JPH06237064A - プリント配線板の製造方法 - Google Patents
プリント配線板の製造方法Info
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- JPH06237064A JPH06237064A JP2453393A JP2453393A JPH06237064A JP H06237064 A JPH06237064 A JP H06237064A JP 2453393 A JP2453393 A JP 2453393A JP 2453393 A JP2453393 A JP 2453393A JP H06237064 A JPH06237064 A JP H06237064A
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Landscapes
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 現像廃液処理の問題がなく、プリント配線板
の作製所要時間を大幅に短縮することが可能なプリント
配線板の製造方法の提供。 【構成】 ベースフィルム2の一面に熱溶融性インク層
3を形成してなるインクシート1の熱溶融性インク層3
が銅張積層板11の銅箔13に接するように重ね合せ、
ついで、上記インクシート1のベースフィルム2側から
熱を加えて所望のレジストとなるインクパターン16を
銅箔13上に転写する。
の作製所要時間を大幅に短縮することが可能なプリント
配線板の製造方法の提供。 【構成】 ベースフィルム2の一面に熱溶融性インク層
3を形成してなるインクシート1の熱溶融性インク層3
が銅張積層板11の銅箔13に接するように重ね合せ、
ついで、上記インクシート1のベースフィルム2側から
熱を加えて所望のレジストとなるインクパターン16を
銅箔13上に転写する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、廃液処理の負担を低減
し、かつプリント配線板の作製所要時間を大幅に短縮す
ることが可能なプリント配線板の製造方法に関する。
し、かつプリント配線板の作製所要時間を大幅に短縮す
ることが可能なプリント配線板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、プリント配線板を製造する方法の
具体例としては、フォトリソグラフィ法が用いられてい
る。このフォトリソグラフィ法は、例えば、絶縁層と銅
箔とからなる銅張積層板の上にドライフィルムレジスト
などからなるフォトレジスト層を形成する。ついで、こ
のフォトレジスト層の表面にフォトマスクを介して紫外
線を照射し、ドライフィルムレジストを光硬化させる。
こののち、有機溶剤、アルカリ水溶液などの現像液を用
い、未硬化部分のドライフィルムレジストを溶解除去し
てレジストパターンを形成する。ついで、レジストパタ
ーンに覆われていない部分の銅箔をエッチングにより除
去した後、レジストパターンを除去して配線パターンを
形成するとプリント配線板が得られる。
具体例としては、フォトリソグラフィ法が用いられてい
る。このフォトリソグラフィ法は、例えば、絶縁層と銅
箔とからなる銅張積層板の上にドライフィルムレジスト
などからなるフォトレジスト層を形成する。ついで、こ
のフォトレジスト層の表面にフォトマスクを介して紫外
線を照射し、ドライフィルムレジストを光硬化させる。
こののち、有機溶剤、アルカリ水溶液などの現像液を用
い、未硬化部分のドライフィルムレジストを溶解除去し
てレジストパターンを形成する。ついで、レジストパタ
ーンに覆われていない部分の銅箔をエッチングにより除
去した後、レジストパターンを除去して配線パターンを
形成するとプリント配線板が得られる。
【0003】しかしながら、このようなプリント配線板
の製造方法は、フォトマスクの作製に非常に長時間要す
るため、プリント配線板の作製所要時間が長くなってし
まうという欠点があった。また、有機溶剤、アルカリ水
溶液などを用いて現像を行うため、プリント配線板の作
製所要時間が長くなるとともに廃液処理の問題があっ
た。
の製造方法は、フォトマスクの作製に非常に長時間要す
るため、プリント配線板の作製所要時間が長くなってし
まうという欠点があった。また、有機溶剤、アルカリ水
溶液などを用いて現像を行うため、プリント配線板の作
製所要時間が長くなるとともに廃液処理の問題があっ
た。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明における課題
は、現像廃液処理の問題がなく、プリント配線板の作製
所要時間を大幅に短縮することが可能なプリント配線板
の製造方法を提供することにある。
は、現像廃液処理の問題がなく、プリント配線板の作製
所要時間を大幅に短縮することが可能なプリント配線板
の製造方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】かかる課題は、ベースフ
ィルムの一面に熱溶融性インク層を形成してなるインク
シートの熱溶融性インク層が基板に接するように重ね合
せ、ついで、上記インクシートのベースフィルム側から
熱を加えて所望のレジストとなるインクパターンを基板
上に転写する方法で解決される。
ィルムの一面に熱溶融性インク層を形成してなるインク
シートの熱溶融性インク層が基板に接するように重ね合
せ、ついで、上記インクシートのベースフィルム側から
熱を加えて所望のレジストとなるインクパターンを基板
上に転写する方法で解決される。
【0006】以下、本発明のプリント配線板の製造方法
の一例を図面に基づき詳しく説明する。この例の製造方
法では、まず、図1に示すようなインクシート1を用意
する。このインクシート1は、ベースフィルム2の一面
に熱溶融性インク層3を形成してなるものである。上記
ベースフィルム2は、厚さ2〜25μmのポリエチレン
テレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリイミ
ド、ポリオレフィンなどからなるプラスチックフィルム
が用いられる。
の一例を図面に基づき詳しく説明する。この例の製造方
法では、まず、図1に示すようなインクシート1を用意
する。このインクシート1は、ベースフィルム2の一面
に熱溶融性インク層3を形成してなるものである。上記
ベースフィルム2は、厚さ2〜25μmのポリエチレン
テレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリイミ
ド、ポリオレフィンなどからなるプラスチックフィルム
が用いられる。
【0007】上記熱溶融性インク層3は、上記ベースフ
ィルム2の一面に熱溶融性インクを目的の厚みとなるよ
うに塗布、流延または積層するなどの方法によって形成
されたものである。熱溶融性インクは、耐エッチング性
を有するものであれば特に限定されず、例えば、ワック
スや熱可塑性樹脂、あるいはそれらに架橋剤を添加した
ものなどが用いられる。これらのうち、特にカルボキシ
ル基を有する熱可塑性樹脂と光架橋性単量体を含む熱溶
融性インクは、短時間の活性エネルギー線照射により耐
エッチング性の強い硬化膜を容易に形成することがで
き、かつアルカリ水溶液で容易に硬化膜を剥離できるの
で好ましい。このような熱溶融性インク層3の厚みは、
0.5〜25μm程度が好ましい。なお、熱溶融性イン
ク層3とベースフィルム2との間に、密着性制御等の目
的で中間層を設けてもよい。
ィルム2の一面に熱溶融性インクを目的の厚みとなるよ
うに塗布、流延または積層するなどの方法によって形成
されたものである。熱溶融性インクは、耐エッチング性
を有するものであれば特に限定されず、例えば、ワック
スや熱可塑性樹脂、あるいはそれらに架橋剤を添加した
ものなどが用いられる。これらのうち、特にカルボキシ
ル基を有する熱可塑性樹脂と光架橋性単量体を含む熱溶
融性インクは、短時間の活性エネルギー線照射により耐
エッチング性の強い硬化膜を容易に形成することがで
き、かつアルカリ水溶液で容易に硬化膜を剥離できるの
で好ましい。このような熱溶融性インク層3の厚みは、
0.5〜25μm程度が好ましい。なお、熱溶融性イン
ク層3とベースフィルム2との間に、密着性制御等の目
的で中間層を設けてもよい。
【0008】また、レーザ光を用いてインクシート1を
加熱する場合には、英国特許2,083,726A号に
記載されているように、光エネルギーを吸収して熱エネ
ルギーに変換する物質、例えば炭素や赤外線吸収色素な
どを熱溶融性インク層3に含有させたり、光エネルギー
吸収層を設けてもよい。また、サーマルヘッドを用いて
インクシート1を加熱する場合には、その熱によってサ
ーマルヘッドとベースフィルム2が融着しないように、
インクシート1の熱溶融性インク層3を設けていない側
に耐熱滑性層を形成してもよい。この耐熱滑性層は、熱
硬化性樹脂、紫外線硬化樹脂、フッ素系樹脂、シリコー
ン樹脂あるいは低分子量の滑剤などを用いて、厚さ0.
01〜3μm程度に形成される。
加熱する場合には、英国特許2,083,726A号に
記載されているように、光エネルギーを吸収して熱エネ
ルギーに変換する物質、例えば炭素や赤外線吸収色素な
どを熱溶融性インク層3に含有させたり、光エネルギー
吸収層を設けてもよい。また、サーマルヘッドを用いて
インクシート1を加熱する場合には、その熱によってサ
ーマルヘッドとベースフィルム2が融着しないように、
インクシート1の熱溶融性インク層3を設けていない側
に耐熱滑性層を形成してもよい。この耐熱滑性層は、熱
硬化性樹脂、紫外線硬化樹脂、フッ素系樹脂、シリコー
ン樹脂あるいは低分子量の滑剤などを用いて、厚さ0.
01〜3μm程度に形成される。
【0009】一方、図2(A)に示すような、銅張積層
板11を用意する。この銅張積層板11は、ガラス/エ
ポキシ樹脂積層板、紙/フェノール樹脂積層板、ポリイ
ミドフィルム、ポリエステルフィルムなどの絶縁層12
の表面に銅箔13が積層されたものである。銅箔13の
厚さは、配線板の用途に応じて選択される。
板11を用意する。この銅張積層板11は、ガラス/エ
ポキシ樹脂積層板、紙/フェノール樹脂積層板、ポリイ
ミドフィルム、ポリエステルフィルムなどの絶縁層12
の表面に銅箔13が積層されたものである。銅箔13の
厚さは、配線板の用途に応じて選択される。
【0010】ついで、図2(A)に示すように、上記イ
ンクシート1をこれの熱溶融性インク層3が銅箔13に
当接するように銅張積層板11上に重ね合せる。この
後、上記インクシート1のベースフィルム2側からイン
クパターンとなる部分に熱を加える。インクシート1の
ベースフィルム2側から熱を加える方法としては、サー
マルヘッドまたはレーザが好適に用いられる。
ンクシート1をこれの熱溶融性インク層3が銅箔13に
当接するように銅張積層板11上に重ね合せる。この
後、上記インクシート1のベースフィルム2側からイン
クパターンとなる部分に熱を加える。インクシート1の
ベースフィルム2側から熱を加える方法としては、サー
マルヘッドまたはレーザが好適に用いられる。
【0011】この後、上記インクシート1を銅張積層板
11から剥離すると、図2(B)に示すようなインクパ
ターン16が銅箔13上に配線パターンを形成する部分
を覆うように転写される。インクパターン16は、必要
に応じて紫外線、電子線等の活性エネルギー線や熱など
により硬化させてもよい。
11から剥離すると、図2(B)に示すようなインクパ
ターン16が銅箔13上に配線パターンを形成する部分
を覆うように転写される。インクパターン16は、必要
に応じて紫外線、電子線等の活性エネルギー線や熱など
により硬化させてもよい。
【0012】ついで、インクパターン16が形成された
銅張積層板11を図2(C)に示すように、上記インク
パターン16に覆われていない部分の銅箔13をエッチ
ングにより除去する。エッチング液は、塩化銅系、塩化
鉄系、アンモニア系のものなどが用いられる。
銅張積層板11を図2(C)に示すように、上記インク
パターン16に覆われていない部分の銅箔13をエッチ
ングにより除去する。エッチング液は、塩化銅系、塩化
鉄系、アンモニア系のものなどが用いられる。
【0013】最後に、上記インクパターン16を上記銅
箔13から剥離し、図2(D)に示すような配線パター
ン17を形成すると、目的とするプリント配線板が得ら
れる。剥離液には、用いた熱溶融性インクに応じ、例え
ばメチルエチルケトン(MEK)、塩化メチレンなどの
有機溶剤やNaOH、KOHなどのアルカリ水溶液等が
用いられる。
箔13から剥離し、図2(D)に示すような配線パター
ン17を形成すると、目的とするプリント配線板が得ら
れる。剥離液には、用いた熱溶融性インクに応じ、例え
ばメチルエチルケトン(MEK)、塩化メチレンなどの
有機溶剤やNaOH、KOHなどのアルカリ水溶液等が
用いられる。
【0014】この例のプリント配線板の製造方法は、ベ
ースフィルム2の一面に熱溶融性インク層3を形成して
なるインクシート1の熱溶融性インク層3が銅箔13に
当接するように銅張積層板11上に重ね合わせ、つい
で、上記インクシート1のベースフィルム2側から熱を
加えてインクパターン16を銅箔13上に転写し、つい
で、このインクパターン16に覆われていない部分の銅
箔13をエッチングにより除去した後、上記インクパタ
ーン16を銅箔13から剥離し、配線パターン17を形
成するので、フォトマスクが不要であるとともにアルカ
リ水溶液や有機溶剤などを用いる現像工程もないので、
現像廃液処理の問題がなく、プリント配線板の作製所要
時間を大幅に短縮することが可能であるという利点があ
る。
ースフィルム2の一面に熱溶融性インク層3を形成して
なるインクシート1の熱溶融性インク層3が銅箔13に
当接するように銅張積層板11上に重ね合わせ、つい
で、上記インクシート1のベースフィルム2側から熱を
加えてインクパターン16を銅箔13上に転写し、つい
で、このインクパターン16に覆われていない部分の銅
箔13をエッチングにより除去した後、上記インクパタ
ーン16を銅箔13から剥離し、配線パターン17を形
成するので、フォトマスクが不要であるとともにアルカ
リ水溶液や有機溶剤などを用いる現像工程もないので、
現像廃液処理の問題がなく、プリント配線板の作製所要
時間を大幅に短縮することが可能であるという利点があ
る。
【0015】また、インクシート1のベースフィルム2
側から熱を加える方法として、レーザを用いると、位置
合わせも加熱と同時に行うことができ、また、大型のプ
リント配線板を作製する場合にも容易に適用できる。ま
た、この例においては絶縁層12の片面に銅箔13が積
層されている例について説明したが、絶縁層12の両面
に銅箔13が積層されている場合にも同様になし得る。
側から熱を加える方法として、レーザを用いると、位置
合わせも加熱と同時に行うことができ、また、大型のプ
リント配線板を作製する場合にも容易に適用できる。ま
た、この例においては絶縁層12の片面に銅箔13が積
層されている例について説明したが、絶縁層12の両面
に銅箔13が積層されている場合にも同様になし得る。
【0016】また、この例においては、銅張積層板を素
材として使用し、これの銅箔上に配線パターンを形成す
る部分を覆うようにインクパターンを転写してプリント
配線板を製造する場合に本発明を採用した例について説
明したが、銅箔の張りつけていない積層板を素材として
使用し、配線パターンを形成する部分以外にインクパタ
ーンを転写してプリント配線板を製造する、いわゆるア
ディティブ法においても同様になし得る。
材として使用し、これの銅箔上に配線パターンを形成す
る部分を覆うようにインクパターンを転写してプリント
配線板を製造する場合に本発明を採用した例について説
明したが、銅箔の張りつけていない積層板を素材として
使用し、配線パターンを形成する部分以外にインクパタ
ーンを転写してプリント配線板を製造する、いわゆるア
ディティブ法においても同様になし得る。
【0017】
【実施例】次に本発明のプリント配線板の製造方法の実
施例を図2を用いて説明する。 (実施例)まず、片面に滑性処理が施された厚さ6μm
のポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ製:ルミ
ラー#6C−F531)の非処理面に、下記組成物をメ
チルエチルケトン/イソプロパノール混合溶剤に溶解し
た液を塗布し、溶剤を揮散させて厚さ5〜7μmの熱溶
融性インク層を形成し、インクシート1を用意した。
施例を図2を用いて説明する。 (実施例)まず、片面に滑性処理が施された厚さ6μm
のポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ製:ルミ
ラー#6C−F531)の非処理面に、下記組成物をメ
チルエチルケトン/イソプロパノール混合溶剤に溶解し
た液を塗布し、溶剤を揮散させて厚さ5〜7μmの熱溶
融性インク層を形成し、インクシート1を用意した。
【0018】 アクリル樹脂(メチルメタクリレート/メチルアクリレート/メタクリル酸= 60/20/20の共重合体) 10重量部 パラフィンワックス 1重量部 トリメチロールプロパントリアクリレート 4重量部 ポリプロピレングリコールジアクリレート 3重量部 ベンジルジメチルケタール 1重量部 ベンゾトリアゾール 0.1重量部
【0019】一方、厚さ25μmのポリイミドフィルム
の片面に厚さ18μmの銅箔が積層されたフレキシブル
銅張積層板11を用意した。ついで、上記インクシート
1を熱溶融性インク層が銅箔13に当接するように銅張
積層板11上に重ね合わせた。この後、上記インクシー
ト1のポリエチレンテレフタレートフィルム側からイン
クパターンとなる部分にサーマルヘッドを用いて熱を加
えた。
の片面に厚さ18μmの銅箔が積層されたフレキシブル
銅張積層板11を用意した。ついで、上記インクシート
1を熱溶融性インク層が銅箔13に当接するように銅張
積層板11上に重ね合わせた。この後、上記インクシー
ト1のポリエチレンテレフタレートフィルム側からイン
クパターンとなる部分にサーマルヘッドを用いて熱を加
えた。
【0020】この後、上記インクシート1を銅張積層板
11から剥離すると、配線パターンを形成する部分を覆
うようにインクパターン16が銅箔13上に転写され
た。ついで、この銅張積層板1に紫外線を照射して、イ
ンクパターン16を光硬化させた後、このインクパター
ン16に覆われていない部分の銅箔13を塩化銅系エッ
チング液を用いて除去した。最後に、上記インクパター
ン16を銅箔13から剥離液(3%NaOH水溶液)を
用いて剥離し配線パターン17を形成すると、プリント
配線板が得られた。この実施例においては、プリント配
線板の作製所要時間は20分であった。
11から剥離すると、配線パターンを形成する部分を覆
うようにインクパターン16が銅箔13上に転写され
た。ついで、この銅張積層板1に紫外線を照射して、イ
ンクパターン16を光硬化させた後、このインクパター
ン16に覆われていない部分の銅箔13を塩化銅系エッ
チング液を用いて除去した。最後に、上記インクパター
ン16を銅箔13から剥離液(3%NaOH水溶液)を
用いて剥離し配線パターン17を形成すると、プリント
配線板が得られた。この実施例においては、プリント配
線板の作製所要時間は20分であった。
【0021】(比較例)上記実施例で用いたものと同様
の銅張積層板の銅箔上に、感光性レジスト層の厚さ25
μmのドライフィルムレジストを、ドライフィルム用ラ
ミネーターを用いてラミネートした。ここで使用したド
ライフィルムレジストの感光性レジスト層の組成は以下
の通りである。
の銅張積層板の銅箔上に、感光性レジスト層の厚さ25
μmのドライフィルムレジストを、ドライフィルム用ラ
ミネーターを用いてラミネートした。ここで使用したド
ライフィルムレジストの感光性レジスト層の組成は以下
の通りである。
【0022】 アクリル樹脂(メチルメタクリレート/メチルアクリレート/メタクリル酸= 60/20/20の共重合体) 10重量部 トリメチロールプロパントリアクリレート 4重量部 ポリプロピレングリコールジアクリレート 3重量部 ベンジルジメチルケタール 1重量部 ベンゾトリアゾール 0.1重量部
【0023】ついで、ドライフィルムレジストが積層さ
れた銅張積層板を30分放置して室温に戻した後、この
ドライフィルムレジストの表面をフォトマスクを介して
露光を行い、ドライフィルムレジストを光硬化させた。
こののち、現像液(1%Na2CO3水溶液)を用い、未
硬化部分のドライフィルムレジストを溶解除去してレジ
ストパターンを形成した。現像後に、この銅張積層板を
十分水洗いした。
れた銅張積層板を30分放置して室温に戻した後、この
ドライフィルムレジストの表面をフォトマスクを介して
露光を行い、ドライフィルムレジストを光硬化させた。
こののち、現像液(1%Na2CO3水溶液)を用い、未
硬化部分のドライフィルムレジストを溶解除去してレジ
ストパターンを形成した。現像後に、この銅張積層板を
十分水洗いした。
【0024】ついで、レジストパターンに覆われていな
い部分の銅箔を塩化銅系エッチング液により除去した。
最後に、剥離液(3%NaOH水溶液)を用いてレジス
トパターンを除去し、配線パターンを形成すると、プリ
ント配線板が得られた。この比較例においては、プリン
ト配線板の作製所要時間は1時間であった。また、これ
以外にフォトマスクを外注して作製するのに一週間を要
した。
い部分の銅箔を塩化銅系エッチング液により除去した。
最後に、剥離液(3%NaOH水溶液)を用いてレジス
トパターンを除去し、配線パターンを形成すると、プリ
ント配線板が得られた。この比較例においては、プリン
ト配線板の作製所要時間は1時間であった。また、これ
以外にフォトマスクを外注して作製するのに一週間を要
した。
【0025】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のプリント
配線板の製造方法は、ベースフィルムの一面に熱溶融性
インク層を形成してなるインクシートの熱溶融性インク
層が基板に接するように重ね合せ、ついで、上記インク
シートのベースフィルム側から熱を加えて所望のレジス
トとなるインクパターンを基板上に転写するので、フォ
トマスクが不要であるとともにアルカリ水溶液や有機溶
剤などを用いる現像工程もないので、現像廃液処理の問
題がなく、プリント配線板の作製所要時間を大幅に短縮
することが可能であるという利点がある。また、インク
シートのベースフィルム側から熱を加える方法として、
レーザを用いると、位置合わせも加熱と同時に行うこと
ができ、また、大型のプリント配線板を作製する場合に
も容易に適用できる。
配線板の製造方法は、ベースフィルムの一面に熱溶融性
インク層を形成してなるインクシートの熱溶融性インク
層が基板に接するように重ね合せ、ついで、上記インク
シートのベースフィルム側から熱を加えて所望のレジス
トとなるインクパターンを基板上に転写するので、フォ
トマスクが不要であるとともにアルカリ水溶液や有機溶
剤などを用いる現像工程もないので、現像廃液処理の問
題がなく、プリント配線板の作製所要時間を大幅に短縮
することが可能であるという利点がある。また、インク
シートのベースフィルム側から熱を加える方法として、
レーザを用いると、位置合わせも加熱と同時に行うこと
ができ、また、大型のプリント配線板を作製する場合に
も容易に適用できる。
【図1】 本発明に用いられるインクシートの一例を示
す縦断面図である。
す縦断面図である。
【図2】 本発明のプリント配線板の製造方法の一例の
各工程を示す縦断面図である。
各工程を示す縦断面図である。
1・・・インクシート、2・・・ベースフィルム、3・・・熱溶
融性インク層、11・・・銅張積層板、12・・・絶縁層、1
3・・・銅箔、16・・・インクパターン、17・・・配線パタ
ーン
融性インク層、11・・・銅張積層板、12・・・絶縁層、1
3・・・銅箔、16・・・インクパターン、17・・・配線パタ
ーン
Claims (2)
- 【請求項1】 ベースフィルムの一面に熱溶融性インク
層を形成してなるインクシートの熱溶融性インク層が基
板に接するように重ね合せ、ついで、前記インクシート
のベースフィルム側から熱を加えて所望のレジストとな
るインクパターンを基板上に転写することを特徴とする
プリント配線板の製造方法。 - 【請求項2】インクシートのベースフィルム側から熱を
加える方法として、サーマルヘッドまたはレーザを用い
ることを特徴とする請求項1記載のプリント配線板の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2453393A JPH06237064A (ja) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | プリント配線板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2453393A JPH06237064A (ja) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | プリント配線板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06237064A true JPH06237064A (ja) | 1994-08-23 |
Family
ID=12140798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2453393A Withdrawn JPH06237064A (ja) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | プリント配線板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06237064A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999010186A1 (fr) * | 1997-08-22 | 1999-03-04 | Mitsubishi Paper Mills Limited | Materiau et procede de formation d'image, procede et dispositif de fabrication d'une plaque d'impression lithographique, procede de realisation d'une telle plaque et procede de fabrication d'une carte de circuits imprimes |
| US6664645B2 (en) | 1999-11-24 | 2003-12-16 | Omron Corporation | Method of mounting a semiconductor chip, circuit board for flip-chip connection and method of manufacturing the same, electromagnetic wave readable data carrier and method of manufacturing the same, and electronic component module for an electromagnetic wave readable data carrier |
| JP2006294741A (ja) * | 2005-04-07 | 2006-10-26 | General Technology Kk | パターン形成方法 |
| KR101014610B1 (ko) * | 2009-04-20 | 2011-02-16 | 한울정보기술(주) | 터치센서용 키 유닛 및 센싱유닛 그리고, 이들의 제조방법 |
-
1993
- 1993-02-12 JP JP2453393A patent/JPH06237064A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999010186A1 (fr) * | 1997-08-22 | 1999-03-04 | Mitsubishi Paper Mills Limited | Materiau et procede de formation d'image, procede et dispositif de fabrication d'une plaque d'impression lithographique, procede de realisation d'une telle plaque et procede de fabrication d'une carte de circuits imprimes |
| US6664645B2 (en) | 1999-11-24 | 2003-12-16 | Omron Corporation | Method of mounting a semiconductor chip, circuit board for flip-chip connection and method of manufacturing the same, electromagnetic wave readable data carrier and method of manufacturing the same, and electronic component module for an electromagnetic wave readable data carrier |
| JP2006294741A (ja) * | 2005-04-07 | 2006-10-26 | General Technology Kk | パターン形成方法 |
| KR101014610B1 (ko) * | 2009-04-20 | 2011-02-16 | 한울정보기술(주) | 터치센서용 키 유닛 및 센싱유닛 그리고, 이들의 제조방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000509 |