JPH0572011B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は磁気デイスク、光デイスク等のように
表面に記録層が形成されるデイスク部材を洗浄、
乾燥するデイスク部材の洗浄装置に関するもので
ある。

従来の技術 デイスク部材として、例えば、磁気デイスク
は、アルミニウム等の円環状板体からなるデイス
ク部材をラツプ加工等の研削加工を施こすことに
より平滑化し、然る後に該デイスク部材の表面に
磁性体を塗布することによつて、磁気記録層が形
成されるようになつている。ここで、前述の記録
層の膜圧を均一なものにするために、予じめデイ
スク部材の表面に塵埃等の異物が付着していない
状態となして、磁性体の塗布を行う必要がある。
このために、記録層の形成前、また必要に応じて
記録層形成後にもデイスク部材の洗浄が行なわれ
る。

従来、このデイスク部材の洗浄は、多数のデイ
スク部材をラツクに支持させた状態で洗浄液に浸
漬させ、この洗浄液を高周波振動させたり、また
は洗浄液中でスポンジ等の洗浄具を用いて表面を
拭うようにしていた。

発明が解決しようとする問題点 前述のように、高周波振動により洗浄を行うよ
うにすると、洗浄装置の全体構造が複雑となるだ
けでなく、装置構成が大型になる等の不都合があ
り、しかもデイスク部材の汚れのうち油汚れのよ
うなものを完全に除去できないという不都合もあ
つた。また、手作業による洗浄は手間がかかると
共に、製品としての磁気デイスクや光デイスクの
製造コストも高くなる等の欠点があつた。

本発明は前述した従来技術の欠点を解消するた
めになされたもので、簡単な構成で、小型でコン
パクトな装置を使用してデイスク部材の自動洗浄
を容易に行なうことができるようにしたデイスク
部材の洗浄装置を提供することを、その目的とす
るものである。

問題点を解決するための手段 前述の目的を達成するために、本発明の特徴と
するところは、ハウジング内に、それぞれデイス
ク部材を立設状態に収納する搬入用及び搬出用の
ラツクを装架する搬入部及び搬出部と、それぞれ
デイスク部材の表面を洗浄する洗浄部及び洗浄後
のデイスク部材を乾燥する乾燥部とを設け、前記
洗浄部は低所位置に垂直に配置したロータリテー
ブルを有し、該ロータリテーブルには、それぞれ
デイスク部材をチヤツクするチヤツク部材を設け
た複数の部位に区画形成して、少なくとも洗浄及
びすすぎからなる所要数の作業を行うようにな
し、また前記乾燥部は、該洗浄部より高所位置に
配置して、開閉可能なカバーを備え、前記搬出部
は最高所位置に配置し、またそれぞれデイスクを
チヤツクするチヤツク部材を１または複数箇所に
設けた搬入用ハンドラ、移載用ハンドラ及び搬出
用ハンドラを設けて、搬入用ハンドラから移載用
ハンドラに、移載用ハンドラから洗浄部に、洗浄
部から移載用ハンドラを介して乾燥部に、乾燥部
から移載用ハンドラを介して搬出用ハンドラにデ
イスク部材を受け渡す構成としたことにある。

作 用 前述のように構成される洗浄装置を使用してデ
イスク部材の洗浄を行うには、多数のデイスク部
材を立設状態にしてラツクに設置し、このラツク
をハウジングに設けた搬送部を搬送させる間に搬
入用ハンドラで取出して、移載用ハンドラに移載
し、この移載用ハンドラから低所に位置する洗浄
部に移載する。ここで、洗浄部はロータリテーブ
ルを有し、このロータリテーブルには複数の作業
区画を備えているから、例えば洗浄及びすすぎ、
また表面洗浄、エツジ洗い及びすすぎ等複数の作
業を行うことができる。洗浄部で複数の工程を経
て、洗浄処理されたデイスク部材は、この洗浄部
より高所に位置する乾燥部に移行し、該乾燥部に
設けたカバー内で乾燥される。このように、乾燥
部を洗浄部より高所に位置させることによつて、
洗浄作業と乾燥作業とを同時に行わせても、洗浄
作業の影響で乾燥作業中及び乾燥後のデイスク部
材に液体が再付着するおそれはない。乾燥作業が
完了すると、移載用ハンドラによつて、乾燥後の
デイスク部材を取出して、搬出用ハンドラに移載
し、この搬出用ハンドラで、乾燥部よりさらに高
所に設けた搬出部に設置した搬出用ラツクに移行
される。

このように、デイスク部材の搬入部、搬出部と
洗浄部及び乾燥部をユニツト化した状態でハウジ
ング内に設置し、ハンドリング部材により搬入部
における搬入用ラツクから１枚ずつデイスク部材
を取出して洗浄、乾燥すると共に、洗浄、乾燥後
のデイスク部材をハンドリング部材によつて搬出
部における搬出用ラツクに搭載するようにしたか
ら、小型でコンパクトな装置を使用してラツクツ
ーラツクによるデイスク部材の自動洗浄を容易に
行うことができるようになる。

実施例 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に
説明するに、この実施例ではデイスク部材をラツ
プ加工した後における洗浄を行うものとして説明
する。

まず、第１図及び第２図において、１は洗浄装
置本体を構成するハウジングで、該ハウジング１
内には搬入用ラツク２が搬送される搬入部３、搬
出用ラツク４が搬送される搬出部５が形成される
と共に、隔壁１ａにより区画形成された作業室６
と駆動室７が形成されている。

作業室６内は洗浄部８と乾燥部９とに分れ、か
つ該作業室６には搬入用ラツク２においてラツピ
ング処理されたデイスク部材１０を立設状態で搬
送され、シヤワー１１で予備洗浄されたデイスク
部材を１枚ずつ取出す搬入用のハンドリング部材
としての搬入ハンドラ１２、洗浄、乾燥後のデイ
スク部材１０を搬出用ラツク４に移送する搬出用
のハンドリング部材としての搬出ハンドラ１３及
び搬入ハンドラ１２から洗浄部８、該洗浄部８か
ら乾燥部９、該乾燥部９から搬出ハンドラ１３へ
デイスク部材を移載する移載ハンドラ１４が配設
されている。

ここで、搬入部３、搬出部５、洗浄部８及び乾
燥部９のハウジング１内における位置関係は、搬
入部３は搬出部５より低所にあり、洗浄部８が最
も低所に位置し、乾燥部９は洗浄部８より高所に
位置し、搬出部５は最も高所に位置するように配
置されている。従つて、洗浄部８から洗浄化され
たデイスク部材１０は乾燥部９、搬出部５に向か
うに従つて順次高所に移行せしめられることにな
る。

洗浄部８は第３図乃至第５図にしたように、ロ
ータリテーブル１５を有し、該ロータリテーブル
１５上は十字状の区画壁１５ａによつて４つの作
業部に区画形成されている。第４図において、図
中上方の作業部Ａは、移載ハンドラ４との間でデ
イスク部材１０の着脱を行う着脱部となり、図中
右方の作業部Ｂは洗浄装置１６よりデイスク部材
１０の表裏の各面を洗浄する洗浄部、下方の作業
部Ｃはすすぎ装置１７によつて洗浄後のすすぎを
行うすすぎ部、さらに図中左方の作業部Ｄはエツ
ジ洗い装置１８でデイスク部材１０の内外の各周
縁部の洗浄を行うエツジ洗い部となつている。そ
して、前述の各作業部Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄにはデイス
ク部材１０の外周縁部を挟持する３つのチヤツク
部片２０ａ，２０ｂ，２０ｃからなるチヤツク部
材２０が設置されている。このチヤツク部材２０
は作業部Ａにおいて実線で示したチヤツク位置と
鎖線で示したチヤツク解除位置との間に変位させ
ることができるようになつている。このために、
作業部Ｄにおいて示したように、各チヤツク部片
２０ａ，２０ｂ，２０ｃを作動させる歯車駆動部
２１が設けられている。この車歯駆動部２１の駆
動車歯２１ａは第４図及び第５図に示した如くロ
ータリテーブル１５の裏面においてレバー２２と
連結されており、該レバー２２は常時には鎖線で
示したようにばね２３によりスツトパ２４に当接
した位置にあり、このときチヤツク部材２０はチ
ヤツク位置となり、作業部Ａに対応する位置にお
いて隔壁１ａを隔てて駆動室７内に設けた回動駆
動部２５に連結した作動片２６を鎖線位置から実
線位置に回動させることによりレバー２２を実線
位置に移行させて、チヤツク部材２０をチヤツク
解除位置に変位させることができるようになつて
いる。

次に、洗浄具１６は第６図に示したように、上
下１対のアーム２７ａ，２７ｂ有し、該各アーム
２７ａ，２７ｂには回転軸２８ａ，２８ｂが挿嵌
されており、該各回転軸２８ａ，２８ｂの一端部
にはスポンジ等の部材からなる洗い具２９ａ，２
９ｂが取付けられ、他端部にはプーリ３０ａ，３
０ｂが取付けられて、該各プーリ３０ａ，３０ｂ
と回転軸３１に設けたプーリ３２ａ，３２ｂとの
間にベルト３３ａ，３３ｂを巻回して設け、この
回転軸３１を回転させることによつて洗い具２９
ａ，２９ｂを回転させることができるように構成
されている。そして、この洗い具２９ａ，２９ｂ
の回転によつてデイスク部材１０はチヤツク部材
２０に保持された状態で回転せしめられるように
なつている。また、洗い具２９ａ，２９ｂは円環
状となつており、この洗い具２９ａ，２９ｂの内
部に中性洗剤等からなる洗浄液を供給するため
に、アーム２７ａ，２７ｂに取付けた回転軸支持
ブロツク３３ａ，３３ｂにホース３４ａ，３４ｂ
が接続されており、該各ホース３４ａ，３４ｂか
ら供給される洗浄液は回転軸２８ａ，２８ｂに穿
設した通路３５ａ，３５ｂ（通路３５ｂは図面上
は表われない）が設けられている。

また、すすぎ装置１７は洗浄具１６と同一の構
造を有し、供給される流体は洗浄液に代えて、す
すぎ水となる。

さらに、エツジ洗い装置１８は第７図に示した
ように、スポンジ等の外縁、内縁の各洗い具３
６，３７を有し、外縁洗い具３６には支持アーム
３８に支持された回転軸３９が取付けられ、また
その他端にはプーリ４０が取付けられて、該プー
リ４０と駆動軸４１との間に巻回して設けたベル
ト４２によつて該洗い具３６が回転駆動されるよ
うになつている。また、回転軸３９には車歯４３
が取付けられ、該車歯４３は車歯４４と歯合して
おり、これにより該車歯４４は回転軸３９とは逆
方向に回転駆動されることになる。そして、この
車歯４４と洗い具３７を取つけた回転軸４５に設
けたプーリ４６との間にはベルト４７が巻回して
設けられ、これによつて、洗い具３７は洗い具３
６とは逆方向に回転せしめられるようになつてい
る。さらに、支持アーム３８には洗い具３６，３
７に向けて洗浄水を供給するノズル４８（洗い具
３７側のノズルは省略）が支持アーム３８に取付
けられている。さらに、支持アーム３８はクラン
ク機構によつて揺動可能となつており、これによ
つて洗浄作業中に洗い具３６，３７を回転させな
がら揺動させることができるようになつている。

これら洗浄装置１６、すすぎ装置１７及びエツ
ジ洗い装置１８は、回動軸４９を回動させること
によつてそれぞれの回転軸を中心として連動して
回動させるができ、これによつて該各洗浄装置１
６、すすぎ装置１７及びエツジ洗い装置１８は第
３図に示した非作動位置とロータリテーブル１５
側に変位してデイスク部材１０と当接する作動位
置との間に変位させることができるようになつて
いる。

次に、第８図に示したように、乾燥部９にはデ
イスク部材１０を高速回転させる回転軸５０が隔
壁１ａから突設されており、該回転軸５０の先端
にはデイスク部材１０の内周縁部をチヤツクする
チヤツク部材５１が設けられている。そして、回
転軸５０は駆動室７内に設けたモータ５２により
回転駆動せしめられ、これによつて該回転軸５０
に取付けたデイスク部材１０を高速で回転せしめ
られるようになつている。また、このデイスク部
材１０の回転時にそれに温純水を供給するノズル
５３が設けられている。さらに、デイスク部材１
０の回転時に周囲に水滴が飛散しないように覆う
カバー５４が開閉可能に取付けられている。

搬入ハンドラ１２は第９図に示したように、隔
壁１ａから突設した回動軸５５にアーム５６を取
付け、その先端に歯車機構等により作動せしめら
れ、デイスク部材１０の内周縁をチヤツクするチ
ヤツク部材５７を取付けることにより形成されて
いる。また、搬出ハンドラ１３も搬入ハンドラ１
２と同様、回動軸５８にアーム５９を取付け、こ
のアーム５９の先端にチヤツク部材６０を設ける
ことによつて形成される。

一方、移載ハンドラ１４はＴ字状のアーム６１
を有し、該アーム６１を回動軸６２に取付けてな
るもので、該回動軸６２の他端は隔壁１ａから駆
動室６内に延在し、ベルト６３によつて回動され
るロータ６４とスプライン結合している。そし
て、回動軸６２にはクランクアーム６５と連結さ
れて、その軸方向にも変位することができるよう
になつている。アーム６１は３つの腕部６１ａ，
６１ｂ，６１ｃからなり、該各腕部６１ａ，６１
ｂ，６１ｃには先端にチヤツク部材６６ａ，６６
ｂ，６６ｃが設けられ、該各チヤツク部材６６
ａ，６６ｂ，６６ｃはカム６７ａ，６７ｂ，６７
ｃによりチヤツク位置とチヤツク解除位置との間
に変位できるようになつている。これらカム６７
ａ，６７ｂ，６７ｃはレバー６８ａ，６８ｂ，６
８ｃによつて作動せしめられるもので、このため
にレバー６８ａ，６８ｂ，６８ｃはバー６９ａ，
６９ｂ，６９ｃに連結されており、該バー６９
ａ，６９ｂ，６９ｃはモータ７０により回動せし
められる回動板７１に取付ける構成となつてい
る。

さらに、駆動室７内には、ロータリテーブル１
５、移載ハンドラ１４、搬入、搬出ハンドラ１
２，１３、洗い具２９ａ，２９ｂ、エツジ洗い具
３６，３７等を駆動するモータ７２が設けられ、
該モータ７２の出力軸７２ａに直接又は中間軸７
３を介して前述の各部の駆動を行うよになつてい
る。さらに、回転軸５０を回転駆動するモータ
（図示せず）等も、この駆動室７内に収納されて
いる。

本実施例は前述のように構成されるもので、次
にその作動につて説明する。

デイスク部材はラツピング装置によつて表面が
極めて平滑となるように仕上られて、立設状態に
搬入ラツク２に設置され、この状態で搬入ラツク
２を搬入部３内に搬送される。該搬入ラツク２が
搬送される途中でシヤワー１１で洗浄することに
よつて大部分の研摩粉を洗い流す。そして、搬入
ラツク２が搬入部３の所定の位置に到達したとき
に、搬入ハンドラ１２はそのアーム５６を搬入ラ
ツク２側に回動させて、チヤツク部材５７により
デイスク部材１０をチヤツクする。然る後、アー
ム５６を回動させて、該デイスク部材１０を移載
ハンドラ１４の腕部６１ａのチヤツク部材６６ａ
と対面させる位置に変位させる。そして、該移載
ハンドラ１４の回動軸６２を軸方向において隔壁
１ａに近接する方向に変位させると共に、チヤツ
ク部材６６ａを作動させてデイスク部材１０をチ
ヤツクする。これと同時に、チヤツク部材５７に
よるチヤツクを解除することによつて搬入ハンド
ラ１２から移載ハンドラ１４にデイスク部材１０
を移載する。

デイスク部材１０が移載ハンドラ１４に移載さ
れた後、該移載ハンドラ１４を隔壁１ａから突出
する方向に変位させると共に90度回動させて、ロ
ータリテーブル１５の作業部Ａと対面させる。こ
のとき、搬入ハンドラ１２は搬入ラツク２側に回
動させる。そして、回動軸６２を該ロータリテー
ブル１５に近接する方向に変位させて、デイスク
部材１０をチヤツク部材２０に移載する。このよ
うにロータリテーブル１５に移載されたデイスク
部材１０はロータリテーブル１５を90度ずつイン
デツクスしながら回動させることにより洗浄を行
う作業部Ｂ、すすぎを行う作業部Ｃ及びエツジ洗
いを行う作業部Ｄに移送し、これら各作業部Ａ，
Ｂ，Ｃ，Ｄにおいてそれぞれ洗い装置１６、すす
ぎ装置１７及びエツジ洗い装置１８を作動させる
ことによつてこのデイスク部材１０の洗浄が行な
われる。ここで、各作業部Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは区画
壁１５ａにより仕切られているので、一の作業
部、特に洗浄作業を行なう作業部Ｂの洗浄液が他
の作業部に侵入して先行する清浄なデイスク部材
を汚損することはない。そして、このロータリテ
ーブル１５の回動と共に、搬入ハンドラ１２及び
移載ハンドラ１４が作動して順次搬入ラツク２の
デイスク部材１０がロータリテーブル１５に移載
されことになる。洗浄が完了したデイスク部材１
０は再び作業部Ａに帰還し、このとき移載ハンド
ラ１４がロータリテーブル１５側に変位すること
によつて、腕部６１ｂのチヤツク部材６６ｂによ
りこのデイスク部材１０をチヤツクする。これと
同時に、腕部６１ａのチヤツク部材６６ａは搬入
ハンドラ１２からのデイスク部材１０の移載を受
ける。然る後、移載ハンドラ１４を90度回動させ
ることによつて洗浄後のデイスク部材１０を乾燥
部９に移行させる。そこで、回転軸５０に取付け
たチヤツク部材５１を作動させることによつて該
デイスク部材１０をチヤツクし、回転軸５０を回
転させると共に温純水を供給してデイスク部材１
０を加温することによりこれに付着した液滴を飛
散させて、その乾燥を行なう。

このように乾燥したデイスク部材１０は移載ハ
ンドラ１４の作動によつて、該移載ハンドラ１４
の腕部６１ｃのチヤツク部材６６ｃによつてチヤ
ツクされて、該移載ハンドラ１４の回動によつて
搬出ハンドラ１３に移載され、該搬出ハンドラ１
３の回動により搬出ラツク４内に載置される。こ
の動作を順次繰返すことによつてデイスク部材１
０の洗浄、乾燥され、搬出ラツク４を搬出部５か
ら外部に搬送する。

次に、第１３図は本発明の第２の実施例を示す
もので、本実施例ではロータリテーブル８１上の
区画壁８２により区画形成された各作業部のう
ち、デイスク部材８３の着脱が行なわれる着脱部
を構成する作業部Ａには予備洗浄シヤワー８４が
設けられており、洗浄部を構成する作業部Ｂにお
ける洗浄液の供給は洗い具８５の側方に設けたノ
ズル８６から行なうようにしている。さらに、第
３の作業部Ｃではすすぎ部材８７によるすすぎと
エツジ洗い部材８８による内外周縁部の洗浄が同
時に行なわれるようになつており、また第４の作
業部Ｄではデイスク部材の乾燥を行なうように構
成されている。そして、搬入ラツク８８からデイ
スク部材８３を取出す搬入ハンドラ８９から直接
ロータリテーブル８１にデイスク部材８３を移載
し、さらに作業部Ｄからデイスク部材８３を搬出
ハンドラ９０に移載して、搬出ラツク９１に取出
すようになつている。

このように構成することによつても前述と同様
自動的にデイスク部材８３の洗浄、乾燥を行うこ
ことができる。

なお、前述の各実施例では、ラツプ処理された
後のデイスク部材の洗浄を行うものとして説明し
たが、これに限らず、磁性体の塗布の前後のいず
れかにおいて行う洗浄にも適用できることは言う
までもない。そして、本発明の洗浄装置は洗浄、
乾燥を行なう部材をハウジング内にコンパクトに
収納したから、例えば磁性体の塗布直前における
クリーンルーム内のように狭小な装置に設置する
場合にも好適に使用できる。また、洗浄工程は洗
い部、すすぎ部、エツジ洗い部だけでなく、適宜
噴射洗浄、シヤワー洗浄等を行うようにしてもよ
く、洗浄液も中性洗剤だけでなく、純水、市水、
アルコール、フロン等を用いることができる。

発明の効果 以上詳述した如く本発明はデイスク部材の搬入
部、搬出部と洗浄部及び乾燥部をハウジング内に
ユニツト化し、かつこのハウジング内に搬入用ハ
ンドラ、移載用ハンドラ及び搬出用ハンドラを設
けて、搬入用ハンドラから移載用ハンドラに、移
載用ハンドラから洗浄部に、洗浄部から移載用ハ
ンドラを介して乾燥部に、乾燥部から移載用ハン
ドラを介して搬出用ハンドラにデイスク部材を受
け渡すようになし、しかも洗浄部から乾燥部、搬
出部と順次高所に移行させるようにしているか
ら、洗浄部と乾燥部との間及び乾燥部と搬出部と
の間の間隔を短くしても、順次清浄化していくデ
イスク部材が前工程の影響で後続工程でのデイス
ク部材が汚損されることはなく、しかも洗浄部に
おいては、ロータリテーブルを設け、このロータ
リテーブルに複数の作業区画を設けるように構成
しているので、複数の工程を経て清浄化される洗
浄部をコンパクトにまとめることができると共
に、洗浄部における工程を、例えば表面及びエツ
ジの洗浄、すすぎ等できるだけ工程を多くして、
洗浄をより完全なものとすることができ、全体と
して小型でコンパクトな洗浄装置により、デイス
ク部材をより完全に洗浄でき、さらにラツクツー
ラツクによるデイスク部材の自動洗浄を容易に行
うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第１２図は本発明の第１の実施例を
示すもので、第１図は作業室の全体構成説明図、
第２図は作業室と駆動室との接続関係を示す構成
説明図、第３図は洗浄部の拡大正面図、第４図は
第３図のＸ−Ｘ断面図、第５図はロータリテーブ
ルのチヤツク部材の作動機構を示す構成説明図、
第６図は洗浄装置の部分断面正面図、第７図はエ
ツジ洗い部材の部分断面正面図、第８図は乾燥部
の構成説明図、第９図は搬入ハンドラの正面図、
第１０図は移載ハンドラの背面図、第１１図は移
載ハンドラの駆動機構を示す構成説明図、第１２
図は移載ハンドラの駆動機構を示す構成説明図、
第１３図は本発明の第２の実施例の構成説明図で
ある。 １……ハウジング、３……搬入部、５……搬出
部、６……作業室、９……駆動室、１０，８３…
…デイスク部材、１２……搬入ハンドラ、１３…
…搬出ハンドラ、１４……移載ハンドラ、１５…
…ロータリテーブル。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ハウジング内に、それぞれデイスク部材を立
   設状態に収納する搬入用及び搬出用のラツクを装
   架する搬入部及び搬出部と、それぞれデイスク部
   材の表面を洗浄する洗浄部及び洗浄後のデイスク
   部材を乾燥する乾燥部とを設け、前記洗浄部は低
   所位置に垂直に配置したロータリテーブルを有
   し、該ロータリテーブルには、それぞれデイスク
   をチヤツクするチヤツク部材を設けた複数の部位
   に区画形成して、少なくとも洗浄及びすすぎから
   なる所要数の作業を行うようになし、また前記乾
   燥部は、該洗浄部より高所位置に配置して、開閉
   可能なカバーを備え、前記搬出部は最高所位置に
   配置し、またそれぞれデイスク部材をチヤツクす
   るチヤツク部材を１または複数箇所に設けた搬入
   用ハンドラ、移載用ハンドラ及び搬出用ハンドラ
   を設けて、搬入用ハンドラから移載用ハンドラ
   に、移載用ハンドラから洗浄部に、洗浄部から移
   載用ハンドラを介して乾燥部に、乾燥部から移載
   用ハンドラを介して搬出用ハンドラにデイスク部
   材を受け渡す構成としたことを特徴とするデイス
   ク部材の洗浄装置。