JPH062272Y2 - ウェーハ容器の上部緩衝板 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、半導体ウェーハを損傷、汚染から防いで安全
に輸送するめたのウェーハ容器の上部緩衝板に関するも
のである。

（従来技術とその問題点） 半導体結晶棒をスライスしたウェーハは集積回路を作る
ためにユーザーに向けて大量に輸送する場合が多く、こ
のとき高価だが薄くて脆いウェーハを損傷、汚染から守
るために充分な配慮が必要とされる。

従来、この輸送用容器としては、例えば第４図に示すよ
うな、上蓋41と容体42（同図ａ）または上蓋41と容体42
と内箱43（同図ｂ）とからなる直方体状をしたものが知
られていて、容体42または内箱43の、それぞれの幅方向
の両内側壁には、ウェーハＷの配列方向に多数のリブ44
…が互いに対向して設けられ、それぞれの隣接するリブ
44間に各ウェーハＷを、その周縁部Waにおいて個別に収
容すると共に、それぞれの上蓋Wbを上蓋41の下面または
内箱の上縁部に着脱自在に設けた弾性部材45、46などに
より弾性的に保持して、輸送中の振動によるウェーハＷ
の破損を防止している。

この弾性部材には第５図に示すように幾つかのタイプの
ものが知られていて、それぞれ固有の問題を抱えてい
る。なすわち、図ａ（実開昭58-175627号）または図ｂ
（特開昭52-118390号、同55-12715号）のものは、構造
的に最も簡単であるが、各ウェーハの上縁Wbを受け入れ
る切込みがなく、弾性材と各ウェーハとの接触位置の高
低差が吸収し切れないため、ウェーハが固定されず、輸
送中の振動でウェーハと容器とが擦れ、削り屑が発生し
てウェーハを汚染させる。

図ｃ（特開昭52-118390号、実開昭62-99575号）または
図ｂ（実開昭52-148043号）のものは各ウェーハの上縁W
bを受け入れる切込みがあるため前者に比べれば安定で
あるが、各切込みに独立性がないため、ウェーハの径や
押し込み量にバラツキがあると、保持力のバラツキとな
り、その結果ウェーハのガタ、摩擦、汚染へとつなが
る。

ｄのタイプを改善したものとして、近年図ｅに示すよう
な櫛歯形可撓部に案内膜を設けたものも提案されている
（実開昭60-2826号）が、これでも各押え溝が連続して
いるため、構造が複雑な割にはウェーハ保持力のバラツ
キが改善されず、またウェーハにこの緩衝板を押し込ん
だときにウェーハとの接触点がズレ、ウェーハエッジと
の摩擦を引き起こし汚染の原因となる。

さらに、図ｆ（特開昭60-173826号、同-193877号）に示
すものは、隣合う櫛歯状可撓部がウェーハ毎に独立して
いるため、ウェーハの径や押し込み量にバラツキがあっ
ても高低差をよく吸収し、ウェーハ保持力が安定する
が、ウェーハの充填時や容器の蓋をしたときに、櫛歯状
可撓部間の隙間にウェーハが落ち込んで挟まれ、破損や
汚染の原因となる。

このように従来の上部緩衝板はいずれも一長一短で、本
当に満足できるものは未だ見出されていないという状況
にある。

（問題点を解決するための手段） そこで、本考案者らは、これらの上部緩衝板の構造につ
いて鋭意研究の結果、上記ｆタイプに近似した構造であ
る多数の短冊状の弾性片を備えた上部緩衝板において、
それぞれの弾性片の先端部下面に係止片を設け、それぞ
れの係止片を互いに断面が対称で全体としての側面がＭ
字状を呈する１組の側壁から構成し、係止片の一方の側
壁を隣接する弾性片上の係止片の他方の側壁と互いに側
面の一部が重なり合う位置に隣接して設けてなるものに
すると、ｆタイプのものの最大の欠陥であったウェーハ
の弾性片間における落ち込みが未然に防止され、ウェー
ハの破損や汚染が全く起こらなくなることを見出し、本
考案に到達するに至ったものである。

つぎに、本考案の詳細を第１〜第３図に示した実施例に
基づいて説明する。

まず、第１図は本考案になる上部緩衝板を装着し得るウ
ェーハ容器の一実施態様を示すものである。このウェー
ハ容器は上蓋１と容体２と内箱３とから構成され、上蓋
１と容体２とのそれぞれの開口周縁には帯状段部４、５
があって、パッキン６を介して互いに係合閉止できるよ
うになっている。内箱３はその断面形状が椀状をしてい
て、その椀側部に相当する上部側壁７、７の内側にはウ
ェーハＷの配列方向に多数のひだ８…が互いに対称に設
けられていて、それぞれの隣接するひだ８、８間に各ウ
ェーハＷ…を、その左右両側縁で個別に収容し得るよう
になっている。

一方、上蓋１の下面には上部緩衝板20が着脱自在に装着
されていて、各ウェーハＷ…の上縁を弾性的に保持し輸
送中の振動に備えている。

第２図はこの上部緩衝板20の詳細を示すもので、これ
は、例えば、四角形の枠体21と、内箱３の側壁７、７に
平行して吊設されている１対の下降壁22、22と、それぞ
れの下縁より内側方に相対して延出する多数の短冊状の
弾性片23…とから構成されていて、それぞれの弾性片23
…の先端部下面には各ウェーハＷ…の上縁Wbを係止する
ための係止片24が設けられている。この係止片24は互い
に断面が対称の１組の側壁25、26からなっていて、同図
(c)に示されるように、その側面は全体としてＭ字状を
呈している。この係止片24を構成する１組の側壁25、26
は各弾性片23…の両側の斜め方向に相対して設けられ、
また弾性片23aの一方の側壁25aが、これに隣接する弾性
片23bの他方の側壁26bと側面から見て互いに一部が重な
り合う位置に隣接して設けられていて、各側壁25、26が
弾性片全体として平面千鳥状を呈するように配設されて
いる。

また、第３図は上部緩衝板の第２の実施例を示し、この
上部緩衝板３０では、係止片34を構成する１組の側壁3
5、36が各弾性片33…の両側に相対して設けられてい
て、この組合せの１組の係止片34…が、互いに隣接する
弾性片33a、33bとの間で、交互に平面千鳥状に位置をず
らして配設されている。したがって、この実施例におい
ても前例と同様、弾性片33a上の側壁35aと弾性片33b上
の側壁36bとは側面から見て互いに一部が重なり合う位
置に隣接して設けられている。

このように本考案になる上部緩衝板では、多数の弾性片
の先端部下面に設けられた係止片が互いに断面が対称で
全体としての側面がＭ字状を呈する１組の側壁からな
り、その一方の側壁が隣接する弾性片上の係止片の他方
の側壁と側面の一部が重なり合う位置に互いに隣接して
設けられているので、多数のウェーハＷを内箱３のひだ
８…に沿って個別に挿入する際、第２図(c)に示される
ように、その下縁Wcが弾性片23aと23bの隙間Ｐにはまり
込む恐れがなく、各係止片24の１組の側壁25、26の間に
常に間違いなく収めることができる。

一方、本考案による上部緩衝板を備えたウェーハ容器で
は、容器内に挿入されたウェーハＷが、その上縁Wbを上
蓋１の内部下面に設けられた上部緩衝板20（または30）
の係止片24（または34）により、また左右両側縁Wa、Wa
を内箱３の左右両側壁７、７に設けられたひだ８、８…
間により、それぞれ個別に支持されるため、ウェーハＷ
の輸送中または取扱い中における振動に充分に対応し、
ウェーハが上部緩衝板の係止片から外れて他の部品と接
触し微粉を発生したり、損傷を受ける恐れがない。

本考案に係わる上部緩衝板は上記構造の係止片を多数の
短冊状の弾性片の先端部下面に備えた構造のものであれ
ば、第１〜３図に例示したものに限られることはなく、
例えば第４図(b)に示した弾性部材56のひれ状をしたウ
ェーハとの接触部を上記と同様の構造にすることもでき
る。

また、この上部緩衝板が適用されるウェーハ容器も、第
１図として示した前記実施例のものに限定されることは
なく、例えば従来例として第４図(a)に示した、上蓋41
と容体42とからなり、容体42の両側壁に前述したウェー
ハＷを受け入れる多数のリブ44を設けた容器において、
上蓋41の下面に装着したウェーハＷの上縁を抑える場合
にも、同様に適用することができる。

なお、この容器は内外圧の変化に対応できるように適所
にリブを備えた強靱な構造体とし、その製作には内容物
が透視可能なポリプロピレン、アクリル樹脂などのプラ
スチックからなる剛性の高い材質のものが一般に採用さ
れる。

（考案の効果） 以上説明したように、本考案によれば、 ウェーハの容器への挿入が迅速かつ容易であり、挿入
時および挿入後の輸送中または保管中において、ウェー
ハが上部緩衝板の係止片から外れて他の部品と接触し微
粉を発生したり、損傷を受ける恐れがない。

上部緩衝板の各弾性片が所定の間隙を保持して独立に
機能するため、ウェーハの輸送中または取扱い中におけ
る振動への対応性に優れ、また成形時の金型に構造的な
無理がないため、成形が容易であり、かつ経済性に優れ
ている。

【図面の簡単な説明】

第１〜第３図はいずれも本考案の実施例に係わり、第１
図は上部緩衝板を備えたウェーハ容器の一実施態様につ
いて、その構造を説明するための分解斜視図、第２図は
上部緩衝板に係わる第１の実施例で、(a)は平面図、(b)
はその部分拡大平面図、(c)はウェーハ挿入時の作用を
示す(b)図のＣ−Ｃ矢視線に沿う断面図であり、第３図
は上部緩衝板に係わる第２の実施例についての部分拡大
平面図である。 第４図および第５図は従来例に係わり、第４図(a)、(b)
はそれぞれ異なる態様のウェーハ容器の部分断面正面
図、第５図(a)〜(f)はそれぞれ異なる態様の上部緩衝板
についての斜視図である。 （主要な符号の説明） 20、30…上部緩衝板、23、33…弾性片、 24、34…係止片、25、26、35、36…側壁。

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】多数の短冊状の弾性片を備えた上部緩衝板
   において、それぞれの弾性片の先端部下面に係止片を設
   け、それぞれの係止片を互いに断面が対称で全体として
   の側面がＭ字状を呈する１組の側壁から構成し、その一
   方の側壁を隣接する弾性片上の係止片の他方の側壁と互
   いに側面の一部が重なり合う位置に隣接して設けてなる
   ウェーハ容器の上部緩衝板。
2. 【請求項２】係止片を構成する１組の側壁が、各弾性片
   の両側の斜め方向に相対して設けられ、各側壁が弾性片
   全体として平面千鳥状に配設されている実用新案登録請
   求の範囲第１項記載のウェーハ容器の上部緩衝板。
3. 【請求項３】係止片を構成する１組の側壁が、各弾性片
   の両側に相対して設けられ、この組合せのそれぞれの係
   止片が、互いに隣接する弾性片との間で交互に平面千鳥
   状に配設されている実用新案登録請求の範囲第１項記載
   のウェーハ容器の上部緩衝板。