JPH06216577A - 部品吸着固定装置 - Google Patents

部品吸着固定装置

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JPH06216577A
JPH06216577A JP5005569A JP556993A JPH06216577A JP H06216577 A JPH06216577 A JP H06216577A JP 5005569 A JP5005569 A JP 5005569A JP 556993 A JP556993 A JP 556993A JP H06216577 A JPH06216577 A JP H06216577A
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    • B25J15/06Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
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    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
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    • B65G47/91Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
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  • Mechanical Engineering (AREA)
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  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 小パッドと大パッドを簡単に切り換え、多種
の部品を連続的に吸着固定することができる部品吸着固
定装置を提供する。 【構成】 同一軸上に配設され、真空吸引路が形成され
た直径の異なる小パッド部1および大パッド部2から構
成される部品吸着固定装置であって、所望に応じて小パ
ッド部1または大パッド部2に切り換えられる。たとえ
ば、小さい部品14が真空吸引される場合には、大パッ
ド部2の可動軸11が下方向に摺動され、小パッド4の
真空吸引路3から固定軸7の真空吸引路5を通じて真空
吸引され、一方大きい部品15が真空吸引される場合に
は、大パッド9の真空吸引路8から可動軸11の真空吸
引路10、固定軸7の空気通路6および真空吸引路5へ
の経路と、小パッド4の真空吸引路3から固定軸7の真
空吸引路5への経路の両方の吸引経路を通じて真空吸引
される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、部品吸着固定装置に関
し、特に真空または減圧状態において部品を吸着する吸
着固定装置において、小パッドと大パッドの簡単な切換
により多種の部品吸着固定が連続的に可能とされる部品
吸着固定装置に適用して有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】たとえば、部品を吸着する吸着固定装置
としては、部品を搬送する部品搬送装置などに用いら
れ、半導体装置などの電子部品をプリント基板上に実装
するチップマウンタなどに連動して使用され、装着位置
においてトレイなどに収納された電子部品が1個ずつ取
り出され吸着固定装置の吸着固定パッドに吸着固定さ
れ、搬送経路を通じて所定の離脱位置に搬送された後に
チップマウンタによりプリント基板に実装される。
【0003】このような吸着固定装置には、たとえば個
別単体に形成された直径の異なる小パッドまたは大パッ
ドに交換可能とされるもの、または2軸方式の小パッド
および大パッドに切換可能とされるものなどがあり、部
品の大きさに応じた小パッドまたは大パッドを通して部
品を真空または減圧状態において吸着固定することがで
きるようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記のよう
な従来技術において、たとえば個別単体の小パッドまた
は大パッドに交換する方式においては、部品の大きさに
応じて作業者による交換作業が必要となり、特に他の装
置と連動される場合にはこのような交換作業ができなく
なるという問題がある。
【0005】また、2軸方式により小パッドと大パッド
を切り換える場合には、部品吸着あるいは離脱位置が小
パッドおよび大パッドで異なるため、切換などの制御が
難しくなるばかりでなく、作業時間が長くなるなどの問
題が発生する。
【0006】そこで、本発明の目的は、小パッドと大パ
ッドを簡単に切り換え、多種の部品を連続的に吸着固定
することができる部品吸着固定装置を提供することにあ
る。
【0007】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【0008】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【0009】すなわち、本発明の部品吸着固定装置は、
真空または減圧状態において部品を吸着する部品吸着固
定装置であって、真空吸引路が形成された直径の異なる
小パッド部および大パッド部が同一軸上に配設され、小
パッド部および大パッド部のいずれか一方を上下方向に
摺動させるものである。
【0010】この場合に、前記小パッド部を、軸方向に
真空吸引路が形成された小パッドと、この小パッドの真
空吸引路に連通される真空吸引路および径方向に開口さ
れる空気通路が形成され、小パッドに固定される固定軸
とから構成し、かつ前記大パッド部を、軸方向に前記小
パッドの外径より大きい内径の真空吸引路が形成された
大パッドと、この大パッドの真空吸引路に連通され、か
つ小パッドの空気通路に連通される真空吸引路が形成さ
れ、大パッドの固定される可動軸とから構成するように
したものである。
【0011】また、前記小パッド部の外周部と大パッド
部の内周部との摺動部分にシール部材を介在させるよう
にしたものである。
【0012】
【作用】前記した部品吸着固定装置によれば、同一軸上
に配設された小パッド部および大パッド部のいずれか一
方が上下方向に摺動されることにより、所望に応じて小
パッド部または大パッド部に切り換え、たとえば小パッ
ド部の小パッドにより真空吸引する場合には、大パッド
部の可動軸を下方向に摺動させ、小パッドの真空吸引路
および固定軸の真空吸引路を通じて真空吸引することが
できる。
【0013】一方、大パッド部の大パッドにより真空吸
引する場合には、大パッド部の可動軸を上方向に摺動さ
せ、大パッドの真空吸引路、可動軸の真空吸引路、小パ
ッド部の固定軸の空気通路および真空吸引路を通じ、か
つ小パッドの真空吸引路および固定軸の真空吸引路を通
じて両方の吸引経路により真空吸引することができる。
【0014】これにより、小パッドおよび大パッドの切
換が簡単な構造によって容易に可能となり、大きさの異
なる多種の部品を吸着固定することができる。その上、
吸着固定位置および高さなどに関する制御を簡単にする
ことができる。
【0015】特に、小パッド部と大パッド部との摺動部
分にシール部材が介在される場合には、小パッド部また
は大パッド部を上下方向に摺動したときでも、真空吸引
による空気漏れを防止して強力な吸着固定を行うことが
できる。
【0016】
【実施例】図1(a),(b) は本発明の一実施例である部品
吸着固定装置における小パッド部または大パッド部への
切り換えを示す断面図である。
【0017】まず、図1により本実施例の部品吸着固定
装置の構成を説明する。
【0018】本実施例の部品吸着固定装置は、たとえば
真空または減圧状態において部品を吸着する部品吸着固
定装置とされ、同一軸上に配設され、真空吸引路が形成
された直径の異なる小パッド部1および大パッド部2か
ら構成され、小パッド部1および大パッド部2のいずれ
か一方を上下方向に摺動させ、所望に応じて小パッド部
1または大パッド部2に切り換えられるようになってい
る。
【0019】小パッド部1は、軸方向に真空吸引路3が
形成された小パッド4と、この小パッド4の真空吸引路
3に連通される真空吸引路5および径方向に開口される
空気通路6が形成された固定軸7とから構成され、この
固定軸7が小パッド4に固定されている。
【0020】大パッド部2は、軸方向に小パッド4の外
径より大きい内径の真空吸引路8が形成された大パッド
9と、この大パッド9の真空吸引路8に連通され、かつ
小パッド4の空気通路6に連通される真空吸引路10が
形成された可動軸11とから構成され、この可動軸11
が大パッド9に固定されている。
【0021】そして、小パッド部1と大パッド部2との
摺動部分、特に小パッド部1における固定軸7の外周部
と大パッド部2における可動軸11の端部との間には空
気漏れ防止のためにシール部材12が介在され、さらに
小パッド部1に切り換えられた場合、固定軸7の外周部
と可動軸11の真空吸引路10との接触部分にもシール
部材13が介在されている。
【0022】次に、本実施例の作用について、実際に部
品を吸着固定する場合を図1により説明する。図1にお
いて、(a) は小さい部品14を小パッド部1を通じて吸
着固定する場合であり、一方(b) は大きい部品15を大
パッド部2を通じて吸着固定する場合を示す。
【0023】たとえば、小パッド部1の小パッド4の大
きさに対応する小さい部品14を真空吸引する場合に
は、図1(a) のように大パッド部2の可動軸11を下方
向に摺動させる。このとき、大パッド部2から小パッド
部1に連通される真空吸引路8,10はシール部材13
に遮断され、小パッド4の真空吸引路3のみが固定軸7
の真空吸引路5を通じて図示しない空気圧源に接続され
る。
【0024】これにより、小パッド4の真空吸引路3か
ら固定軸7の真空吸引路5を通じて真空吸引し、小パッ
ド4の吸着面のおよそ1倍〜2倍の外形の小さい部品1
4を小パッド4で吸着して固定することができる。
【0025】一方、大パッド部2の大パッド9の大きさ
に対応する大きい部品15を真空吸引する場合には、図
1(b) のように大パッド部2の可動軸11を上方向に摺
動させる。このとき、大パッド9の真空吸引路8が可動
軸11の真空吸引路10、固定軸7の空気通路6および
真空吸引路5を通じ、かつ小パッド4の真空吸引路3が
固定軸7の真空吸引路5を通じて空気圧源に接続され
る。
【0026】これにより、大パッド9の真空吸引路8か
ら可動軸11の真空吸引路10、固定軸7の空気通路6
および真空吸引路5への経路と、小パッド4の真空吸引
路3から固定軸7の真空吸引路5への経路の両方の吸引
経路を通じて真空吸引し、大パッド9の吸着面のおよそ
1倍〜2倍の外形の大きい部品15を大パッド9および
小パッド4の両方で吸着して固定することができる。
【0027】以上のような部品吸着固定装置は、たとえ
ば部品を搬送する部品搬送装置などに用いられ、半導体
装置などの電子部品をプリント基板上に実装するチップ
マウンタなどに連動して使用される。
【0028】このような場合に、小パッド部1と大パッ
ド部2との切換により、大きさの異なる多種の部品の吸
着固定が容易に可能となり、特に搬送装置などに組み込
んだ場合には、部品の吸着あるいは離脱位置が小パッド
4と大パッド9とも同一であるため、従来技術に比べて
制御がし易く、制御時間を短くすることができる。
【0029】また、小パッド部1を固定し、大パッド部
2を可動とすることで、空気圧回路の切換および構造が
簡単になり、かつ小パッド4および大パッド9における
吸着固定高さ位置を同一に設定できるので、小パッド4
と大パッド9の高さ制御が不要となり、より一層制御を
簡単化することができる。
【0030】さらに、大パッド部2の上下方向への可動
を自動化することで、搬送装置などに組み込んだ場合、
小パッド部1および大パッド部2に自動的に切り換え、
多品種の部品を連続的に搬送することが可能となる。
【0031】従って、本実施例の部品吸着固定装置によ
れば、小パッド4および固定軸7による小パッド部1
と、大パッド9および可動軸11による大パッド部2と
が、大パッド部2の可動軸11の上下方向への摺動によ
り切り換えられることにより、簡単な構造によって切換
制御などが簡単化されると同時に、大きさの異なる多種
の部品の吸着固定が可能となる。
【0032】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0033】たとえば、本実施例の部品吸着固定装置に
ついては、大パッド部2の可動軸11を上下方向に摺動
させて小パッド部1または大パッド部2に切り換える場
合について説明したが、本発明は前記実施例に限定され
るものではなく、逆に小パッド部を上下方向に摺動させ
る場合についても適用可能である。
【0034】また、本実施例の小パッド部1および大パ
ッド部2においては、小さい部品14または大きい部品
15の下面を吸着固定する場合について説明したが、た
とえば上下を反転した構造として部品の上面を吸着する
場合、または部品の側面を吸着する場合など、部品の吸
着方向およびそれに伴う構造的な変更については種々の
変更が可能であることはいうまでもない。
【0035】さらに、本実施例においては、部品搬送装
置などに使用される場合について説明したが、これに限
られるものではなく、特に多品種の部品の吸着固定が必
要とされる他の装置についても広く適用可能であること
はいうまでもない。
【0036】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその利用分野である半導体装置などの
電子部品を吸着固定する部品吸着固定装置に適用した場
合について説明したが、これに限定されるものではな
く、他の電子部品や吸着固定可能な部品全般について広
く適用可能である。
【0037】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【0038】(1).真空吸引路が形成された直径の異なる
小パッド部および大パッド部が同一軸上に配設され、小
パッド部および大パッド部のいずれか一方を上下方向に
摺動させることにより、所望に応じて小パッド部または
大パッド部に切り換えることができるので、簡単な構造
によって大きさの異なる多種の部品を吸着固定すること
が可能となる。
【0039】(2).小パッド部の外周部と大パッド部の内
周部との摺動部分にシール部材を介在させることによ
り、小パッド部または大パッド部を上下方向に摺動した
場合でも、真空吸引による空気漏れを防止して強力な吸
着固定が可能となる。
【0040】(3).前記(1) により、部品の吸着および離
脱の位置制御が簡単になり、かつ吸着固定高さの位置制
御が不要となるので、部品吸着における制御の簡単化と
制御時間の短縮が可能となる。
【0041】(4).前記(1) により、たとえば小パッド部
または大パッド部の上下方向への可動を自動化すること
で、特に自動搬送ラインなどに組み込んだ場合の多品種
の部品を連続的に処理することが可能となる。
【0042】(5).前記(1) 〜(4) により、特に真空また
は減圧状態において部品を吸着する場合において、小パ
ッドと大パッドの簡単な切換により多種の部品吸着固定
が連続的に可能とされる部品吸着固定装置を得ることが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a),(b) は本発明の一実施例である部品吸着固
定装置における小パッド部または大パッド部への切り換
えを示す断面図である。
【符号の説明】
1 小パッド部 2 大パッド部 3 真空吸引路 4 小パッド 5 真空吸引路 6 空気通路 7 固定軸 8 真空吸引路 9 大パッド 10 真空吸引路 11 可動軸 12 シール部材 13 シール部材 14 小さい部品 15 大きい部品

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 真空または減圧状態において部品を吸着
    する部品吸着固定装置であって、真空吸引路が形成され
    た直径の異なる小パッド部および大パッド部が同一軸上
    に配設され、前記小パッド部および大パッド部のいずれ
    か一方を上下方向に摺動させ、所望に応じて該小パッド
    部または大パッド部に切り換えることを特徴とする部品
    吸着固定装置。
  2. 【請求項2】 前記小パッド部を、軸方向に真空吸引路
    が形成された小パッドと、該小パッドの真空吸引路に連
    通される真空吸引路および径方向に開口される空気通路
    が形成され、前記小パッドに固定される固定軸とから構
    成し、かつ前記大パッド部を、軸方向に前記小パッドの
    外径より大きい内径の真空吸引路が形成された大パッド
    と、該大パッドの真空吸引路に連通され、かつ前記小パ
    ッドの空気通路に連通される真空吸引路が形成され、前
    記大パッドの固定される可動軸とから構成し、前記小パ
    ッドにより真空吸引する場合には、前記可動軸を下方向
    に摺動させ、該小パッドの真空吸引路および前記固定軸
    の真空吸引路を通じて行い、また前記大パッドにより真
    空吸引する場合には、前記可動軸を上方向に摺動させ、
    該大パッドの真空吸引路、前記可動軸の真空吸引路、前
    記固定軸の空気通路および真空吸引路を通じ、かつ前記
    小パッドの真空吸引路および前記固定軸の真空吸引路を
    通じて行うことを特徴とする請求項1記載の部品吸着固
    定装置。
  3. 【請求項3】 前記小パッド部の外周部と前記大パッド
    部の内周部との摺動部分にシール部材を介在させること
    を特徴とする請求項1または2記載の部品吸着固定装
    置。
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Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1267490B1 (it) * 1994-11-09 1997-02-05 Sapim Amada Spa Dispositivo di presa e movimentazione di pezzi di materiale in foglio e manipolatore di pezzi di materiale in foglio comprendente tale
JPH0983193A (ja) * 1995-09-13 1997-03-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品実装機の部品吸着ヘッド
US6463644B1 (en) * 1996-04-29 2002-10-15 The Paslin Company Tool for aligning vehicle fender on vehicle during assembly
US6093197A (en) * 1997-12-08 2000-07-25 Axon Engineering, Inc. Spiral nerve cuff electrode implantation tool
US6079091A (en) * 1998-10-19 2000-06-27 Ford Global Technologies, Inc. Valve assembly tool
GB0017684D0 (en) * 2000-07-19 2000-09-06 Bae Systems Plc Tool positioning system
KR100344905B1 (ko) * 2000-09-09 2002-07-20 미래산업 주식회사 표면실장장치에서 모듈헤드의 부품흡착장치
US20070048120A1 (en) * 2005-08-15 2007-03-01 Texas Instruments Incorporated Vacuum shroud for a die attach tool
AT509261B1 (de) * 2009-12-11 2012-03-15 Heitec Systemtechnik Gmbh Verfahren und vorrichtung zum aufnehmen von kleinteilen
CN104985604A (zh) * 2015-08-10 2015-10-21 苏州普京真空技术有限公司 一种真空夹持装置
CA2996698C (en) 2015-08-26 2021-07-13 Berkshire Grey, Inc. Systems and methods for providing contact detection in an articulated arm
ES2922990T3 (es) 2016-01-08 2022-09-22 Berkshire Grey Operating Company Inc Sistemas de adquisición y movimiento de objetos
AT519911B1 (de) * 2017-04-26 2021-02-15 Putz Stefan Saugnapfvorrichtung und Saugförderer mit einer derartigen Saugnapfvorrichtung
US10500738B2 (en) * 2017-11-28 2019-12-10 Amazon Technologies, Inc. Mechanism for exchanging concentric suction cups
CN108714908A (zh) * 2018-05-20 2018-10-30 佛山市高芯科技服务有限公司 一种汽车三角窗玻璃生产用下料机器人
US11084175B2 (en) * 2018-12-13 2021-08-10 Amazon Technologies, Inc. End-of-arm tool having concentric suction cups, and related systems and methods
US11351678B1 (en) * 2020-03-10 2022-06-07 Amazon Technologies, Inc. Dynamically adjustable suction cups
CN116133805A (zh) 2020-07-22 2023-05-16 伯克希尔格雷营业股份有限公司 用于使用通过护罩反转提供对象保持的真空夹持器进行对象处理的系统和方法
EP4185445A1 (en) 2020-07-22 2023-05-31 Berkshire Grey Operating Company, Inc. Systems and methods for object processing using a passively folding vacuum gripper
DE102020128656B4 (de) 2020-10-30 2022-05-12 J. Schmalz Gmbh Greifeinrichtung für eine Handlingsvorrichtung einer Bearbeitungsmaschine
DE112021004657T5 (de) * 2020-11-09 2023-06-29 Fanuc Corporation Saugdüsenvorrichtung
CN117722579A (zh) * 2023-12-06 2024-03-19 无锡大燕科技有限公司 一种显示器用底座
GB2642339A (en) * 2024-07-04 2026-01-07 Ocado Innovation Ltd Suction cup assembly

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6316928A (ja) * 1985-11-12 1988-01-23 ゼバテツチ ア−ゲ− 部品取上げ・運搬装置
JPS63266900A (ja) * 1987-04-24 1988-11-02 Hitachi Ltd 部品吸着装置
JPS63306890A (ja) * 1987-06-08 1988-12-14 株式会社日立製作所 部品吸着装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1193921A (en) * 1968-01-17 1970-06-03 Strachan & Henshaw Ltd A Suction Cup Assembly for Laminate and Plate Handling
FR2040681A5 (en) * 1969-04-09 1971-01-22 Radiotechnique Compelec Gripping-soldering device for light objects
JPS60131129A (ja) * 1983-12-20 1985-07-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 部品吸着装置
DE3535610A1 (de) * 1985-10-05 1987-04-09 Basf Ag Unterdruckheber fuer montageteile
US4703965A (en) * 1986-02-25 1987-11-03 Micro Component Technology, Inc. Integrated circuit placement device vacuum head
GB8714175D0 (en) * 1987-06-17 1987-07-22 Dynapert Precima Ltd Suction pick-up apparatus
US4815779A (en) * 1987-08-21 1989-03-28 American Telephone And Telegraph Co. Method and apparatus for part pickup
US4887351A (en) * 1988-09-09 1989-12-19 Universal Instruments Corporation Pick and place nozzle with concentric grooves
JP2706538B2 (ja) * 1989-10-25 1998-01-28 株式会社富士通宮城エレクトロニクス 真空吸着装置
JPH04343693A (ja) * 1991-05-17 1992-11-30 Toyota Motor Corp 吸着ノズル

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6316928A (ja) * 1985-11-12 1988-01-23 ゼバテツチ ア−ゲ− 部品取上げ・運搬装置
JPS63266900A (ja) * 1987-04-24 1988-11-02 Hitachi Ltd 部品吸着装置
JPS63306890A (ja) * 1987-06-08 1988-12-14 株式会社日立製作所 部品吸着装置

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