JPH06231417A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

磁気ヘッド及びその製造方法

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JPH06231417A
JPH06231417A JP3450193A JP3450193A JPH06231417A JP H06231417 A JPH06231417 A JP H06231417A JP 3450193 A JP3450193 A JP 3450193A JP 3450193 A JP3450193 A JP 3450193A JP H06231417 A JPH06231417 A JP H06231417A
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JP
Japan
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depth
core
groove
deepest
magnetic gap
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JP3450193A
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English (en)
Inventor
Satoru Takahashi
悟 高橋
Toshihiko Shimizui
敏彦 清水井
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 主コア20を構成する第二のコア部21Bの磁気
ギャップ20aとは反対側で、磁気ギャップ20aのデプス
長最深位置0から規定のa寸法離れた位置に規準溝22が
設けられ、規準溝22はガラス29によって充填されてい
る。規準溝22は、デプス長最深位置0を推定するための
溝である。 【効果】 規準溝22の幅c及び傾斜角θによって深さb
が判り、b寸法とa寸法とを加算した寸法が、規準溝22
側の端面からデプス長最深位置迄の距離となる。従っ
て、磁気ギャップ20aがスライダ等に隠れて見えずと
も、既知のa寸法及び角度θと測定可能なc寸法とによ
ってデプス長最深位置0を正確に推定できる。その結
果、デプス長を所定の寸法に正確に仕上げることがで
き、磁気ヘッドの電磁変換特性が安定し、歩留も向上す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッドに関し、例
えば、フロッピーディスク等に対して情報信号を書込み
或いは読出しを行うのに好適な磁気ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、フロッピーディスク用の磁気ヘッ
ドとして、例えば図13に示すように構成されたものが提
案されている。この磁気ヘッドは、記録再生用磁気ギャ
ップと消去用磁気ギャップを有する主コア120 と、断面
略E字状をなす補助コア31と、駆動コイル33、34が巻装
された一対のコイルボビン35、36とにより磁気回路部が
構成される磁気ヘッド素子が、フロッピーディスクとの
当たり特性を確保するため断面略L字状をなす一対のス
ライダ37、38によって挟み込まれてなっている。
【0003】そして、主コア120 と補助コア31とは、コ
イルボビン35、36内で所謂段重ね状態で重ね合わされ、
これら主コア120 と補助コア31と共に挿入される一対の
金属板ばね39、40によって押圧支持され磁気的結合が図
られるようになされている。
【0004】このようにして構成された磁気ヘッドは、
例えば、ジンバルを介してフロッピーディスク駆動装置
に搭載されるヘッド支持部材であるキャリッジ及び可動
アームにそれぞれ取付けられる。そして、これら上下に
設けられた磁気ヘッド間に挿入されたフロッピーディス
クの両面に対して、当該一対の磁気ヘッドによって記録
再生が行われる。
【0005】図23は主コアの拡大斜視図である。主コア
120 は、全体として山の字形を呈しており、図において
下側の部分に磁気ギャップ120a、120bが形成されてい
る。ところで、磁気ギャップ120a、120bが形成されてい
る部分は、図13のスライダ37、38に挟まれるので、外部
からは見えなくなってしまう。
【0006】主コア120 とスライダ37、38とは、図13の
ように接合された状態で、記録、再生用磁気ギャップ12
0aが所定のデプス長になるように、スライダ37、38と共
に主コア120 を研削加工する。図23には、研削加工すべ
き位置を仮想線で示してある。
【0007】この研削加工時に、前記のように磁気ギャ
ップ120aが見えなくなっているので、所定のデプス長l2
を得るため、磁気ギャップ120aのデプス長最深位置0と
磁気ギャップとは反対側の端面との間の距離l1を予め測
定しておいて、主コア120 の高さが距離l1にデプス長l2
をプラスした寸法になるよう、研削加工を施す。
【0008】ところが、上記のような加工では、次のよ
うな不都合が起こる。
【0009】(1).主コアとスライダとの接合時に、この
接合精度によってデプス長の精度が左右されてしまう。
【0010】(2).主コア加工時に、l1寸法を安定させる
ことが困難であるため、この加工の工数が増大する。
【0011】(3).各スライダ単品の寸法精度を安定させ
るために、スライダ成形の工数が増大する。
【0012】(4).完成した磁気ヘッドの実際のデプス長
が推定できないので、アセンブリ後に電磁変換特性の評
価が必要になる。その上、この評価に合格しなかった磁
気ヘッドは不合格品となり、歩留の上で問題である。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の事情
に鑑みてなされたものであって、磁気ギャップのデプス
長が正確に推定され、安定した電磁変換特性が保証され
て高い歩留を以て製造できる磁気ヘッド及びその製造方
法を提供することを目的としている。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するため、次のような構成にしている。
【0015】第一の発明は、第一のコア部と第二のコア
部とが磁気ギャップを介して接合され、前記第二のコア
部において前記磁気ギャップとは反対側のバック部分
に、前記磁気ギャップのデプス長最深位置からバック方
向へ向かう直線上にあって前記デプス長最深位置から規
定寸法だけ離れた位置に前記デプス長最深位置を決める
ための基準溝が設けられている磁気ヘッドに係る。
【0016】第二の発明は、第一のコア部と第二のコア
部とが磁気ギャップを介して接合されている磁気ヘッド
を製造するに際し、前記第一のコア部となるコア素材に
前記磁気ギャップのデプス長最深位置を規定するための
溝を設ける工程と、前記コア素材のうち、前記第二のコ
ア部において前記磁気ギャップとは反対側のバック部分
に対応する位置であって、前記磁気ギャップの前記デプ
ス長最深位置からバック方向へ向かう直線上にあって前
記デプス長最深位置から規定寸法だけ離れた位置に、前
記デプス長最深位置を決めるための基準溝を設ける工程
とを有する磁気ヘッドの製造方法に係る。
【0017】第二の発明において、デプス長最深位置を
規定するための溝と、デプス長最深位置を決めるための
規準溝とを同一の工具による加工で夫々形成するのが望
ましい。
【0018】また、第二の発明において、第一のコア部
となるコア素材と第二のコア部となるコア素材との結合
体を作製した後に、デプス長最深位置を決めるための規
準溝の少なくとも一部が露出するように前記接合体に加
工を施し、次いで、この加工された接合体の磁気ギャッ
プ側をスライダ材で挟着し、この状態で、前記露出した
規準溝により前記デプス長最深位置を決めるのが望まし
い。
【0019】更に、第二の発明において、決められたデ
プス長最深位置に基いて磁気ギャップの側の面を加工
し、所定のデプス長を得るのが望ましい。
【0020】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。以下の例
は、フロッピーディスク用の磁気ヘッドについての例で
ある。
【0021】磁気ヘッドのコアは、次のようにして作製
される。
【0022】先ず、図1に示すような形状のフェライト
製のコア素材1を用意する。コア素材1は、柱状を呈
し、溝1b、1cが形成されている。
【0023】次に、コア素材1に対し、図2に示すよう
に周面を鋭く尖らせた砥石車によって研削加工を施し、
溝1bに傾斜面1aを形成させ、次いで溝1cの下側に
V字形の溝2を形成させる。傾斜面1aと溝1cとの形
成には、仮想線で示す同一の砥石車GWを使用する。こ
れらの形成の順序は、上記とは逆であっても良い。
【0024】次に、コア素材1と、別に用意したフェラ
イト製柱状のコア素材4とで、平板状のコア素材3、5
(いずれもフェライト製)とこれらに挟まれたガラス板
6とを挟み、図3のように接合する。そして、仮想線で
示すように切断して図4に示す主コア素材10とする。コ
ア素材4には、傾斜面4aを有する溝4bと、溝1cと
同様の溝4cが形成されている。
【0025】上記の接合は、切断に先立って溝1c、4
c、2にガラス棒17、18、19(図4に示す)を挿入し、
加熱してこれらガラス棒を熔融させることによって接合
する。次に、図4に示す仮想線位置迄主コア素材10の下
面を研削し、更に下から上に向けて研削加工を施し、図
5に示す主コア20とする。
【0026】かくして、主コア20には、第一のコア部21
Aと第二のコア部21Bとが磁気ギャップ20aを介してガ
ラスによって接合され、第二のコア部21Bにコア部23が
接合して記録、再生側のコア部が構成される。同様に、
主コア20には、第一のコア部24Aと第二のコア部24Bと
が磁気ギャップ20bを介してガラスによって接合され、
第二のコア部24Bにコア部25が接合して消去側のコア部
が構成される。記録、再生用コア部と消去用コア部と
は、厚いガラス層26によって隔てられ、互いに影響しな
いようにしてある。
【0027】この状態で、図3の溝2によって形成され
た規準溝22には、ガラス棒(図4の19)によるガラス29
が充填されている。そして、図3の溝1c、4cに挿入
されたガラス棒(図4の17、18)により、ガラス部分2
7、28が第二のコア部21B、24Bに形成される。主コア2
0は、磁気ヘッド組み立て時には、図6のように上下反
転される。主コア20を次の工程に送る際、デプス長最深
位置0と規準溝22との距離aを表示している。
【0028】主コア20は、図9に示すように、チタン酸
バリウムからなり、断面L字形をなす対のスライダ37、
38により、下側の磁気ギャップが形成された部分で挟ま
れ、一体に接合されてコア−スライダ結合体30が構成さ
れる。図9において、スライダ38に隠れて見えない磁気
ギャップとは反対側の部分Bを拡大して図10に平面図
で、図11に斜視図で示す。
【0029】図中、26、29、GLはガラスであり、消去
用磁気ギャップ20b、20bは、記録、再生用磁気ギャッ
プ20aによって記録されたフロッピーディスク部分の両
側の僅かな部分を消去し、再生時にトラッキングサーボ
の誤差によるクロストーク発生を防止する。
【0030】次に、図12に仮想線で示す位置迄、主コア
20をスライダ(図9の37、38)と共に研削加工し、磁気
ギャップ20aを所定のデプス長dにする。このとき、磁
気ギャップ20aは、前述したように上記スライダに挟ま
れて見えないので、本例では、次のようにして磁気ギャ
ップ20aのデプス長最深位置を正確に推定するようにし
ている。
【0031】図12に示すデプス長最深位置0と溝22の最
深部Aとの上下方向の距離はaであり、a寸法は、図2
の研削加工時の砥石車GWの移動量によって決まる。ま
た、a寸法を測定して確かめることも可能である。ガラ
ス29が充填された溝22の底辺の寸法cと深さbとの関係
は、溝22の底面22aの傾斜角度θによって定まる。
【0032】溝22と、傾斜面21aとは、前述したように
同一砥石車によって形成されているので、底面22aの傾
斜角と傾斜面21aの傾斜角とは同じである。従って、溝
22側の端面からデプス長最深位置0迄の距離はa+bと
なる。その結果、上記端面からデプス長最深位置0の位
置を正確に推定することができる。
【0033】傾斜面21a、底面22aの傾斜角θは、45度
〜63.5度とするのが良く、45度又は63.5度とするのが特
に好ましい。何故なら、溝22の底辺の寸法cと深さbと
の関係は、傾斜角θが45度であればb=cであり、傾斜
角θが63.5度であればb=c/2であって、計算上便利
であるからである。
【0034】溝22側の端面の研削要領を拡大して図7に
示す。図中、二点鎖線仮想線で示す位置が、この研削加
工によって仕上げられる面である。寸法cは、計測用顕
微鏡により図8(a)に示すように測定される。上記の
研削加工が傾斜して図7に三点鎖線仮想線で示すように
なったとしても、図8(b)に示すようにb寸法を測定
することができる。
【0035】図8(a)、(b)の測定は、次のように
して行う。先ず、主コアの21B部と23部との境界線を顕
微鏡のX軸目盛り線に合わせ、次いでX軸方向に主コア
を移動させA点をY軸目盛り線上に位置させる。次にY
軸方向に主コアを移動させてA点をX軸、Y軸の目盛り
線の交点に位置させ、c寸法又はb寸法を読み取る。
【0036】このようにして、図9の状態で、図12の仮
想線位置迄の研削量(研削代)はc寸法によって決まる
b寸法とa寸法とを加算した値に決めることができる。
即ち、a寸法とc寸法とによって磁気ギャップデプス長
の最深位置0の位置が正確に推定され、図12における研
削代が決められて所定のデプス長dが正確に得られ、磁
気ヘッドの電磁変換特性が安定する。
【0037】更に、これにより、スライダ37、38の寸法
精度を高精度にしなくても済むようになり、これが大幅
なコストダウンに繋がる。
【0038】上記のほか、デプス長を正確に推定し、こ
の推定結果に基いてコイルに供給する電力を制御して良
好な電磁変換特性を保証することも可能である。
【0039】磁気ヘッドは、図13のようにして組み立て
られる。
【0040】主コア20をスライダ37、38で挟着してなる
コア−スライダ結合体30(図9参照)に対し、主コア20
の第一のコア部21A(記録、再生側)、24A(消去側)
に、駆動コイル33が巻装されたコイルボビン35、駆動コ
イル34が巻装されたコイルボビン36を外嵌し、主コア20
に補助コア31を密着させる。補助コア31は、脚部31A、
31Bを有する一対のコの字形コアがガラス層32を介して
接合してなり、全体としてE字形を呈している。
【0041】そして、脚部31Aが記録再生側の第一のコ
ア部21Aに、脚部31Bが再生側の第一のコア部24Aに密
着する。脚部31A、31Bは、夫々第一のコア部21A、24
Aと共にコイルボビンに挿通される。このようにして、
一対の閉磁路が形成される。図14は、この模様を図示し
ており、補助コア31を仮想線で描いてある。
【0042】コイルボビン35、36には板ばね39、40が挿
入され、これによって主コア20と補助コア31との密着が
確実になされる。その後、ジンバル保護のための、後述
するピボットに対する受け部材41が組み込まれ、図15に
示す磁気ヘッドが完成する。
【0043】次に、磁気ヘッドの使用状態を説明する。
磁気ヘッドは、図16に示すように、図示しないフロッピ
ーディスク駆動装置本体のガイドバー等に固定されるヘ
ッド支持部材を構成するキャリッジ51及びキャリッジ51
に対して同図中矢印X方向に回動自在に取付けられる可
動アーム52とを備え、これらキャリッジ51、可動アーム
52の先端側に夫々設けられた磁気ヘッド部53、54によっ
てフロッピーディスク55の両面に対して記録再生が行わ
れるように構成されてなる。
【0044】磁気ヘッド53、54は、夫々可撓性を有する
金属板ばねよりなるジンバル56、57を介してキャリッジ
51または可動アーム52にディスクの周方向或いは径方向
に可動な状態で取付けられ、ディスクの動きに対して良
好な追従性を示すようになっている。図中の61、62は、
フレキシブル プリント サーキット(FPC)で、夫
々ジンバル56、57に一端が固定されている。
【0045】また、可動アーム52に取付けられる磁気ヘ
ッド53は、ピボット58を介して可動アーム52とキャリッ
ジ51とに亘り張架される引っ張りばねにより加圧され、
ディスク55をフォローし上下に動くようになっている。
即ち、ピボット58を支点として磁気ヘッド53が前後左右
及び上下動され、上記ディスク55に対する接触状態が常
に一定に保たれる。なお、同様にキャリッジ51にもピボ
ット59が設けられ、上記磁気ヘッド54のディスク55に対
する接触状態が常に一定に保たれている。
【0046】上述の構成の磁気ヘッドアセンブリにおい
て、フロッピーディスク55のチャッキング動作時には、
可動アーム52は引っ張りばねによりキャリッジ51方向に
引きつけられ、相対向する磁気ヘッド53、54間にフロッ
ピーディスク55を挟み付けることになる。
【0047】図17〜図22は、他の例によるコア−スライ
ダ結合体の作製手順を示す。
【0048】スライダ素材79、80は非磁性材料(例えば
チタン酸カルシウム又はチタン酸バリウム等)からなる
略直方体である。スライダ素材79の一面には水平方向に
幅広の浅い溝79a、79aが設けられ、溝79a、79aには
低融点のガラス72が嵌入している。スライダ素材80の一
面の上側部分には幅広で浅い溝80aが水平方向に設けら
れ、溝80aにガラス72が嵌入している。
【0049】主コア素材71は、非磁性材料84Aを挟んだ
細長のコア部75、76と、コア部75、76の両側に非磁性材
料84B、84Cを挟んだ板状のコア部77、78とからなり、
板状コア部77、78には、後の加工で磁気ギャップのデプ
ス長を決めるための貫通孔77a、78aが夫々設けられて
いる。非磁性材料84A、84B、84Cは、高融点ガラス
(例えは融点 700℃)からなり、これらによる融着によ
って主コア素材71が作製される。板状コア部77には前記
の例におけると同様のガラスを充填させた溝77bが貫通
孔72aの反対側に形成されていて、溝77bが後にデプス
長最深位置の推定の役割を果たす。
【0050】先ず、図17に示すように、スライダ素材7
9、80をガラス72側の面が互いに向合うように対向さ
せ、これらの間に主コア素材71を位置させる。
【0051】次に、図18に示すように、スライダ素材7
9、主コア素材71、スライダ素材80を突合わせ、例えば
500℃に加熱してガラス72を熔融させ、次いで冷却して
固化させる。このようにして、スライダ素材79、主コア
素材71、スライダ素材80を接合し、磁気ヘッド素材ブロ
ック81Aとする。
【0052】次に、磁気ヘッド素材ブロック81Aを上下
反転し、図19に示すように底面を研削加工してグルーブ
及びチャンファ(面取り)を形成する。
【0053】次いで、スライダ素材79、80の部分を主コ
ア素材71の面に平行に研削加工して図20に示す形状にす
る。次に、主コア素材71の面に直交する方向にスライダ
素材79、80の部分及び主コア素材71を研削加工して図22
のコア−スライダ結合体81Bとする。この互いに直交す
る方向の研削加工の2工程は、上記の順序とは逆の順序
として良い。この場合、図19の工程の次に図21の工程、
次いで図20の工程を経て図22のコア−スライダ結合体81
Bとする。
【0054】以上のようにして作製されたコア−スライ
ダ結合体81Bは、磁気ギャップとは反対側にデプス長決
定のための仕上げ代推定用の溝77bが形成され、かつ、
次のような構造を有する。
【0055】一対のスライダ101 、102 が突合わされ、
両スライダの間に、非磁性材料84を挟んだセンタコア部
85、86及びサイドコア部87、88(これらコア部によって
主コア81Aが構成される)が挟まれる。
【0056】一方のスライダ101 には、サイドコア部8
7、88及びセンタコア部85、86に夫々接触してこれらコ
ア部の機械的強度を補強する補強脚部95、96、97が立設
している。他方のスライダ102 には、センタコア部85、
86とサイドコア部87、88に夫々対応する位置に、ジンバ
ル(図示省略)との接合を図るための接合用脚部98、9
9、100 が立設している。
【0057】図17〜図19のスライダ素材70に設けた溝70
bは、図22のセンタコア部85、86及びサイドコア部87、
88の根元の補強部102aを形成するのを容易ならしめてい
る。図19には、スライダ素材80の研削によって除去され
る部分を仮想線で示してある。
【0058】この例にあっても、前記の実施例における
と同様に、溝77bの幅寸法によって磁気ギャップデプス
長最深位置が正確に推定され、所定の寸法のデプス長が
容易に得られる。
【0059】以上、本発明の実施例を説明したが、本発
明の技術的思想に基いて前記の実施例に種々の変形を加
えることができる。
【0060】例えば、各コアやスライダの形状やこれら
を構成する材料は、前記以外の適宜の形状、材料とする
ことができる。
【0061】また、本発明は、前記のフロッピーディス
ク用磁気ヘッドのほか、他の磁気ヘッドにも同様に適用
可能である。
【0062】
【発明の作用効果】本発明は、コアの磁気ギャップとは
反対側の部分に、磁気ギャップのデプス長最深位置から
バック方向に向かう直線上であってデプス長最深位置か
ら規定寸法だけ離れた位置にデプス長最深位置を決める
ための規準溝を設けているので、磁気ギャップが隠れて
見えなくても上記規準溝によってデプス長最深位置を正
確に推定することができる。
【0063】従って、上記の正確な推定に基いて磁気ギ
ャップ側の加工を行うことにより、所定のデプス長が正
確かつ安定に得られる。
【0064】その結果、磁気ヘッドは、電磁変換特性が
安定して信頼性が高くなり、歩留も向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例による一方のコア素材の正面図である。
【図2】同磁気ギャップデプス長形成のための溝及び規
準溝を形成した一方のコア素材の正面図である。
【図3】同一方のコア素材と他方のコア素材とを平板状
コア素材を挟んで接合した状態を示す斜視図である。
【図4】同図3の接合体から切り出された主コア素材の
正面図である。
【図5】同主コアの正面図である。
【図6】同主コアの斜視図である。
【図7】同主コアの規準溝側の加工要領を示す拡大部分
正面図である。
【図8】同基規準寸法の測定における顕微鏡視野を示す
正面図である。
【図9】同コア−スライダ結合体の斜視図である。
【図10】同図9の拡大部分平面図である。
【図11】同図9の拡大部分斜視図である。
【図12】同磁気ギャップ側仕上げ時のコア−スライダ結
合体の正面図である。
【図13】同磁気ヘッド組み立ての要領を示す分解斜視図
である。
【図14】同主コアと補助コアとの関係を示す斜視図であ
る。
【図15】同磁気ヘッドの斜視図である。
【図16】同磁気ヘッドの使用状態を示す概略図である。
【図17】他の実施例による一対のスライダ素材間に主コ
ア素材を位置させた状態を示す斜視図である。
【図18】同磁気ヘッド素材ブロックの斜視図である。
【図19】同研削加工の第一工程の素材の斜視図である。
【図20】同研削加工の第二工程の素材の斜視図である。
【図21】同研削加工の第三工程の素材の斜視図である。
【図22】同コアースライダ結合体の斜視図である。
【図23】従来の主コアの斜視図である。
【符号の説明】
0・・・磁気ギャップのデプス長最深位置 1・・・主コア素材 1a・・・磁気ギャップ形成用溝の傾斜面 1b、1c、2、4b、4c、12・・・溝 3、5・・・板状コア素材 6、26、27、28、29・・・ガラス 20、81A・・・主コア 21A、24A・・・第一のコア部 21B、24B・・・第二のコア部 22・・・規準溝 23、25・・・磁気ギャップ形成用コア部 31・・・補助コア A・・・規準溝最深位置 GW・・・砥石車 a・・・デプス長最深位置と規準溝との距離 b・・・規準溝の深さ c・・・規準溝の幅 d・・・デプス長

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第一のコア部と第二のコア部とが磁気ギ
    ャップを介して接合され、前記第二のコア部において前
    記磁気ギャップとは反対側のバック部分に、前記磁気ギ
    ャップのデプス長最深位置からバック方向へ向かう直線
    上にあって前記デプス長最深位置から規定寸法だけ離れ
    た位置に前記デプス長最深位置を決めるための規準溝が
    設けられている磁気ヘッド。
  2. 【請求項2】 第一のコア部と第二のコア部とが磁気ギ
    ャップを介して接合されている磁気ヘッドを製造するに
    際し、 前記第一のコア部となるコア素材に前記磁気ギャップの
    デプス長最深位置を規定するための溝を設ける工程と、 前記コア素材のうち、前記第二のコア部において前記磁
    気ギャップとは反対側のバック部分に対応する位置であ
    って、前記磁気ギャップの前記デプス長最深位置からバ
    ック方向へ向かう直線上にあって前記デプス長最深位置
    から規定寸法だけ離れた位置に、前記デプス長最深位置
    を決めるための規準溝を設ける工程とを有する磁気ヘッ
    ドの製造方法。
  3. 【請求項3】 デプス長最深位置を規定するための溝
    と、デプス長最深位置を決めるための規準溝を同一の工
    具による加工で夫々形成する、請求項2に記載された製
    造方法。
  4. 【請求項4】 第一のコア部となるコア素材と第二のコ
    ア部となるコア素材との接合体を作製した後に、デプス
    長最深位置を決めるための規準溝の少なくとも一部が露
    出するように前記接合体に加工を施し、次いでこの加工
    された接合体の磁気ギャップ側をスライダ材で挟着し、
    この状態で前記の露出した規準溝により前記デプス長最
    深位置を決める、請求項2又は3に記載された製造方
    法。
  5. 【請求項5】 決められたデプス長最深位置に基いて磁
    気ギャップの側の面を加工し、所定のデプス長を得る、
    請求項4に記載された製造方法。
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