JPH06231730A - Pt膜形成用下地ペースト及びPt膜形成方法 - Google Patents
Pt膜形成用下地ペースト及びPt膜形成方法Info
- Publication number
- JPH06231730A JPH06231730A JP3393693A JP3393693A JPH06231730A JP H06231730 A JPH06231730 A JP H06231730A JP 3393693 A JP3393693 A JP 3393693A JP 3393693 A JP3393693 A JP 3393693A JP H06231730 A JPH06231730 A JP H06231730A
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- JP
- Japan
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- paste
- film
- base material
- fine powder
- alumina
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- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高純度アルミナ母材とPt膜との接合強度を
高める。 【構成】 Pt膜6絶縁キャップ3表面に下地層10を
介して形成されている。この下地層10はPt粒子11
間にAl2O3粒子12が混在し、Al2O3粒子12が絶縁
キャップ3を構成するアルミナ母材と結合し、Pt粒子
11がPt膜6と溶融結合している。
高める。 【構成】 Pt膜6絶縁キャップ3表面に下地層10を
介して形成されている。この下地層10はPt粒子11
間にAl2O3粒子12が混在し、Al2O3粒子12が絶縁
キャップ3を構成するアルミナ母材と結合し、Pt粒子
11がPt膜6と溶融結合している。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は高純度のアルミナ母材上
に形成するPt膜の接合強度を高めるための下地層の組
成及びPt膜の形成方法に関する。
に形成するPt膜の接合強度を高めるための下地層の組
成及びPt膜の形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】高純度アルミナ母材上にPt膜を導電性
膜や回路として形成することが、ハイブリッドIC、セ
ンサー等において従来から行なわれている。斯かるPt
膜の形成方法として従来からケミカルボンド法とアンカ
ーボンド法がある。ケミカルボンド法は粒径1〜2μm
のPt微粉末にCu、Cr、Ni等を微量添加し、これをビ
ヒクル、有機溶剤等ともに混練してペースト状にし、ア
ルミナ母材表面にスクリーン印刷した後、900〜12
00℃で焼成する方法であり、この方法では添加したC
u、Cr、NiがPt微粒子とアルミナとを結合する。アン
カーボンド法はCu、Cr、Ni等を添加せずにペースト
状にし、アルミナ母材表面に印刷した後に焼成する方法
であり、この方法ではアルミナ母材表面の微細な凹凸に
ペーストが入り込んで結合が行なわれる。
膜や回路として形成することが、ハイブリッドIC、セ
ンサー等において従来から行なわれている。斯かるPt
膜の形成方法として従来からケミカルボンド法とアンカ
ーボンド法がある。ケミカルボンド法は粒径1〜2μm
のPt微粉末にCu、Cr、Ni等を微量添加し、これをビ
ヒクル、有機溶剤等ともに混練してペースト状にし、ア
ルミナ母材表面にスクリーン印刷した後、900〜12
00℃で焼成する方法であり、この方法では添加したC
u、Cr、NiがPt微粒子とアルミナとを結合する。アン
カーボンド法はCu、Cr、Ni等を添加せずにペースト
状にし、アルミナ母材表面に印刷した後に焼成する方法
であり、この方法ではアルミナ母材表面の微細な凹凸に
ペーストが入り込んで結合が行なわれる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のPt膜
形成方法にあっては、アルミナ母材との結合力が弱く、
剥離を生じやすい。特に高純度アルミナ母材表面は極め
て平滑で凹凸がないため、アンカーボンド法で形成した
Pt膜は簡単に剥がれてしまう。
形成方法にあっては、アルミナ母材との結合力が弱く、
剥離を生じやすい。特に高純度アルミナ母材表面は極め
て平滑で凹凸がないため、アンカーボンド法で形成した
Pt膜は簡単に剥がれてしまう。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明は、高純度アルミナ母材とPt膜との間にこれらを
結合するための下地層を設け、この下地層をPt微粉末
が100重量部、高純度アルミナ微粉末が5〜15重量
部からなるものとし、更に高純度アルミナ母材が既焼成
の場合には中間層として上記の組成にSiO2微粉末を
2.5〜10重量部添加したものとした。
発明は、高純度アルミナ母材とPt膜との間にこれらを
結合するための下地層を設け、この下地層をPt微粉末
が100重量部、高純度アルミナ微粉末が5〜15重量
部からなるものとし、更に高純度アルミナ母材が既焼成
の場合には中間層として上記の組成にSiO2微粉末を
2.5〜10重量部添加したものとした。
【0005】
【作用】高純度アルミナ母材の表面に高純度アルミナ微
粉末を含む下地ペーストを塗布し、この下地ペースト上
にPtペーストを重ねて塗布し、これら下地ペーストと
Ptペーストを同時に焼成する。
粉末を含む下地ペーストを塗布し、この下地ペースト上
にPtペーストを重ねて塗布し、これら下地ペーストと
Ptペーストを同時に焼成する。
【0006】
【実施例】以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。ここで、図1は本発明を適用したメタルハラ
イドランプの封止部の断面図、図2は図1の要部拡大図
であり、メタルハライドランプは透光性の発光管1の開
口2を絶縁キャップ3で閉塞し、この絶縁キャップ3の
内側面にタングステン製の内側電極4を、外側面に外側
電極(リード)5をそれぞれ圧入し、これら内側電極4
と外側電極5とを本発明に係る方法で形成したPt膜6
にて導通している。
説明する。ここで、図1は本発明を適用したメタルハラ
イドランプの封止部の断面図、図2は図1の要部拡大図
であり、メタルハライドランプは透光性の発光管1の開
口2を絶縁キャップ3で閉塞し、この絶縁キャップ3の
内側面にタングステン製の内側電極4を、外側面に外側
電極(リード)5をそれぞれ圧入し、これら内側電極4
と外側電極5とを本発明に係る方法で形成したPt膜6
にて導通している。
【0007】また、絶縁キャップ3の表面と対向する開
口2の表面にも本発明に係る方法によってPt膜7を形
成し、これらPt膜6,7間にAu系、Pd系或いはPt系
等の低融点貴金属ろう材8が封止材として介在し、更に
絶縁キャップ3の内端面にはバックアークを防止するた
めの絶縁プレート9を設けている。
口2の表面にも本発明に係る方法によってPt膜7を形
成し、これらPt膜6,7間にAu系、Pd系或いはPt系
等の低融点貴金属ろう材8が封止材として介在し、更に
絶縁キャップ3の内端面にはバックアークを防止するた
めの絶縁プレート9を設けている。
【0008】ところで、前記発光管1及び絶縁キャップ
3はいずれも純度96%以上のアルミナ微粉末を原料と
した高純度アルミナ母材であり、発光管1については封
止前から焼成されており、絶縁キャップ3についてはP
t膜6の焼成と同時に焼成される。
3はいずれも純度96%以上のアルミナ微粉末を原料と
した高純度アルミナ母材であり、発光管1については封
止前から焼成されており、絶縁キャップ3についてはP
t膜6の焼成と同時に焼成される。
【0009】また、Pt膜6は図2に示すように絶縁キ
ャップ3表面に下地層10を介して形成されている。こ
の下地層10はPt粒子11間にAl2O3粒子12が混在
し、Al2O3粒子12が絶縁キャップ3を構成するアル
ミナ母材と結合し、Pt粒子11がPt膜6と溶融結合し
ている。尚、発光管1とPt膜7との間にも同様の下地
層が介在しているが、この下地層にはPt粒子間にAl2
O3粒子の他にSiO2粒子も混在している。
ャップ3表面に下地層10を介して形成されている。こ
の下地層10はPt粒子11間にAl2O3粒子12が混在
し、Al2O3粒子12が絶縁キャップ3を構成するアル
ミナ母材と結合し、Pt粒子11がPt膜6と溶融結合し
ている。尚、発光管1とPt膜7との間にも同様の下地
層が介在しているが、この下地層にはPt粒子間にAl2
O3粒子の他にSiO2粒子も混在している。
【0010】以下に上記の下地層及びPt膜を形成する
方法の一例を述べる。先ず、下地層を形成するための下
地ペーストを調製する。下地ペーストとしては未焼成の
アルミナからなる絶縁キャップ3用と既焼成のアルミナ
からなる発光管1用との2種類を調製する。
方法の一例を述べる。先ず、下地層を形成するための下
地ペーストを調製する。下地ペーストとしては未焼成の
アルミナからなる絶縁キャップ3用と既焼成のアルミナ
からなる発光管1用との2種類を調製する。
【0011】未焼成のアルミナ母材用の下地ペースト
は、粒径1〜2μm程度のPt微粉末を100重量部、
粒径0.1μm以下で純度96%以上(好ましくは9
9.99%)のAl2O3微粉末を5〜15重量部用意
し、これらをビヒクル及び有機溶剤とともに混練してペ
ースト状にする。
は、粒径1〜2μm程度のPt微粉末を100重量部、
粒径0.1μm以下で純度96%以上(好ましくは9
9.99%)のAl2O3微粉末を5〜15重量部用意
し、これらをビヒクル及び有機溶剤とともに混練してペ
ースト状にする。
【0012】また、既焼成のアルミナ母材用の下地ペー
ストは、上記のPt微粉末及びAl2O3粒子の他にSiO2
粒子を2.5〜20重量部添加し、これらをビヒクル及
び有機溶剤とともに混練してペースト状にする。
ストは、上記のPt微粉末及びAl2O3粒子の他にSiO2
粒子を2.5〜20重量部添加し、これらをビヒクル及
び有機溶剤とともに混練してペースト状にする。
【0013】そして、未焼成のアルミナ母材上に下地層
及びPt膜を形成するには、先ず下地ペーストをスクリ
ーン印刷或いは筆塗り等によって所定厚さ塗布し、次い
で、この下地ペーストを150℃で10分間乾燥させ、
この後下地ペーストの上に純度100%のPtペースト
を塗布して乾燥させ、而る後、未焼成のアルミナ母材と
ともに1500〜1650℃で2時間程度同時に焼成す
る。
及びPt膜を形成するには、先ず下地ペーストをスクリ
ーン印刷或いは筆塗り等によって所定厚さ塗布し、次い
で、この下地ペーストを150℃で10分間乾燥させ、
この後下地ペーストの上に純度100%のPtペースト
を塗布して乾燥させ、而る後、未焼成のアルミナ母材と
ともに1500〜1650℃で2時間程度同時に焼成す
る。
【0014】また、既焼成のアルミナ母材上に下地層及
びPt膜を形成するには、Ptペーストを塗布して乾燥さ
せるまでの工程は前記と同様であるが、アルミナ母材は
既に焼成されているので、下地ペーストとPtペースト
を1200〜1500℃で2時間程度同時に焼成する。
びPt膜を形成するには、Ptペーストを塗布して乾燥さ
せるまでの工程は前記と同様であるが、アルミナ母材は
既に焼成されているので、下地ペーストとPtペースト
を1200〜1500℃で2時間程度同時に焼成する。
【0015】ここで、既焼成の高純度アルミナ母材に対
してはSiO2粒子を含んだ下地ペーストを用いるのは、
SiO2の母材への拡散により、下地層中のアルミナとよ
り強固な結合を促すからであり、Al2O3微粉末を5〜
15重量部としたのは、Al2O3微粉末が15重量部よ
り多いと、下地層と上部Pt膜とのPtの溶融結合が弱
く、5重量部より少ないと逆に母材と下地層との結合が
低下するからであり、またSiO2粒子を2.5〜20重
量部としたのは、20重量部より多いと、溶融ガラスが
上部Pt膜上に析出し、貴金属ろうとの濡れ性を著しく
低下させ、2.5重量部より少ないと、十分なぼざいと
の強度が得られないからである。
してはSiO2粒子を含んだ下地ペーストを用いるのは、
SiO2の母材への拡散により、下地層中のアルミナとよ
り強固な結合を促すからであり、Al2O3微粉末を5〜
15重量部としたのは、Al2O3微粉末が15重量部よ
り多いと、下地層と上部Pt膜とのPtの溶融結合が弱
く、5重量部より少ないと逆に母材と下地層との結合が
低下するからであり、またSiO2粒子を2.5〜20重
量部としたのは、20重量部より多いと、溶融ガラスが
上部Pt膜上に析出し、貴金属ろうとの濡れ性を著しく
低下させ、2.5重量部より少ないと、十分なぼざいと
の強度が得られないからである。
【0016】
【発明の効果】以下の(表1)は下地ペーストとしてP
t微粉末と高純度アルミナ微粉末を含むものを用いた場
合の接合強度を下地ペーストを用いない従来例と比較し
たものであり、(表2)は下地ペーストとしてPt微粉
末と高純度アルミナ微粉末とSiO2を含むものを用いた
場合の接合強度を下地ペーストを用いない従来例と比較
したものである。
t微粉末と高純度アルミナ微粉末を含むものを用いた場
合の接合強度を下地ペーストを用いない従来例と比較し
たものであり、(表2)は下地ペーストとしてPt微粉
末と高純度アルミナ微粉末とSiO2を含むものを用いた
場合の接合強度を下地ペーストを用いない従来例と比較
したものである。
【0017】
【表1】
【表2】
【0018】上記の表からも明らかなように本発明によ
れば、高純度アルミナ母材上にPt膜を形成するにあた
り、高純度アルミナ母材とPt膜との間にPtとアルミナ
を含むペーストを焼成してなる層を介在せしめるように
したので、下地層のアルミナ粉末が高純度アルミナ母材
と結合し、一方下地層のPt粒子が上層のPtと溶融結合
し、全体として高純度アルミナ母材とPt膜との接合強
度が大幅に向上する。
れば、高純度アルミナ母材上にPt膜を形成するにあた
り、高純度アルミナ母材とPt膜との間にPtとアルミナ
を含むペーストを焼成してなる層を介在せしめるように
したので、下地層のアルミナ粉末が高純度アルミナ母材
と結合し、一方下地層のPt粒子が上層のPtと溶融結合
し、全体として高純度アルミナ母材とPt膜との接合強
度が大幅に向上する。
【図1】本発明を適用したメタルハライドランプの封止
部の断面図
部の断面図
【図2】図1の要部拡大図
1…発光管、2…開口、3…絶縁キャップ、6,7…P
t膜、10…下地層、11…Pt粒子、12…Al2O3粒
子。
t膜、10…下地層、11…Pt粒子、12…Al2O3粒
子。
Claims (4)
- 【請求項1】 アルミナ純度が96%以上の高純度アル
ミナ母材とPt膜との間に設けられる下地層を形成する
ためのペーストであって、このペーストはPt微粉末1
00重量部に対して高純度アルミナ微粉末を5〜15重
量部添加し、更にこれにビヒクル及び有機溶剤を加えて
混練してなることを特徴とするPt膜形成用下地ペース
ト。 - 【請求項2】 アルミナ純度が96%以上の高純度アル
ミナ母材とPt膜との間に設けられる下地層を形成する
ためのペーストであって、このペーストはPt微粉末1
00重量部に対して高純度アルミナ微粉末を5〜15重
量部、SiO2微粉末を2.5〜20重量部添加し、更に
これにビヒクル及び有機溶剤を加えて混練してなること
を特徴とするPt膜形成用下地ペースト。 - 【請求項3】 アルミナ純度が96%以上の未焼成の高
純度アルミナ母材の表面に、Pt微粉末100重量部に
対して高純度アルミナ微粉末を5〜15重量部添加し、
更にこれにビヒクル及び有機溶剤を加えた下地ペースト
を塗布し、次いで、この下地ペーストの上にPtペース
トを重ねて塗布し、この後、前記未焼成の高純度アルミ
ナ母材、下地ペースト及びPtペーストを同時に焼成す
るようにしたことを特徴とするPt膜形成方法。 - 【請求項4】 アルミナ純度が96%以上で既に焼成さ
れている高純度アルミナ母材の表面に、Pt微粉末10
0重量部に対して高純度アルミナ微粉末を5〜15重量
部、SiO2微粉末を2.5〜20重量部添加し、更にこ
れにビヒクル及び有機溶剤を加えた下地ペーストを塗布
し、次いで、この下地ペーストの上にPtペーストを重
ねて塗布し、この後、前記下地ペースト及びPtペース
トを同時に焼成するようにしたことを特徴とするPt膜
形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03393693A JP3402482B2 (ja) | 1993-02-01 | 1993-02-01 | Pt膜形成用下地ペースト及びPt膜形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03393693A JP3402482B2 (ja) | 1993-02-01 | 1993-02-01 | Pt膜形成用下地ペースト及びPt膜形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06231730A true JPH06231730A (ja) | 1994-08-19 |
| JP3402482B2 JP3402482B2 (ja) | 2003-05-06 |
Family
ID=12400401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03393693A Expired - Fee Related JP3402482B2 (ja) | 1993-02-01 | 1993-02-01 | Pt膜形成用下地ペースト及びPt膜形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3402482B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0903771A3 (en) * | 1997-09-19 | 1999-05-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | High-pressure discharge lamp and method for manufacturing same |
| JPWO2015016173A1 (ja) * | 2013-07-29 | 2017-03-02 | 京セラ株式会社 | 配線基板、リード付き配線基板および電子装置 |
| JP2023005498A (ja) * | 2021-06-29 | 2023-01-18 | ニッコー株式会社 | 配線基板及びその製造方法 |
-
1993
- 1993-02-01 JP JP03393693A patent/JP3402482B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0903771A3 (en) * | 1997-09-19 | 1999-05-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | High-pressure discharge lamp and method for manufacturing same |
| US6232719B1 (en) | 1997-09-19 | 2001-05-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | High-pressure discharge lamp and method for manufacturing same |
| US6428379B2 (en) | 1997-09-19 | 2002-08-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for manufacturing high-pressure discharge lamp |
| JPWO2015016173A1 (ja) * | 2013-07-29 | 2017-03-02 | 京セラ株式会社 | 配線基板、リード付き配線基板および電子装置 |
| JP2023005498A (ja) * | 2021-06-29 | 2023-01-18 | ニッコー株式会社 | 配線基板及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3402482B2 (ja) | 2003-05-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030131 |
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