JPH0620710B2 - ディスク部材の移送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、磁気ディスク，光ディスク等の製造工程時に
おいて、ディスク部材を各処理工程に自動的に移送する
ディスク部材の移送装置に関するものである。

［従来の技術］ 磁気ディスク，光ディスク等のように、表面に記録層を
形成してなる記録媒体は、それを製造するために種々の
工程を経る必要があり、これら各工程にその基板となる
ディスク部材の移送装置が用いられる。

ところで、前述した磁気ディスク，光ディスク等は表面
に記録層が形成される関係上、ディスク部材の表面に傷
の発生がないことは勿論のこと、油汚れや塵埃等の異物
が付着しないように保持する必要がある。特に、磁気デ
ィスクにあっては、記録情報の高密度化、応答の迅速化
等の要請から、その磁性体被膜の薄膜化が図られるが、
このように磁性体被膜を薄膜に形成する場合には、ディ
スク部材の表面は汚損等がなく完全に清浄な状態に保持
する必要がある。このために、工程の後位の段階に近づ
くに従ってディスク部材の清浄化、無塵化が必要とな
る。

従来技術によるディスク部材の移送装置としては、駆動
手段によって駆動せしめられてディスク部材を把持して
移送する移送装置をそれぞれの工程間毎に各別に設置
し、こられの移送装置を作動させることによって、ディ
スク部材を順次各工程に移送して該各工程における所定
の処理を行なうようにしていた。

［発明が解決しようとする問題点］ 前述した従来技術の如く、各工程間毎に移送装置を設け
ることは、その装置構成が複雑かつ大型化することにな
る。とりわけ、無塵環境下において処理を行なう必要の
ある磁気ディスク製造装置を構成する場合においては、
その装置構成部材の小型化、コンパクト化が強く要請さ
れるが、前述の如く、各工程毎に移送装置を設置するこ
とは、かかる小型化の要請に対する後退的要因となって
いた。

本発明は叙上の点に鑑みてなされたもので、単一の移送
装置によって複数の工程間にディスク部材を移送させる
ことができるようにし、もって移送装置の構成を簡単で
小型かつコンパクトなものとすることを目的とするもの
である。

［問題点を解決するための手段］ 前述の目的を達成するために、本発明は、９０度の角度
幅をもって往復回動する主軸と、該主軸の軸線と直交す
る方向に９０度の角度間隔を置いた４つの部位のうちの
３箇所の位置に連結したアームと、他の１箇所に設けた
駆動部とを有し、前記各アームとの先端には、それぞれ
ディスク部材の外周縁または内周縁を着脱可能に把持す
る３個のチャッキングローラと、該各チャッキングロー
ラが装着され、回動支点を中心として回動する作動片
と、３個の作動片を同時に回動させるカム部材をとから
なるチャック部材を設け、また前記駆動部には、モータ
により所定角度往復回動する回転円板を装着して、該回
転円板と各アームに設けた各チャック部材のカム部材と
の間を駆動ロッドで連結し、前記モータにより回転円板
を回転駆動することによって、３箇所設けたアームのそ
れぞれに設けたチャック部材を同時に開閉させて、それ
ぞれディスク部材のチャック及びチャックの解除を行わ
せると共に、前記主軸を９０度往復回動させることによ
って、３個のディスク部材を同時に受け取り位置から受
け渡し位置に移載する構成としたことを特徴とするもの
である。

［作用］ 前述のように構成することによって、主軸に取付けた複
数のアームのうち第１のアームは第１の工程と第２の工
程との間を往復し、第２のアームは第２の工程と第３の
工程との間を往復し、第３のアームは第３の工程と第４
の工程との間というように、各アームをそれぞれ一の工
程とこれに続く工程との間を往復動し得るようになる。

そこで、まず第１のアームを第１の工程において、その
チャック部材によってディスク部材を把持し、主軸を前
進方向、即ち次工程に移行する方向にディスク部材を移
送する。そして、このディスク部材の移送が完了する
と、主軸を前述の前進方向とは反対方向である後退方向
に回動させる。然る後、この第１のアームによって次に
この第１の工程に移送されたディスク部材をチャックす
るが、このとき第２の工程に位置する先行のディスク部
材は第２のアームによってチャックされることになる。
そこで、主軸を再び前進方向に回動させると、第２の工
程にある先行のディスク部材は第２のアームにより第３
の工程に、また後続のディスク部材は第１のアームによ
って第２の工程に移送せしめられる。そして、順次この
主軸の前進方向、後退方向への回動を繰り返し、その間
にチャック部材によるディスク部材の把持、脱着を繰り
返すことによってディスク部材を複数の工程間に移送す
ることができる。

而して、単一の主軸における９０度の角度毎の４つの部
位のうち３箇所にアームを設けて、これら各アームにチ
ャック部材を装着し、これら各チャック部材を開閉駆動
する駆動手段を他の１箇所に設けて、この駆動手段によ
って３本の駆動ロッドを同時に押し引き動作させるよう
にしているので、移送装置の構成を簡単で小型かつコン
パクトに形成することができ、各チャック部材の開閉動
作を常に同期させた状態で行われるから、この移送装置
の制御性が容易となる。

しかも、主軸に取付けた各アームはそれぞれ２つの工程
間におけるディスク部材の移送を行なうようになってい
るから、工程の進行に伴って清浄化が必要なディスク部
材がアームの作動によって汚損される等の不都合を生じ
ることはない。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。

本実施例においては、第５図に示した如く、磁気ディス
クにおけるディスク部材１を洗浄するための洗浄装置に
おいて、搬入部Ａから洗浄部Ｂに、洗浄部Ｂから乾燥部
Ｃ、そして乾燥部Ｃから搬出部Ｄに移送するために設置
するようにしたものが示されている。

而して、移送装置２は第１図乃至第４図に示したような
構造となっている。即ち、第１図に示したように３つの
アーム3a,3b,3cが主軸４に取付けられており、該各アー
ム3a,3b,3cはこの主軸４と直交する平面上において、略
Ｔ字状に取付けられ、第１のアーム3aと第２のアーム3b
との間及び第２のアーム3bと第３のアーム3cとの間は９
０度の角度を有する。これら各アーム3a,3b,3cのそれぞ
れの先端部は円板状の支持部５となり、該支持部５には
第２図に示したように、３個のチャッキングローラ６を
有するチャック部材７が設けられており、該各チャッキ
ングローラ６は作動片８に立設した支持軸９に回転自在
に取付けられている。そして、これらの各作動片８は支
持部５上に設けた回動手点10に回動可能に取付けられる
と共に該作動片８に取付けたローラ11がばね12によって
所定角度回動可能なカム板13のカム面に当接する方向に
付勢されている。そして、このカム板13を回動させる回
動軸14は支持部５におけるチャッキングローラ６の配設
部とは反対側の面に突出せしめられて、該回動軸14には
レバー15が連結されている。さらに、該レバー15には駆
動ロッド16の一端が取付けられ、該駆動ロッド16他端は
モータ17の出力軸17aに取付けた回転円板18に連結され
て、該モータ17を所定角度回動させることによって駆動
ロッド16を介してレバー15を回動させることができるよ
うになっており、このレバー15の回動によってカム板13
が回動せしめられて、チャック部材７を構成するチャッ
キングローラ６を第１図において第３のアーム3cに示し
たようにディスク部材１の外周縁部に当接するチャック
位置と第２のアーム3bに示したようにディスク部材１の
外周縁部から離間したチャック解除位置との間に変位せ
しめられるようになっている。

前述の各アーム3a,3b,3cは主軸４の作動によってこれら
の間隔と一致する９０度往復回動すると共にその方向に
も往復動することができるようになっている。このため
に、主軸４はプーリ19とスプライン結合されており、該
プーリ19と往復動駆動源（図示せず）との間にはベルト
20が巻回して設けられ、これによって主軸４は９０度往
復回動せしめられることになる。また、主軸４の先端に
はクランク軸21が連結されており、このクランク軸21に
より主軸４はその軸方向に往復動せしめられるようにな
っている。

ディスク部材１の移送装置は前述のように構成されるも
ので、この移送装置は例えば、第５図に示したように、
ディスク部材１の洗浄装置に設置されて、ディスク部材
１を搬入部Ａから洗浄部Ｂへ、洗浄部Ｂから乾燥部Ｃ
へ、さらに乾燥部Ｃから搬出部Ｄへ移送することができ
るようになっている。

而して、搬入部Ａには搬入ラック31と該搬入ラック31に
載置したディスク部材１を取り出す搬入ハンドラ32とが
設けられ、該搬入ハンドラ32によってディスク部材１は
移送装置２のアーム3aにおけるチャック部材７に対面す
る位置に搬入される。そして、該移送装置２をその主軸
４を軸方向に変位させると共にカム板13を回動させて、
各チャック部材７を作動させることによって、ハンドラ
32から第一のアーム3aにディスク部材１の移載が行なわ
れる。

そこで、主軸４を第４図中矢印Ｘで示したように、軸方
向に変位させて前記搬入ハンドラ32から離間させると共
に、９０度回動させて、この第１のアーム3aを洗浄部Ｂ
に移行させる。該洗浄部Ｂにはロータリテーブル33が設
置されており、該ロータリテーブル33は４つの作業区画
部に区画形成され、これら各作業区画部には第１のアー
ム3aから移送されるディスク部材１をチャックするチャ
ック部材34が設けられている。そこで、第４図中の矢印
Ｙで示したように主軸４をロータリテーブル33に近接す
る方向に変位させ、該ロータリテーブル33の作業区画部
に設けたチャック部材34にディスク部材１を移載する。
このロータリテーブル33に設けた各作業区画部に対応し
てディスク部材１に対して所定の洗浄作業を行なう洗浄
具35、すすぎ具36及びエッジ洗浄具37がそれぞれチャッ
ク部材34に支持されたディスク部材１に対して接離する
ことができるように設置されており、ロータリテーブル
33を所定角度ずつ回動させる間にこれら洗浄具35、すす
ぎ具36及びエッジ洗浄具37によってディスク部材１の洗
浄が行なわれる。そして、この間に主軸４をロータリテ
ーブル33から離間するＸ方向に変位させると共に、第１
のアーム3aを搬入部Ａに復帰させる。次に、前述のよう
にしてロータリテーブル33が１回転する間にディスク部
材１の洗浄が完了し、このディスク部材１は乾燥部Ｃに
移行せしめられることになる。そこで、移送装置２の主
軸４をＹ方向に変位させて、ロータリテーブル33のチャ
ック部材34によって支持されたディスク部材１に第２の
アーム3bのチャック部材７を対面させ、該該チャック部
材７を作動させることによって該第２のアーム3bに移載
し、主軸４をロータリテーブル33から離間させて、９０
度回動させることによって乾燥部Ｃに移送せしめられ、
該乾燥部Ｃにおいて、高速スピン乾燥等の手段でディス
ク部材１の乾燥が行なわれる。

さらに、前述の乾燥が完了すると、前述と同様にして主
軸４をＸ方向，前進方向への回動、Ｙ方向の順に作動さ
せることによって移送装置２の第３のアーム3cによりデ
ィスク部材１は該乾燥部Ｃから搬出部Ｄに移送され、該
搬出部Ｄに設置した搬出ハンドラ38に移載されて、該搬
出ハンドラ38によって搬出ラック39に搭載され、該搬出
ラック39によって外部に搬出される。

このように、主軸４のＸ方向への軸方向変位，前進方向
への回動，Ｙ方向への軸方向変位，後退方向への回動か
らなる１回の動作によって、搬入部Ａにあるディスク部
材１を第１のアーム3aにより洗浄部Ｂに、第２のアーム
3bにより洗浄部Ｂにあるディスク部材１は乾燥部Ｃに、
また乾燥部Ｃにあるディスク部材１が第３のアーム3cに
より搬出部Ｄに同時に移行せしめられることになる。従
って、このような主軸４の動作を繰返すことにより連続
的にディスク部材１の洗浄，乾燥を行なうことができ
る。そして、この主軸４の動作時において、第１のアー
ム3aは第１の工程である搬入部Ａと第２の工程である洗
浄部Ｂとの間を往復動し、第２のアーム3bは第２の工程
である洗浄部Ｂと第３の工程である乾燥部Ｃとの間を往
復動し、また第３のアーム3cは第３の工程である乾燥部
Ｃと第４の工程である搬出部Ｄとの間を往復動するよう
になっているために、搬入部Ａにおいて塵埃等の付着し
たディスク部材１をチャックすることよって汚損された
第１のアーム3aが洗浄された後のディスク部材１と接触
するおそれはなく、また洗浄，乾燥の完了したディスク
部材１をチャックする第３のアーム3cは搬入時において
塵埃等の付着したディスク部材１や洗浄後において洗浄
液の付着したディスク部材１と接触して汚損されるおそ
れがなく、ディスク部材１の円滑かつ確実な洗浄，乾燥
が行なわれる。

しかも、ディスク部材１をチャックして移送する第１，
第２，第３のアーム3a,3b,3cを単一の主軸４によって作
動させるようにしているから、移送装置の構成が簡単で
小型化，コンパクト化が図られ、無塵環境下において種
々の処理作業を行なう必要のあるディスク部材の製造装
置に好適に用いられる。また、第１，第２，第３のアー
ム3a,3b,3cを単一の主軸４によって同時に作動させるよ
うにすることによって、その制御が容易になると共に動
作の安定を図ることもできる。

なお、前述の実施例においては、本発明の移送装置をデ
ィスク部材の洗浄，乾燥作業を行なう装置に付設するよ
うに構成したものを示したが、要は磁気ディスク，光デ
ィスク等の製造時において、ディスク部材を複数の工程
間に移送するものであれば、これ以外の部分においても
使用することができる。

［発明の効果］ 本発明は以上のように構成したので、下記の諸効果を奏
する。

単一の主軸に、９０度毎にそれぞれチャック部材を
有する３個のアームと、これら各アームのチャック部材
を同時に開閉駆動させるための駆動手段とを取付けて、
ディスク部材を移送するように構成としたので、簡単
で、小型かつコンパクトな構成で、ディスク部材を１枚
ずつ順次４つの工程に確実に移送でき、 ３個のディスク部材を同時に受け取り、かつ受け渡
すようにしているので、ディスク部材を受け取って所定
の加工乃至処理を行う各工程の作動部材を同時に作動さ
せることができる等、制御性も良好になり、 モータで回転円板を所定角度回転させることによっ
て、それぞれアームを介して３箇所のカム部材を変位さ
せるようになし、このカム部材によってチャックローラ
を変位させて、ディスク部材のチャック及びチャック解
除の動作を行わせるようにしているので、簡単な構造に
よって、チャック及びチャック解除の動作を確実に行わ
せることができ、この動作をカム手段以外の、例えば遊
星歯車機構等を用いて行う場合等と比較して、構造的に
も、また組立上の点でも著しく簡単になるだけでなく、
回動部分が少なく、またバックラッシュのばらつき等に
よるチャック位置のずれがない等の点から、作動の安定
性及びチャック及びチャック解除時におけるディスク部
材の位置精度が良好となる結果、ディスク部材の移送の
精度が極めて高く、 さらに回転軸を９０度往復回動させることによって
ディスク部材の移送を行わせるようにしているから、そ
れに取付けた各アームは一の工程とその次の工程との間
にのみディスク部材の移載を行わせることになり、アー
ム及びそれに装着したチャック部材等に汚損物が付着し
ていても、この汚損されたものは次の工程より先には移
行しなくなるので、最終工程におけるディスク部材の汚
損が防止されるの効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す移送装置の全体構成
図、第２図はチャック部材の構成説明図、第３図はチャ
ック部材の作動機構の構成説明図、第４図は回動軸の作
動説明図、第５図は移送装置の洗浄装置に付設した状態
を示す構成説明図である。 １：ディスク部材、２：移送装置、3a,3b,3c：アーム、
４：主軸、６：チャッキングローラ、７：チャック部
材、16：回動軸、Ａ：搬入部、Ｂ：洗浄部、Ｃ：乾燥
部、Ｄ：搬出部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】９０度の角度幅をもって往復回動する主軸
   と、該主軸の軸線と直交する方向に９０度の角度間隔を
   置いた４つの部位のうちの３箇所の位置に連結したアー
   ムと、他の１箇所に設けた駆動部とを有し、前記各アー
   ムの先端には、それぞれディスク部材の外周縁または内
   周縁を着脱可能に把持する３個のチャッキングローラ
   と、該各チャッキングローラが装着され、回動支点を中
   心として回動する作動片と、３個の作動片を同時に回動
   させるカム部材とからなるチャック部材を設け、また前
   記駆動部には、モータにより所定角度往復回動する回転
   円板を装着して、該回転円板と各アームに設けた各チャ
   ック部材のカム部材との間を駆動ロッドで連結し、前記
   モータにより回転円板を回転駆動することによって、３
   箇所設けたアームのそれぞれに設けたチャック部材を同
   時に開閉させて、それぞれディスク部材のチャック及び
   チャックの解除を行わせると共に、前記主軸を９０度往
   復回動させることによって、３個のディスク部材を同時
   に受け取り位置から受け渡し位置に移載する構成とした
   ことを特徴とするディスク部材の移送装置。