JPH0622983Y2 - 半導体素子マウント装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は半導体ペレットのマウント装置に関し、特に誤
マウント作業の防止機構に関する。

〔従来の技術〕

従来マウント装置はコレットの詰まり検出は行なわれて
なく、ペレット吸着ミス検出のみ行なっており、このペ
レット吸着ミス検出方法としては、ペレット吸着動作の
後でペレットをマウントする迄の間にペレット吸着口下
方より照射した光をコレット上端部で受光し、ペレット
の有／無による明／暗状態を検出する光学式方法とペレ
ットを真空吸着することを利用して吸着ラインに真空セ
ンサーを取り付け、この真空センサーのON/OFF信号によ
って検出する方法があり、万一ペレット吸着ミスが生じ
た時はコレットをリードフレーム内のマウントアイラン
ドに下降させない機構を付けていた。

〔考案が解決しようとする問題点〕

上述した従来のマウント装置は数多くマウント動作を行
なうに従って、コレット先端のペレット吸着口の変形、
ペレット屑やソルダーの付着により、コレット先端のペ
レット吸着口の詰まりまたは、詰まりに近い現象が生
じ、ペレット吸着ミスにもかかわらずペレット有りと判
定し、ペレット無しの製品を作ると同時にペレット表面
に傷を付ける欠点があった。

また更に真空センサーは安定性に問題があり、また光学
方式、真空センサー方式共に断線、短絡等の異常時にも
誤判定する欠点があった。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案の半導体素子マウント装置は、ペレットと上記ペ
レットが搭載されるリードフレームとの間に位置するよ
うに固定され光を照射するランプと、第１のステージ上
に取り付けられ上下運動を行なう第２のステージと、受
光素子及びペレット吸着口を備えかつ上記第２のステー
ジに固定されたコレットであって、上記第１のステージ
の移動と共に上記半導体ペレット・上記リードフレーム
間を移動するコレットと、上記第１のステージに固定さ
れた遮蔽板と、上記コレットが上記半導体ペレットを吸
着するために移動して上記ランプを通過するときに上記
遮蔽板によって遮蔽されて第１のタイミング信号を発生
し、上記コレットが半導体ペレット吸着動作をした後に
吸着した半導体ペレットをマウントするために移動して
上記ランプ上を再度通過する時に上記遮蔽板によって遮
蔽されて第２のタイミング信号を発生するセンサとを有
し、上記受光素子が上記コレットの上記ペレット吸着口
を通して上記ランプからの光を受けるかどうかを上記第
１のタイミング信号に応答して調べることにより上記ペ
レット吸着口の詰りを検出し、上記受光素子が上記ペレ
ット吸着口を通して上記ランプからの光を受けるかどう
かを上記第２のタイミング信号に応答して調べることに
より上記半導体ペレットの吸着ミスを検出することを特
徴とする。

〔実施例〕

次に本考案について図面を参照して説明する。

第１図は本考案の一実施例の構成図であり、第２図はコ
レット部の略図であり、第３図(A),(B),(C)は、正常マ
ウント時、コレット詰まり時、ペレット吸着ミス時のコ
レットの動きを表わした図である。本実施例では、第１
のステージ及び第２のステージをそれぞれＹステージ及
びＺステージと呼ぶことにする。コレット１はＸステー
ジ２に乗ったＹステージ３上に取り付けた上下運動を行
なうＺステージ４に取り付けてあり、コレット１の上端
部にはフォトトランジスタ５が取り付けてあり、更に常
時点灯しているランプ６を、常にコレット１のペレット
吸着口７にＹ方向の位置が一致する様にＸステージ２に
取り付けてあり、更にコレット１のペレット吸着口７の
位置がランプ６の上方に位置した時にフォトインタラプ
ター８を遮光する遮蔽板９をＹステージ３に取り付けて
ある。

動作前コレット１はほぼ第１図の位置にあり、正常時は
第３図(A)に示す様にまずＸ，Ｙステージ２，３が動き
コレット１が移動し、その途中フォトインタラプター８
は遮蔽板９に１度遮蔽され、信号１３を出し、信号１３
が暗より明に変化した瞬間フォトトランジスタ５はラン
プ６の光を受光し明状態となっている。次にコレット１
はペレット１０を吸着する為、下降し、ペレット１を吸
着して上昇し、フレーム１１内のマウントアイランド１
２上方へ移動し、その途中再度、フォトインタラプター
８は遮蔽され信号１４を出し、信号１４が明より暗に変
化した瞬間フォトトランジスタ５はランプ６の光を吸着
したペレットにより遮光されて暗状態となっている。次
にコレット１はペレットマウントの為下降、上昇を行な
い、１シーケンスが終了となる。

次に、コレット詰まりが発生した時は第３図(B)に示す
様に、まずコレット１がペレット吸着の為前方へ移動中
フォトインタラプター８の信号１３が暗より明に変化し
た瞬間フォトトランジスタ５はランプ６の光を受光して
いない為暗状態になっており、この信号１５によってコ
レット詰まりと判定し、以後コレット１の上下動作を行
なわず、最初の位置へコレット１を戻しアラーム表示を
行ない停止をする。

次にコレット詰まりがなく、ペレット吸着ミスが発生し
た時は第３図(C)に示す様にコレット１がペレット吸着
動作を行なった後吸着したペレットをマウントする為、
フレーム１１内のマウントアイランド１２上方への移動
中フォトインタラプター８の信号１４が明より暗に変化
した瞬間フォトトランジスタ５はランプ６の光を受光し
明状態となっている為、この信号１６によってペレット
吸着ミスと判定し、マウント動作を行なわず再度ペレッ
ト吸着動作を行ない、３回連続してペレット吸着ミスを
検出した場合はアラーム表示を行ない停止をする。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案はペレット吸着ミス検出とコ
レット詰まり検出を１マウントシーケンス内に行なうこ
とによりソルダー付着、ペレット屑でのコレット詰まり
によるペレット無し製品の発生防止が行なえると同時
に、コレット上端のフォトトランジスタの感度を調整す
ることにより、ソルダー付着等によりコレット先端のペ
レット吸着口が小さくなった場合も検出出来る為、ソル
ダーによるペレット表面での傷の発生の防止にもなり、
更に同一センサーによってペレット吸着ミス検出とコレ
ット詰まり検出を行なっている為センサーであるコレッ
ト上端のフォトトランジスタの明状態と暗状態の両方の
信号を見ることになり、何らかの原因により検出回路が
故障した場合にも、コレット詰まり又はペレット吸着ミ
スのどちからのモードになり機械は停止し、不良製品の
製造防止が出来る効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の構成図、第２図はコレット部の略図、
第３図(A),(B),(Cは正常時、コレット詰まり時、ペレッ
ト吸着ミス時の検出タイミング用フォトインタラプター
の信号と検出用フォトトランジスタの信号とコレットの
上下運動のタイミングを表わす図である。 １……コレット、２……Ｘステージ、３……Ｙステー
ジ、４……Ｚステージ、５……フォトトランジスタ、６
……ランプ、７……ペレット吸着口、８……フォトイン
タラプター、９……遮蔽板、10……ペレット、１１……
リードフレーム、１２……マウントアイランド、１３…
…コレット詰まり検出タイミング信号、１４……ペレッ
ト吸着ミス検出タイミング信号、１５……コレット詰ま
り時のフォトトランジスタ５の信号レベル、１６……ペ
レット吸着ミス時のフォトトランジスタ５の信号レベ
ル、１７……フォトインタラプター８の信号、１８……
正常時のフォトトランジスタ５の信号、１９……正常時
のコレット１の上下タイミング、２０……コレット詰ま
り時のフォトトランジスタ５の信号、２１……コレット
詰まり時のコレット１の上下タイミング、２２……ペレ
ット吸着ミス時のフォトトランジスタ５の信号、２３…
…ペレット吸着ミス時のコレット１の上下タイミング。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ペレットと前記ペレットが搭載されるリー
   ドフレームとの間に位置するように固定され光を照射す
   るランプと、第１のステージ上に取り付けられ上下運動
   を行なう第２のステージと、受光素子及びペレット吸着
   口を備えかつ前記第２のステージに固定されたコレット
   であって、前記第１のステージの移動と共に前記半導体
   ペレット・前記リードフレーム間を移動するコレット
   と、前記第１のステージに固定された遮蔽板と、前記コ
   レットが前記半導体ペレットを吸着するために移動して
   前記ランプ上を通過するときに前記遮蔽板によって遮蔽
   されて第１のタイミング信号を発生し、前記コレットが
   半導体ペレット吸着動作をした後に吸着した半導体ペレ
   ットをマウントするために移動して前記ランプ上を再度
   通過する時に前記遮蔽板によって遮蔽されて第２のタイ
   ミング信号を発生するセンサとを有し、前記受光素子が
   前記コレットの前記ペレット吸着口を通して前記ランプ
   からの光を受けるかどうかを前記第１のタイミング信号
   に応答して調べることにより前記ペレット吸着口の詰り
   を検出し、前記受光素子が前記ペレット吸着口を通して
   前記ランプからの光を受けるかどうかを前記第２のタイ
   ミング信号に応答して調べることにより前記半導体ペレ
   ットの吸着ミスを検出することを特徴とする半導体素子
   マウント装置。