JPH06218917A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
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- JPH06218917A JPH06218917A JP5009436A JP943693A JPH06218917A JP H06218917 A JPH06218917 A JP H06218917A JP 5009436 A JP5009436 A JP 5009436A JP 943693 A JP943693 A JP 943693A JP H06218917 A JPH06218917 A JP H06218917A
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- Japan
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- ink
- piezoelectric element
- substrate
- flow path
- head
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- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/02—Ink jet characterised by the jet generation process generating a continuous ink jet
- B41J2/03—Ink jet characterised by the jet generation process generating a continuous ink jet by pressure
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/145—Arrangement thereof
- B41J2/15—Arrangement thereof for serial printing
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14379—Edge shooter
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 複数の圧電素子３ａ…が形成された基板５
と、基板５の側面に設けられたスペーサ６とを介して接
合された天板７とからなるインクヘッド本体１を有して
おり、基板５と天板７との間には、個々に独立した複数
のインク流路２…が形成され、これらインク流路２…の
各先端部には、インク４が噴出されるオリフィス８…が
形成され、インク流路２…の末端部には、インク室が形
成されている。圧電素子３ａ…は、含まれるインク流路
２…毎に、圧電素子列３…を形成し、圧電素子列３にお
ける各圧電素子３ａ…のそれぞれには、９０度位相の異
なる交流電圧が交互に印加される。 【効果】 小型で信頼性の高いインクジェットヘッドを
得ることができる。
と、基板５の側面に設けられたスペーサ６とを介して接
合された天板７とからなるインクヘッド本体１を有して
おり、基板５と天板７との間には、個々に独立した複数
のインク流路２…が形成され、これらインク流路２…の
各先端部には、インク４が噴出されるオリフィス８…が
形成され、インク流路２…の末端部には、インク室が形
成されている。圧電素子３ａ…は、含まれるインク流路
２…毎に、圧電素子列３…を形成し、圧電素子列３にお
ける各圧電素子３ａ…のそれぞれには、９０度位相の異
なる交流電圧が交互に印加される。 【効果】 小型で信頼性の高いインクジェットヘッドを
得ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、紙面に水滴状のインク
を噴出させて記録を行うインクジェットプリンタ等に用
いられるインクジェットヘッドに関するものである。
を噴出させて記録を行うインクジェットプリンタ等に用
いられるインクジェットヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年のコンピュータ等の目覚ましい発達
に伴い、その情報の出力を得る手段として、インクを水
滴状に噴出させ、記録紙に付着させて文字や絵を記録す
る技術が開発されてきており、低騒音で普通紙に記録で
き、カラー化もできるインクジェットプリンタが登場し
ている。
に伴い、その情報の出力を得る手段として、インクを水
滴状に噴出させ、記録紙に付着させて文字や絵を記録す
る技術が開発されてきており、低騒音で普通紙に記録で
き、カラー化もできるインクジェットプリンタが登場し
ている。
【０００３】このようなインクジェットプリンタに用い
られるインクジェットヘッドにおいてサーマル式のもの
は、図１６に示すように、インクヘッド本体５０１の一
端側に、先端部にオリフィス５０２が形成されたノズル
部５０３が設けられ、このノズル部５０３の他端部が、
図示しないインク供給室からインク供給口５０４を介し
てインクが供給されるインク室５０５に連結され、上記
ノズル部５０３近傍に、ヒータ部５０６が設けられた構
造を有している。そして、上記ヒータ部５０６にてイン
ク室内５０５内部のインクを加熱して急激に気化させ、
そのとき発生する蒸気の圧力にて、オリフィス５０２か
らインク粒を噴出させるようになっている。
られるインクジェットヘッドにおいてサーマル式のもの
は、図１６に示すように、インクヘッド本体５０１の一
端側に、先端部にオリフィス５０２が形成されたノズル
部５０３が設けられ、このノズル部５０３の他端部が、
図示しないインク供給室からインク供給口５０４を介し
てインクが供給されるインク室５０５に連結され、上記
ノズル部５０３近傍に、ヒータ部５０６が設けられた構
造を有している。そして、上記ヒータ部５０６にてイン
ク室内５０５内部のインクを加熱して急激に気化させ、
そのとき発生する蒸気の圧力にて、オリフィス５０２か
らインク粒を噴出させるようになっている。
【０００４】ところが、このような方式においては、イ
ンク粒噴出時にヒータ部５０６を１０００℃近い高温に
瞬間的に加熱する必要があるため、ヒータ部５０６の寿
命が短く、短命であるという欠点を有している。
ンク粒噴出時にヒータ部５０６を１０００℃近い高温に
瞬間的に加熱する必要があるため、ヒータ部５０６の寿
命が短く、短命であるという欠点を有している。
【０００５】そこで、このような不具合を解消する長寿
命なインクジェットヘッドとして、図１７に示すよう
な、電気信号にて機械的に振動する圧電素子５０７を用
いた圧電式のものが開発されている。圧電式のものは、
インクヘッド本体５１０に形成されたオリフィス５０２
とインク供給口５０４とを繋ぐインク室５０８に、上記
圧電素子５０７が設けられた構造を有している。そし
て、上記圧電素子５０７を駆動してインク室５０８の体
積を減少させてインク室５０８内部の圧力を高め、この
圧力をインク５０９に付与し、この圧力にてオリフィス
５０２からインク粒５０９ａを噴出させるようになって
いる。
命なインクジェットヘッドとして、図１７に示すよう
な、電気信号にて機械的に振動する圧電素子５０７を用
いた圧電式のものが開発されている。圧電式のものは、
インクヘッド本体５１０に形成されたオリフィス５０２
とインク供給口５０４とを繋ぐインク室５０８に、上記
圧電素子５０７が設けられた構造を有している。そし
て、上記圧電素子５０７を駆動してインク室５０８の体
積を減少させてインク室５０８内部の圧力を高め、この
圧力をインク５０９に付与し、この圧力にてオリフィス
５０２からインク粒５０９ａを噴出させるようになって
いる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成において、圧電素子５０７を駆動することによ
り、インク室５０８の体積をインク粒５０９ａの体積と
等しくなる程度に減少させる必要がある。したがって、
圧電素子５０７の形状を小さくすることに限界があり、
圧電素子５０７の加工には、通常の機械加工が用いられ
ている。そのため、小型で集積度の高いインクジェット
ヘッドを構成することは困難であった。
来の構成において、圧電素子５０７を駆動することによ
り、インク室５０８の体積をインク粒５０９ａの体積と
等しくなる程度に減少させる必要がある。したがって、
圧電素子５０７の形状を小さくすることに限界があり、
圧電素子５０７の加工には、通常の機械加工が用いられ
ている。そのため、小型で集積度の高いインクジェット
ヘッドを構成することは困難であった。
【０００７】また、インク粒５０９ａの噴出にインク室
５０８内部の圧力上昇を利用しているので、一旦インク
室５０８に空気（気泡）が混入すると、圧電素子５０７
を駆動してインク室５０８内部の体積を減少させたとし
ても気泡が圧縮されるだけで、インク５０９に圧力が付
与されず、インク５０９の噴出が阻害されるという問題
点も有している。
５０８内部の圧力上昇を利用しているので、一旦インク
室５０８に空気（気泡）が混入すると、圧電素子５０７
を駆動してインク室５０８内部の体積を減少させたとし
ても気泡が圧縮されるだけで、インク５０９に圧力が付
与されず、インク５０９の噴出が阻害されるという問題
点も有している。
【０００８】本発明は、上記課題に鑑み成されたもの
で、小型で集積度が高く、信頼性の高いインクジェット
ヘッドを提供することを目的としている。
で、小型で集積度が高く、信頼性の高いインクジェット
ヘッドを提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
ヘッドは、上記の目的を達成するために、インクヘッド
本体に設けられたインクが噴出される噴出口とインク供
給部とを繋ぐインク流路のインク接触面に、インク流路
の流路方向に沿って、位相の異なる交流電圧が印加され
ることでインク流路内部に貯溜されているインクに対し
て進行波を励起する圧電素子列が設けられていることを
特徴としている。
ヘッドは、上記の目的を達成するために、インクヘッド
本体に設けられたインクが噴出される噴出口とインク供
給部とを繋ぐインク流路のインク接触面に、インク流路
の流路方向に沿って、位相の異なる交流電圧が印加され
ることでインク流路内部に貯溜されているインクに対し
て進行波を励起する圧電素子列が設けられていることを
特徴としている。
【００１０】
【作用】上記の構成によれば、位相の異なる交流電圧が
印加されることで、インク流路内部のインクに対して進
行波を励起する圧電素子列が、インク流路におけるイン
ク接触面に、流路方向に沿って設けられているので、イ
ンク流路内部のインクは、この進行波にて流路方向の速
度を付与され、噴出口へと流れ、この流れの勢いにて噴
出口から噴出される。
印加されることで、インク流路内部のインクに対して進
行波を励起する圧電素子列が、インク流路におけるイン
ク接触面に、流路方向に沿って設けられているので、イ
ンク流路内部のインクは、この進行波にて流路方向の速
度を付与され、噴出口へと流れ、この流れの勢いにて噴
出口から噴出される。
【００１１】したがって、たとえインク流路内に、気泡
が混入したとしても、気泡はインクの流れに伴って噴出
口から排出されるので、従来のように気泡によりインク
の噴出が阻害されることはない。この結果、信頼性の高
いインクジェットヘッドを得ることができる。
が混入したとしても、気泡はインクの流れに伴って噴出
口から排出されるので、従来のように気泡によりインク
の噴出が阻害されることはない。この結果、信頼性の高
いインクジェットヘッドを得ることができる。
【００１２】また、上記構成の圧電素子列は、進行波を
励起するのに用いられるもので、従来の圧電素子のよう
な、噴出口から噴出させるインクの体積に見合う分量の
体積変化を生じさせるためのものではない。したがっ
て、機械加工で形成せずとも、例えば圧電膜をエッチン
グにて加工して形成するような方法で作製可能な小型の
ものとすることができる。この結果、インクジェットヘ
ッドの小型化が可能となり、集積度の高いインクジェッ
トヘッドを得ることができる。
励起するのに用いられるもので、従来の圧電素子のよう
な、噴出口から噴出させるインクの体積に見合う分量の
体積変化を生じさせるためのものではない。したがっ
て、機械加工で形成せずとも、例えば圧電膜をエッチン
グにて加工して形成するような方法で作製可能な小型の
ものとすることができる。この結果、インクジェットヘ
ッドの小型化が可能となり、集積度の高いインクジェッ
トヘッドを得ることができる。
【００１３】
【実施例】 〔実施例１〕本発明の一実施例について図１ないし図８
に基づいて説明すれば、以下の通りである。
に基づいて説明すれば、以下の通りである。
【００１４】本実施例のインクジェットヘッドは、図１
（ａ)(ｂ）に示すように、複数の圧電素子３ａ…が形成
された基板５と、この基板５の側面に設けられたスペー
サ６とを介して接合された天板７とからなるインクヘッ
ド本体１を有しており、上記基板５と天板７との間隔
は、１〜１００μｍ程度の大きさになるように設定され
ている。インクヘッド本体１における基板５と天板７と
の間には、個々に独立した複数のインク流路２…が形成
されており、これらインク流路２…の各先端部には、イ
ンク流路２…を流れるインク４が噴出されるオリフィス
８…が形成され、一方、インク流路２…の末端部には、
各インク流路２…共通のインク供給部としての図示しな
いインク室が形成されている。
（ａ)(ｂ）に示すように、複数の圧電素子３ａ…が形成
された基板５と、この基板５の側面に設けられたスペー
サ６とを介して接合された天板７とからなるインクヘッ
ド本体１を有しており、上記基板５と天板７との間隔
は、１〜１００μｍ程度の大きさになるように設定され
ている。インクヘッド本体１における基板５と天板７と
の間には、個々に独立した複数のインク流路２…が形成
されており、これらインク流路２…の各先端部には、イ
ンク流路２…を流れるインク４が噴出されるオリフィス
８…が形成され、一方、インク流路２…の末端部には、
各インク流路２…共通のインク供給部としての図示しな
いインク室が形成されている。
【００１５】上記基板５に形成されている複数の圧電素
子３ａ…は、図２に示すように、含まれるインク流路２
…毎に、圧電素子列３…を形成している。圧電素子列３
における各圧電素子３ａ…は、圧電素子３ａの流路方向
の長さｌ1 と、隣接する圧電素子３ａとの距離ｌ2 とが
等しくなるように配されており、各圧電素子３ａ…のそ
れぞれには、図示しない上下電極部にて９０度位相の異
なる交流電圧が交互に印加されるようになっている。
尚、このような交流電圧の印加は、各圧電素子列３…毎
に制御されるようになっており、インク粒を噴出させる
必要のあるときのみ、所定のインク流路２の圧電素子列
３に交流電圧が印加されるようになっている。
子３ａ…は、図２に示すように、含まれるインク流路２
…毎に、圧電素子列３…を形成している。圧電素子列３
における各圧電素子３ａ…は、圧電素子３ａの流路方向
の長さｌ1 と、隣接する圧電素子３ａとの距離ｌ2 とが
等しくなるように配されており、各圧電素子３ａ…のそ
れぞれには、図示しない上下電極部にて９０度位相の異
なる交流電圧が交互に印加されるようになっている。
尚、このような交流電圧の印加は、各圧電素子列３…毎
に制御されるようになっており、インク粒を噴出させる
必要のあるときのみ、所定のインク流路２の圧電素子列
３に交流電圧が印加されるようになっている。
【００１６】上記構成のインクジェットヘッドにおい
て、図３に示すように、インク流路２の圧電素子列３の
各圧電素子３ａ…に上述のような位相が制御された電圧
が印加されると、圧電素子列３からインク流路４内部に
貯溜されているインク４に対して矢印Ａにて示す流路方
向の進行波が励起される。この進行波の進行方向は、位
相の進み遅れにより変えることができるもので、詳細に
は、後述の文献を参照されたい。このような進行波が励
起されると、この進行波にて圧電素子列３に接触してい
るインク４が矢印Ａ方向の速度を付与され、オリフィス
８へと向かって流れる。そして、この流れの勢いにてイ
ンク４がインク粒４ａとなってオリフィス８から噴出す
る。噴出したインク粒４ａは、オリフィス８の前方に配
された図示しない紙面に付着して記録ドットを形成す
る。尚、このとき、インク流路２には、図示しないイン
ク室からインク４が順次供給される。
て、図３に示すように、インク流路２の圧電素子列３の
各圧電素子３ａ…に上述のような位相が制御された電圧
が印加されると、圧電素子列３からインク流路４内部に
貯溜されているインク４に対して矢印Ａにて示す流路方
向の進行波が励起される。この進行波の進行方向は、位
相の進み遅れにより変えることができるもので、詳細に
は、後述の文献を参照されたい。このような進行波が励
起されると、この進行波にて圧電素子列３に接触してい
るインク４が矢印Ａ方向の速度を付与され、オリフィス
８へと向かって流れる。そして、この流れの勢いにてイ
ンク４がインク粒４ａとなってオリフィス８から噴出す
る。噴出したインク粒４ａは、オリフィス８の前方に配
された図示しない紙面に付着して記録ドットを形成す
る。尚、このとき、インク流路２には、図示しないイン
ク室からインク４が順次供給される。
【００１７】ここで、上記インクジェットヘッドを作製
する工程を２つ説明する。まず、図４ないし図６を参照
して第１の作製工程を説明する。ガラス、セラミック、
あるいは金属等からなる基板１００を用意し（図４
（ａ））、この基板１００の上面にＡｌ、Ｃｒ、Ｍｏ、
Ｔａ、Ｃｏ、Ｎｉまたはその合金からなる金属膜１１０
を形成し、これにフォトレジスト１２０を塗布し（図４
（ｂ））、フォトリソグラフィーにて図５（ａ）に示す
ような電極パターンにパターニングし、その後、エッチ
ング等を施して余分な金属膜１１０を除去し、下部電極
１１０ａ…と下配線部１１０ｂ…からなる下部電極部１
１０’を形成する（図４（ｃ))。ここで、下部電極１１
０ａ…は、各電極１１０ａの長さｌ1 と、隣接する電極
１１０ａまでの距離ｌ2 とが等しくなるように形成さ
れ、配線部１１０ｂ…は、一つ置きの電極１１０ａに同
じ電圧が印加されるように形成される。
する工程を２つ説明する。まず、図４ないし図６を参照
して第１の作製工程を説明する。ガラス、セラミック、
あるいは金属等からなる基板１００を用意し（図４
（ａ））、この基板１００の上面にＡｌ、Ｃｒ、Ｍｏ、
Ｔａ、Ｃｏ、Ｎｉまたはその合金からなる金属膜１１０
を形成し、これにフォトレジスト１２０を塗布し（図４
（ｂ））、フォトリソグラフィーにて図５（ａ）に示す
ような電極パターンにパターニングし、その後、エッチ
ング等を施して余分な金属膜１１０を除去し、下部電極
１１０ａ…と下配線部１１０ｂ…からなる下部電極部１
１０’を形成する（図４（ｃ))。ここで、下部電極１１
０ａ…は、各電極１１０ａの長さｌ1 と、隣接する電極
１１０ａまでの距離ｌ2 とが等しくなるように形成さ
れ、配線部１１０ｂ…は、一つ置きの電極１１０ａに同
じ電圧が印加されるように形成される。
【００１８】次に、下部電極部１１０’が形成されてい
る基板１００の上面に、ＰＺＴ、ＰＬＺＴ、ＺｎＯ、Ａ
ｌＮなどからなる圧電膜１３０を形成する（図４
（ｄ））。圧電膜１３０の形成方法としては、真空蒸着
法、スパッタ法、ＣＶＤ法、ゾルゲル法等が採用でき、
これら以外には、圧電材料の粉末、バインダー、及び適
当な溶剤を混ぜたスラリー状の材料を薄く塗布する、い
わゆるグリーンシート法を採用することも可能である。
ここで、真空蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法、ゾルゲル
法等は、主に０.1〜数μｍの厚さの圧電膜１３０を形成
するのに適しており、グリーンシート法はそれ以上の厚
さの膜を形成するのに適している。
る基板１００の上面に、ＰＺＴ、ＰＬＺＴ、ＺｎＯ、Ａ
ｌＮなどからなる圧電膜１３０を形成する（図４
（ｄ））。圧電膜１３０の形成方法としては、真空蒸着
法、スパッタ法、ＣＶＤ法、ゾルゲル法等が採用でき、
これら以外には、圧電材料の粉末、バインダー、及び適
当な溶剤を混ぜたスラリー状の材料を薄く塗布する、い
わゆるグリーンシート法を採用することも可能である。
ここで、真空蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法、ゾルゲル
法等は、主に０.1〜数μｍの厚さの圧電膜１３０を形成
するのに適しており、グリーンシート法はそれ以上の厚
さの膜を形成するのに適している。
【００１９】次いで、この圧電膜１３０を金属膜１２０
の場合と同様のフォトリソグラフィーにて、図５（ｂ）
の斜線部に示すようにパターニングし、下部電極１１０
ａ…の上に圧電素子１３０ａ…を形成する（図４
（ｅ））。
の場合と同様のフォトリソグラフィーにて、図５（ｂ）
の斜線部に示すようにパターニングし、下部電極１１０
ａ…の上に圧電素子１３０ａ…を形成する（図４
（ｅ））。
【００２０】この後、基板１００の上面全体に、Ｓｉ
Ｏ，ＳｉＯ2 ，ＳｉＮ，ＡｌＮ等の無機材料、もしくは
パリレン樹脂，ポリイミド樹脂等の有機化合物からなる
絶縁膜１４０を形成する（図４（ｆ））。そして、この
絶縁膜１４０の上に、上記下部電極１１０ａ…に対応す
る同一形状の上部電極１５０ａ…と、図示しない配線部
とを同様の方法で形成する（図４（ｇ））。尚、この場
合、上部電極１５０ａ…に設けられた配線部と、下配線
部１１０ｂ…との間には、絶縁膜１４０が介在するの
で、両者が短絡することはない。また、上部電極１５０
ａ…の配線部、及び下配線部１１０ｂ…の根本部に、異
なる形状のパッドを設け、このパッドに駆動電圧を供給
する信号線をワイヤーボンディングすることも可能であ
る。
Ｏ，ＳｉＯ2 ，ＳｉＮ，ＡｌＮ等の無機材料、もしくは
パリレン樹脂，ポリイミド樹脂等の有機化合物からなる
絶縁膜１４０を形成する（図４（ｆ））。そして、この
絶縁膜１４０の上に、上記下部電極１１０ａ…に対応す
る同一形状の上部電極１５０ａ…と、図示しない配線部
とを同様の方法で形成する（図４（ｇ））。尚、この場
合、上部電極１５０ａ…に設けられた配線部と、下配線
部１１０ｂ…との間には、絶縁膜１４０が介在するの
で、両者が短絡することはない。また、上部電極１５０
ａ…の配線部、及び下配線部１１０ｂ…の根本部に、異
なる形状のパッドを設け、このパッドに駆動電圧を供給
する信号線をワイヤーボンディングすることも可能であ
る。
【００２１】そして、この状態の基板１００と、図６に
示すガラス、セラミック、金属等からなり、一方面に、
エッチングにてインク流路２…とオリフィス８…に応じ
た凹部２１０…が形成されている基板２００とを、基板
１００の加工面と基板２００の加工面とが相対向するよ
うに接合する。これにて、図１のインクヘッド本体１が
作製される（図４（ｈ））。
示すガラス、セラミック、金属等からなり、一方面に、
エッチングにてインク流路２…とオリフィス８…に応じ
た凹部２１０…が形成されている基板２００とを、基板
１００の加工面と基板２００の加工面とが相対向するよ
うに接合する。これにて、図１のインクヘッド本体１が
作製される（図４（ｈ））。
【００２２】次に、図７及び図８を用いて第２の作製工
程を説明する。上記の第１の作製工程と同様の工程を経
て、基板１００の上に下部電極１１０ａ…、圧電素子１
３０ａ…、絶縁膜１４０、上部電極１５０…等を形成す
る（図７（ａ））。
程を説明する。上記の第１の作製工程と同様の工程を経
て、基板１００の上に下部電極１１０ａ…、圧電素子１
３０ａ…、絶縁膜１４０、上部電極１５０…等を形成す
る（図７（ａ））。
【００２３】次いで、この上に、ＰＳＧ（Phospher Sil
icate Glass)、スチレン樹脂等の昇華性材料、あるいは
有機溶剤に可溶の高分子材料からなる犠牲層１６０を形
成した後、この犠牲層１６０の形状を、図８に示すよう
に形成すべきインク流路２…とオリフィス８…の形状に
合わせて加工すると共に、厚さを最終的に形成したいイ
ンク流路２の高さに等しく加工する（図７（ｂ））。
icate Glass)、スチレン樹脂等の昇華性材料、あるいは
有機溶剤に可溶の高分子材料からなる犠牲層１６０を形
成した後、この犠牲層１６０の形状を、図８に示すよう
に形成すべきインク流路２…とオリフィス８…の形状に
合わせて加工すると共に、厚さを最終的に形成したいイ
ンク流路２の高さに等しく加工する（図７（ｂ））。
【００２４】この後、この状態の基板１００の上面に、
ポリシリコン、ＡｌＮ、ＳｉＯ、ＳｉＯ2 、低融点ガラ
ス、ＰＺＴ、ＰＬＺＴ、ＺｒＯ、ＴｉＯ、光硬化性樹
脂、またはその他のセラミック材料からなる天板１７０
を、機械的強度を保つような充分な厚みを有した形状に
て形成する（図７（ｃ））。天板１７０の形成方法とし
ては、天板１７０の材質に、ポリシリコン、ＡｌＮ、Ｓ
ｉＯ、ＳｉＯ2 等を選択した場合は、真空蒸着法、ＣＶ
Ｄ法、あるいはスパッタ法が採用でき、ＰＺＴ、ＰＬＺ
Ｔ、ＺｒＯ、ＴｉＯ等を選択した場合は、スパッタ法、
あるいはゾルゲル法が採用できる。また、セラミック材
料の場合は、セラミック材料の粉末、バインダー、適当
な溶剤を混ぜたスラリー状の材料を薄く塗布する、いわ
ゆるグリンシート法を用いることができる。ここで、真
空蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法、ゾルゲル法等は、主
に０.1〜数μｍの厚さの圧電膜１３０を形成するのに適
しており、グリーンシート法はそれ以上の厚さの膜を形
成するのに適している。
ポリシリコン、ＡｌＮ、ＳｉＯ、ＳｉＯ2 、低融点ガラ
ス、ＰＺＴ、ＰＬＺＴ、ＺｒＯ、ＴｉＯ、光硬化性樹
脂、またはその他のセラミック材料からなる天板１７０
を、機械的強度を保つような充分な厚みを有した形状に
て形成する（図７（ｃ））。天板１７０の形成方法とし
ては、天板１７０の材質に、ポリシリコン、ＡｌＮ、Ｓ
ｉＯ、ＳｉＯ2 等を選択した場合は、真空蒸着法、ＣＶ
Ｄ法、あるいはスパッタ法が採用でき、ＰＺＴ、ＰＬＺ
Ｔ、ＺｒＯ、ＴｉＯ等を選択した場合は、スパッタ法、
あるいはゾルゲル法が採用できる。また、セラミック材
料の場合は、セラミック材料の粉末、バインダー、適当
な溶剤を混ぜたスラリー状の材料を薄く塗布する、いわ
ゆるグリンシート法を用いることができる。ここで、真
空蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法、ゾルゲル法等は、主
に０.1〜数μｍの厚さの圧電膜１３０を形成するのに適
しており、グリーンシート法はそれ以上の厚さの膜を形
成するのに適している。
【００２５】このように天板１７０を形成した後、犠牲
層１６０を除去する。これにて、図１のインクヘッド本
体１が作製される（図７（ｄ））。犠牲層１６０の除去
方法としては、犠牲層１６０の材質によって異なるが、
所定のエッチング液、有機溶剤、あるいは昇華性材料の
場合は、全体を加熱することでなされる。
層１６０を除去する。これにて、図１のインクヘッド本
体１が作製される（図７（ｄ））。犠牲層１６０の除去
方法としては、犠牲層１６０の材質によって異なるが、
所定のエッチング液、有機溶剤、あるいは昇華性材料の
場合は、全体を加熱することでなされる。
【００２６】ここで、上記各作製工程について考える
と、上記第１・第２両工程とも、インク流路２…をエッ
チングにて形成しているので、微細なインク流路２…を
精度良く形成することができ、集積度の高いヘッドの構
成が可能である。また、インク流路２…をエッチングに
て形成することにより、インク流路２…の深さを精密に
加工することができるので、進行波が励起したときに重
要となる進行波表面と天板７との距離を正確に決定する
ことができる。
と、上記第１・第２両工程とも、インク流路２…をエッ
チングにて形成しているので、微細なインク流路２…を
精度良く形成することができ、集積度の高いヘッドの構
成が可能である。また、インク流路２…をエッチングに
て形成することにより、インク流路２…の深さを精密に
加工することができるので、進行波が励起したときに重
要となる進行波表面と天板７との距離を正確に決定する
ことができる。
【００２７】また、第２の作製工程においては、インク
流路２…の高さが、最初に形成され加工される犠牲層１
６０の厚さに等しいので、高さの制御が第１の作製工程
よりも容易に行えるという利点を有している。
流路２…の高さが、最初に形成され加工される犠牲層１
６０の厚さに等しいので、高さの制御が第１の作製工程
よりも容易に行えるという利点を有している。
【００２８】尚、両工程とも、オリフィス８…は、イン
ク流路２…を絞った形状にパターニングすることでエッ
チングにて形成しているが、これ以外に、例えば電鋳で
作製されたＮｉプレート等に微細な穴加工が施された別
材料からなるオリフィス板をオリフィス８…の形成部位
に接合する方法でもよい。
ク流路２…を絞った形状にパターニングすることでエッ
チングにて形成しているが、これ以外に、例えば電鋳で
作製されたＮｉプレート等に微細な穴加工が施された別
材料からなるオリフィス板をオリフィス８…の形成部位
に接合する方法でもよい。
【００２９】以上のように、本実施例のインクジェット
ヘッドにおいては、基板１表面のインク流路２…の形成
部位に、インク流路２の流路方向に沿って、９０度位相
が異なる交流電圧が印加されることで、インク流路２…
内部に貯溜されているインク４に対して流路方向の進行
波を励起する圧電素子列３…が形成されているので、イ
ンク流路２…内部のインク４は、この進行波にて流路方
向の速度を付与され、オリフィス８…へと流れ、この流
れの勢いにてオリフィス８…から噴出される。
ヘッドにおいては、基板１表面のインク流路２…の形成
部位に、インク流路２の流路方向に沿って、９０度位相
が異なる交流電圧が印加されることで、インク流路２…
内部に貯溜されているインク４に対して流路方向の進行
波を励起する圧電素子列３…が形成されているので、イ
ンク流路２…内部のインク４は、この進行波にて流路方
向の速度を付与され、オリフィス８…へと流れ、この流
れの勢いにてオリフィス８…から噴出される。
【００３０】したがって、たとえインク流路２内に、気
泡が混入したとしても、気泡はインク４の流れに伴って
オリフィス８から排出されるので、従来のように、気泡
によりインク４の噴出が阻害されることはない。この結
果、信頼性の高いインクジェットヘッドを得ることがで
きる。
泡が混入したとしても、気泡はインク４の流れに伴って
オリフィス８から排出されるので、従来のように、気泡
によりインク４の噴出が阻害されることはない。この結
果、信頼性の高いインクジェットヘッドを得ることがで
きる。
【００３１】また、上記構成の圧電素子列３…は、進行
波を励起するのに用いられるもので、従来の圧電素子の
ような、オリフィス８から噴出させるインク粒４ａの体
積に見合う分量の体積変化を生じさせるためのものでは
ない。したがって、機械加工で形成せずとも、圧電膜１
３０をエッチングにて加工して形成するような方法で作
製可能な小型のものとすることができる。この結果、イ
ンクジェットヘッドが小型になり、集積度の高いインク
ジェットヘッドを得ることができる。
波を励起するのに用いられるもので、従来の圧電素子の
ような、オリフィス８から噴出させるインク粒４ａの体
積に見合う分量の体積変化を生じさせるためのものでは
ない。したがって、機械加工で形成せずとも、圧電膜１
３０をエッチングにて加工して形成するような方法で作
製可能な小型のものとすることができる。この結果、イ
ンクジェットヘッドが小型になり、集積度の高いインク
ジェットヘッドを得ることができる。
【００３２】さらに、本実施例のインクジェットヘッド
は、エッチングにて一括して大量に作製できるので、作
製コストの削減も可能である。
は、エッチングにて一括して大量に作製できるので、作
製コストの削減も可能である。
【００３３】また、本発明の進行波を励起するたの圧電
素子列３…、及び上下電極部の形状は、上記以外にも種
々の形状が可能で、上記以外の進行波を励起するための
一般的な電極あるいは圧電膜の形状については、文献IE
ICE Technical Report US86-16, pp23-30 を参照された
い。
素子列３…、及び上下電極部の形状は、上記以外にも種
々の形状が可能で、上記以外の進行波を励起するための
一般的な電極あるいは圧電膜の形状については、文献IE
ICE Technical Report US86-16, pp23-30 を参照された
い。
【００３４】尚、本実施例のインクジェットヘッドにお
いては、インクヘッド本体１の基板５に、圧電素子列３
…が設けられた構成となってるが、本発明はこれに限定
されるものではなく、例えば天板７側に圧電素子列３…
を設けた構成とすることも可能である。
いては、インクヘッド本体１の基板５に、圧電素子列３
…が設けられた構成となってるが、本発明はこれに限定
されるものではなく、例えば天板７側に圧電素子列３…
を設けた構成とすることも可能である。
【００３５】また、図９（ａ）に示すように、基板５と
天板７の両方に圧電素子列１０…を設けた構成としても
よい。図中、圧電素子列１０…の形状は、前記実施例の
形状に限る必要がないことから模式的に表している。こ
のような構成のインクジェットヘッドにおいては、イン
ク粒４ａの噴出に際し、同図（ｂ）に示すように、図に
おいて上下両面の圧電素子列１０から進行波が励起され
るので、インク４の流れる速度を上昇させることがで
き、噴出効率を向上できる。
天板７の両方に圧電素子列１０…を設けた構成としても
よい。図中、圧電素子列１０…の形状は、前記実施例の
形状に限る必要がないことから模式的に表している。こ
のような構成のインクジェットヘッドにおいては、イン
ク粒４ａの噴出に際し、同図（ｂ）に示すように、図に
おいて上下両面の圧電素子列１０から進行波が励起され
るので、インク４の流れる速度を上昇させることがで
き、噴出効率を向上できる。
【００３６】また、上下両面から進行波が励起されるの
で、一方面から進行波が励起するもののように、進行波
が励起された面の対向面に接触して摩耗するということ
がないので、進行波がインク４に速度を付与する際の効
率が向上し、これによっても、噴出効率の向上が図れ
る。
で、一方面から進行波が励起するもののように、進行波
が励起された面の対向面に接触して摩耗するということ
がないので、進行波がインク４に速度を付与する際の効
率が向上し、これによっても、噴出効率の向上が図れ
る。
【００３７】〔実施例２〕本発明の他の実施例を図１０
に基づいて説明すれば、以下の通りである。尚、説明の
便宜上、前記の実施例の図面に示した部材と同一の機能
を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明を省
略する。
に基づいて説明すれば、以下の通りである。尚、説明の
便宜上、前記の実施例の図面に示した部材と同一の機能
を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明を省
略する。
【００３８】本実施例のインクジェットヘッドは、図１
０に示すように、基板５の上に図示しないスペーサを介
してダイヤフラム１１が形成されたインクヘッド本体１
２を有している。このダイヤフラム１１の形成には、例
えばステンレス箔、あるいはＳｉ単結晶を異方性エッチ
ングで加工したもの等を用いることができる。また、こ
のインクヘッド本体１２における基板５とダイヤフラム
１１との間に介されたスペーサは、ダイヤフラム１１と
基板５との間にインク流路２を形成すべく、インク流路
２の高さに相当するように高さ設定されており、図示し
てはいないが、前記実施例と同様に、基板５の上には、
複数の個々に独立したインク流路２…が形成されてい
る。
０に示すように、基板５の上に図示しないスペーサを介
してダイヤフラム１１が形成されたインクヘッド本体１
２を有している。このダイヤフラム１１の形成には、例
えばステンレス箔、あるいはＳｉ単結晶を異方性エッチ
ングで加工したもの等を用いることができる。また、こ
のインクヘッド本体１２における基板５とダイヤフラム
１１との間に介されたスペーサは、ダイヤフラム１１と
基板５との間にインク流路２を形成すべく、インク流路
２の高さに相当するように高さ設定されており、図示し
てはいないが、前記実施例と同様に、基板５の上には、
複数の個々に独立したインク流路２…が形成されてい
る。
【００３９】そして、各インク流路２…に対応する部位
のダイヤフラム１１上には、流路方向に沿って複数の圧
電素子列１０…が形成されている。
のダイヤフラム１１上には、流路方向に沿って複数の圧
電素子列１０…が形成されている。
【００４０】〔実施例３〕本発明の他の実施例を図１１
ないし図１３に基づいて説明すれば、以下の通りであ
る。尚、説明の便宜上、前記の実施例の図面に示した部
材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を付記
し、その説明を省略する。
ないし図１３に基づいて説明すれば、以下の通りであ
る。尚、説明の便宜上、前記の実施例の図面に示した部
材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を付記
し、その説明を省略する。
【００４１】本実施例のインクジェットヘッドは、図１
２に示すような外観のインクヘッド本体１３を有してお
り、図１１に示すように、基板１４と天板１５の両方に
圧電素子列１０…が設けられ、基板１４と天板１５とで
１個のインク流路２が形成される一対のヘッド素子１
３’が、スペーサ１６…を介して、インク流路２の高さ
方向に接合して積み重ねられた構成を有している。
２に示すような外観のインクヘッド本体１３を有してお
り、図１１に示すように、基板１４と天板１５の両方に
圧電素子列１０…が設けられ、基板１４と天板１５とで
１個のインク流路２が形成される一対のヘッド素子１
３’が、スペーサ１６…を介して、インク流路２の高さ
方向に接合して積み重ねられた構成を有している。
【００４２】このような構成のインクジェットヘッドに
おいては、各インク流路２…の流路方向と直交する面方
向の幅が、オリフィス８…の間隔とは関係しないので、
インク流路２…の幅Ｈを広くとることができ、たとえ圧
電素子列１０…にて励起される進行波の速度が遅く、イ
ンク４の流れに勢いがなくとも、流路が絞られているオ
リフィス８…近傍においては充分な速度を有するように
なり、効率よくインクを噴出させることができる。
おいては、各インク流路２…の流路方向と直交する面方
向の幅が、オリフィス８…の間隔とは関係しないので、
インク流路２…の幅Ｈを広くとることができ、たとえ圧
電素子列１０…にて励起される進行波の速度が遅く、イ
ンク４の流れに勢いがなくとも、流路が絞られているオ
リフィス８…近傍においては充分な速度を有するように
なり、効率よくインクを噴出させることができる。
【００４３】尚、上記実施例においては、圧電素子列１
０…を、基板１４と天板１５の両方に設けたヘッド素子
１３’を積層して構成しているが、これに限定されるも
のではなく、基板１４側、もしくは天板１５側の何れか
一方に形成したヘッド素子を積層して構成してもよい。
このようなインクジェットヘッドは、例えば、図１３に
示すように、基板１７の一方面に圧電素子列１０とオリ
フィス８とを形成すると共に、側面側にインク流路２の
高さを有するスペーサ６を設け、この状態の基板７を複
数用意し、基板１７の加工面と非加工面とが相対向する
ように順次接合していくことで形成することができる。
０…を、基板１４と天板１５の両方に設けたヘッド素子
１３’を積層して構成しているが、これに限定されるも
のではなく、基板１４側、もしくは天板１５側の何れか
一方に形成したヘッド素子を積層して構成してもよい。
このようなインクジェットヘッドは、例えば、図１３に
示すように、基板１７の一方面に圧電素子列１０とオリ
フィス８とを形成すると共に、側面側にインク流路２の
高さを有するスペーサ６を設け、この状態の基板７を複
数用意し、基板１７の加工面と非加工面とが相対向する
ように順次接合していくことで形成することができる。
【００４４】〔実施例４〕本発明の他の実施例を図１４
ないし図１５に基づいて説明すれば、以下の通りであ
る。尚、説明の便宜上、前記の実施例の図面に示した部
材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を付記
し、その説明を省略する。
ないし図１５に基づいて説明すれば、以下の通りであ
る。尚、説明の便宜上、前記の実施例の図面に示した部
材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を付記
し、その説明を省略する。
【００４５】本実施例のインクジェットヘッドは、図１
４に示すような外観のインクヘッド本体１８を有してお
り、図１５に示すように、上面側に上部電極部１９ａ…
・１９ｂ…とが形成され、下面側の同位置に同一形状を
有する図示しない下部電極部が形成されたＰＶＤＦ（ポ
リ弗化ビニリデン樹脂）等の圧電材料フィルムからなる
フィルム基板２０が２枚、側面側に設けられたインク流
路２の高さを有するスペーサ６を介して、向かい合わせ
に接合して形成されるヘッド素子１８’が図示しないス
ペーサを介して、インク流路２の高さ方向に接合して積
み重ねられた構成を有している。
４に示すような外観のインクヘッド本体１８を有してお
り、図１５に示すように、上面側に上部電極部１９ａ…
・１９ｂ…とが形成され、下面側の同位置に同一形状を
有する図示しない下部電極部が形成されたＰＶＤＦ（ポ
リ弗化ビニリデン樹脂）等の圧電材料フィルムからなる
フィルム基板２０が２枚、側面側に設けられたインク流
路２の高さを有するスペーサ６を介して、向かい合わせ
に接合して形成されるヘッド素子１８’が図示しないス
ペーサを介して、インク流路２の高さ方向に接合して積
み重ねられた構成を有している。
【００４６】このような構成のインクジェットヘッドに
おいては、インク流路２の流路方向と直交する面方向の
幅が、オリフィス８…の間隔とは関係しないので、イン
ク流路２…の幅Ｈを広くとることができ、前記実施例３
と同様の効果を奏すると共に、さらに、基板材料に、Ｐ
ＶＤＦ等の圧電材料フィルムを用いて基板と圧電素子列
とを同一部材から作製しているので、１個のヘッド素子
１８’の厚さが薄くなり、インクジェットヘッドの一層
の小型化が図れると共に、各オリフィス８…の間隔を小
さくすることができるので、高精細な記録を行うことが
できる。
おいては、インク流路２の流路方向と直交する面方向の
幅が、オリフィス８…の間隔とは関係しないので、イン
ク流路２…の幅Ｈを広くとることができ、前記実施例３
と同様の効果を奏すると共に、さらに、基板材料に、Ｐ
ＶＤＦ等の圧電材料フィルムを用いて基板と圧電素子列
とを同一部材から作製しているので、１個のヘッド素子
１８’の厚さが薄くなり、インクジェットヘッドの一層
の小型化が図れると共に、各オリフィス８…の間隔を小
さくすることができるので、高精細な記録を行うことが
できる。
【００４７】しかも、フィルムに電極を形成するだけで
作製できるので、作製コストを削減できる。
作製できるので、作製コストを削減できる。
【００４８】また、オリフィス８…を直線的に配置した
構成のインクジェットヘッドだけでなく、オリフィス８
…を２次元的に配置したインクジェットヘッドの構成も
可能で、高速印刷が可能となる。
構成のインクジェットヘッドだけでなく、オリフィス８
…を２次元的に配置したインクジェットヘッドの構成も
可能で、高速印刷が可能となる。
【００４９】尚、本実施例においても、インク流路２の
壁面の一方から進行波を励起させる構成とすることがで
きる。
壁面の一方から進行波を励起させる構成とすることがで
きる。
【００５０】
【発明の効果】本発明のインクジェットヘッドは、以上
のように、インクヘッド本体に設けられたインクが噴出
される噴出口とインク供給部とを繋ぐインク流路のイン
ク接触面に、インク流路の流路方向に沿って、位相の異
なる交流電圧が印加されることでインク流路内部に貯溜
されているインクに対して進行波を励起する圧電素子列
が設けられている構成である。
のように、インクヘッド本体に設けられたインクが噴出
される噴出口とインク供給部とを繋ぐインク流路のイン
ク接触面に、インク流路の流路方向に沿って、位相の異
なる交流電圧が印加されることでインク流路内部に貯溜
されているインクに対して進行波を励起する圧電素子列
が設けられている構成である。
【００５１】これによれば、位相の異なる交流電圧が印
加されることで、インク流路内部のインクに対して進行
波を励起する圧電素子列が、インク流路におけるインク
接触面に、流路方向に沿って設けられているので、イン
ク流路内部のインクは、この進行波にて流路方向の速度
を付与され、噴出口へと流れ、この流れの勢いにて噴出
口から噴出される。
加されることで、インク流路内部のインクに対して進行
波を励起する圧電素子列が、インク流路におけるインク
接触面に、流路方向に沿って設けられているので、イン
ク流路内部のインクは、この進行波にて流路方向の速度
を付与され、噴出口へと流れ、この流れの勢いにて噴出
口から噴出される。
【００５２】したがって、たとえインク流路内に、気泡
が混入したとしても、気泡はインクの流れに伴って噴出
口から排出されるので、従来のように、気泡によりイン
クの噴出が阻害されることはない。この結果、信頼性の
高いインクジェットヘッドを得ることができるという効
果を奏する。
が混入したとしても、気泡はインクの流れに伴って噴出
口から排出されるので、従来のように、気泡によりイン
クの噴出が阻害されることはない。この結果、信頼性の
高いインクジェットヘッドを得ることができるという効
果を奏する。
【００５３】また、上記構成の圧電素子列は、進行波を
励起するのに用いられるもので、従来の圧電素子のよう
な、噴出口から噴出させるインクの体積に見合う分量の
体積変化を生じさせるためのものではない。したがっ
て、機械加工で形成せずとも、例えば圧電膜をエッチン
グにて加工して形成するような方法で作製可能な小型の
ものとすることができる。この結果、インクジェットヘ
ッドの小型化が可能となり、集積度の高いインクジェッ
トヘッドを得ることができるという効果を併せて奏す
る。
励起するのに用いられるもので、従来の圧電素子のよう
な、噴出口から噴出させるインクの体積に見合う分量の
体積変化を生じさせるためのものではない。したがっ
て、機械加工で形成せずとも、例えば圧電膜をエッチン
グにて加工して形成するような方法で作製可能な小型の
ものとすることができる。この結果、インクジェットヘ
ッドの小型化が可能となり、集積度の高いインクジェッ
トヘッドを得ることができるという効果を併せて奏す
る。
【図１】本発明の一実施例におけるインクジェットヘッ
ドのインクヘッド本体を示すものであり、（ａ）は斜視
図、（ｂ）は縦断面図である。
ドのインクヘッド本体を示すものであり、（ａ）は斜視
図、（ｂ）は縦断面図である。
【図２】上記インクジェットヘッドにおける、インク流
路及び圧電素子列が形成された基板の平面図である。
路及び圧電素子列が形成された基板の平面図である。
【図３】上記インクジェットヘッドの動作時の様子を示
す模式図である。
す模式図である。
【図４】上記インクジェットヘッドの作製工程を示すも
ので、各工程毎の基板の縦断面図である。
ので、各工程毎の基板の縦断面図である。
【図５】（ａ）は上記インクジェットヘッドに設けられ
た圧電素子列を駆動する電極のパターンを示す作製途中
の基板の平面図であり、（ｂ）は圧電素子列のパターン
を示す作製途中の基板の平面図である。
た圧電素子列を駆動する電極のパターンを示す作製途中
の基板の平面図であり、（ｂ）は圧電素子列のパターン
を示す作製途中の基板の平面図である。
【図６】上記インクジェットヘッドを作製する過程で形
成され、基板に接合される天板の基板との接合面を示す
天板の下面図である。
成され、基板に接合される天板の基板との接合面を示す
天板の下面図である。
【図７】上記インクジェットヘッドを作製工程を示すも
ので、各工程毎の基板の縦断面図である。
ので、各工程毎の基板の縦断面図である。
【図８】上記インクジェットヘッドを作製するある過程
での、基板の加工面を示す基板の平面図である。
での、基板の加工面を示す基板の平面図である。
【図９】（ａ）は本発明の他の実施例のインクジェット
ヘッドの縦断面図であり、（ｂ）はインクジェットヘッ
ドの動作時の様子を示す模式図である。
ヘッドの縦断面図であり、（ｂ）はインクジェットヘッ
ドの動作時の様子を示す模式図である。
【図１０】本発明の他の実施例のインクジェットヘッド
の縦断面図である。
の縦断面図である。
【図１１】本発明の他の実施例のインクジェットヘッド
の縦断面図である。
の縦断面図である。
【図１２】図１１に示すインクジェットヘッドの外観を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図１３】図１１に示すインクジェットヘッドを構成し
得る、基板の加工面を示す斜視図である。
得る、基板の加工面を示す斜視図である。
【図１４】本発明の他の実施例のインクジェットヘッド
の外観を示す斜視図である。
の外観を示す斜視図である。
【図１５】図１４に示すインクジェットヘッドを構成す
る、基板の加工面を示す斜視図である。
る、基板の加工面を示す斜視図である。
【図１６】従来のサーマル式のインクジェットヘッドの
構成を示す説明図である。
構成を示す説明図である。
【図１７】従来の圧電式のインクジェットヘッドの構成
を示す断面図である。
を示す断面図である。
１ インクヘッド本体 ２ インク流路 ３ 圧電素子列 ３ａ 圧電素子 ４ インク ４ａ インク粒 ５ 基板 ６ スペーサ ７ 天板 ８ オリフィス（噴出口） １０ 圧電素子列 １１ ダイヤフラム １２ インクヘッド本体 １３ インクヘッド本体 １３’ ヘッド素子 １４ 基板 １５ 天板 １６ スペーサ １８ インクヘッド本体 １８’ ヘッド素子 １９ａ 上部電極部 １９ｂ 下部電極部 ２０ 基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 賢司 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 木村 和博 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】インクヘッド本体に設けられたインクが噴
出される噴出口とインク供給部とを繋ぐインク流路のイ
ンク接触面に、インク流路の流路方向に沿って、位相の
異なる交流電圧が印加されることでインク流路内部に貯
溜されているインクに対して進行波を励起する圧電素子
列が設けられていることを特徴とするインクジェットヘ
ッド。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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