JPH061838U - 直動形ガイド装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 負荷容量を大きくして剛性を向上させる。保
持器の重量を小さくする。 【構成】 直線状ガイドレールと移動体との間に、複数
のポケット11、12が上下２列に形成されかつ両者に対し
て移動しうる保持器３を介在させ、各ポケット11、12に
ボール13を保持させた直動形ガイド装置である。上側の
ポケット11と下側のポケット12とを前後方向に食い違い
状に形成する。上側のポケット11を上方に開口させる。
下側のポケット12を下方に開口させる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、たとえば半導体製造装置や、ＯＡ機器や、計測機器などのテーブ ルの直線移動のために用いられる直動形ガイド装置に関する。

【０００２】 この明細書において、前後、左右は、移動体の移動方向についていうものとす る。

【０００３】

【従来の技術】

従来、この種直動形ガイド装置として、直線状ガイドレールと、ガイドレール に沿って移動する移動体と、ガイドレールと移動体との間に介在させられ、かつ ガイドレールおよび移動体に対して移動しうる保持器と、保持器に上下２列に形 成された複数のポケット内にそれぞれ保持されているボールとよりなり、ポケッ トが穴状となされるとともに、上側の各ポケットが下側の各ポケットの真上に形 成されているものが知られている。

【０００４】 この直動形ガイド装置は、ボールが移動方向に間隔をおいて保持器に保持され ているので、隣接するボールが接触せず、しかも移動体に設けられた循環路をボ ールが循環するタイプの直動形ガイド装置のようにボールを反転させる必要がな いので、移動がスムーズに行われる。さらに、部品点数が少なくなって製造コス トが安くなるという利点もある。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、従来の直動形ガイド装置を、ミニチュアタイプの直動形ガイド装置 に適用した場合、保持器のポケットが上述のように形成されていることに起因し て、次のような問題が生じる。すなわち、限られたスペースの中ではボールの大 きさおよび数を多くすることはできず、負荷容量が小さくなるとともに剛性が低 下する。

【０００６】 この考案の目的は、上記問題を解決した直動形ガイド装置を提供することにあ る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

この考案による直動形ガイド装置は、 直線状ガイドレールと、ガイドレールに沿って移動する移動体と、ガイドレー ルと移動体との間に介在させられ、かつガイドレールおよび移動体に対して移動 しうる保持器と、保持器に上下２列に形成された複数のポケット内にそれぞれ保 持されているボールとよりなる直動形ガイド装置であって、 上側のポケットと下側のポケットとが前後方向に食い違い状に形成され、上側 のポケットが上方に開口させられるとともに下側のポケットが下方に開口させら れているものである。

【０００８】

【作用】

保持器における上側のポケットと下側のポケットとが前後方向に食い違い状に 形成されていると、保持器の限られた大きさの中で、ボールの大きさを従来のも のに比べて大きくすることができるとともに、数も多くすることができる。また 、上側のポケットが上方に開口させられるとともに下側のポケットが下方に開口 させられていると、従来の穴状ポケットを有する保持器に比べて、重量を小さく することができる。

【０００９】

【実施例】

以下、この考案の１実施例を、図面を参照して説明する。

【００１０】 図１および図２は直動形ガイド装置の全体構成を示し、図３は保持器を示す。

【００１１】 図１および図２において、直動形ガイド装置は、直線状ガイドレール(1) と、 ガイドレール(1) に跨がって移動する横断面略逆Ｕ字形の移動体(2) と、ガイド レール(1) の左右両側面と移動体(2) の左右両脚状部分(2a)との間に配置され、 かつガイドレール(1) および移動体(2) に対して移動しうる板状保持器(3) とを 備えている。

【００１２】 ガイドレール(1) の左右両側面に、それぞれ前後方向に伸びる凸条(1a)が形成 されており、凸条(1a)の上下両側にそれぞれ前後方向に伸びるボールガイド溝(4 ) が形成されている。ガイドレール(1) の上面に前後方向に伸びる溝(1b)が全長 にわたって形成されている。溝(1b)の底壁部分(1c)にはこれを上下方向に貫通し たねじ穴(5) が形成されている。このようなガイドレール(1) は削り出し加工に よって形成され、ねじ穴(5) は底壁部分(1c)の下方から形成されている。ガイド レール(1) は、たとえば半導体製造装置のベッド(6) 上に固定されている。すな わち、図２に示すように、ねじ穴(5) の内径よりも小さな外径を有する軸部(7a) を備えたボルト(7) を、上方からねじ穴(5) に通し、ベッド(6) に形成されたね じ穴(8) にねじ込むことにより固定されている。ねじ穴(5) は底壁部分(1c)の下 方から形成されているので、ねじ穴(5) を形成するさいに、底壁部分(1c)の下面 にばりが発生することはなく、底壁部分(1c)をベッド(6) 上面に密着させるため のばり取り加工を施す必要がなくなる。ボルト(7) の頭部(7b)は、ガイドレール (1) の上面から上方に突出しないように溝(1b)内に収容されている。また、ベッ ドの下方からガイドレール(1) を固定する必要がある場合があるが、この場合に は、ベッドとして、ねじ穴(8) が形成されたものに代えて、ガイドレール(1) の ねじ穴(5) よりも大きな内径を有するばか穴が形成されたものを使用し、このば か穴に、下方からボルトを通して底壁部分(1c)に形成されているねじ穴(5) にね じ込むことによって固定することが可能になる。

【００１３】 移動体(2) の左右両側の脚状部分(2a)におけるガイドレール(1) の左右両側面 に対向する面に、それぞれボールガイド溝(4) と対向する上下２つのボールガイ ド溝(9) が形成されている。また、移動体(2) の左右両脚状部分(2a)の上端部ど うしを連結する連結部分(2b)にはこれを上下方向に貫通したねじ穴(10)が形成さ れている。このような移動体(2) はプレス加工により形成され、ねじ穴(10)は連 結部分(2b)の上方から形成されている。移動体(2) は、たとえば半導体製造装置 のテーブル（図示略）の下面に固定されている。すなわち、テーブルに形成され 、かつねじ穴(10)の内径よりも大きな内径を有するばか穴に、上方からボルト（ 図示略）を通してねじ穴(10)にねじ込むことにより、固定されている。ねじ穴(1 0)は連結部分(1b)の上方から形成されているので、ねじ穴(10)を形成するさいに 、連結部分(2b)上面にばりが発生することはなく、連結部分(2b)をテーブル下面 に密着させるためのばり取り加工を施す必要がなくなる。

【００１４】 保持器(3) におけるガイドレール(1) の左右両側面と対向する面に、凸条(1a) が入る逃げ溝(3a)が全長にわたって形成されている。保持器(3) に、両ボールガ イド溝(4)(5)と対応するように、複数のポケット(11)(12)が上下２列に形成され ており、各ポケット(11)(12)内にボール(13)が保持されている。図３に示すよう に、上側の列のポケット(11)と下側の列のポケット(12)とは前後方向に食い違い 状、すなわち千鳥配置状となっている。また、上側のポケット(11)が上方に開口 させられるとともに下側のポケット(12)が下方に開口させられている。

【００１５】 このような構成において、移動体(2) がガイドレール(1) に対して移動すると 、保持器(3) はこれと同方向に移動体(2) の略半分の速度で移動する。保持器(3 ) における上側の列のポケット(11)と下側の列のポケット(12)とが前後方向に食 い違い状に形成されていると、保持器(3) の限られた大きさの中で、ボール(13) の大きさを比較的に大きくすることができるとともに、数も多くすることができ るので、負荷容量が大きくなって剛性が向上する。また、上側のポケット(11)が 上方に開口させられるとともに下側のポケット(12)が下方に開口させられている と、重量を小さくすることができる。

【００１６】

【考案の効果】

この考案の直動形ガイド装置によれば、上述のように、保持器の限られた大き さの中で、ボールの大きさを従来のものに比較して大きくすることができるとと もに、数も多くすることができるので、負荷容量が大きくなって剛性が向上する 。また、上側のポケットが上方に開口させられるとともに下側のポケットが下方 に開口させられているので、保持器の重量を小さくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案による直動形ガイド装置の全体構成を
示す平面図である。

【図２】図１のII−II線拡大断面図である。

【図３】保持器を示す側面図である。

【符号の説明】

１ ガイドレール ２ 移動体 ３ 保持器 １１ ポケット １２ ポケット １３ ボール

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 直線状ガイドレールと、ガイドレールに
   沿って移動する移動体と、ガイドレールと移動体との間
   に介在させられ、かつガイドレールおよび移動体に対し
   て移動しうる保持器と、保持器に上下２列に形成された
   複数のポケット内にそれぞれ保持されているボールとよ
   りなる直動形ガイド装置であって、 上側のポケットと下側のポケットとが前後方向に食い違
   い状に形成され、上側のポケットが上方に開口させられ
   るとともに下側のポケットが下方に開口させられている
   直動形ガイド装置。