JPH06210566A - 研削加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 砥石によりワークを研削加工する際、研削加
工を中断することなく、高精度の研削加工を可能にする
こと。 【構成】 砥石２によるワークＷの研削加工中、前記砥
石２の形状を放電加工により成形する砥石成形装置４
は、砥石成形装置支持部材３に支持され、前記砥石２の
作用面の幅方向及び作用面に垂直な方向に移動可能な２
軸テーブル６を有している。前記２軸テーブル６によ
り、ワイヤガイド１２、及びこのワイヤガイド１２の外
周に形成したガイド溝に沿って放電加工用のワイヤ電極
１３を走行させるワイヤ走行装置が支持されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、砥石を用いてワークを
研削加工する研削加工装置に関し、特に、砥石の形状を
適切な状態に保持して研削加工を行えるようにした研削
加工装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】研削加工において、その砥石をドレッシ
ング（目立て）やツルーイング（成形）することがその
加工能率や加工精度を左右する大きな要因であるため、
従来から多くの発明、工夫がなされている。

【０００３】特に、ツルーイング（成形）する方法にお
いては、特許出願公告平２−３８３４６に開示される方
法は、走行ワイヤを用いた放電加工によりＮＣ工作機械
上で成形を可能としたことにより、砥石の取りはずしを
不要とし、能率及び精度の面で大きく改善された。しか
し、この方法はＮＣ工作機械に砥石を取り付けて研削加
工をする装置を前提としているため、放電加工を行うた
めの移動はＮＣ装置が制御する砥石が行うことになる。
従って、砥石をはずす必要はなくなるものの、砥石の成
形が必要となる度に加工を中断し、ワイヤ走行装置が設
置してある位置へ砥石を移動させて成形を行わなければ
ならない。したがって、作業能率が低下するとともに、
砥石を長距離移動させることによる位置決め誤差が大き
くなり、加工精度が低下するという問題点が有った。

【０００４】一方、砥石近傍に設置した電極を２軸方向
に移動させて電圧を印加する方法が、特開平３−１９６
９６８に開示されている。この方法は、電極に金属板を
使用したものであるため電極及び砥石が消耗し、砥石の
形状が検出するできない。従ってこの方法は、主として
ドレッシング（目立て）には有効であるが、砥石に精度
良く所望の形状を付与するツルーイング（成形）の能力
は期待できない。すなわち従来、砥石によるワークの研
削加工中は、砥石の作用面の形状が変化するので、ワー
クの研削加工中の砥石のツルーイング（成形）は行うこ
とができないと思われてきた。本発明者は、砥石による
ワークの研削加工中に砥石の作用面の形状変化に応じて
砥石のツルーイング（成形）を行う方法について検討し
た結果、放電加工により砥石を成形する場合は、放電加
工装置の制御方法を工夫することにより、ワークの研削
加工中に砥石の作用面の形状変化に応じた砥石のツルー
イング（成形）を容易に行えることを見いだした。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記事情及
び検討結果に鑑み、下記（Ｏ01）の記載内容を課題とす
る。 （Ｏ01） 砥石によりワークを研削加工する際、研削加
工を中断することなく、高精度の研削加工を可能にする
こと。

【０００６】

【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決す
るために案出した本発明を説明するが、本発明の要素に
は、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実
施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。な
お、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する
理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明
の範囲を実施例に限定するためではない。

【０００７】前記課題を解決するために、本出願の第１
発明の研削加工装置は、ワーク（Ｗ）を研削加工するた
めの砥石（２）を回転可能に支持するとともにワーク
（Ｗ）に対して相対的に移動可能な砥石支持部材と、前
記ワーク（Ｗ）と砥石（２）とを相対的に移動制御して
前記砥石（２）によりワーク（Ｗ）を研削加工するワー
ク加工用制御装置と、前記砥石支持部材に対して所定の
位置関係に保持された砥石成形装置支持部材（３）と、
前記砥石成形装置支持部材（３）に支持されるとともに
前記砥石（２）の形状を放電加工により成形する砥石成
形装置（４）とを備えた研削加工装置において、前記砥
石成形装置（４）は、下記の要件（Ｙ01）〜（Ｙ03）を
備えたことを特徴とする、（Ｙ01） 前記砥石成形装置
支持部材（３）に支持され、前記砥石（２）の作用面の
幅方向及び作用面に垂直な方向に移動可能な２軸テーブ
ル（６）、（Ｙ02） 前記２軸テーブル（６）により支
持されたワイヤガイド（１２）、及びこのワイヤガイド
（１２）の外周に形成したガイド溝に沿って放電加工用
のワイヤ電極（１３）を走行させるワイヤ走行装置、
（Ｙ03） 前記砥石（２）によるワーク（Ｗ）の研削加
工中に、同時に前記砥石（２）とワイヤ電極（１３）と
の間の放電加工により、砥石（２）の作用面の形状に応
じて砥石（２）の成形を行う手段。

【０００８】また本出願の第２発明の研削加工装置は、
前記第１発明の研削加工装置において、下記の要件（Ｙ
04）を備えたことを特徴とする、（Ｙ04） 前記砥石
（２）の作用面の形状に応じて砥石（２）の成形を行う
手段は、前記砥石（２）の作用面の形状を検出する作用
面形状検出手段を有すること。

【０００９】また本出願の第３発明の研削加工装置は、
前記第２発明の研削加工装置において、下記の要件（Ｙ
05）を備えたことを特徴とする、（Ｙ05） 前記作用面
形状検出手段は、前記砥石（２）の作用面の移動方向を
横切る方向の複数位置に対する前記ワイヤ電極（１３）
の放電開始位置を検出することにより前記砥石（２）の
作用面の形状を検出すること。

【００１０】

【作用】次に、前述の特徴を備えた本発明の作用を説明
する。前述の特徴を備えた本出願の第１発明の研削加工
装置では、砥石支持部材はワーク加工用制御装置により
ワーク（Ｗ）に対して相対的に移動制御される。この場
合のワーク（Ｗ）と砥石支持部材との相対的移動はワー
ク（Ｗ）又は砥石支持部材のどちら移動させるかは任意
に選択することが可能である。前記ワーク（Ｗ）は、前
記砥石支持部材に回転可能に支持された砥石（２）によ
り研削加工される。前記砥石支持部材に対して所定の位
置関係に保持された砥石成形装置支持部材（３）には、
砥石成形装置（４）の２軸テーブル（６）が支持されて
いる。この２軸テーブル（６）は、前記砥石（２）の作
用面の幅方向（Ｙ1−Ｙ2方向）及び作用面に垂直な方向
（Ｚ1−Ｚ2方向）に移動可能である。前記２軸テーブル
（６）により支持されたワイヤ走行装置は、ワイヤガイ
ド（１２）の外周に形成したガイド溝に沿って放電加工
用のワイヤ電極（１３）を走行させる。このワイヤ電極
（１３）は前記砥石（２）を成形するためのものであ
る。

【００１１】前記砥石（２）によるワーク（Ｗ）の研削
加工を行いながら同時に、前記砥石（２）の作用面の形
状に応じて、前記ワイヤ電極（１３）により砥石（２）
の成形のための放電加工が行われる。すなわち、放電加
工による砥石（２）の成形を行いながら、その砥石
（２）によるワーク（Ｗ）の研削加工が同時に行われ
る。

【００１２】ワイヤ電極（１３）を用いた砥石（２）の
放電加工は常に所定形状の電極（形状の変化しない電
極）を用いて行うことができる。また放電加工を採用し
たので、ワイヤ電極（１３）に流れる電流を検出するこ
とによりワイヤ電極（１３）に対する砥石（２）の作用
面の位置又は形状を正確に検出することができる。この
ように、砥石（２）の作用面の位置又は形状を正確に知
った状態でワーク（Ｗ）の研削加工を行うことができる
ので、高精度の研削加工を行うことが可能となる。ま
た、ワーク（Ｗ）の研削加工を行いながら砥石（２）の
成形加工を同時に行っているので、砥石（２）の形状を
高精度に維持しながらワーク（Ｗ）の研削加工を行うこ
とができる。このため、ワーク（Ｗ）に対する高精度の
研削加工が行えるとともに、ワーク研削加工を中断する
ことなく、砥石（２）を成形することが可能である。し
たがって、作業効率を向上させることが可能である。

【００１３】前述の特徴を備えた本出願の第２発明の研
削加工装置では、作用面形状検出手段により、前記砥石
（２）の作用面の形状が検出される。この作用面形状検
出手段により検出された砥石（２）の作用面の形状に応
じて、前記砥石（２）によるワーク（Ｗ）の研削加工を
行いながら同時に、前記ワイヤ電極（１３）により砥石
（２）の成形のための放電加工が行われる。この第２発
明は砥石（２）の作用面の形状を検出しているので、砥
石（２）の作用面の形状を常に最適な状態に保持するこ
とが可能である。

【００１４】前述の特徴を備えた本出願の第３発明の研
削加工装置では、前記作用面形状検出手段は、前記砥石
（２）の作用面の移動方向を横切る方向（Ｙ1−Ｙ2方
向）の複数位置に対する前記ワイヤ電極（１３）の放電
開始位置を検出することにより前記砥石（２）の作用面
の形状を検出する。ワイヤ電極（１３）の位置は前記第
１発明の２軸テーブル（６）の位置により定まるので、
容易に検出することができる。前記砥石（２）の作用面
の移動方向を横切る方向（Ｙ1−Ｙ2方向）の複数位置に
おいて、放電が開始されたときのワイヤ電極（１３）の
位置が検出できれば、そのワイヤ電極（１３）位置に対
して近接した所定位置にある前記砥石（２）の作用面の
位置は容易に検出することができる。この第３発明は、
ワイヤ電極（１３）を流れる電流が検出されたときすな
わち、放電が行われたときのワイヤ電極（１３）の位置
（すなわち２軸テーブル（６）の位置）により砥石
（２）の作用面の形状を測定している。すなわち、砥石
（２）の作用面の形状は、新たに砥石（２）の作用面の
形状検出装置を設けることなく、砥石成形装置（４）の
構成要素を利用して検出される。このため、砥石（２）
の形状検出のために、新たに必要な要素が少ないので、
コストの増加を防ぐことができる。

【００１５】

【実施例】次に図面を参照しながら 本発明の実施例を
説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるもので
はない。 （実施例１）図１において、「○」の中に「・」が記載
されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、
「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏
に向かう矢印を意味するものとする。なお、本発明の実
施例１の説明中において、「前方」は図中の矢印Ｘ1方
向、「後方」は図中の矢印Ｘ2（図１参照）方向を意味
する。また、「左方」は図中の矢印Ｙ1方向（図１参
照）すなわち前記「後方」から「前方」を向いたときの
左手側の方向を意味し、「右方」は図中の矢印Ｙ2方向
を意味するものとする。さらに、「上方」は図中のＺ1
方向を意味し、「下方」は図中のＺ2方向を意味するも
のとする。

【００１６】図１において、加工機本体Ｈによりワーク
支持用テーブルＴが前後方向（Ｘ1−Ｘ2方向）、左右方
向（Ｙ1−Ｙ2方向）、及び上下方向（Ｚ1−Ｚ2方向）に
移動可能に支持されている。このワーク支持用テーブル
Ｔ上にはワークＷが固定支持されている。前記加工機本
体Ｈには砥石支持部材（図示せず）が固定されている。
この砥石支持部材は加工機本体Ｈと別体に構成されてい
るが、一体に構成することも可能である。その砥石支持
部材（図示せず）により、砥石支持軸１が回転可能に支
持されている。この砥石支持軸１により砥石２が支持さ
れている。砥石支持軸１は砥石２への放電電力を供給す
るため導電性材料から構成されている。なお、前記砥石
支持部材（図示せず）とワーク支持用テーブルＴとを相
対的に移動可能とするため、本実施例のようにワーク支
持用テーブルＴを移動させる構成を採用する代わりに、
例えば、加工機本体Ｈにワーク支持用テーブルを固定す
るとともに前記砥石支持部材を移動可能に支持すること
も可能である。前記砥石支持軸１の回転及びワーク支持
用テーブルＴの移動は従来公知のワーク加工用制御装置
（図示せず）によって制御されるようになっている。

【００１７】図１，２において、前記加工機本体Ｈに
は、前記砥石支持軸１を回転可能に支持する砥石支持部
材（図示せず）に対して所定の位置関係に保持された砥
石成形装置支持部材３が設けられている。前記砥石成形
装置支持部材３により、前記砥石２の形状を放電加工に
より成形する砥石成形装置４が支持されている。前記砥
石成形装置４は、２軸テーブル駆動装置５及びそれによ
って駆動される２軸テーブル６を有している。２軸テー
ブル６は、前記砥石成形装置支持部材３により支持され
ており、上下方向（Ｚ1−Ｚ2方向）及び左右方向（Ｙ1
−Ｙ2方向）に移動可能である。この２軸テーブル６に
支持されたワイヤ走行系支持基板７は、絶縁性のセラミ
ックス材料で形成されており、図１，２，３に示すよう
に、前記砥石２の作用面（研削表面）の幅方向（Ｙ1−
Ｙ2方向）及び作用面に垂直な方向（Ｚ1−Ｚ2方向）に
移動可能である。

【００１８】ワイヤ走行系支持基板７には、ワイヤ送り
出しボビン８、ワイヤ巻取ボビン９、ブレーキロール１
１、ワイヤガイド１２等が回転可能に支持されている。
ワイヤガイド１２は導電性の超硬製品である。従来公知
のワイヤ走行装置（図示せず）により、前記ワイヤ送り
出しボビン８から送り出された電極ワイヤ１３は、順
次、ブレーキロール１１、ワイヤガイド１２、ブレーキ
ロール１１にガイドされて、ワイヤ巻取ボビン９に巻き
取られるようになっている。前記電極ワイヤ１３には前
記ワイヤガイド１２から放電用電力が供給されるように
なっている。前記電極ワイヤ１３及びワークＷ間に放電
加工液を供給するためのノズル１４は前記ワイヤ走行系
支持基板７により支持されている。前記ノズル１４から
供給される放電加工液はイオン交換を行って電気抵抗を
大きくした水である。

【００１９】図１において、前記２軸テーブル６を移動
させる２軸テーブル駆動装置５、前記ワーク支持用テー
ブルＴを移動させるテーブル駆動装置１６、前記砥石支
持軸１を回転させる砥石駆動装置１７、前記ワイヤ走行
装置（図示せず）を駆動するワイヤ駆動装置１９、及
び、放電加工電源装置２１は、コンピュータＣによって
制御されている。前記放電加工電源装置２１には、蓄勢
式のいわゆるマイクロ放電加工電源が用いられている。
この放電加工電源装置２１は、前記導電性の砥石支持軸
１及びワイヤガイド１２を介して砥石２及び電極ワイヤ
１３に放電電力を供給する機能を有している。砥石２及
び電極ワイヤ１３間に放電が行われたときの電流はＡ／
Ｄコンバータ２２でデジタル信号に変換されて前記コン
ピュータＣに入力されている。

【００２０】次に図４を参照して、前記コンピュータＣ
及び砥石成形装置４、放電加工電源装置２１、Ａ／Ｄコ
ンバータ２２等により前記砥石２の作用面の形状を検出
できることを説明する。コンピュータＣにより２軸テー
ブル６を移動させ、砥石２の径方向からワイヤガイド１
２にガイドされ走行する電極ワイヤ１３を砥石２に近づ
ける。その際、放電加工電源装置２１を加工状態にして
おけば、導電性の砥石２表面と電極ワイヤ１３の距離が
近づき放電加工液の持つ絶縁耐圧以下になったと時に放
電が発生する。その放電電流は放電加工電源装置２１に
設けられた計測手段（図示せず）により計測され、さら
にＡ／Ｄコンバータ２２によりコンピュータＣにデジタ
ル信号としてインプットされ、放電が発生したことが感
知される。そのときの２軸テーブル６の位置を記録する
ことにより、砥石の表面の位置が検出できる。

【００２１】前記動作を図４に示すように、砥石２の一
端面から始めて一定距離毎に繰り返し、他端面まで行う
ことにより砥石２の幅方向（Ｙ1−Ｙ2方向すなわち左右
方向）全体の表面形状を検出することができる。したが
って、前記コンピュータＣ、砥石成形装置４、放電加工
電源装置２１、Ａ／Ｄコンバータ２２等により砥石２の
作用面の形状を検出する作用面形状検出手段が構成され
ている。

【００２２】前述のようにして砥石２の作用面の形状が
検出されると、砥石２の作用面の最も消耗した部分に合
わせて作用面全体を放電加工することができる。この砥
石２の作用面の放電加工は、前記コンピュータＣ、砥石
成形装置４、及び放電加工電源装置２１等により行うこ
とができる。すなわち、この実施例では、前記コンピュ
ータＣ、砥石成形装置４、及び放電加工電源装置２１等
により、本発明の砥石２の成形を行う手段が構成されて
いる。前記放電加工の結果、砥石２の作用面は新たに成
形された理想的な形状になる。その際、砥石２の新たな
作用面は砥石２の径方向に対して放電加工で削られた分
だけ径が減少する。前記減少分だけ補正した砥石２の作
用面の経路を算出してワーク支持用テーブルＴを移動制
御すれば、ワークＷを高精度に加工することができる。
これらの砥石２の成形動作は、基本的にステップ動作で
あるが、ワークＷの加工中、常に行われる動作であるの
で、砥石２の新旧の作用面の距離は例えば０.１μｍ程
度と極めて小さい。したがって、前記砥石２の成形動作
は、実際には連続した動作と変わらないので、砥石２の
成形動作とワークＷの研削加工とが同時に行われること
になる。

【００２３】（実施例１の作用）次に、図５，６のフロ
ーチャートを用いて前述の構成を備えた前記実施例１の
研削加工装置の作用を説明する。図５はワークＷの加工
を開始する前に行われる砥石成形フローであり、図６は
ワークＷの加工時のフローである。図５のフローチャー
トの処理は、作業員の判断によって行われ、図６のフロ
ーチャートの処理は、前記マイコンＭ（コンピュータ
Ｃ）のＲＯＭに記憶されたプログラムに従って行われ
る。

【００２４】図５において、ワーク加工前の砥石成形フ
ローが開始されると、ステップＳ1において、前記砥石
支持軸１への砥石２の取付が行われる。次にステップＳ
2において、バランサによる第１回目のバランス取りが
行われる。この第１回目のバランス取りは後述の第２回
目のバランス取りに比べて低い回転速度で行われる。バ
ランス取りでは、バランサと呼ばれるアンバランス量測
定器を用いる。このアンバランス量測定器では、「中心
軸のどの部分に何ｇのウェイトを付加しなさい」という
指示が出る。そこで、ねじ込み式の重りを取り付けて、
再度バランサにかけ、所望のバランスがとれるまで作業
を繰り返す。次にステップＳ3において外周振れ取りが
行われる。このステップＳ2の外周振れ取りでは、例え
ばホワイトスティックと呼ばれるアルミナ粒子を固めた
ブロックに対して削る動作を行わせることにより、逆に
砥石２を加工し振れをとる。しかしこの方法では振れが
５〜１０μｍ程度は残る。次にステップＳ4において、
バランサーによる第２回目のバランス取りが行われる。
この第２回目のバランス取りでは前記第１回目よりも砥
石２を高速回転させながら、より丁寧に行う。

【００２５】ステップＳ5において、放電加工による砥
石２の成形加工を行う。前記放電加工の際、電極ワイヤ
１３は走行して常に新しい面になるため、電極ワイヤ１
３表面の位置は加工によって変化しない。したがって、
砥石２の高精度の成形加工を行うことができる。次にス
テップＳ6において、形状精度が許容値以下かどうか判
断する。この判断は、前記図４を参照して説明したよう
に、砥石２表面の幅方向一端から他端まで表面の位置を
測定する動作を繰り返し、各測定値の値が予め決めた砥
石２の形状精度の範囲内かどうかにより行う。ステップ
Ｓ6においてノー（Ｎ）の場合は前記ステップＳ5に戻
る。イエス（Ｙ）の場合はワークＷの加工前の砥石２の
成形フローを終了する。

【００２６】前記図５に示すワークＷの加工前の砥石２
の成形フローが終了してから、図６に示すワークＷの加
工フローを実行する。図６において、ワーク加工フロー
が開始されると、ステップＳ11において砥石２によるワ
ークＷの加工を開始する。次にステップＳ12において、
砥石成形装置４による砥石の形状計測を行う。この砥石
２の形状計測は前記図４で説明した方法により行う。す
なわち、放電は一定のギャップ（電源や加工液の種類に
もよるが、１μｍ〜１０μｍ程度のギャップ）を介して
起こるため、その時，その時のテーブルの位置をモニタ
ーすることにより、ツルーイング速度や現在の砥石径を
計測する。

【００２７】次にステップＳ13において、砥石２の形状
変化が感知されたかどうか判断する。この判断は測定し
た砥石２の形状が予め決めた砥石２の形状精度の範囲内
かどうかにより行う。ステップＳ13においてノー（Ｎ）
の場合はステップＳ14に移り、ワークＷの加工を継続す
る。ステップＳ13においてイエス（Ｙ）の場合はステッ
プＳ15に移る。ステップＳ15において砥石２の成形を行
う。次にステップＳ16において、新規形状に合わせてＮ
Ｃ制御データを補正してから前記ステップＳ14に移る。
このステップＳ14においては前記新規形状に合わせて補
正されたＮＣ制御データに基づいてワークＷの加工を行
う。

【００２８】前記ステップＳ14の次にステップＳ17に移
る。ステップＳ17において、ワークの加工が終了かどう
か判断する。ノー（Ｎ）の場合は前記ステップＳ12に戻
る。イエス（Ｙ）の場合はワークＷの加工を終了する。

【００２９】前記実施例１によれば、ワークＷの加工を
中断することなく、また砥石２を移動させることなく、
ワーク加工中に砥石２の成形を行うことが出来、消耗が
キャンセルされる走行ワイヤ（電極ワイヤ）１３で放電
加工を行うために、きわめて能率的で精度の良い砥石２
の成形を行うことができる。また、本実施例では砥石成
形装置４そのものが移動し、砥石２自身は移動する必要
がないため、砥石をＮＣ制御で移動する機能の無い一般
の研削加工機械にも適用できるというメリットがある。

【００３０】（実施例２）次に、図７により本発明の研
削加工装置の実施例２について説明する。なお、この実
施例２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応
する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明
を省略する。図７は本方式をカップ形砥石２に適用した
例である。前記実施例１の円板状の砥石の場合と同様
に、カップ形砥石２の作用面の幅方向（Ｙ1−Ｙ2方向）
及びカップ形砥石２の作用面に垂直な方向（Ｚ1−Ｚ2方
向）にワイヤ走行系支持基板７を移動させ、放電加工を
することにより、カップ形砥石２の作用面を所望の形状
に成形することができる。また、この際に放電電流のフ
ィードバックを与えてカップ形砥石２の作用位置を知る
ことが出来ることは、前記実施例１と同様である。

【００３１】（変更例）以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記（Ｈ01）〜（Ｈ04）に例示する。 （Ｈ01） 予め砥石の作用面の形くずれの速度（磨耗速
度）がわかっていれば、砥石の作用面の形状を検出せず
に一定の速度で放電加工を行うことにより砥石の成形を
常に良好に行うことが可能である。 （Ｈ02） 前記ワークを研削しながら砥石の作用面の形
状を検出する方法としては、実施例１で説明したように
常時検出する方法を採用する代わりに、例えば、常時は
砥石の予想される砥石の磨耗速度に対応した加工速度で
放電加工を行いながら、局部的に放電が行われない部分
が生じた場合にのみ砥石の作用面の形状を検出すること
が可能である。 （Ｈ03） また、前記砥石の作用面の形状を検出する方
法としては、電気マイクロメータを用いる方法（接触
式）、静電容量型微小変位計を用いる方法（非接触
式）、乱反射型光変位計を用いる方法（非接触式）、等
を採用することが可能である。 （Ｈ04） 前記放電加工電源装置２１には、蓄勢式のい
わゆるマイクロ放電加工電源を用いる代わりに、通常の
放電加工電源を用いることも可能である。

【００３２】

【発明の効果】前述の本発明の研削加工装置は、下記の
効果（Ｅ01）を奏することができる。 （Ｅ01） 砥石によりワークを研削加工する際、研削加
工を中断することなく、高精度の研削加工を可能にする
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は本発明の研削加工装置の実施例１の全
体説明図である。

【図２】 図２は同実施例１の砥石成形装置を示す図
で、前記図１の要部拡大図でである。

【図３】 図３は砥石成形装置により砥石を放電加工す
る状態の拡大図である。

【図４】 図４は砥石の形状計測方法の説明図である。

【図５】 図５はワークの加工を開始する前に行われる
砥石成形フローを示すフローチャートである。

【図６】 図６はワークの加工時のフローを示すフロー
チャートである。

【図７】 図７は本発明の研削加工装置の実施例２の説
明図である。

【符号の説明】

Ｗ…ワーク、２…砥石、３…砥石成形装置支持部材、４
…砥石成形装置、６…２軸テーブル、１２…ワイヤガイ
ド、１３…ワイヤ電極、

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークを研削加工するための砥石を回転
   可能に支持するとともにワークに対して相対的に移動可
   能な砥石支持部材と、前記ワークと砥石とを相対的に移
   動制御して前記砥石によりワークを研削加工するワーク
   加工用制御装置と、前記砥石支持部材に対して所定の位
   置関係に保持された砥石成形装置支持部材と、前記砥石
   成形装置支持部材に支持されるとともに前記砥石の形状
   を放電加工により成形する砥石成形装置とを備えた研削
   加工装置において、前記砥石成形装置は、下記の要件
   （Ｙ01）〜（Ｙ03）を備えたことを特徴とする研削加工
   装置、（Ｙ01） 前記砥石成形装置支持部材に支持さ
   れ、前記砥石の作用面の幅方向及び作用面に垂直な方向
   に移動可能な２軸テーブル、（Ｙ02） 前記２軸テーブ
   ルにより支持されたワイヤガイド、及びこのワイヤガイ
   ドの外周に形成したガイド溝に沿って放電加工用のワイ
   ヤ電極を走行させるワイヤ走行装置、（Ｙ03） 前記砥
   石によるワークの研削加工中に、同時に前記砥石とワイ
   ヤ電極との間の放電加工により、砥石の作用面の形状に
   応じて砥石の成形を行う手段。
2. 【請求項２】 下記の要件（Ｙ04）を備えたことを特徴
   とする請求項１記載の研削加工装置、（Ｙ04） 前記砥
   石の作用面の形状に応じて砥石の成形を行う手段は、前
   記砥石の作用面の形状を検出する作用面形状検出手段を
   有すること。
3. 【請求項３】 下記の要件（Ｙ05）を備えたことを特徴
   とする請求項２記載の研削加工装置、（Ｙ05） 前記作
   用面形状検出手段は、前記砥石の作用面の移動方向を横
   切る方向の複数位置に対する前記ワイヤ電極の放電開始
   位置を検出することにより前記砥石の作用面の形状を検
   出すること。