて構成されている。
ことができ、しかも半導体ウエハの搬送時にガタツキが
生じたり塵埃を発生したりすることがなく、高速搬送で
きる半導体ウエハ収納ケースを提供する。 【構成】 本半導体ウエハ収納ケース１０は、半導体ウ
エハＷを収納する、半導体ウエハＷと略同一寸法の外径
を有する円形状の凹陥部１１Ａが形成された矩形状のト
レイ１１と、このトレイ１１をその一側縁部で上下方向
に複数連結する連結部１２とを備え、上記各トレイ１１
にはそれぞれの周縁部の上記連結部１２以外の部位の三
辺に上記凹陥部１１Ａに達するウエハ挿脱用溝１１Ｂを
それぞれ設けて構成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体ウエハを収納
した半導体ウエハ収納ケース及びその搬送装置に関す
る。
した半導体ウエハ収納ケース及びその搬送装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体ウエハ収納ケース１は、図
８に示すように、一面が開口し且つ内面に半導体ウエハ
Ｗの周縁部が嵌り込む溝１Ａが複数形成された筐体とし
て形成されている。そして、この半導体ウエハ収納ケー
ス１は、半導体ウエハＷを収納した状態で、図９に示す
ように半導体ウエハＷの周縁部と溝１Ａとの間に僅かな
隙間δを形成する略台形状に形成され、半導体ウエハＷ
の出し入れを円滑にできるように構成されている。
８に示すように、一面が開口し且つ内面に半導体ウエハ
Ｗの周縁部が嵌り込む溝１Ａが複数形成された筐体とし
て形成されている。そして、この半導体ウエハ収納ケー
ス１は、半導体ウエハＷを収納した状態で、図９に示す
ように半導体ウエハＷの周縁部と溝１Ａとの間に僅かな
隙間δを形成する略台形状に形成され、半導体ウエハＷ
の出し入れを円滑にできるように構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
半導体ウエハ収納ケース１の場合には、上述のように半
導体ウエハＷをその上方の開口部からしか出し入れする
ことができないため、半導体ウエハＷを出し入れする際
に、半導体ウエハ収納ケース１の向きを変える機構が必
要である上に、収納された半導体ウエハＷと溝１Ａとの
間に隙間δが形成されるため、半導体ウエハＷを出し入
れする方向が一方向に制限され、しかも半導体ウエハＷ
を搬送する際に半導体ウエハＷが溝１Ａでガタツキが生
じ、その時の衝撃で塵埃を発生するという課題があり、
このようなガタツキを抑制するために半導体ウエハ収納
ケース１の搬送速度を遅くしなくてはならないという課
題があった。
半導体ウエハ収納ケース１の場合には、上述のように半
導体ウエハＷをその上方の開口部からしか出し入れする
ことができないため、半導体ウエハＷを出し入れする際
に、半導体ウエハ収納ケース１の向きを変える機構が必
要である上に、収納された半導体ウエハＷと溝１Ａとの
間に隙間δが形成されるため、半導体ウエハＷを出し入
れする方向が一方向に制限され、しかも半導体ウエハＷ
を搬送する際に半導体ウエハＷが溝１Ａでガタツキが生
じ、その時の衝撃で塵埃を発生するという課題があり、
このようなガタツキを抑制するために半導体ウエハ収納
ケース１の搬送速度を遅くしなくてはならないという課
題があった。
【０００４】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、半導体ウエハを複数の箇所から出し入れす
ることができ、しかも半導体ウエハの搬送時にガタツキ
を生じたり塵埃を発生したりすることがなく、高速搬送
できる半導体ウエハ収納ケースを提供することを目的と
している。
れたもので、半導体ウエハを複数の箇所から出し入れす
ることができ、しかも半導体ウエハの搬送時にガタツキ
を生じたり塵埃を発生したりすることがなく、高速搬送
できる半導体ウエハ収納ケースを提供することを目的と
している。
【０００５】また、半導体ウエハ収納ケースを高速搬送
できる半導体ウエハ収納ケースの搬送装置を提供するこ
とを目的としている。
できる半導体ウエハ収納ケースの搬送装置を提供するこ
とを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の半導体ウエハ収納ケースは、半導体ウエハを収納する
凹陥部が形成された収納体と、この収納体をその一側縁
部で上下方向に複数連結する連結部とを備え、上記各収
納体にはそれぞれの周縁部の上記連結部以外の部位に上
記凹陥部に達するウエハ挿脱用溝をそれぞれ複数設けて
構成されたものである。
の半導体ウエハ収納ケースは、半導体ウエハを収納する
凹陥部が形成された収納体と、この収納体をその一側縁
部で上下方向に複数連結する連結部とを備え、上記各収
納体にはそれぞれの周縁部の上記連結部以外の部位に上
記凹陥部に達するウエハ挿脱用溝をそれぞれ複数設けて
構成されたものである。
【０００７】また、本発明の請求項２に記載の半導体ウ
エハ収納ケースは、半導体ウエハを収納する収納体と、
この収納体をその一側縁部で上下方向に複数連結する連
結部とを備え、上記各収納体にはそれぞれの周縁部の上
記連結部以外の部位にウエハ挿脱用溝をそれぞれ複数設
けると共に、上記半導体ウエハの収納部に上記半導体ウ
エハを吸着する吸着穴を設け且つこの吸着穴内に上記収
納体の表面へ突出する突出部を有する開閉部材を弾装
し、また、上記各収納体及び上記連結部には上記連結部
に設けられた吸引部と上記各吸着穴を連通する通路を設
け、上記各吸着穴内に弾装された開閉部材によって上記
吸着穴と上記通路とを開閉可能に構成されたものであ
る。
エハ収納ケースは、半導体ウエハを収納する収納体と、
この収納体をその一側縁部で上下方向に複数連結する連
結部とを備え、上記各収納体にはそれぞれの周縁部の上
記連結部以外の部位にウエハ挿脱用溝をそれぞれ複数設
けると共に、上記半導体ウエハの収納部に上記半導体ウ
エハを吸着する吸着穴を設け且つこの吸着穴内に上記収
納体の表面へ突出する突出部を有する開閉部材を弾装
し、また、上記各収納体及び上記連結部には上記連結部
に設けられた吸引部と上記各吸着穴を連通する通路を設
け、上記各吸着穴内に弾装された開閉部材によって上記
吸着穴と上記通路とを開閉可能に構成されたものであ
る。
【０００８】また、本発明の請求項３に記載の半導体ウ
エハ収納ケースの搬送装置は、半導体ウエハ収納ケース
の把手を把持する把持部と、半導体ウエハ収納ケースに
設けられた吸引部に連結され半導体ウエハを吸引する吸
引機構とを備えて構成されたものである。
エハ収納ケースの搬送装置は、半導体ウエハ収納ケース
の把手を把持する把持部と、半導体ウエハ収納ケースに
設けられた吸引部に連結され半導体ウエハを吸引する吸
引機構とを備えて構成されたものである。
【０００９】
【作用】本発明の請求項１に記載の発明によれば、例え
ば、半導体ウエハを挿入する際には、ピンセット等で把
持した半導体ウエハを複数のウエハ挿脱用溝の一つの部
位から収納体の凹陥部上へ挿入した後、この半導体ウエ
ハを凹陥部で解放すれば半導体ウエハを凹陥部に嵌め込
んだ状態で収納することができ、順次他の複数の収納体
へも同様にして半導体ウエハを収納することができる。
ば、半導体ウエハを挿入する際には、ピンセット等で把
持した半導体ウエハを複数のウエハ挿脱用溝の一つの部
位から収納体の凹陥部上へ挿入した後、この半導体ウエ
ハを凹陥部で解放すれば半導体ウエハを凹陥部に嵌め込
んだ状態で収納することができ、順次他の複数の収納体
へも同様にして半導体ウエハを収納することができる。
【００１０】また、本発明の請求項２に記載の発明によ
れば、半導体ウエハを収納する際には、ピンセット等で
把持した半導体ウエハを複数のウエハ挿脱用溝の一つの
部位から収納体上へ挿入した後、この半導体ウエハを解
放すれば半導体ウエハで吸着穴から突出した突出部を介
して開閉部材を吸着穴に押し込んで吸着穴を吸引部に連
通する通路と連通し、吸引部から半導体ウエハを吸着す
ることができ、順次他の複数の収納体へも同様にして半
導体ウエハを収納することができ、半導体ウエハ収納ケ
ースを搬送する際には、半導体ウエハを吸引部から吸着
して半導体ウエハをガタツクことがなく安定した状態で
高速搬送できる。
れば、半導体ウエハを収納する際には、ピンセット等で
把持した半導体ウエハを複数のウエハ挿脱用溝の一つの
部位から収納体上へ挿入した後、この半導体ウエハを解
放すれば半導体ウエハで吸着穴から突出した突出部を介
して開閉部材を吸着穴に押し込んで吸着穴を吸引部に連
通する通路と連通し、吸引部から半導体ウエハを吸着す
ることができ、順次他の複数の収納体へも同様にして半
導体ウエハを収納することができ、半導体ウエハ収納ケ
ースを搬送する際には、半導体ウエハを吸引部から吸着
して半導体ウエハをガタツクことがなく安定した状態で
高速搬送できる。
【００１１】また、本発明の請求項３に記載の発明によ
れば、把持部で半導体ウエハ収納ケースの把手を把持し
て収納体の凹陥部に収納された半導体ウエハをガタツク
ことなく高速搬送することができ、あるいは把持部で半
導体ウエハ収納ケースの把手を把持すると共に吸引機構
で半導体ウエハを収納体上で吸着することによって半導
体ウエハをガタツクことがなく安定した状態で高速搬送
できる。
れば、把持部で半導体ウエハ収納ケースの把手を把持し
て収納体の凹陥部に収納された半導体ウエハをガタツク
ことなく高速搬送することができ、あるいは把持部で半
導体ウエハ収納ケースの把手を把持すると共に吸引機構
で半導体ウエハを収納体上で吸着することによって半導
体ウエハをガタツクことがなく安定した状態で高速搬送
できる。
【００１２】
【実施例】以下、図１〜図７に示す実施例に基づいて本
発明を説明する。尚、各図中、図１は本発明の半導体ウ
エハ収納ケースの一実施例を示す斜視図、図２は図１に
示す半導体ウエハ収納ケースの収納体の部分を示す斜視
図、図３は図２に示す収納体の正面中央から奥行方向へ
の断面を示す要部断面図、図４は本発明の半導体ウエハ
収納ケースの他の実施例を示す斜視図、図５は図４に示
す半導体ウエハ収納ケースの正面中央から奥行方向への
断面を示す要部断面図、図６は図５に示す半導体ウエハ
収納ケースの下部の収納体を示す部分断面図、図７は本
発明の半導体ウエハ収納ケースの搬送装置の一実施例を
示す図で、図４に示す半導体ウエハ収納ケースを搬送す
る状態を示す斜視図である。
発明を説明する。尚、各図中、図１は本発明の半導体ウ
エハ収納ケースの一実施例を示す斜視図、図２は図１に
示す半導体ウエハ収納ケースの収納体の部分を示す斜視
図、図３は図２に示す収納体の正面中央から奥行方向へ
の断面を示す要部断面図、図４は本発明の半導体ウエハ
収納ケースの他の実施例を示す斜視図、図５は図４に示
す半導体ウエハ収納ケースの正面中央から奥行方向への
断面を示す要部断面図、図６は図５に示す半導体ウエハ
収納ケースの下部の収納体を示す部分断面図、図７は本
発明の半導体ウエハ収納ケースの搬送装置の一実施例を
示す図で、図４に示す半導体ウエハ収納ケースを搬送す
る状態を示す斜視図である。
【００１３】実施例１．本実施例の半導体ウエハ収納ケ
ース１０は、図１〜図３に示すように、半導体ウエハＷ
を収納する、半導体ウエハＷと略同一寸法の外径を有す
る円形状の凹陥部１１Ａが形成された矩形状の収納体と
してのトレイ１１と、このトレイ１１をその一側縁部で
上下方向に複数連結する連結部１２とを備え、上記各ト
レイ１１にはそれぞれの周縁部の上記連結部１２以外の
部位（本実施例では、連結部１２以外の残りの三辺）に
上記凹陥部１１Ａに達するウエハ挿脱用溝１１Ｂをそれ
ぞれ設けて構成されている。
ース１０は、図１〜図３に示すように、半導体ウエハＷ
を収納する、半導体ウエハＷと略同一寸法の外径を有す
る円形状の凹陥部１１Ａが形成された矩形状の収納体と
してのトレイ１１と、このトレイ１１をその一側縁部で
上下方向に複数連結する連結部１２とを備え、上記各ト
レイ１１にはそれぞれの周縁部の上記連結部１２以外の
部位（本実施例では、連結部１２以外の残りの三辺）に
上記凹陥部１１Ａに達するウエハ挿脱用溝１１Ｂをそれ
ぞれ設けて構成されている。
【００１４】また、上記半導体ウエハ収納ケース１０
は、最上段のトレイ１１の上方にこのトレイ１１を同一
大きさに形成された張り出し部１３と、この張り出し部
１３の両側縁に取り付けられた一対の把手１４とを備え
て構成されている。また、上記凹陥部１１Ａの周縁には
テーパ面１１Ｃが形成され、図３に示すように上記ウエ
ハ挿脱用溝１１Ｂからピンセット２０で把持した半導体
ウエハＷを上記トレイ１１へ挿入し、その位置で半導体
ウエハＷを解放すれば半導体ウエハＷがテーパ面１１Ｃ
を介して凹陥部１１Ａ内に自動的に位置決めされるよう
に構成されている。
は、最上段のトレイ１１の上方にこのトレイ１１を同一
大きさに形成された張り出し部１３と、この張り出し部
１３の両側縁に取り付けられた一対の把手１４とを備え
て構成されている。また、上記凹陥部１１Ａの周縁には
テーパ面１１Ｃが形成され、図３に示すように上記ウエ
ハ挿脱用溝１１Ｂからピンセット２０で把持した半導体
ウエハＷを上記トレイ１１へ挿入し、その位置で半導体
ウエハＷを解放すれば半導体ウエハＷがテーパ面１１Ｃ
を介して凹陥部１１Ａ内に自動的に位置決めされるよう
に構成されている。
【００１５】次に、動作について説明する。本実施例の
半導体ウエハ収納ケース１０に半導体ウエハＷを収納す
る場合には、半導体ウエハＷをピンセット２０で把持
し、この半導体ウエハＷをウエハ挿脱用溝１１Ｂからト
レイ１１内に挿入し、この状態でピンセット２０の半導
体ウエハＷを解放すると、半導体ウエハＷはトレイ１１
のテーパ面１１Ｃに落とし込まれ、落とし込まれた半導
体ウエハＷはこのテーパ面１１Ｃを介して凹陥部１１Ａ
に位置決めされた状態で収納される。各トレイ１１に半
導体ウエハＷを収納した後、把手１４、１４で半導体ウ
エハ収納ケース１０を把持した状態で半導体ウエハ収納
ケース１０を搬送しても、半導体ウエハＷは凹陥部１１
Ａでその動きが拘束されているため、半導体ウエハＷに
ガタツキを生じさせることなく目的の場所へ高速搬送す
ることができる。
半導体ウエハ収納ケース１０に半導体ウエハＷを収納す
る場合には、半導体ウエハＷをピンセット２０で把持
し、この半導体ウエハＷをウエハ挿脱用溝１１Ｂからト
レイ１１内に挿入し、この状態でピンセット２０の半導
体ウエハＷを解放すると、半導体ウエハＷはトレイ１１
のテーパ面１１Ｃに落とし込まれ、落とし込まれた半導
体ウエハＷはこのテーパ面１１Ｃを介して凹陥部１１Ａ
に位置決めされた状態で収納される。各トレイ１１に半
導体ウエハＷを収納した後、把手１４、１４で半導体ウ
エハ収納ケース１０を把持した状態で半導体ウエハ収納
ケース１０を搬送しても、半導体ウエハＷは凹陥部１１
Ａでその動きが拘束されているため、半導体ウエハＷに
ガタツキを生じさせることなく目的の場所へ高速搬送す
ることができる。
【００１６】以上説明したように本実施例によれば、複
数の方向から半導体ウエハＷを収納できるようにしたた
め、半導体ウエハＷを収納あるいは取り出す際に半導体
ウエハ収納ケース１０の方向を変える必要がなく、その
向きを変える機構を省略することができると共にその向
きを変える場合に要する時間を節約することができる。
また、半導体ウエハＷを半導体ウエハ収納ケース１０で
搬送する際に、各トレイ１１の凹陥部１１Ａで半導体ウ
エハＷをガタツキなく搬送できるため、半導体ウエハＷ
を高速搬送することができ、しかも搬送時に凹陥部１１
Ａ内で半導体ウエハＷに衝撃がなく塵埃を発生させるこ
となく搬送することができる。
数の方向から半導体ウエハＷを収納できるようにしたた
め、半導体ウエハＷを収納あるいは取り出す際に半導体
ウエハ収納ケース１０の方向を変える必要がなく、その
向きを変える機構を省略することができると共にその向
きを変える場合に要する時間を節約することができる。
また、半導体ウエハＷを半導体ウエハ収納ケース１０で
搬送する際に、各トレイ１１の凹陥部１１Ａで半導体ウ
エハＷをガタツキなく搬送できるため、半導体ウエハＷ
を高速搬送することができ、しかも搬送時に凹陥部１１
Ａ内で半導体ウエハＷに衝撃がなく塵埃を発生させるこ
となく搬送することができる。
【００１７】実施例２．本実施例の半導体ウエハ収納ケ
ース１０は、図４〜図６に示すように、半導体ウエハＷ
を収納するトレイ１１と、このトレイ１１をその一側縁
部で上下方向に複数連結する連結部１２とを備え、上記
各トレイ１１にそれぞれの周縁部の上記連結部１２以外
の部位にウエハ挿脱用溝１１Ｂをそれぞれ設けると共
に、上記半導体ウエハＷの収納部に上記半導体ウエハＷ
を吸着する吸着穴１１Ｄを設け且つこの吸着穴１１Ｄ内
に上記トレイ１１の表面へ突出する突出部１５Ａを有す
る開閉部材としての開閉弁１５を弾装する。また、上記
各トレイ１１及び上記連結部１２には上記連結部１２に
設けられた吸引部１６と上記各吸着穴１１Ｄを連通する
通路１７を設け、上記各吸着穴１１Ｄ内に弾装された開
閉弁１５によって上記吸着穴１１Ｄと上記通路１７とを
開閉可能に構成されている。尚、１４は把手である。
ース１０は、図４〜図６に示すように、半導体ウエハＷ
を収納するトレイ１１と、このトレイ１１をその一側縁
部で上下方向に複数連結する連結部１２とを備え、上記
各トレイ１１にそれぞれの周縁部の上記連結部１２以外
の部位にウエハ挿脱用溝１１Ｂをそれぞれ設けると共
に、上記半導体ウエハＷの収納部に上記半導体ウエハＷ
を吸着する吸着穴１１Ｄを設け且つこの吸着穴１１Ｄ内
に上記トレイ１１の表面へ突出する突出部１５Ａを有す
る開閉部材としての開閉弁１５を弾装する。また、上記
各トレイ１１及び上記連結部１２には上記連結部１２に
設けられた吸引部１６と上記各吸着穴１１Ｄを連通する
通路１７を設け、上記各吸着穴１１Ｄ内に弾装された開
閉弁１５によって上記吸着穴１１Ｄと上記通路１７とを
開閉可能に構成されている。尚、１４は把手である。
【００１８】また、上記開閉弁１５の下方には圧縮バネ
１８が配置され、この圧縮バネ１８で上記開閉弁１５を
上記吸着穴１１Ｄの入口に形成されたフランジ部１１Ｅ
に押圧している。また、上記通路１７は、上記各トレイ
１１の吸着穴１１Ｄの側部から上記連結部１２に達する
ように各トレイ内に形成された第１通路１７Ａと、上記
連結部１２内で上下方向に形成された第２通路１７Ｂと
からなり、この通路１７を介して上記吸着穴１１Ｄと上
記吸引部１６とが連通している。また、上記開閉弁１５
は、図６に示すように、半導体ウエハＷが上記トレイ１
１に収納していない状態では突出部１５Ａが上記吸着穴
１１Ｄから突出し且つ上記通路１７Ａを閉塞しており、
半導体ウエハＷが上記トレイ１１に収納している状態で
は半導体ウエハＷの自重で上記吸着穴１１Ｄ内に退没し
且つ上記通路１７Ａを開放するように構成されている。
１８が配置され、この圧縮バネ１８で上記開閉弁１５を
上記吸着穴１１Ｄの入口に形成されたフランジ部１１Ｅ
に押圧している。また、上記通路１７は、上記各トレイ
１１の吸着穴１１Ｄの側部から上記連結部１２に達する
ように各トレイ内に形成された第１通路１７Ａと、上記
連結部１２内で上下方向に形成された第２通路１７Ｂと
からなり、この通路１７を介して上記吸着穴１１Ｄと上
記吸引部１６とが連通している。また、上記開閉弁１５
は、図６に示すように、半導体ウエハＷが上記トレイ１
１に収納していない状態では突出部１５Ａが上記吸着穴
１１Ｄから突出し且つ上記通路１７Ａを閉塞しており、
半導体ウエハＷが上記トレイ１１に収納している状態で
は半導体ウエハＷの自重で上記吸着穴１１Ｄ内に退没し
且つ上記通路１７Ａを開放するように構成されている。
【００１９】次に、動作について説明する。本実施例の
半導体ウエハ収納ケース１０に半導体ウエハＷを収納す
る場合には、半導体ウエハＷをピンセット２０で把持
し、この半導体ウエハＷをウエハ挿脱用溝１１Ｂからト
レイ１１内に挿入し、この状態でピンセット２０の半導
体ウエハＷを解放すると、半導体ウエハＷはトレイ１１
の収納部に載置され、載置された半導体ウエハＷはその
自重で開閉弁１５を吸着穴１１Ｄ内に退没させて通路１
７を開放する。然る後、吸引機構（図示せず）で吸引部
１６から真空排気すれば、半導体ウエハＷは通路１７及
び吸着穴１１Ｄを介してトレイ１１上に吸着、固定され
る。この半導体ウエハ収納ケース１０を搬送しても、半
導体ウエハＷはトレイ１１上で固定されているため、半
導体ウエハＷにガタツキを生じさせることなく目的の場
所へ高速搬送することができる。
半導体ウエハ収納ケース１０に半導体ウエハＷを収納す
る場合には、半導体ウエハＷをピンセット２０で把持
し、この半導体ウエハＷをウエハ挿脱用溝１１Ｂからト
レイ１１内に挿入し、この状態でピンセット２０の半導
体ウエハＷを解放すると、半導体ウエハＷはトレイ１１
の収納部に載置され、載置された半導体ウエハＷはその
自重で開閉弁１５を吸着穴１１Ｄ内に退没させて通路１
７を開放する。然る後、吸引機構（図示せず）で吸引部
１６から真空排気すれば、半導体ウエハＷは通路１７及
び吸着穴１１Ｄを介してトレイ１１上に吸着、固定され
る。この半導体ウエハ収納ケース１０を搬送しても、半
導体ウエハＷはトレイ１１上で固定されているため、半
導体ウエハＷにガタツキを生じさせることなく目的の場
所へ高速搬送することができる。
【００２０】以上説明したように本実施例によれば、複
数の方向から半導体ウエハＷを収納できるようにすると
共に、半導体ウエハＷを半導体ウエハ収納ケース１０で
搬送する際に、トレイ１１に半導体ウエハＷを載置した
時、開閉弁１５で吸着穴１１Ｄを通路１７を介して吸引
部１６に連通することにより半導体ウエハＷをトレイ１
１上に吸着、固定して半導体ウエハＷをガタツキなく搬
送できるようにしたため、実施例１と同様の作用効果を
期することができる。
数の方向から半導体ウエハＷを収納できるようにすると
共に、半導体ウエハＷを半導体ウエハ収納ケース１０で
搬送する際に、トレイ１１に半導体ウエハＷを載置した
時、開閉弁１５で吸着穴１１Ｄを通路１７を介して吸引
部１６に連通することにより半導体ウエハＷをトレイ１
１上に吸着、固定して半導体ウエハＷをガタツキなく搬
送できるようにしたため、実施例１と同様の作用効果を
期することができる。
【００２１】実施例３．本実施例の半導体ウエハ収納ケ
ースの搬送装置３０は、図７に示すように、半導体ウエ
ハ収納ケース１０の把手１４、１４を把持する把持部３
１、３１と、把持部３１、３１で把持する半導体ウエハ
収納ケース１０の吸引部１６を介して収納された半導体
ウエハＷを吸引する吸引機構３２とを備えて構成されて
いる。そして、上記両把持部３１、３１及び上記吸引機
構３２は、搬送ロボット本体３３に取り付けられ、レー
ル４０に従って移動するように構成されている。そし
て、上記吸引機構３２としては通常の真空排気装置を用
いることができる。また、この搬送装置３０は、図７に
示すように、図４に示す半導体ウエハ収納ケース１０を
搬送する際に好適に用いることができる。勿論、図１に
示す半導体ウエハ収納ケース１０を搬送する際にも同様
に用いることができる。後者の場合には搬送装置３０の
吸引機構３２を使用することなく半導体ウエハ収納ケー
ス１０を搬送することはいうまでもない。
ースの搬送装置３０は、図７に示すように、半導体ウエ
ハ収納ケース１０の把手１４、１４を把持する把持部３
１、３１と、把持部３１、３１で把持する半導体ウエハ
収納ケース１０の吸引部１６を介して収納された半導体
ウエハＷを吸引する吸引機構３２とを備えて構成されて
いる。そして、上記両把持部３１、３１及び上記吸引機
構３２は、搬送ロボット本体３３に取り付けられ、レー
ル４０に従って移動するように構成されている。そし
て、上記吸引機構３２としては通常の真空排気装置を用
いることができる。また、この搬送装置３０は、図７に
示すように、図４に示す半導体ウエハ収納ケース１０を
搬送する際に好適に用いることができる。勿論、図１に
示す半導体ウエハ収納ケース１０を搬送する際にも同様
に用いることができる。後者の場合には搬送装置３０の
吸引機構３２を使用することなく半導体ウエハ収納ケー
ス１０を搬送することはいうまでもない。
【００２２】本実施例の搬送装置３０を用いて図４に示
す半導体ウエハ収納ケース１０を搬送する場合には、そ
の把持部３１、３１で半導体ウエハ収納ケース１０の把
手１４、１４を把持すると共に吸引機構３２を吸引部１
６に連結し、この吸引機構３２で半導体ウエハＷを図６
で示すようにトレイ１１の吸着穴１１Ｄに吸着、固定し
た状態で、半導体ウエハ収納ケース１０を搬送すること
によって半導体ウエハＷにガタツキを生じさせることな
く目的の場所へ高速搬送することができる。そして、搬
送後には吸引機構３２の吸引作用を解除することによっ
て半導体ウエハＷの吸着、固定状態が解除され、各トレ
イ１１から半導体ウエハＷを自由に取り出すことができ
る。
す半導体ウエハ収納ケース１０を搬送する場合には、そ
の把持部３１、３１で半導体ウエハ収納ケース１０の把
手１４、１４を把持すると共に吸引機構３２を吸引部１
６に連結し、この吸引機構３２で半導体ウエハＷを図６
で示すようにトレイ１１の吸着穴１１Ｄに吸着、固定し
た状態で、半導体ウエハ収納ケース１０を搬送すること
によって半導体ウエハＷにガタツキを生じさせることな
く目的の場所へ高速搬送することができる。そして、搬
送後には吸引機構３２の吸引作用を解除することによっ
て半導体ウエハＷの吸着、固定状態が解除され、各トレ
イ１１から半導体ウエハＷを自由に取り出すことができ
る。
【００２３】以上説明したように本実施例によれば、上
記各実施例の半導体ウエハ収納ケース１０を搬送する際
に好適に用いることができ、これによって半導体ウエハ
Ｗを高速搬送することができ、しかも搬送時に半導体ウ
エハＷに衝撃がなく塵埃を発生させることなく搬送する
ことができる。
記各実施例の半導体ウエハ収納ケース１０を搬送する際
に好適に用いることができ、これによって半導体ウエハ
Ｗを高速搬送することができ、しかも搬送時に半導体ウ
エハＷに衝撃がなく塵埃を発生させることなく搬送する
ことができる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明の請求項１に
記載の発明によれば、複数の収納体を上下に連結部で一
体化し且つ各収納体に凹陥部を設け、更に複数箇所で半
導体ウエハの挿脱をできるようにしたため、半導体ウエ
ハを複数の箇所から出し入れすることができ、しかも半
導体ウエハの搬送時にガタツキが生じたり塵埃を発生し
たりすることがなく、高速搬送できる半導体ウエハ収納
ケースを提供することができる。
記載の発明によれば、複数の収納体を上下に連結部で一
体化し且つ各収納体に凹陥部を設け、更に複数箇所で半
導体ウエハの挿脱をできるようにしたため、半導体ウエ
ハを複数の箇所から出し入れすることができ、しかも半
導体ウエハの搬送時にガタツキが生じたり塵埃を発生し
たりすることがなく、高速搬送できる半導体ウエハ収納
ケースを提供することができる。
【００２５】また、本発明の請求項２に記載の発明によ
れば、複数の収納体を上下に連結部で一体化し且つ各収
納体上で半導体ウエハを吸着固定する吸着穴を設け、更
に複数箇所で半導体ウエハの挿脱をできるようにしたた
め、半導体ウエハを複数の箇所から出し入れすることが
でき、しかも半導体ウエハの搬送時にガタツキが生じた
り塵埃を発生したりすることがなく、高速搬送できる半
導体ウエハ収納ケースを提供することができる。
れば、複数の収納体を上下に連結部で一体化し且つ各収
納体上で半導体ウエハを吸着固定する吸着穴を設け、更
に複数箇所で半導体ウエハの挿脱をできるようにしたた
め、半導体ウエハを複数の箇所から出し入れすることが
でき、しかも半導体ウエハの搬送時にガタツキが生じた
り塵埃を発生したりすることがなく、高速搬送できる半
導体ウエハ収納ケースを提供することができる。
【００２６】また、本発明の請求項３に記載の発明によ
れば、請求項２に記載の半導体ウエハ収納ケースを高速
搬送できる搬送装置を提供することができる。
れば、請求項２に記載の半導体ウエハ収納ケースを高速
搬送できる搬送装置を提供することができる。
【図１】本発明の半導体ウエハ収納ケースの一実施例を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図２】図１に示す半導体ウエハ収納ケースのトレイの
部分を示す斜視図である。
部分を示す斜視図である。
【図３】図２に示すトレイの正面中央から奥行方向への
断面を示す要部断面図である。
断面を示す要部断面図である。
【図４】本発明の半導体ウエハ収納ケースの他の実施例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図５】図４に示す半導体ウエハ収納ケースの正面中央
から奥行方向への断面を示す要部断面図である。
から奥行方向への断面を示す要部断面図である。
【図６】図５に示す半導体ウエハ収納ケースの下部のト
レイを示す部分断面図である。
レイを示す部分断面図である。
【図７】本発明の半導体ウエハ収納ケースの搬送装置の
一実施例を示す図で、図４に示す半導体ウエハ収納ケー
スを搬送する状態を示す斜視図である。
一実施例を示す図で、図４に示す半導体ウエハ収納ケー
スを搬送する状態を示す斜視図である。
【図８】従来の半導体ウエハ収納ケースの一例を示す斜
視図である。
視図である。
【図９】図８に示す半導体ウエハ収納ケースの一部を示
す平面図である。
す平面図である。
１０ 半導体ウエハ収納ケース １１ トレイ（収納体） １１Ａ 凹陥部 １１Ｂ ウエハ挿脱用溝 １１Ｄ 吸着穴 １２ 連結部 １４ 把手 １５ 開閉弁（開閉部材） １５Ａ 突出部 １６ 吸引部 １７ 通路 ３０ 半導体ウエハ収納ケースの搬送装置 ３１ 把持部 ３２ 吸引機構
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年９月１６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
半導体ウエハ収納ケース１の場合には、上述のように半
導体ウエハＷをその上方の開口部からしか出し入れする
ことができないため、半導体ウエハＷを出し入れする際
に、半導体ウエハ収納ケース１の向きを変える機構が必
要である上に、収納された半導体ウエハＷと溝１Ａとの
間に隙間δが形成されるため、半導体ウエハＷを搬送す
る際に半導体ウエハＷが溝１Ａでガタツキが生じ、その
時の衝撃で塵埃を発生するという課題があり、このよう
なガタツキを抑制するために半導体ウエハ収納ケース１
の搬送速度を遅くしなくてはならないという課題があっ
た。
半導体ウエハ収納ケース１の場合には、上述のように半
導体ウエハＷをその上方の開口部からしか出し入れする
ことができないため、半導体ウエハＷを出し入れする際
に、半導体ウエハ収納ケース１の向きを変える機構が必
要である上に、収納された半導体ウエハＷと溝１Ａとの
間に隙間δが形成されるため、半導体ウエハＷを搬送す
る際に半導体ウエハＷが溝１Ａでガタツキが生じ、その
時の衝撃で塵埃を発生するという課題があり、このよう
なガタツキを抑制するために半導体ウエハ収納ケース１
の搬送速度を遅くしなくてはならないという課題があっ
た。
Claims (3)
- 【請求項１】 半導体ウエハを収納する凹陥部が形成さ
れた収納体と、この収納体をその一側縁部で上下方向に
複数連結する連結部とを備え、上記各収納体にはそれぞ
れの周縁部の上記連結部以外の部位に上記凹陥部に達す
るウエハ挿脱用溝をそれぞれ複数設けたことを特徴とす
る半導体ウエハ収納ケース。 - 【請求項２】 半導体ウエハを収納する収納体と、この
収納体をその一側縁部で上下方向に複数連結する連結部
とを備え、上記各収納体にはそれぞれの周縁部の上記連
結部以外の部位にウエハ挿脱用溝をそれぞれ複数設ける
と共に、上記収納体に上記半導体ウエハを吸着する吸着
穴を設け且つこの吸着穴内に上記収納体の表面へ突出す
る突出部を有する開閉部材を弾装し、また、上記各収納
体及び上記連結部には上記連結部に設けられた吸引部と
上記各吸着穴を連通する通路を設け、上記各吸着穴内に
弾装された開閉部材によって上記吸着穴と上記通路とを
開閉可能に構成したことを特徴とする半導体ウエハ収納
ケース。 - 【請求項３】 半導体ウエハを収納した収納体に突設さ
れた把手を把持する把持部と、上記収納体に設けられ上
記半導体ウエハを収納体内に吸着、収納するための吸引
部に連結され上記半導体ウエハを吸引する吸引機構とを
備えたことを特徴とする半導体ウエハ収納ケースの搬送
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33190192A JPH06181253A (ja) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | 半導体ウエハ収納ケース及びその搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33190192A JPH06181253A (ja) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | 半導体ウエハ収納ケース及びその搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06181253A true JPH06181253A (ja) | 1994-06-28 |
Family
ID=18248900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33190192A Pending JPH06181253A (ja) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | 半導体ウエハ収納ケース及びその搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06181253A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3011454U (ja) * | 1994-11-22 | 1995-05-30 | 株式会社オハラ | 円板収納容器 |
| JP2007180108A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Miraial Kk | 板材保持容器からの板材出し入れ方法 |
| CN117174629A (zh) * | 2023-11-02 | 2023-12-05 | 南昌中微半导体设备有限公司 | 托盘载具和smif盒装载设备 |
-
1992
- 1992-12-11 JP JP33190192A patent/JPH06181253A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3011454U (ja) * | 1994-11-22 | 1995-05-30 | 株式会社オハラ | 円板収納容器 |
| JP2007180108A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Miraial Kk | 板材保持容器からの板材出し入れ方法 |
| CN117174629A (zh) * | 2023-11-02 | 2023-12-05 | 南昌中微半导体设备有限公司 | 托盘载具和smif盒装载设备 |
| CN117174629B (zh) * | 2023-11-02 | 2024-04-19 | 南昌中微半导体设备有限公司 | 托盘载具和smif盒装载设备 |
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