JPH0622493A - スピンドルモータ - Google Patents
スピンドルモータInfo
- Publication number
- JPH0622493A JPH0622493A JP20196592A JP20196592A JPH0622493A JP H0622493 A JPH0622493 A JP H0622493A JP 20196592 A JP20196592 A JP 20196592A JP 20196592 A JP20196592 A JP 20196592A JP H0622493 A JPH0622493 A JP H0622493A
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- Japan
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- spindle
- rotor
- fluid
- stator
- rotor portion
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Motor Or Generator Frames (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ロータ部を非接触で支持するスピンドルモータ
を小型化すること。 【構成】ロータ部60に対向するステータコア50に流
体を供給する流路孔50aを形成し、流路孔50aを介
してロータ部60及びステータコア50間に流体を供給
するようにしたことにより、内部にスピンドルを兼ねた
ロータ部60を配置することができると共に、ロータ部
60及びステータコア50間の間隙56を流体軸受とし
て利用することができる。
を小型化すること。 【構成】ロータ部60に対向するステータコア50に流
体を供給する流路孔50aを形成し、流路孔50aを介
してロータ部60及びステータコア50間に流体を供給
するようにしたことにより、内部にスピンドルを兼ねた
ロータ部60を配置することができると共に、ロータ部
60及びステータコア50間の間隙56を流体軸受とし
て利用することができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はスピンドルモータに係
り、特に回転体を高速回転できるスピンドルモータに関
するものである。
り、特に回転体を高速回転できるスピンドルモータに関
するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、例えば加圧空気によって回転部を
回転自在に枢支し、この回転部を電気モータによって回
転するように構成されたスピンドルモータが知られてい
る。図4に示すように、スピンドルモータはハウジング
1を有し、このハウジング1内にスピンドル2が配置さ
れている。このスピンドル2は上下の多孔質体3及び4
によってラジアル静圧気体軸受が構成され、この軸受け
により回転自在に枢支されている。
回転自在に枢支し、この回転部を電気モータによって回
転するように構成されたスピンドルモータが知られてい
る。図4に示すように、スピンドルモータはハウジング
1を有し、このハウジング1内にスピンドル2が配置さ
れている。このスピンドル2は上下の多孔質体3及び4
によってラジアル静圧気体軸受が構成され、この軸受け
により回転自在に枢支されている。
【0003】このスピンドル2の下端にシャフト10が
設けられ、このシャフト10には砥石5が取り付けられ
れていると共に、上端にはスラスト受け円板6が取り付
けられるようになっている。スラスト円板6は多孔質体
7及び3によって構成されるスラスト方向の静圧気体軸
受によって受けられるようになっている。そして、多孔
質体3、4及び7には空気供給孔8及び空気通路9を介
して加圧空気が供給される。
設けられ、このシャフト10には砥石5が取り付けられ
れていると共に、上端にはスラスト受け円板6が取り付
けられるようになっている。スラスト円板6は多孔質体
7及び3によって構成されるスラスト方向の静圧気体軸
受によって受けられるようになっている。そして、多孔
質体3、4及び7には空気供給孔8及び空気通路9を介
して加圧空気が供給される。
【0004】さらにスピンドル2の上端側は別体の直流
モータ12のロータ13に直結されるようになってい
る。ロータ13の外周側にはステータコア14が配置さ
れると共に、このステータコア14にコイル15が巻装
されるようになっている。
モータ12のロータ13に直結されるようになってい
る。ロータ13の外周側にはステータコア14が配置さ
れると共に、このステータコア14にコイル15が巻装
されるようになっている。
【0005】またコイル15を巻装したステータコア1
4はインナケース16の内周面に支持されている。この
インナケース16の外周側にはアウタケース17が取り
付けられており、さらにインナケース16及びアウタケ
ース17間の間隙が冷却通路18を構成している。また
冷却通路18に連通するように、アウタケース17には
冷却注入口19及び冷却排出口20がそれぞれ形成され
るようになっている。
4はインナケース16の内周面に支持されている。この
インナケース16の外周側にはアウタケース17が取り
付けられており、さらにインナケース16及びアウタケ
ース17間の間隙が冷却通路18を構成している。また
冷却通路18に連通するように、アウタケース17には
冷却注入口19及び冷却排出口20がそれぞれ形成され
るようになっている。
【0006】これにより、スピンドル2は上下一対の多
孔質体3及び4を介して、空気供給孔8から供給される
静圧によってラジアル方向に支持されると共に、スラス
ト受け円板6が上下の多孔質体7及び3によってスラス
ト方向に静圧で支持されることになる。
孔質体3及び4を介して、空気供給孔8から供給される
静圧によってラジアル方向に支持されると共に、スラス
ト受け円板6が上下の多孔質体7及び3によってスラス
ト方向に静圧で支持されることになる。
【0007】さらにステータコイル15に所定の駆動電
流が通電されると、ロータ13が回転駆動され、この回
転力がスピンドル2を介して先端側の砥石5に伝達さ
れ、砥石5が高速回転されるようになっている。
流が通電されると、ロータ13が回転駆動され、この回
転力がスピンドル2を介して先端側の砥石5に伝達さ
れ、砥石5が高速回転されるようになっている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところでこのような構
成のスピンドルモータにおいては、スピンドル2を加圧
空気によって枢支するための気体軸受け部にとは別にモ
ータ部を外部に設ける必要があり構成が全体として大型
化してしまうという問題があつた。
成のスピンドルモータにおいては、スピンドル2を加圧
空気によって枢支するための気体軸受け部にとは別にモ
ータ部を外部に設ける必要があり構成が全体として大型
化してしまうという問題があつた。
【0009】また従来のスピンドルモータにおいては、
気体軸受によってスピンドル2を支持するものであるた
め、ラジアル軸受けとして十分に広い軸受部分をもつ気
体軸受を必要としていた。すなわち、回転時においてス
ピンドル2にアンバランスが生じると、軸受に大きなモ
ーメント荷重が作用するため、このモーメント荷重を広
い軸受で支持してスピンドル2を円滑に回転させる必要
がある。この結果、この気体軸受部及びモータ部でなる
スピンドルモータが全体として軸線方向に大型化すると
いう問題があつた。
気体軸受によってスピンドル2を支持するものであるた
め、ラジアル軸受けとして十分に広い軸受部分をもつ気
体軸受を必要としていた。すなわち、回転時においてス
ピンドル2にアンバランスが生じると、軸受に大きなモ
ーメント荷重が作用するため、このモーメント荷重を広
い軸受で支持してスピンドル2を円滑に回転させる必要
がある。この結果、この気体軸受部及びモータ部でなる
スピンドルモータが全体として軸線方向に大型化すると
いう問題があつた。
【0010】本発明は上記課題を解決するためになされ
たもので、小型化できるスピンドルモータを提供するこ
とを目的とする。
たもので、小型化できるスピンドルモータを提供するこ
とを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明にあ
っては、ロータ部を非接触で支持するスピンドルモータ
において、上記ロータ部を兼ねるスピンドルを形成し、
このロータ部兼用スピンドルとステータ部との間に流体
を介在させ、ロータ部を非接触で支持するようにしたス
ピンドルモータにより、達成される。
っては、ロータ部を非接触で支持するスピンドルモータ
において、上記ロータ部を兼ねるスピンドルを形成し、
このロータ部兼用スピンドルとステータ部との間に流体
を介在させ、ロータ部を非接触で支持するようにしたス
ピンドルモータにより、達成される。
【0012】前記ロータ部兼用スピンドルに対向するス
テータ部のステータコアに上記流体を供給する流路孔を
形成し、この流路孔を介してロータ部兼用スピンドルと
上記ステータコアとの間に上記流体を供給し、この流体
によって上記ロータ部兼用スピンドルを非接触で支持す
るように構成できる。
テータ部のステータコアに上記流体を供給する流路孔を
形成し、この流路孔を介してロータ部兼用スピンドルと
上記ステータコアとの間に上記流体を供給し、この流体
によって上記ロータ部兼用スピンドルを非接触で支持す
るように構成できる。
【0013】前記ロータ部兼用スピンドルとステータ部
との間に流体を所定の圧力をもって供給し、ロータ部兼
用スピンドルを非接触で支持するように構成した。
との間に流体を所定の圧力をもって供給し、ロータ部兼
用スピンドルを非接触で支持するように構成した。
【0014】前記ロータ部兼用スピンドルを回転するこ
とによってこのロータ部兼用スピンドルとステータ部と
の間に介在する流体に所定の圧力を生じさせ、上記ロー
タ部を非接触で支持するように構成できる。
とによってこのロータ部兼用スピンドルとステータ部と
の間に介在する流体に所定の圧力を生じさせ、上記ロー
タ部を非接触で支持するように構成できる。
【0015】
【作用】ロータ部をスピンドルとを兼用させることによ
り、従来別体であったモータ本体とスピンドルの軸受け
を一体化できる。そして、ロータ部兼用スピンドルとス
テータコアとの間に形成されるラジアル方向の間隙に流
体を介在させることにより、この間隙がラジアル方向の
軸受として作用する。
り、従来別体であったモータ本体とスピンドルの軸受け
を一体化できる。そして、ロータ部兼用スピンドルとス
テータコアとの間に形成されるラジアル方向の間隙に流
体を介在させることにより、この間隙がラジアル方向の
軸受として作用する。
【0016】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。尚、以下に述べる実施例は、本
発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々
の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明
において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、こ
れらの態様に限られるものではない。
づいて詳細に説明する。尚、以下に述べる実施例は、本
発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々
の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明
において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、こ
れらの態様に限られるものではない。
【0017】図1及び図2において30は全体としてス
ピンドルモータを示し、ステータブロック31、32及
び33によってハウジングが形成されている。ステータ
ブロック31及び32間には流路ブロック34が固定さ
れており、この流路ブロック34には加圧空気の流路3
4a及び34bが形成されている。またステータブロッ
ク32及び33間には流路ブロック35が固定されてお
り、この流路ブロック35には加圧空気の流路35a及
び35bが形成されている。
ピンドルモータを示し、ステータブロック31、32及
び33によってハウジングが形成されている。ステータ
ブロック31及び32間には流路ブロック34が固定さ
れており、この流路ブロック34には加圧空気の流路3
4a及び34bが形成されている。またステータブロッ
ク32及び33間には流路ブロック35が固定されてお
り、この流路ブロック35には加圧空気の流路35a及
び35bが形成されている。
【0018】ここでロータ部60は図示するようにスピ
ンドルを兼ねるように十分な軸長さを備えている。この
ロータ部兼用スピンドル60の回転軸58の周側面に保
持部材54を介してマグネツト55が固定されている。
またマグネツト55が高速回転した際に、このマグネツ
ト55の飛散防止用として樹脂部材でなる円筒形状でな
る固定部材53がマグネツト55の外周部を覆うように
固定されている。また回転軸58の先端部にはポリゴン
ミラー61及び回転体62が固定され、この回転軸58
と共に回転できるようになっている。
ンドルを兼ねるように十分な軸長さを備えている。この
ロータ部兼用スピンドル60の回転軸58の周側面に保
持部材54を介してマグネツト55が固定されている。
またマグネツト55が高速回転した際に、このマグネツ
ト55の飛散防止用として樹脂部材でなる円筒形状でな
る固定部材53がマグネツト55の外周部を覆うように
固定されている。また回転軸58の先端部にはポリゴン
ミラー61及び回転体62が固定され、この回転軸58
と共に回転できるようになっている。
【0019】ポリゴンミラー61は、内接円の直径が4
0[mm]、面数が25面でなり、常用回転数は81000[r
pm] とする。
0[mm]、面数が25面でなり、常用回転数は81000[r
pm] とする。
【0020】ここでクイツク継手42及び45を介して
供給された加圧気体(この実施例の場合3〜4[Kgf/c
m2] )は流路34b及び35bを介してロータ部60及
びステータ部の間隙57及び59に供給され、これによ
りロータ部60をスラスト方向に非接触で支持できるよ
うになっている。
供給された加圧気体(この実施例の場合3〜4[Kgf/c
m2] )は流路34b及び35bを介してロータ部60及
びステータ部の間隙57及び59に供給され、これによ
りロータ部60をスラスト方向に非接触で支持できるよ
うになっている。
【0021】この実施例では、ロータ部60及びステー
タ部の間隙57及び59間には0.12[mm]の直径でなる絞
り孔57a及び59aがそれぞれ所定の円周上に36個
形成されており、間隙57及び59に供給される加圧気
体の圧力を安定させるようになっている。
タ部の間隙57及び59間には0.12[mm]の直径でなる絞
り孔57a及び59aがそれぞれ所定の円周上に36個
形成されており、間隙57及び59に供給される加圧気
体の圧力を安定させるようになっている。
【0022】またステータブロック32は円筒形状でな
り、内周部に磁性材料でされたステータコア50が固定
されている。このステータコア50にはこのステータコ
ア50の外周面から内周面に向かつて貫通した流路孔5
0aが形成されている。この流路孔50aはこの実施例
では、6本の貫通孔が所定の角間隔で放射状に上下2列
形成されている。
り、内周部に磁性材料でされたステータコア50が固定
されている。このステータコア50にはこのステータコ
ア50の外周面から内周面に向かつて貫通した流路孔5
0aが形成されている。この流路孔50aはこの実施例
では、6本の貫通孔が所定の角間隔で放射状に上下2列
形成されている。
【0023】ステータコア50の内周面にはセラミツク
板でなる円筒部材52が固定されている。この円筒部材
52には、ステータコア50に形成された流路孔50a
に対応した位置に、流路孔50aの径よりも小さな径
(直径0.5[mm])でなる絞り孔52aが形成されてい
る。
板でなる円筒部材52が固定されている。この円筒部材
52には、ステータコア50に形成された流路孔50a
に対応した位置に、流路孔50aの径よりも小さな径
(直径0.5[mm])でなる絞り孔52aが形成されてい
る。
【0024】本実施例は以上のように構成されており、
次にその動作を述べる。クイツク継手43を介して供給
された加圧気体はステータブロック32の流路32a及
びステータコア50の流路50aを介して絞り孔52a
に達し、この絞り孔52aにおいてその圧力が安定化さ
れてロータ部との間隙56に供給される。したがってこ
の間隙56に供給された加圧気体の圧力によって回転軸
58、マグネツト55及び回転体62等でなるロータ部
60を非接触でラジアル方向に支持することができる。
次にその動作を述べる。クイツク継手43を介して供給
された加圧気体はステータブロック32の流路32a及
びステータコア50の流路50aを介して絞り孔52a
に達し、この絞り孔52aにおいてその圧力が安定化さ
れてロータ部との間隙56に供給される。したがってこ
の間隙56に供給された加圧気体の圧力によって回転軸
58、マグネツト55及び回転体62等でなるロータ部
60を非接触でラジアル方向に支持することができる。
【0025】またクイツク継手42、43及び45を介
して供給された加圧気体は流路34a及び35aを介し
てクイツク継手41及び44から排出される。さらに図
2に示すクイツク継手46も同様に排気孔として用いら
れる。
して供給された加圧気体は流路34a及び35aを介し
てクイツク継手41及び44から排出される。さらに図
2に示すクイツク継手46も同様に排気孔として用いら
れる。
【0026】かくして加圧気体によってステータ部から
非接触で支持されたロータ部60は、ステータコア50
に巻装されたコイル51に駆動電流を通電することによ
り、回転駆動することができる。
非接触で支持されたロータ部60は、ステータコア50
に巻装されたコイル51に駆動電流を通電することによ
り、回転駆動することができる。
【0027】かくして、本実施例によれば、軸受及びモ
ータ部を別体に設ける場合に比して、このスピンドルモ
ータ30を軸方向に小型化することができる。
ータ部を別体に設ける場合に比して、このスピンドルモ
ータ30を軸方向に小型化することができる。
【0028】さらに、内部にロータ部60を配置する構
成としたことにより、ロータ部60の直径を小型化する
ことができ、このロータ部60が回転した際の周側面の
回転速度を低く抑えることができる。この結果ロータ部
60及びステータ部間における流体の粘性抵抗を低減す
ることができ、回転駆動力の損失を低減することができ
る。
成としたことにより、ロータ部60の直径を小型化する
ことができ、このロータ部60が回転した際の周側面の
回転速度を低く抑えることができる。この結果ロータ部
60及びステータ部間における流体の粘性抵抗を低減す
ることができ、回転駆動力の損失を低減することができ
る。
【0029】なお上述の実施例においては、スラスト方
向に設けられた絞り孔57a及び59aとラジアル方向
に設けられた絞り孔52aの直径をそれぞれ0.12[m
m]及び0.5[mm]とした場合について述べたが、本発明
はこれに限らず、種々の大きさを適用することができ
る。
向に設けられた絞り孔57a及び59aとラジアル方向
に設けられた絞り孔52aの直径をそれぞれ0.12[m
m]及び0.5[mm]とした場合について述べたが、本発明
はこれに限らず、種々の大きさを適用することができ
る。
【0030】また上述の実施例においては、加圧気体を
供給する場合について述べたが、本発明は気体に限ら
ず、液体を用いるようにしても良い。これにより、モー
タの冷却効率を高めることができる。
供給する場合について述べたが、本発明は気体に限ら
ず、液体を用いるようにしても良い。これにより、モー
タの冷却効率を高めることができる。
【0031】さらに上述の実施例においては、加圧気体
を供給することによって非接触の軸受を形成する場合に
ついて述べたが、本発明はこれに限らず、ロータ部の回
転に応じて所定の圧力を生じるようにしてもよい。例え
ば、図3に示すようにロータ部160の周面に傾斜溝も
しくは突起161を形成し、かつスラスト側には図示す
るような渦状の溝157を設ける。これにより、ロータ
部160が矢印方向に回転することにより、流体が溝状
の流路161に導かれ、図示しないステータ部との間に
所定の圧力で供給され、ラジアル側の軸受けを形成す
る。また、ロータ部160の回転により溝157に所定
の圧力で導かれた流体はスラスト側の軸受けを形成す
る。
を供給することによって非接触の軸受を形成する場合に
ついて述べたが、本発明はこれに限らず、ロータ部の回
転に応じて所定の圧力を生じるようにしてもよい。例え
ば、図3に示すようにロータ部160の周面に傾斜溝も
しくは突起161を形成し、かつスラスト側には図示す
るような渦状の溝157を設ける。これにより、ロータ
部160が矢印方向に回転することにより、流体が溝状
の流路161に導かれ、図示しないステータ部との間に
所定の圧力で供給され、ラジアル側の軸受けを形成す
る。また、ロータ部160の回転により溝157に所定
の圧力で導かれた流体はスラスト側の軸受けを形成す
る。
【0032】このようにして、本発明のスピンドルモー
タをいわゆる動圧型の軸受けをを備えるように構成でき
る。これにより、スピンドルモータを密閉して動作させ
ることができるので、上述の実施例における静圧型のモ
ータのように、流体を外部に排気もしくは排出すること
がなく、周囲の環境に悪影響を与えないスピンドルモー
タを得ることができる。
タをいわゆる動圧型の軸受けをを備えるように構成でき
る。これにより、スピンドルモータを密閉して動作させ
ることができるので、上述の実施例における静圧型のモ
ータのように、流体を外部に排気もしくは排出すること
がなく、周囲の環境に悪影響を与えないスピンドルモー
タを得ることができる。
【0033】なお、上述の実施例ではスピンドルにてポ
リゴンミラーを回転させているが、これに限らず、本発
明のスピンドルモータは工作機械の主軸等の高速,高精
度の回転を要するモータに広く適用できる。
リゴンミラーを回転させているが、これに限らず、本発
明のスピンドルモータは工作機械の主軸等の高速,高精
度の回転を要するモータに広く適用できる。
【0034】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、ロータ部
に対向するステータコアに流体を供給する流路孔を形成
し、流路孔を介してロータ部及びステータコア間に流体
を供給するようにしたことにより、内部にロータ部兼用
スピンドルを配置することができると共に、ロータ部及
びステータコア間の間隙を流体軸受として利用すること
ができる。これにより、スピンドルモータを一段と小型
化することができる。
に対向するステータコアに流体を供給する流路孔を形成
し、流路孔を介してロータ部及びステータコア間に流体
を供給するようにしたことにより、内部にロータ部兼用
スピンドルを配置することができると共に、ロータ部及
びステータコア間の間隙を流体軸受として利用すること
ができる。これにより、スピンドルモータを一段と小型
化することができる。
【図1】本発明によるスピンドルモータの一実施例を示
す断面図である。
す断面図である。
【図2】本発明によるスピンドルモータの一実施例を示
す平面図である。
す平面図である。
【図3】本発明の好適な実施例に係るロータ兼用スピン
ドルに形成した溝を示す断面図である。
ドルに形成した溝を示す断面図である。
【図4】従来のスピンドルモータを示す断面図である。
30 スピンドルモータ 31、32、33 ステータブロック 34、35 流路ブロック 50 ステータコア 50a 流路孔 52 円筒部材 52a 絞り孔
Claims (4)
- 【請求項1】 ロータ部を非接触で支持するスピンドル
モータにおいて、 上記ロータ部を兼ねるスピンドルを形成し、このロータ
部兼用スピンドルとステータ部との間に流体を介在さ
せ、ロータ部を非接触で支持するようにしたことを特徴
とする、スピンドルモータ。 - 【請求項2】 前記ロータ部兼用スピンドルに対向する
ステータ部のステータコアに上記流体を供給する流路孔
を形成し、 この流路孔を介してロータ部兼用スピンドルと上記ステ
ータコアとの間に上記流体を供給し、 この流体によって上記ロータ部兼用スピンドルを非接触
で支持するようにしたことを特徴とする、請求項1に記
載のスピンドルモータ。 - 【請求項3】 前記ロータ部兼用スピンドルとステータ
部との間に流体を所定の圧力をもって供給し、ロータ部
兼用スピンドルを非接触で支持するようにしたことを特
徴とする、請求項1に記載のスピンドルモータ。 - 【請求項4】 前記ロータ部兼用スピンドルを回転する
ことによってこのロータ部兼用スピンドルとステータ部
との間に介在する流体に所定の圧力を生じさせ、上記ロ
ータ部を非接触で支持するようにしたことを特徴とす
る、スピンドルモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20196592A JPH0622493A (ja) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | スピンドルモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20196592A JPH0622493A (ja) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | スピンドルモータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0622493A true JPH0622493A (ja) | 1994-01-28 |
Family
ID=16449701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20196592A Pending JPH0622493A (ja) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | スピンドルモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0622493A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100376998B1 (ko) * | 2000-07-13 | 2003-03-26 | 삼성전기주식회사 | 유체정압 베어링 모터 |
| JP2013038945A (ja) * | 2011-08-09 | 2013-02-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | 電磁振動を遮断したスピンドルユニット |
| CN110067811A (zh) * | 2019-05-30 | 2019-07-30 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种气浮转台 |
| CN111120502A (zh) * | 2020-01-19 | 2020-05-08 | 至玥腾风科技集团有限公司 | 一种空气轴承 |
-
1992
- 1992-07-06 JP JP20196592A patent/JPH0622493A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100376998B1 (ko) * | 2000-07-13 | 2003-03-26 | 삼성전기주식회사 | 유체정압 베어링 모터 |
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| CN110067811B (zh) * | 2019-05-30 | 2024-03-26 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种气浮转台 |
| CN111120502A (zh) * | 2020-01-19 | 2020-05-08 | 至玥腾风科技集团有限公司 | 一种空气轴承 |
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