JPH06187681A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH06187681A JPH06187681A JP35458992A JP35458992A JPH06187681A JP H06187681 A JPH06187681 A JP H06187681A JP 35458992 A JP35458992 A JP 35458992A JP 35458992 A JP35458992 A JP 35458992A JP H06187681 A JPH06187681 A JP H06187681A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magneto
- layer
- optical recording
- recording medium
- recording layer
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 小さい外部磁界で良好な記録・消去が可能な
光磁気記録媒体を提供する。 【構成】 プリグルーブ付き透明基板1上に干渉層2、
記録層3、保護層4、反射層5を順次形成した構成にお
いて、記録層3に下記一般式化1で表わされるTbDy
FeCo膜であり、かつ膜面に垂直方向に磁化容易軸を
有し室温での保磁力が2〜8(KOe)である膜を用い
る。 【化1】 (但し、0<x≦0.5,0.8≦y<1.0及び0.
19≦z<0.21である)
光磁気記録媒体を提供する。 【構成】 プリグルーブ付き透明基板1上に干渉層2、
記録層3、保護層4、反射層5を順次形成した構成にお
いて、記録層3に下記一般式化1で表わされるTbDy
FeCo膜であり、かつ膜面に垂直方向に磁化容易軸を
有し室温での保磁力が2〜8(KOe)である膜を用い
る。 【化1】 (但し、0<x≦0.5,0.8≦y<1.0及び0.
19≦z<0.21である)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ光を用いて情報の
記録、再生、消去を行う光磁気ディスク等の光磁気記録
媒体に関するものであり、特に低磁界での高C/N化を
目的とした光磁気記録媒体に関する。
記録、再生、消去を行う光磁気ディスク等の光磁気記録
媒体に関するものであり、特に低磁界での高C/N化を
目的とした光磁気記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】光磁気
ディスクはレーザ光を用いて情報の記録、再生及び消去
を行うため、従来からの光ディスクと同様に記憶容量が
大きく、しかも記録層に磁性体を用いているため書き換
えが可能である。又非接触で記録、再生が出来、塵埃の
影響も受けないことから信頼性にも優れている。よって
現在研究開発が活発に行われており、又数年前に商品化
されて以来、光ファイルシステムやパソコンの外部記憶
装置等への展開が急速に進んでいる。
ディスクはレーザ光を用いて情報の記録、再生及び消去
を行うため、従来からの光ディスクと同様に記憶容量が
大きく、しかも記録層に磁性体を用いているため書き換
えが可能である。又非接触で記録、再生が出来、塵埃の
影響も受けないことから信頼性にも優れている。よって
現在研究開発が活発に行われており、又数年前に商品化
されて以来、光ファイルシステムやパソコンの外部記憶
装置等への展開が急速に進んでいる。
【0003】この光磁気記録層(以下記録層と記す)の
材料としては、TbFeCo、NdDyFeCo、Tb
DyFeCo等の希土類−遷移金属(RE−TM)非晶
質合金が、粒界ノイズが無く、スパッタリングを用いる
ことによって容易に垂直磁化膜が得られることから現在
最も多く用いられている。
材料としては、TbFeCo、NdDyFeCo、Tb
DyFeCo等の希土類−遷移金属(RE−TM)非晶
質合金が、粒界ノイズが無く、スパッタリングを用いる
ことによって容易に垂直磁化膜が得られることから現在
最も多く用いられている。
【0004】また、ここで光磁気記録媒体の消去・記録
原理をまず現在一般に採用されている光変調方式につい
て説明する。データの消去は外部から磁界を与えた状態
でレーザ光を連続照射して熱し、外部磁界と同じ方向に
記録層の磁化をそろえる。データの記録は外部磁界を消
去時から反転させた状態にし、データマークを記録する
ところだけレーザ光の出力を大きくして、記録層を熱
し、記録層の磁化を反転させる。
原理をまず現在一般に採用されている光変調方式につい
て説明する。データの消去は外部から磁界を与えた状態
でレーザ光を連続照射して熱し、外部磁界と同じ方向に
記録層の磁化をそろえる。データの記録は外部磁界を消
去時から反転させた状態にし、データマークを記録する
ところだけレーザ光の出力を大きくして、記録層を熱
し、記録層の磁化を反転させる。
【0005】一方、磁界変調方式は光変調方式とは逆
で、記録時にレーザ光を連続照射した状態にして、デー
タマークを記録するところに記録方向の磁界を印加する
方式で、光変調方式と違ってダイレクトオーバーライト
が可能であるため将来の記録方式として盛んに開発が進
められている。これら外部磁界は大きすぎると光磁気記
録再生装置内の磁界発生部(電磁石)が大きくなってし
まったり、又消費電力が多くなってしまったりする。特
に磁界変調方式の場合、この問題は重要である。よって
外部磁界はなるべく小さい方が良い。しかし現在の光磁
気記録媒体は少なくとも300(Oe)以上の磁界を印
加しないと十分なC/Nが得られていない。
で、記録時にレーザ光を連続照射した状態にして、デー
タマークを記録するところに記録方向の磁界を印加する
方式で、光変調方式と違ってダイレクトオーバーライト
が可能であるため将来の記録方式として盛んに開発が進
められている。これら外部磁界は大きすぎると光磁気記
録再生装置内の磁界発生部(電磁石)が大きくなってし
まったり、又消費電力が多くなってしまったりする。特
に磁界変調方式の場合、この問題は重要である。よって
外部磁界はなるべく小さい方が良い。しかし現在の光磁
気記録媒体は少なくとも300(Oe)以上の磁界を印
加しないと十分なC/Nが得られていない。
【0006】本発明はこのような従来の光磁気記録媒体
の欠点を解消するためになされたもので、外部磁界が小
さくても良好な記録・消去が可能な光磁気記録媒体を提
供することを目的とする。
の欠点を解消するためになされたもので、外部磁界が小
さくても良好な記録・消去が可能な光磁気記録媒体を提
供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段及び作用】よって、本発明
者らは、上述の欠点を克服すべく鋭意検討した結果、光
磁気記録層に特定の組成を有するTbDyFeCo膜で
あって、膜面に垂直方向に磁化容易軸を有し室温での保
磁力が2〜8KOeである膜を採用することによって、
特に低磁界で良好な記録及び消去が可能となることを見
出し、本発明を完成するに至った。
者らは、上述の欠点を克服すべく鋭意検討した結果、光
磁気記録層に特定の組成を有するTbDyFeCo膜で
あって、膜面に垂直方向に磁化容易軸を有し室温での保
磁力が2〜8KOeである膜を採用することによって、
特に低磁界で良好な記録及び消去が可能となることを見
出し、本発明を完成するに至った。
【0008】即ち、本発明によれば、透明基板上に少な
くとも光磁気記録層が形成された構成を有する光磁気記
録媒体において、前記光磁気記録層が下記一般式化1で
表わされるTbDyFeCo膜であり、かつ膜面に垂直
方向に磁化容易軸を有し室温での保磁力が2〜8(KO
e)であることを特徴とする光磁気記録媒体が提供され
る。
くとも光磁気記録層が形成された構成を有する光磁気記
録媒体において、前記光磁気記録層が下記一般式化1で
表わされるTbDyFeCo膜であり、かつ膜面に垂直
方向に磁化容易軸を有し室温での保磁力が2〜8(KO
e)であることを特徴とする光磁気記録媒体が提供され
る。
【化1】 (但し、0<x≦0.5,0.8≦y<1.0及び0.
19≦z<0.21である) また、本発明によれば、上記構成において、前記光磁気
記録層にAl、Ti、Cr、Pd、Ta、Ptの1種以
上が1〜5原子%含有されていることを特徴とする光磁
気記録媒体が提供される。また、本発明によれば、上記
構成において、透明基板上に少なくとも干渉層、前記光
磁気記録層、保護層及び反射層が順次形成されており、
前記光磁気記録層の膜厚が150〜300Åであること
を特徴とする光磁気記録媒体が提供される。さらに、本
発明によれば、上記構成において、前記反射層がSi、
Ti、Cr、Zr、Mo、Pd、Ta、Ptの1種以上
を1〜4原子%含有するAl合金であることを特徴とす
る光磁気記録媒体が提供される。
19≦z<0.21である) また、本発明によれば、上記構成において、前記光磁気
記録層にAl、Ti、Cr、Pd、Ta、Ptの1種以
上が1〜5原子%含有されていることを特徴とする光磁
気記録媒体が提供される。また、本発明によれば、上記
構成において、透明基板上に少なくとも干渉層、前記光
磁気記録層、保護層及び反射層が順次形成されており、
前記光磁気記録層の膜厚が150〜300Åであること
を特徴とする光磁気記録媒体が提供される。さらに、本
発明によれば、上記構成において、前記反射層がSi、
Ti、Cr、Zr、Mo、Pd、Ta、Ptの1種以上
を1〜4原子%含有するAl合金であることを特徴とす
る光磁気記録媒体が提供される。
【0009】本発明の光磁気記録媒体を具体的な構成例
に基づき図1に沿って説明する。図1の構成例は、プリ
グルーブ付き透明基板1上に干渉層2、記録層3、保護
層4及び反射層5を順次形成した構成を有する。以下各
要素について詳述する。
に基づき図1に沿って説明する。図1の構成例は、プリ
グルーブ付き透明基板1上に干渉層2、記録層3、保護
層4及び反射層5を順次形成した構成を有する。以下各
要素について詳述する。
【0010】(基板)本発明に用いる透明基板1として
は、ポリカーボネート(PC)、ポリメチルメタクリレ
ート(PMMA)、アモルファスポリオレフィン(AP
O)等の樹脂からなる溝付き成形基板、又はアルミノケ
イ酸、バリウム硼珪酸等のガラス表面に溝付き紫外線硬
化樹脂(エポキシアクリレート等)層を形成した基板等
が挙げられる。これらの基板はディスク形状をしてお
り、厚みは0.6〜1.2mm程度である。図1の1A
はガラス基板、1Bは紫外線硬化樹脂層を示したもので
ある。
は、ポリカーボネート(PC)、ポリメチルメタクリレ
ート(PMMA)、アモルファスポリオレフィン(AP
O)等の樹脂からなる溝付き成形基板、又はアルミノケ
イ酸、バリウム硼珪酸等のガラス表面に溝付き紫外線硬
化樹脂(エポキシアクリレート等)層を形成した基板等
が挙げられる。これらの基板はディスク形状をしてお
り、厚みは0.6〜1.2mm程度である。図1の1A
はガラス基板、1Bは紫外線硬化樹脂層を示したもので
ある。
【0011】(干渉層)本発明においては、上記基板1
と記録層3との間に干渉層2を設けている。この干渉層
2には屈折率の高い(1.8以上)透明な膜を用い、こ
の層における再生光の多重反射を利用してみかけのカー
回転角(θk)を増大させ、それによってC(キャリ
ア)レベルを上げ、又反射率を小さくすることでN(ノ
イズ)レベルを下げて、トータルでC/Nを向上させる
ことを目的としている。又、RE−TM非晶質合金のよ
うに酸化等による腐食を起こしやすい材料を記録層3に
用いているため、この干渉層2は記録層3の腐食を防止
する保護膜としての役割りも兼ね備えていなければなら
ない。それには基板1からの水や酸素の侵入を防ぎ、そ
れ自身の耐食性が高く、かつ記録層3との反応性が小さ
いことが必要である。具体的な材料としては、SiO、
SiO2 、Al2 O3 、Ta2 O5 等の金属酸化物、S
i、Al、Zr、Ge等との金属窒化物、ZnS等の金
属硫化物が挙げられるが、特にSi、B、O、Nのうち
少なくともSiとNを含む化合物(SiN、SiON、
SiBN、SiBON)が適している。尚、これらは多
層膜であってもよく、膜厚は屈折率によっても異なる
が、通常トータルで500〜2000Åで好ましくは8
00〜1200Åである。
と記録層3との間に干渉層2を設けている。この干渉層
2には屈折率の高い(1.8以上)透明な膜を用い、こ
の層における再生光の多重反射を利用してみかけのカー
回転角(θk)を増大させ、それによってC(キャリ
ア)レベルを上げ、又反射率を小さくすることでN(ノ
イズ)レベルを下げて、トータルでC/Nを向上させる
ことを目的としている。又、RE−TM非晶質合金のよ
うに酸化等による腐食を起こしやすい材料を記録層3に
用いているため、この干渉層2は記録層3の腐食を防止
する保護膜としての役割りも兼ね備えていなければなら
ない。それには基板1からの水や酸素の侵入を防ぎ、そ
れ自身の耐食性が高く、かつ記録層3との反応性が小さ
いことが必要である。具体的な材料としては、SiO、
SiO2 、Al2 O3 、Ta2 O5 等の金属酸化物、S
i、Al、Zr、Ge等との金属窒化物、ZnS等の金
属硫化物が挙げられるが、特にSi、B、O、Nのうち
少なくともSiとNを含む化合物(SiN、SiON、
SiBN、SiBON)が適している。尚、これらは多
層膜であってもよく、膜厚は屈折率によっても異なる
が、通常トータルで500〜2000Åで好ましくは8
00〜1200Åである。
【0012】(記録層)本構成例の特徴はこの記録層3
にある。この記録層3は下記の一般式化1で表わされる
TbDyFeCo膜であり、かつ膜面に垂直方向に磁化
容易軸を有し、室温での保磁力が2〜8(KOe)であ
る。
にある。この記録層3は下記の一般式化1で表わされる
TbDyFeCo膜であり、かつ膜面に垂直方向に磁化
容易軸を有し、室温での保磁力が2〜8(KOe)であ
る。
【化1】 (但し、0<x≦0.5,0.8≦y<1.0及び0.
19≦z<0.21である) TbDyFeCoは一般にθk(カー回転角)が大きく
(0.25〜0.35deg)かつTc(キュリー温度)
が低い(140〜180℃)ため、高C/Nで高感度な
媒体が実現出来る光磁気記録材料であると言える(特開
昭59−61011号公報)。しかし前述したような低
磁界で高C/Nを得るためにはRE(TbDy)が補償
組成よりも少ないTM(FeCo)リッチな組成でかつ
室温でのHc(保磁力)が2〜8(KOe)である必要
がある。
19≦z<0.21である) TbDyFeCoは一般にθk(カー回転角)が大きく
(0.25〜0.35deg)かつTc(キュリー温度)
が低い(140〜180℃)ため、高C/Nで高感度な
媒体が実現出来る光磁気記録材料であると言える(特開
昭59−61011号公報)。しかし前述したような低
磁界で高C/Nを得るためにはRE(TbDy)が補償
組成よりも少ないTM(FeCo)リッチな組成でかつ
室温でのHc(保磁力)が2〜8(KOe)である必要
がある。
【0013】尚、記録層3には耐食性を向上させるため
にAl、Cr、Ti、Pt、Pdが少量(1〜5原子
%)が含有されていても良い。膜厚は図1に示したよう
な反射層5を設けた媒体構成の場合は150〜300Å
が適している。反射層5を設けた構成は、記録層3のカ
ー効果とファラデー効果の両方が利用出来るためC/N
(信号対雑音比)やジッター特性に優れている。
にAl、Cr、Ti、Pt、Pdが少量(1〜5原子
%)が含有されていても良い。膜厚は図1に示したよう
な反射層5を設けた媒体構成の場合は150〜300Å
が適している。反射層5を設けた構成は、記録層3のカ
ー効果とファラデー効果の両方が利用出来るためC/N
(信号対雑音比)やジッター特性に優れている。
【0014】(保護層)通常、記録層3上には保護層4
を設ける。但し、設けなくても本発明の効果は損なわれ
ない。この保護層4は空気中(片面仕様の場合)、又は
接着剤(両面仕様の場合)からの水分や酸素又はハロゲ
ン元素のように記録層3に有害な物質の侵入を防止し、
記録層3を保護する目的で設けられるため、干渉層2同
様それ自身の耐食性が高く、記録層3との反応性が小さ
いことが必要である。具体的な材料は干渉層2として挙
げたものと同様である。この保護層4の膜厚はC/Nや
記録感度にも大きな影響を及ぼすが、通常0〜600Å
が好ましい。
を設ける。但し、設けなくても本発明の効果は損なわれ
ない。この保護層4は空気中(片面仕様の場合)、又は
接着剤(両面仕様の場合)からの水分や酸素又はハロゲ
ン元素のように記録層3に有害な物質の侵入を防止し、
記録層3を保護する目的で設けられるため、干渉層2同
様それ自身の耐食性が高く、記録層3との反応性が小さ
いことが必要である。具体的な材料は干渉層2として挙
げたものと同様である。この保護層4の膜厚はC/Nや
記録感度にも大きな影響を及ぼすが、通常0〜600Å
が好ましい。
【0015】(反射層)記録層3上に直接もしくは保護
層4を介して反射層5を設けてもよい。記録媒体の高C
/N、高感度化のためにこの反射層5は再生光に対して
反射率が高く、熱伝導率は小さい方が良い。また、当然
耐食性がなければならない。具体的な材料として、S
i、Ti、Cr、Zr、Mo、Pd、Pt、Taの1種
以上を1〜4原子%含有したAl合金が好ましい。膜厚
は薄すぎるとC/Nが低下し、厚すぎると記録感度が悪
くなるため300〜600Åが適当である。
層4を介して反射層5を設けてもよい。記録媒体の高C
/N、高感度化のためにこの反射層5は再生光に対して
反射率が高く、熱伝導率は小さい方が良い。また、当然
耐食性がなければならない。具体的な材料として、S
i、Ti、Cr、Zr、Mo、Pd、Pt、Taの1種
以上を1〜4原子%含有したAl合金が好ましい。膜厚
は薄すぎるとC/Nが低下し、厚すぎると記録感度が悪
くなるため300〜600Åが適当である。
【0016】(作製法等)基板1上に干渉層2、記録層
3、保護層4及び反射層5を形成する手段としては、ス
パッタリング、イオンプレーティング等の物理蒸着法、
プラズマCVDのような化学蒸着法等が用いられる。
3、保護層4及び反射層5を形成する手段としては、ス
パッタリング、イオンプレーティング等の物理蒸着法、
プラズマCVDのような化学蒸着法等が用いられる。
【0017】又、層構成は図1に示した以外に、保護層
4あるいは反射層5の上にさらに5〜10μmの有機保
護層(カバー層)等を設けたり、又それらの膜どうしを
接着剤によって貼り合わせた構成でも本発明の効果は損
なわれない。
4あるいは反射層5の上にさらに5〜10μmの有機保
護層(カバー層)等を設けたり、又それらの膜どうしを
接着剤によって貼り合わせた構成でも本発明の効果は損
なわれない。
【0018】
【実施例】以下本発明の実施例を述べるが、本発明はこ
れら実施例に限定されるものではない。
れら実施例に限定されるものではない。
【0019】実施例1〜3 直径130mm、厚さ、1.2mmのガラス上に紫外線
(UV)硬化樹脂からなるプリグルーブを形成した基板
をスパッタ装置の真空槽内にセットし、5×10-7To
rr以下になるまで真空排気した。次いでArとN2 の
混合ガスを真空槽内に導入し、圧力を3×10-3Tor
rに調整し、Siをターゲットとして放電電力2KW
(4W/cm2 )で高周波マグネトロンスパッタリング
を行い、干渉層としてSiN膜を1000Å堆積した。
続いてTbDyFeCo合金をターゲットとして直流マ
グネトロンスパッタリングによって記録層であるTbD
yFeCo膜を200Å形成した(組成及び室温での保
磁力は表1を参照)。更に保護層として干渉層と同様な
方法によってSiN膜を300Å、反射層としてAlT
i膜を500Å順次形成して本発明の実施例となる光磁
気記録媒体を得た。尚、表1のHcは基板(ガラス)面
より測定したθk−H曲線より求めた。
(UV)硬化樹脂からなるプリグルーブを形成した基板
をスパッタ装置の真空槽内にセットし、5×10-7To
rr以下になるまで真空排気した。次いでArとN2 の
混合ガスを真空槽内に導入し、圧力を3×10-3Tor
rに調整し、Siをターゲットとして放電電力2KW
(4W/cm2 )で高周波マグネトロンスパッタリング
を行い、干渉層としてSiN膜を1000Å堆積した。
続いてTbDyFeCo合金をターゲットとして直流マ
グネトロンスパッタリングによって記録層であるTbD
yFeCo膜を200Å形成した(組成及び室温での保
磁力は表1を参照)。更に保護層として干渉層と同様な
方法によってSiN膜を300Å、反射層としてAlT
i膜を500Å順次形成して本発明の実施例となる光磁
気記録媒体を得た。尚、表1のHcは基板(ガラス)面
より測定したθk−H曲線より求めた。
【0020】
【表1】
【0021】比較例1〜3 実施例と同様な方法を用いて干渉層、記録層、保護層、
反射層を形成したが、記録層として、本発明で限定した
特性の範囲外のTbDyFeCo膜(組成及び室温での
保磁力は表1参照)を用いたものを比較例として用意し
た。
反射層を形成したが、記録層として、本発明で限定した
特性の範囲外のTbDyFeCo膜(組成及び室温での
保磁力は表1参照)を用いたものを比較例として用意し
た。
【0022】実施例及び比較例の光磁気記録媒体の記録
/消去時の外部磁界(Hex)とC/Nとの関係を図
2、3に示す。尚、測定条件は以下の通りである。 ・記録半径 30mm ・レーザ波長 780nm ・記録周波数 4.9MHz ・ディスクの回転数 2400rpm(CA
V) ・記録レーザパワー 6mW ・再生レーザパワー 1mW
/消去時の外部磁界(Hex)とC/Nとの関係を図
2、3に示す。尚、測定条件は以下の通りである。 ・記録半径 30mm ・レーザ波長 780nm ・記録周波数 4.9MHz ・ディスクの回転数 2400rpm(CA
V) ・記録レーザパワー 6mW ・再生レーザパワー 1mW
【0023】図2、3より、比較例と比べて本発明の実
施例の方がいずれも300(Oe)以下の低磁界でC/
Nが高くなっている。
施例の方がいずれも300(Oe)以下の低磁界でC/
Nが高くなっている。
【0024】上記では具体的な実施例として光変調方式
用の媒体として説明を行ったが、磁界変調方式を用いた
ダイレクトオーバーライト用光磁気記録媒体としても充
分効果が発揮される。
用の媒体として説明を行ったが、磁界変調方式を用いた
ダイレクトオーバーライト用光磁気記録媒体としても充
分効果が発揮される。
【0025】
【発明の効果】以上、本発明によれば、記録層に特定の
組成範囲でかつ特定の特性をもったTbDyFeCo膜
を用いることによって低磁界においても高C/Nな光磁
気記録媒体が実現出来る。
組成範囲でかつ特定の特性をもったTbDyFeCo膜
を用いることによって低磁界においても高C/Nな光磁
気記録媒体が実現出来る。
【図1】本発明の光磁気記録媒体の具体的な構成例を示
す断面図である。
す断面図である。
【図2】実施例1〜3の光磁気記録媒体の記録/消去時
の外部磁界(Hex)とC/Nとの関係を示す図であ
る。
の外部磁界(Hex)とC/Nとの関係を示す図であ
る。
【図3】比較例1〜3の光磁気記録媒体の記録/消去時
の外部磁界(Hex)とC/Nとの関係を示す図であ
る。
の外部磁界(Hex)とC/Nとの関係を示す図であ
る。
1 透明基板 2 干渉層 3 記録層 4 保護層 5 反射層
Claims (4)
- 【請求項1】 透明基板上に少なくとも光磁気記録層が
形成された構成を有する光磁気記録媒体において、前記
光磁気記録層が下記一般式化1で表わされるTbDyF
eCo膜であり、かつ膜面に垂直方向に磁化容易軸を有
し室温での保磁力が2〜8(KOe)であることを特徴
とする光磁気記録媒体。 【化1】 (但し、0<x≦0.5,0.8≦y<1.0及び0.
19≦z<0.21である) - 【請求項2】 前記光磁気記録層にAl、Ti、Cr、
Pd、Ta、Ptの1種以上が1〜5原子%含有されて
いることを特徴とする請求項1に記載の光磁気記録媒
体。 - 【請求項3】 透明基板上に少なくとも干渉層、光磁気
記録層、保護層及び反射層が順次形成されており、前記
光磁気記録層の膜厚が150〜300Åであることを特
徴とする請求項1又は2に記載の光磁気記録媒体。 - 【請求項4】 前記反射層がSi、Ti、Cr、Zr、
Mo、Pd、Ta、Ptの1種以上を1〜4原子%含有
したAl合金であることを特徴とする請求項3に記載の
光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35458992A JPH06187681A (ja) | 1992-12-16 | 1992-12-16 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35458992A JPH06187681A (ja) | 1992-12-16 | 1992-12-16 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06187681A true JPH06187681A (ja) | 1994-07-08 |
Family
ID=18438578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35458992A Pending JPH06187681A (ja) | 1992-12-16 | 1992-12-16 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06187681A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06318346A (ja) * | 1993-02-25 | 1994-11-15 | Gold Star Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| EP0674310A1 (en) * | 1994-03-24 | 1995-09-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magneto-optical recording medium and method of producing the same |
-
1992
- 1992-12-16 JP JP35458992A patent/JPH06187681A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06318346A (ja) * | 1993-02-25 | 1994-11-15 | Gold Star Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| EP0674310A1 (en) * | 1994-03-24 | 1995-09-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magneto-optical recording medium and method of producing the same |
| US5635309A (en) * | 1994-03-24 | 1997-06-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magneto-optical recording medium |
| US5730846A (en) * | 1994-03-24 | 1998-03-24 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method of producing a magneto-optical recording medium |
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