JPH06215321A - デュアル磁気ヘッド - Google Patents

デュアル磁気ヘッド

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JPH06215321A
JPH06215321A JP751693A JP751693A JPH06215321A JP H06215321 A JPH06215321 A JP H06215321A JP 751693 A JP751693 A JP 751693A JP 751693 A JP751693 A JP 751693A JP H06215321 A JPH06215321 A JP H06215321A
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JP
Japan
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film
magnetic
magnetic head
magnetoresistive effect
dual
Prior art date
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Pending
Application number
JP751693A
Other languages
English (en)
Inventor
Atsushi Kato
篤 加藤
Harunobu Saito
治信 斉藤
Isamu Yuifuji
勇 由井藤
Shunichiro Kuwazuka
俊一郎 鍬塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Publication of JPH06215321A publication Critical patent/JPH06215321A/ja
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    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
    • G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
    • G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
    • G11B5/3967—Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
    • G11B5/3106—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing where the integrated or assembled structure comprises means for conditioning against physical detrimental influence, e.g. wear, contamination

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  • Magnetic Heads (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】デュアル磁気ヘッドにおいて、優れた耐食性と
再生特性を得る。 【構成】デュアル磁気ヘッドにおいて、磁気抵抗効果素
子が磁気記録媒体対向面に露出しないように形成する。
これにより、磁気抵抗効果素子が腐食しにくくなり、さ
らにストライプ幅の値が機械加工によらないで定まるた
め、従来技術に比べて格段に高精度になり、安定した再
生特性が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は磁気記録装置に用いられ
るデュアル磁気ヘッドにかかり、さらに詳しくは再生部
に磁気抵抗効果素子(以下、MR素子と称する)を用い
たデュアル磁気ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】MR素子を再生部に用いたデュアル磁気
ヘッドは、MR素子の抵抗値が磁界の強さに依存して変
化する特性を利用して、磁気ディスク等の磁気記録媒体
から再生出力を得るものである。MR素子を用いた再生
は、再生出力が磁気記録媒体走行速度に依存せず、磁気
信号の波長のみによって決まるため、低速でも充分な再
生出力が得られ、磁気記録装置の高密度化、小型化に対
して有利である。
【0003】ここで、MR素子の再生効率に大きな影響
を与えるパラメ−タの一つとしてMR素子の幅(ストラ
イプ幅)がある。ストライプ幅を決める方法は、たとえ
ば特開平3−238614号公報に開示されているよう
に、MR素子を目的のストライプ幅よりも一旦広く形成
した後、機械加工により浮上面ラップ(磁気記録媒体対
向面のラップ)を行い、MR素子を含めて削り、所定の
ストライプ幅にする方法が知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来技術で
は、MR素子のストライプ幅が機械加工の精度範囲内で
バラツキを生ずることになり、再生効率低下の原因にな
る。また、MR素子が磁気記録媒体対向面に露出してい
るため腐食しやすい構造になっている。
【0005】本発明は、上記した従来技術の問題点に鑑
み成されたもので、MR素子が腐食しにくく、かつスト
ライプ幅を高精度に形成することが可能なデュアル磁気
ヘッドを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のデュアル磁気ヘッドは、基板上に薄膜積層
法によりMR素子とライト素子を形成したデュアル磁気
ヘッドにおいて、上記MR素子がデュアル磁気ヘッドの
磁気記録媒体対向面に露出していないことを特徴として
いる。
【0007】このようなデュアル磁気ヘッドは、MR素
子を磁気記録媒体対向面から離してホトリソ技術で作成
し、その後MR素子を削らないように、磁気記録媒体対
向面を機械加工することにより製造される。
【0008】
【作用】本発明のデュアル磁気ヘッドは、MR素子が磁
気ディスク対向面に露出していないため、MR素子の腐
食が生じにくくなる。また、MR素子のストライプ幅は
機械加工によらず、薄膜技術だけで定まるため、従来技
術に比べて格段に高精度になる。従って、安定した再生
特性が得られる。
【0009】
【実施例】以下、添付の図面に示す実施例により、さら
に詳細に本発明について説明する。図1は、本実施例の
のデュアル磁気ヘッド素子の要部を示す説明図である。
図1において、1はセラミック基板、2は下地絶縁膜、
3は下地シールド膜、4は下地ギャップ膜、6は磁気抵
抗効果膜、7は電極導体層、Fは磁気ディスク(図示せ
ず)に対する浮上面(磁気記録媒体対向面)を示してい
る。
【0010】図1に示すように、本実施例では、ストラ
イプ幅Wの磁気抵抗効果膜6が、浮上面Fから距離Lだ
け後退して形成されている。なお、図1には示していな
いが、電極導体層7上や下地ギャップ膜4上や磁気抵抗
効果膜6上には、さらに多くの薄膜が積層されている。
また、図1においては、下部シールド膜3及び下部ギャ
ップ膜4が磁気抵抗効果膜3及び電極導体層7の端面に
合わせた断面で示されているが、下部シールド膜3と下
部ギャップ膜4はセラミック基板1と同じ広がりを持つ
ものである。
【0011】図2は、図1に示すデュアル磁気ヘッド素
子を電極導体層7を含む平面S1で切断したときの断面
図である。図2に示す断面図においては、図1で省略さ
れていた多くの薄膜が示されている。
【0012】図3は、図1に示すデュアル磁気ヘッド素
子を電極導体層7を含んでいない平面S2で切断したと
きの断面図である。図3に示す断面図においては、図2
と同様に、図1で省略されていた多くの薄膜が示されて
いる。
【0013】図2と図3が相違している点は、図1の平
面S1,S2から明らかなように、主に電極導体層7の
有無及び電極16の有無に起因するものであり、その他
の部分はほぼ同一である。
【0014】図1乃至図3に示すように、セラミック基
板1上に下地絶縁膜2を形成し、下地絶縁膜2上にNi
Fe等の磁性膜により成る下部シ−ルド膜3を形成す
る。さらに、下地シールド膜3上にアルミナ等の絶縁膜
により成る下部ギャップ膜4を続けて形成する。次に、
下地ギャップ膜4上に磁気抵抗効果膜6を磁気ディスク
の浮上面Fから距離Lだけ離して形成する。この例で
は、図2と図3に示すように、磁気抵抗効果膜6は、ラ
イトヘッド素子である磁気ギャップ膜12のギャップ距
離Gdの原点(Gd=0の点)よりも深い位置から形成
され(Gd<L)、浮上面Fの機械加工により削られな
いようにする。そのため、磁気抵抗効果膜6のストライ
プ幅Wの精度は、それ自体の形成精度、すなわちホトリ
ソ技術によって決まるため高精度になる。そして、下部
ギャップ膜4上であって、かつ磁気抵抗効果膜6と浮上
面Fの間には、図示するように、アルミナ等の絶縁膜5
が形成される。
【0015】さらに、絶縁膜5及び磁気抵抗効果膜6及
び下部ギャップ膜4の部分上には、図2に示すように、
電極導体層7が形成される。電極導体層7は磁気抵抗効
果膜6をセンサ−として働かせるため、磁気抵抗効果膜
6に電流を供給するものであり、端子16に接続されて
いる。なお、前記したように、図3に示す断面図には、
電極導体層7は形成されていない。また、図1乃至図3
には示していないが、磁気抵抗効果膜6の磁区を制御す
るための磁区制御膜が、磁気抵抗効果膜6と同時に形成
されている。
【0016】さらに、電極導体層7上(図2)及び絶縁
膜5及び磁気抵抗効果膜6及び下部ギャップ膜4の一部
部分上(図3)には、アルミナ等の絶縁膜により形成さ
れた上部ギャップ膜8が形成され、さらに上部ギャップ
膜8上にはNiFe等の磁性膜により形成された上部シ
−ルド膜9と保護膜としてのアルミナ等の絶縁膜10
が、それぞれ順番に形成される。そして、絶縁膜10上
にパ−マロイ等の磁性膜をスパッタリングにより積層し
て、イオンミリング等のドライエッチング法によりパタ
−ン形成し、下部磁性膜11が形成される。
【0017】次に、磁気ギャップ膜12を形成し、層間
絶縁膜13、導体コイル14と順次形成していき、層間
絶縁膜13をエッチングして所定形状を得る。さらに、
パ−マロイ等の磁性膜をスパッタリングにより積層し
て、イオンミリング等のドライエッチング法によりパタ
−ン形成し、上部磁性膜15とする。
【0018】ここまでの工程で、素子のコア部の形成を
完了する。最後に、リ−ド線を接続するための端子16
を形成して素子工程を完了する。
【0019】次に、磁気ヘッドの浮上面Fの加工である
が、この工程では、ライトヘッド素子である磁気ギャッ
プ膜のギャップ距離Gdが適切な値になるように機械加
工される。ここで、適切な値とは、再生効率の点から、
Lを3μm程度以下まで加工することが望ましい。な
お、本実施例では、磁気抵抗効果膜3はギャップ距離G
d=0の位置よりも深く形成されているため、機械加工
により直接削られることはなく、磁気抵抗効果膜6が浮
上面Fに露出することはない。
【0020】図4は、本実施例により製造されたデュア
ル磁気ヘッド素子を備えた薄膜ヘッド全体を示す断面図
である。図中、18がデュアル磁気ヘッド素子を示して
いる。
【0021】このようにして製造されたデュアル磁気ヘ
ッドにおける磁気抵抗効果膜6のストライプ幅Wの精度
は±0.5μm以下に押さえられ、従来技術の±1.0
μm程度に比べて大幅に精度が向上し、安定した再生特
性が得られることになる。
【0022】なお、上記実施例においては、磁気抵抗効
果素子6と浮上面Fの間に絶縁層5を設けたが、本発明
はこれに限定されるものではなく、無機層等を設けても
良い。
【0023】また、上記実施例においては、絶縁膜5を
下部ギャップ膜4及び上部ギャップ膜8と別体に形成し
たが、本発明はこれに限定されるものではなく、絶縁膜
5を下部ギャップ膜4と一体に形成したり、上部ギャッ
プ膜7と一体に形成しても良い。
【0024】さらに、上記実施例においては、磁気抵抗
効果素子6の全体を浮上面Fに露出しないように構成し
たが、再生効率をアップするため、磁気抵抗効果素子6
の一部を浮上面Fに露出させる構造としても良い。
【0025】また、上記実施例は、磁気ディスク装置に
用いられるデュアル磁気ヘッドを例にして説明したが、
本発明はこれに限定されるものではなく、例えば磁気テ
ープ装置等の磁気記録媒体に用いられる磁気ヘッドに広
く応用することができる。
【0026】
【発明の効果】本発明によれば、MR素子が磁気記録媒
体対向面に露出しないため、腐食しにくくなり、さらに
ストライプ幅の値が機械加工によらないで定まるため、
従来技術に比べて格段に高精度になり、安定した再生特
性が得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】デュアル磁気ヘッド素子の要部を示す説明図。
【図2】図1に示すデュアル磁気ヘッド素子を電極導体
層7を含む平面S1で切断したときの断面図。
【図3】図1に示すデュアル磁気ヘッド素子を電極導体
層7を含んでいない平面S2で切断したときの断面図。
【図4】図1乃至図3に示すデュアル磁気ヘッド素子を
備えた薄膜ヘッド全体を示す断面図。
【符号の説明】
1…セラミック基板、2…下地絶縁膜、3…下部シール
ド膜、4…下部ギャップ膜、5…絶縁膜、6…磁気抵抗
効果膜、7…電極導体層、8…上部ギャップ膜、9…上
部シールド膜、10…絶縁膜、11…下部磁性膜、12
…磁気ギャップ膜、13…層間絶縁膜、14…導体コイ
ル、15…上部磁性膜、16…端子、18…デュアル磁
気ヘッド素子。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鍬塚 俊一郎 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】基板上に薄膜積層法により磁気抵抗効果型
    素子とライト素子を形成したデュアル磁気ヘッドにおい
    て、上記磁気抵抗効果素子がデュアル磁気ヘッドの磁気
    記録媒体対向面に露出していないことを特徴とするデュ
    アル磁気ヘッド。
  2. 【請求項2】前記磁気抵抗効果素子と磁気記録媒体対向
    面の間に絶縁層を設けたことを特徴とする請求項1記載
    のデュアル磁気ヘッド。
  3. 【請求項3】前記磁気抵抗効果素子と磁気記録媒体対向
    面の間隔が3μm以下であることを特徴とする請求項1
    記載のデュアル磁気ヘッド。
JP751693A 1993-01-20 1993-01-20 デュアル磁気ヘッド Pending JPH06215321A (ja)

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JP751693A JPH06215321A (ja) 1993-01-20 1993-01-20 デュアル磁気ヘッド

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JP751693A JPH06215321A (ja) 1993-01-20 1993-01-20 デュアル磁気ヘッド

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JP (1) JPH06215321A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003010760A1 (en) * 2001-07-23 2003-02-06 International Business Machines Corporation Read/write head assembly
US7400474B2 (en) 2005-10-28 2008-07-15 International Business Machines Corporation Conductive pairing for piggyback magnetic head

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003010760A1 (en) * 2001-07-23 2003-02-06 International Business Machines Corporation Read/write head assembly
US6760199B2 (en) 2001-07-23 2004-07-06 International Business Machines Corporation Read/write head assembly employing independent read/write shield-pairing and charge-clamped magnetoresistive sensors
US7400474B2 (en) 2005-10-28 2008-07-15 International Business Machines Corporation Conductive pairing for piggyback magnetic head

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