JPH06239623A - ガラス質シリカ製品の作製 - Google Patents

ガラス質シリカ製品の作製

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JPH06239623A
JPH06239623A JP5201540A JP20154093A JPH06239623A JP H06239623 A JPH06239623 A JP H06239623A JP 5201540 A JP5201540 A JP 5201540A JP 20154093 A JP20154093 A JP 20154093A JP H06239623 A JPH06239623 A JP H06239623A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明の目的はガラス質シリカ製品の作製に
関する。 【構成】 空孔のない高シリカガラスの大きな基体の作
成を含む低価格作製は、コロイド状シリカ粒子の水溶性
ゾルのゲル化と、それに続くそのようなゲルの乾燥及び
焼結に依存する。乾燥ゲル中にクラックがないのは、粒
子を湿らすポリマ材料を含んだことの結果である。ポリ
マ材料は焼結に伴う温度により、熱的に分解することに
よって、除去される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【本発明の背景】技術分野 本発明はゾル−ゲル生成高シリカガラスを必要とする各
種製品の経済的な作製に関する。広義には、本発明は低
価格を進める。得られる製品は、より高価な方法により
生ずる製品と同じ特性を有してもよい。しかし、同じ考
えにより、たとえば低融点混合酸化物ガラスのような他
の材料に代り、改善された特性を示す現在経済的に可能
なシリカガラスの使用が指示される。
【0002】重要な視点は、光学的性質に関するもの
で、本発明のプロセスは改善された強度、安定性及びシ
リカに付随した他の特性だけでなく、たとえば多孔性や
気泡による有害な光学的効果を避ける可能性がある。重
要な分野は、光ファイバに関連する。ファイバ全体の作
製が考えられるが、重要な用途には、オーバクラッドチ
ューブ内に囲まれたコアロッドを含む合成プリフォーム
から、ファイバを引くことが含まれる。オーバクラッド
チューブはゾル−ゲルにより、コアロッドはMCVCD
又はスートプロセスを用いた堆積により生成される。
【0003】
【用語】含まれる技術は科学的であるとともに、商業生
産的で、各種の用語が矛盾なく適用されるのではなく、
ある程度一般的でない技術的に認識された意味をもつ。
以下の定義は主として、本発明すなわち光ファイバの視
点を基本にしている。
【0004】炎合成シリカ 従って、本発明のゾル−ゲルプロセスに使用する可能性
の高い出発材料は、一般に粒状シリカ(シリカ粉末)を
生成させるために、酸水素炎を用いて、たとえば四塩化
シリコンのような適当なシリコン化合物を炎加水分解す
ることにより、準備される。
【0005】コロイドシリカ この用語は懸濁に含まれるある程度可能な時間を設定
し、必要なゾルを形成することを目的とするのではない
寸法/質量といった粒子の通常の技術に伴った意味をも
つ。本発明のプロセスは、特定の条件下で、ゲル化に必
要な時間、ゾルを保持するための粒子の分布/分離のみ
を必要とする。その結果、一時的なゾル状態の必要性
は、他の場合より、幾分緩和される。
【0006】ゾル 液体中のコロイド粒子の分散である。
【0007】ゲル 本質的に非液体であるようにゲル化したゾルである。ゲ
ルは結合したコロイド状ゾル粒子の網から成り、最初は
ある程度なお存在する格子間の液体を有する。プロセス
は“乾燥ゲル”を生じるように、そのような液体を除去
することを考えている。
【0008】コアロッド 十分な基本的クラッド材料により囲まれ、一緒になって
プリフォームの一部を形成するコア材料から成るガラス
円筒である。基本的に最終のファイバの光学的機能の一
部を果す。コアロッドはたとえばMCVD、VAD、O
VDのようなファイバ作製に、現在用いられている気相
堆積法により、生成させてよい。
【0009】オーバクラッド コアロッドはオーバクラッド管内に挿入され、ファイバ
として引くための合成プリフォームを生じる。オーバク
ラッドはシリカガラスで、屈折率を抑えるため、ドープ
してもよい。オーバクラッド管は、合成プリフォームか
ら引いた時、所望の特性のファイバを生じるような、寸
法をもつ。典型的な場合、オーバクラッドはファイバプ
リフォームの少くとも80〜90%をなす。本発明は他
の方法により生成される現在入手可能なオーバクラッド
管に直接置き代るゾル−ゲル生成オーバクラッドを生じ
る。従って、そのような管は、本発明の最初の商業生産
に用いる場合である可能性が高く、コアロッドの挿入前
に、堅固にされる。あるいは、後の商業生産の説明のよ
うに、管はロッドに挿入する時、堅固になってなく、な
お多孔質であってもよい。その場合、堅固にするのは、
合成プリフォームの形成中、つぶすのに伴って行う。
【0010】従来技術の説明 シリカガラスは多くの他の無機ガラスより、一般に高価
であるが、その優れた特性に基き、多くの用途が見出さ
れる。これらには、透明性、化学的不活性、低熱膨張、
熱的安定性及び強度が含まれる。そのような特性に基く
シリカガラスのよく知られた用途には、光ファイバ、光
学部品すなわちレンズ及びミラー、ブレーカ、マッフ
ル、化学的及び熱的安定性が適したるつぼ及び他の容
器、高温だけでなく、著しい温度勾配に対する耐性を活
かした異なる温度の領域間に置かれた窓のような高温環
境用窓が含まれる。
【0011】本発明の主要な視点は、光ファイバ中で用
いられるような、シリカガラスにある。ある程度の考え
うる世界的努力が、低融点混合酸化物の使用によるファ
イバの作製に向けられた後、シリカガラスの多くの利点
が、認識され、材料を増すこと/プロセスコストを増す
ことが正当化された。
【0012】低挿入損、最小分散ファイバといった現在
生産されているファイバに関して、価格を下る努力は、
ファイバの主要部分、特に現在一般的であるシングルモ
ードファイバは、光学的特性はほとんど重要でない材料
で作られるという事実を考慮してきた。ファイバの機能
部分、すなわち光エネルギーの99+%を運ぶコア及び
内部クラッドは典型的な場合、質量のわずか5%をなす
が、この努力の主要な部分は、そのような内部のオーバ
クラッドを供給する構造に関してであった。この時点で
進んだ生産は、修正化学気相堆積、又は外部気相堆積又
は気相軸堆積中のスート堆積により作製されるような、
コア及び内部クラッド領域を構成する内部を、しばしば
利用している。このコアロッドは特性があまり重視され
ない材料で被覆され、従って、低価格のプロセスにより
形成してもよい。オーバクラッドの形成は、コアロッド
上への直接堆積を含み、円状管をつぶすことにより行っ
てもよい。そのような“オーバクラッド”管は、現在ス
ート又は溶融石英から商業生産されている。
【0013】当業者は“ゾル−ゲル”の使用による別の
プロセスを用いることにより、オーバクラッド作製で実
現される経済性に気づいている。たとえば、エイ.エ
フ.ライト(A.F.Wright) 及びジェイ・デュポ
(J.Dupois) 編、ガラス:現在の課題中のジェイ・ザ
ルツキー(J.Zarzycki) 、“ゲル−ガラスプロセス”
マルチナス・ニジョフ、ボストン、マサチューセッツ
(1985)に述べられているこの周知のプロセスは、
現在用いられているプロセスより、著しく低価格である
とみなされる。この文献は世界的な努力を多く示してい
るが、今日まで、ゾル−ゲルはファイバ作製の商業用途
にはなっていない。その説明は一般に、適切な寸法に形
成したプリフォームオーバクラッド管中に、クラックが
発生したり、あるいはそのようなクラックを避けるため
に依存してきた複雑で高価なプロセスのことを含む。代
表的な参考文献である、ティーモリ(T.Mori)ら、
“新しいゾル−ゲル法によるシリカガラス管”、ジャー
ナル、ノン−クリスタライン・ソリッド(J.Non-Crys
talline Solids) 100、523−525頁(198
8)は、クラックの問題を最初に暗示し、次に出発混合
物及び形成プロセスを含むクラック防止プロセスについ
て述べているが、両方とも複雑で高価である。論文に示
されている例では、300グラムの基体を生じ、いずれ
にしても一般に必要な量よりかなり小さい。
【0014】クラックの問題は、最近の論文、カタギリ
(Katagiri)及びマエカワ(Maekawa)、ジャーナル・ノ
ン−ツリスタライン・ソリッド(J.Non-Crystalline
Solids)、134,183−90(1991)中で強調
されており、これは“モノリシックゲル用のゾル−ゲル
作成法の最も重要な問題は、乾燥中発生するクラック形
成を避けることである”と述べている。ジャーナル・オ
ブ・マテリアルズ・サイエンス(Journal of Materials
Science)第27巻、520−526頁(1992)に
発表された1992年の論文は、更に明確である。“ゾ
ル−ゲル法は非常に魅力的であるが、ザルツキ(Zarzyck
i)が指摘したような多くの問題がなお存在する。これら
の問題の中で、最も厳しい1つは、モノリシックゲルの
乾燥中のクラックの発生と考えるべきである。”この文
献はたとえば著しく厳密さを必要とする乾燥プロセス及
び総称して乾燥制御化学添加物と呼ばれるN,Nジメチ
ルフォルムアミドといった化学的添加物の使用を解説し
ている。両方の方法は高価とみなされ、従って日常的な
ガラス生産には望ましくないとみなされる。結論はゲル
から大きなガラス基体を経済的に形成する十分な技術
は、現在存在しないということである。
【0015】クラッキングの問題、特に大きなシリカ基
体を作成することの問題を解決するために、当業者は著
しく厳密さを必要とする乾燥及びDCCAだけでなく、
より複雑な方式すら試みてきた。(アール・ドーン
(R.Dorn)編、“機械的に整形したプリフォームから
のガラス”ガラステク,ベルリン,66巻,29−32
頁及びピー・バックマン(P.Bachmann)、“シリカ粒子の
同心円堆積による石英管の作成”、449−53頁、プ
ロシーディング・オブ・ザ・14回・ユーロッピアン・
コンファレンス・オン・オプティカル・コミニュケーシ
ョン(Proceedings of the 14th European Conference o
n Optical Communications) ブリントン、英国、アイイ
ーイー,ロンド,英国(1988)を参照のこと)
【0016】ゾル−ゲルの使用により、少量のクラック
のないガラスが作られてきた。例は全質量がグラムに満
ない薄膜及び数グラムないし数百グラムの重さの小さな
基体である。非球面レンズ及び導波路部品(米国特許第
5,080,962)は、ゾル−ゲルを用いた少量のシ
リカガラス製品の例である。
【0017】クラックのない小さな基体を生じる方式
は、ゾル−ゲルの価格を確実に下るためにはしばしば必
要な大きな基体に適しているとは証明されていない。た
とえば、適切なファイバ作製は一般に、プリフォームの
交換に伴う時間と費用なしに、単一のプリフォームから
数十キロメートルないし数百キロメートル引張ることを
含む。必要な寸法、キログラム又はそれ以上のクラック
のないゾル−ゲルプリフォーム管の必要性は、まだ満さ
れていない。最も適切な従来技術は、米国特許第4,7
75,401号“光ファイバの作成法”に示されてい
る。この特許は所望のゾル−ゲルから導いた管によるコ
ア−ロッドの被覆を、直接教えている。それはゾルを安
定させるための第四水酸化アンモニウムの使用とそれに
続いて、制御されたゲル化を起すためのエステルを使用
することについて述べている。その特許の一例は、クラ
ックのない300グラムのシリカ円筒の作成に成功した
ことである。
【0018】この方向への努力は、多数の他の方式を含
む。たとえば、米国特許第4,059,658号(アー
ル・ディー・シャウプ(R.D.Shoup)ら)及び3,82
7,893号(エイチ・マイスナ(H. Meissner)ら)で
ある。これらのプロセスは溶液からのシリカ粒子の析出
に基いている。ある種のそのようなプロセスは、カリウ
ムシリカ源材料を含む溶液の使用に基いている。後者は
より需要のある用途に適用するには、結晶化誘導アルカ
リ金属イオンを除去するために、浸出を必要とする。
【0019】上で引用したバックマン(Bachmann)は、
(析出ではなく)最初に導入したシリカ粒子の懸濁に依
存し、同心円状の粒子の堆積に依存する。ゲル化に付随
した問題は、避けられている。
【0020】ドーン(Dorn)らは、乾燥粉末の機械的硬
化により、ゾル−ゲルに付随した問題を避けている。
【0021】本発明の要約 より大きな、正味の形に近く、クラックのないシリカ基
体を含む製品の、高歩留り、低価格の作成が、水中コロ
イド状シリカのゾルから鋳造することにより、実現され
る。考えられる製品に共通の特徴は、クラックがなく、
そのため歩留りが改善され、価格が下る。加えて、本発
明のプロセスは、残留した空孔を最小にし、特に光学的
に必要な透明度を確実にする。一般的に、非光学的用途
に対しては、結果は幾分小さいが、本発明のこの特徴に
より、構造的な堅さの点でも有利である。
【0022】光ファイバ、プリズム、レンズ及び同様の
ものといった光学的特性を必要とする製品に関しては、
製品はより高価なプロセスを必要とする動作特性を有し
てもよい。同様の考えは、透明度及び単に可視欠陥がな
いということに関して、製品の外観にも適用される。他
の例では、低価格材料の使用により特性は、現在可能な
シリカガラスの置換による価格の上昇なしに、改善され
る。
【0023】ゾルを含むシリカガラスは、寸法が厳密さ
を必要とするが、各種の寸法の分布をもつ可能性があ
る。このことは、乾燥による応力を最小にするため、狭
い寸法分布を必要とするクラックのない大きな基体を保
持する現在の指針とは対照的である。(ドナルド・アー
ル・ウーリッヒ(Donald R. Ulrich, “ゾル−ゲルプロ
セス”、ケミテック(Chemtech)、242−249頁
(1988))。本発明は粒子寸法の広い分布の使用を
可能にする。従って、各種の低価格の市販原料が、出発
材料として、適切に使用できる。
【0024】プロセスはゾルすなわちシリカ粒子の適切
な分散の準備から始る。プロセスの例では、ゾルの安定
化は高いpHに伴う静電力による。多数の第四水酸化アン
モニウムが、そのような静電的安定化に対して有用であ
る。コロイド粒子上に生じる負の表面電荷は、相互に反
発し、高粘性及び集合体形成の両方を伴わず、高濃度の
シリカを有する安定な水溶性ゾルを生じる。この例で
は、ゲル化はpH減少に伴う十分な電荷のつりあいの結果
である。たとえば、粒子による正イオンの吸着による正
電荷の誘導は、空間電荷を分散させ、たとえばファン・
デル・ワールズ力の影響下で、シリカ粒子を合体させ
る。ファイバ−プリフォームの被覆用に許容される管を
生じる電荷のつりあいをとる方法は、たとえばギ酸メチ
ル、乳酸エチルのような適当なエステルの添加によるpH
減少の形をとる。
【0025】以前の方式(前の節で述べた米国特許第
4,059,658号及び3,827,893号)と異
なり、新しい方式は市販のシリカ粒子のゾルを使用して
よい。ゲル化とともにゾル形成に用いられる条件は、最
初に導入される粒子の溶解度に、影響を及ぼす。経済性
及び最終的な製品の品質という点から、添加する塩基の
量を制御することが望ましいことがわかっている。所望
のpHに必要な量以上の塩基を含むと、シリカの溶解度を
増す。十分な実験結果は、シリカの60,000ppm ま
での溶解度に対応する量だけ含むことを示している。
【0026】一般的に言って、本発明の進んだ方式は、
クラックのないシリカ基体、すなわち主としてシリカを
含む基体の高歩留りを保障する。基本的な視点として、
議論は大きな(≧1Kg)ゾルゲル基体の生成に向ける。
これらの基体は、そのような基体から形成される製品の
所望の水準、たとえばそのような基体を含むプリフォー
ムから作られる光ファイバの特性において、クラックが
なく、空孔もない。本発明の主要な発見は、指定された
分類のポリマーを、しばしば低分子量添加物による補充
とともに含むことによるこれらの点での生産性の増加に
依存する。後者、すなわち一般にグリセリンのような多
価アルコールは、この説明では“可塑剤”とよび、一方
ポリマは、“結合剤”とよぶ。この用語は便利である
が、現在の場合におけるこれら添加物の機能は、いくつ
かの点で、従来の可塑剤又は結合剤とは異なる。両方と
も生産中クラックを防止するが、一時的な働きのみをす
る。それらにより、後の段階では機能的に意味のある残
留物ではなく、適宜とり除かれるべき性質をもつ。これ
らの添加物の組合せにより、ゾル−ゲル基体、特にゲル
構造の制御により、大きなゾル−ゲル基体(≧1Kg) の
クラックが著しく減少することがわかっている。精力的
な実験により、両方のそのような添加物を含んだ時のシ
ネレンス的振舞が示されている。更に詳細に述べるよう
に、ポリマの量は、シリカ粒子上に単原子層を形成する
のに必要な量からも、はるかに少い。そのような量、す
なわち従来の結合剤に必要な量より、はるかに少い量だ
けポリマの含有を制限することは、それが残留物を除去
し、減少しながら、粒子間の結合に必要な量を供給する
という点で、厳密さを要する。ポリマの量に含まれる同
じ制限は、得られる製品の多孔性を避け、それによりそ
の後のプロセス及び使用中、構造の堅さを保障する特性
とともに、高水準の透明度を可能にする。
【0027】コロイド粒子の硬化に影響を与える力につ
いての現在の理解に関する詳細な解説は、アール・ジー
・ホーン(R.G. Horn)、ジャーナル・アメリカン・セラ
ミクス・ソサイティ(J. An. Ceram. Soc.)73、11
17、(1990)に示されている。この記事は、従来
の濃度でポリマを添加した場合の有用性とともに、基本
的な物理及び化学を述べている。
【0028】
【詳細な記述】一般的説明 解決すべき問題の要点について、簡単に述べる。上述の
ように、議論は基本的に本発明で要求する点、すなわち
光ファイバ作製に関して行う。
【0029】適切な光ファイバ作製は、2つの形のいず
れかをとると予想される。最初の商業生産用は、“ロッ
ド−イン−チューブ”の形をとる可能性が大きい。現在
使用されているように、一般にスートプロセスにより作
られる先にシンタされたオーバクラッド管内に配置され
たコアロッドを利用する。本発明の最初の用途により、
この管がゾル−ゲルにより作成されたものに置き代ると
予想される。
【0030】その後、本発明はファイバ作製に適用さ
れ、“直接被覆”の形で用いられるであろう。それに従
うと、合成プリフォームはコアロッドを含むまだシンタ
されていないゾル−ゲル管をシンタすることにより、作
られる。この方式は、1988年10月4日に承認され
た米国特許第4,775,401号に述べられており、
以下の点でロッド−アンド・チューブとよばれる。すな
わち(a)別々のシンタ工程が避けられ、必要な全工程
数が減少する。(b)合成プリフォームの作製を容易に
するため、変形の重要性が減少する。(c)(円状対称
性が確実に良くなるため)偏向モード分散が減少する。
【0031】プリフォーム・オーバクラッド管の本質的
な必要条件は、寸法である。すなわち、それはコアとし
っかりあうように、平滑で一定の直径の両方をもつ内部
表面を持たなければならない。一定の断面積、従って一
定の外径も必要である。常に要求される精密さは、ロッ
ド・イン・チューブの場合、より必要である。即ち、チ
ューブの最初の直線化による変形を補うために有用であ
る。同時に、オーバクラッド管はその長さに沿って、一
定の質量と体積をもち、引張り操作中変化しないクラッ
ド対コア比を保障しなければならない。この操作は非常
に現実的で、平滑さ又は寸法の一様性からのずれを、プ
リフォーム対ファイバ比、恐らく105倍だけ拡大す
る。
【0032】また、組成がプリフォームに沿って適切な
一様さをもつことも必要である。ある程度まで、好まし
い実施例により、厳密さはゆるめられる。その実施例で
は、プリフォームコア基体は、(光パルスの所望の閉じ
込めが保障されるように)同じチャンバ内で、たとえば
MCVD又はVADによるコアに用いるのと同じ方法に
より成長させたクラッド材料の薄い外部領域を含む。そ
れにもかかわらず、屈折率が局所的に、特に管の内表面
において増加すると、基本的な機能、すなわちファイバ
コア内に光パルスを信頼性よく一様に閉じ込めること
が、ある程度低下する。
【0033】解決すべき点は、著しく多い。基本的な例
として、すでに鋳造した基体のプロセスで実現すべき温
度は、寸法的な必要条件に影響を与える鋳造基体の形を
ゆがめる物理的流れという点で、移動、特に不均一な移
動を可能にするようなものであってはならない。必要条
件は、結果として生じる欠陥が、プリフォームの段階で
検出されず、引張り中、破損によってのみ認識され、又
は最終的なファイバ製品の使用において、伝送損失又は
他の特性劣化によってのみ認識されるというようなもの
である。
【0034】ここで解決すべき問題は、それらの原因
が、物理的欠陥にある。ある種の例では、そのような例
は、それ自身、ファイバ動作という点で、問題を引き起
す。ミルキー白色が生じるのは、欠陥の存在により、一
般に空孔はたとえば、乾燥中、気体を捕獲することに起
因する。そのような欠陥が可視であるという事実は、寸
法を規定する。それらが存在すること、特にオーバクラ
ッドの内部領域、すなわちコアの近くの領域に存在する
ことは、ファイバ動作中、伝搬する光パルスの伝送損失
を生じる可能性がある。加えて、同じ現象は、更にプロ
セスを続ける間、クラック発生/破損の前兆となる可能
性がある。
【0035】コアに対する必要条件は、プロセスのどの
段階でも、明らかである。鋳型中の完全性は、この記述
中で報告される研究により、ステンレススチールの内部
心軸を含むポリマー外部管の使用によって満されてき
た。寸法的な信頼性とともに、表面の平滑さは、ロッド
−イン−チューブ作製の鋳造したままの内部表面に対し
て、最も要求されるが、経済的な必要性すなわち交換又
は修理の頻度を下るために、そのような心軸が十分な寿
命をもつよう達成され、保持されてきた。鋳造の外部表
面に対する必要な完全性は、ポリマ材料の使用により満
足されてきた。ポリ(メチルメタクリレート)は温度上
昇及び鋳造中の他の条件に対して、十分な耐性を示し、
鋳造管を除去した時の消耗が最小であることを示してい
る。
【0036】鋳型から鋳造基体をとり出すのに、過度の
力を用いることは、避けなければならない。十分である
ことがわかったプロセスは、以下のことを含む。すなわ
ち、(1)ゲル化基体を含む鋳型を、垂直位置に置く。
(2)底部から心軸をとり除く。(ほとんどの場合、そ
れ自身すべって出てくる。場合によっては上部端面に、
静かな圧力を加えることにより、押し出してもよい。)
(3)今空になった鋳型を、その外部鋳型管とともに、
水平に置くように水中に浸し、鋳型から鋳造物を押し出
す。浮力は重力による応力を最小にし、クラックのない
鋳造物の歩留りが、目に見えて改善される。
【0037】たとえば適切な加熱/冷却時間を用いると
いった他の予防策により、局部的な応力の勾配を避けて
もよい。ある種の例では、他の条件が歪を減らすことが
ある。ゾル水又は他の保持媒体のこの例では、鋳型−鋳
造物界面への液体のシネレンス、移動は、有用である。
【0038】本発明の主な視点は、基本的にゾル及びゲ
ル化に起因する欠陥の導入を、最小にすることに係る。
ゾル−ゲル段階における欠陥導入の原因となる精密な機
構は、直接は観察されないが実験的な結果は、粒子−粒
子接触の性質に付随する。各工程において必要な十分な
注意に加えて、好ましい実施例における経済的目的にか
なった生産性を確実にすることは、この段階における欠
陥の導入を避けるという一時的な目的を果すための1な
いし複数の添加物を含むことに依存する。他の必要条件
と共通して、そのような添加物は上述の基本的な必要条
件にあわなければならない。たとえば、シリカを基体と
するファイバの例においては、除去に約300℃以上の
温度に上げることを必要としてはならない。そのような
添加物がファイバ動作に有害な残留物となってはならな
いことは、基本である。一般に、このことは最も重大な
汚染に関して、ppm レベル以下の汚染が許容されること
に換算される。十分な結果は、ほとんどの場合焼結前の
鋳造基体の初期のプロセス中、除去される添加物の使用
により、確保されてきた。
【0039】著しい生産性の改善は、ここで“結合剤”
とよぶものの結果である。本発明の進んだ点は、有機ポ
リマの導入に依存する。ポリマは特に、費用のかかるプ
ロセスを加えることなく除去可能であるように選択され
る。この必要性は通常考えられるプロセス温度において
空気中で分解し、たとえば300℃のオーダーのプロセ
スで用いられる温度において化学的に気体生成物を生じ
ることにより、満される。以下でわかるであろうが、
“結合剤”という用語は、まさに簡単化しすぎた表現で
ある。研究によると、気体と気体の接触は制限すべきこ
とが、明らかになっている。本発明に従う生産性の改善
は、粒子−粒子界面におけるポリマの存在による。それ
は明らかにもろさを抑える働きをするとともに、同時
に、クラックの核形成を避けるために、界面の力を変化
させる。このようにして、それは焼結前に、構造の完全
性を高めている。事実、研究により、ポリマの働きは、
柔軟性が界面の接触領域において増すという点で、“反
結合剤”であることが暗示されている可能性がある。
【0040】働いている機構の精密な性質は別にして、
“結合剤”の量は厳密さを要することが、わかってい
る。習慣的な意味で必要な量だけ含むということ、すな
わちガラス粒子の全体に渡って少くとも連続した単原子
層を生ずるのに十分な量を含むことにより、効率が下る
ことがわかっている。一般に、すべての粒子を包むやぶ
れていない単原子層に対し、粒子被覆に必要な量の50
%以上の量の結合剤を用いることは、望ましくない。従
来の量、すなわち100%被覆に必要な量以上に用いる
ことにより、焼結生成物中にミルキー白色を生じる空孔
形成が起る。同じ基準の10%又はそれ以下を用いるこ
とにより、欠陥を避けながら、透明度は保持されてき
た。寸法にして40−60nm程度のゾル粒子の場合及び
懸濁液中に恐らく40−50重量%のガラスを含む通常
のゾルの場合、考えているポリマの量は、一般にも1重
量%以下、好ましくは0.5重量%又はそれ以下であ
る。
【0041】ポリマ含有量についての保守的な制約は、
実験的に、証明されている。事実、実際の条件は著しく
少い被覆に対応している。適切とわかっているポリマの
量は、重量%で示されている。示されている最大値を越
えると、過剰のポリマを生じ、従って過剰のポリマ分解
製品、すなわち不要の空孔形成を生じる。単原子層の被
覆への換算は、約5Åの分子寸法に対し、1g/cm3
近い密度を仮定し、最も重要なことは、完全に充てんし
た形、すなわち存在する粒子表面に適合するとぎれのな
い被覆の脂肪族ポリマに基いている。実際の被覆がより
少いことは、明らかである。それにもかかわらず、示さ
れている被覆、すなわち議論されている点では50%を
越えてない被覆は、有用な限界である。この限界以下の
被覆に対応するポリマを含むことは、適切であることが
わかっている。
【0042】そのように少量のポリマが、厳密さを必要
とする粒子−粒子界面に信頼性よく配置されることは、
固着性の結果、すなわち隣りあい近接したガラス粒子が
ぬれることから生じる自由エネルギーの減少の結果と信
じられている。最善の結果を生じるポリマ材料は、粒子
表面とすなわちコロイド状シリカ面上に、逆に化学吸着
される。(逆の化学吸着というのは、化学吸着されたポ
リマが移動しても、脱離しても、シリカ上の異なる位置
に化学吸着してもよい現象で、アール・ジー・ホーン
(R.G. Horn)による上記で引用した論文中に述べられて
いる)確実な配置は、ある種のポリマ流とともに、ポリ
マ接合剤に捕えられる粒子の移動の両方の結果と考えら
れる。
【0043】各種の入手しうるポリマ材料が、条件にあ
う。 1.ゾル懸濁液体中への溶解度−少くとも5重量%の溶
解度(ゾルのポリマ/100グラムの少くとも5グラ
ム)は水溶液の通常の例で、容易に満される。 2.過剰の量を必要とすることなく、粒子−粒子界面に
確実に配置するために必要な分布を生じるための分子
量。(それにより過度の空孔の形成が避けられる。)1
00万までの分子量は使用可能であるが、500,00
0の上限が好ましい。この説明中で報告されているほと
んどの研究は、10,000−100,000の範囲の
分子量に基いている。 3.生じる粒子表面のぬれは、逆化学吸着により増進さ
れ、好ましい。 4.陽イオン、凝縮又はラジカル重合による合成は、経
済性のため好ましい。一般的な必要条件は、熱分解によ
り除去した時の有害な残留物がないことである。具体的
な結果は、失透中心すなわちクラック核として働く可能
性のあるアルカリ金属イオンである。ゲル化材料に基い
て、たとえばNa、Kは100ppm レベル以下に保つこと
が望ましい。そのようなイオンを含む試薬は避けるべき
である。これで他の触媒の使用により重合される好まし
い種類が指定される。たとえば低アルキルアキサゾリン
のポリマのような実験で用いられるポリマは、酸触媒に
より作成される。 5.一般的に空気中での熱的分解による除去可能性(意
味のある残留物はない)十分な使用はC,H,O,Nの
原子を全体に含む脂肪族とともに、他の原子の蒸発によ
り効果的に除去するために半分含むポリマーで行われて
きた。ハライド置換第四級アンモニウム置換基を含むポ
リマが使用されてきた。(塩素又は他のハロゲン化物が
対向イオンとして役立つ) 6.ポリマは遭遇する条件下、たとえば実験的に用いら
れる条件下で安定である。11−14のpHに保たれた水
溶液に24時間露出しても、本質的に不変であることが
必要であった。
【0044】ポリマそれ自身の必要条件に関しては、必
要条件は容易に満される。多くの共通の水溶性ポリマ
は、駆動力として働くぬれの条件にあう。例について
は、更に説明する。
【0045】“可塑剤”の使用について議論してきた。
グリセリンはその種類の例である。汚染物質を含まない
こととともに、含める量は、“結合剤”とともに議論さ
れる。鋳型からとり出した後のプロセス条件への注意
が、最善の生産性を確実にする。回転するロッドを支持
することにより回転しながら乾燥させることは、形と完
全性を保つのに有用であることがわかっている。焼結中
の条件は、厳密さを必要とする。これまで許容されてき
たプロセスは、考えている>1Kgのオーバクラッド管の
場合、3−10℃/hの範囲でゆっくり得られる120
−300の範囲の温度に、空気中で加熱することが便利
である。本発明は低欠陥ゾル−ゲルシリカガラス基体の
整形基体の高歩留りに依存する。進んでいる点は、上述
の添加物の1又は2種類の物質を含むことによる。
【0046】本発明の進んだ点については、すべての十
分な実験結果に共通のポリマ添加物に関連して、適切に
述べられる。たとえばグリセリンのような第2の添加物
は、それ自身生産性を高めるが、それを用いることは、
ポリマと組合せることが最も重要である。精力的な実験
的研究は、両方の添加物が存在する場合の相乗作用を一
様に示している。一般に、ポリマ含有量が上で示した範
囲内にある場合、第2の添加物を含むことはまた、少く
とも50%、2つの単純な添加物による生産性を越える
十分な製品を生じることがわかった。
【0047】生産性の向上は、ゾル−ゲル、高シリカ
(≧95重量%)ガラス基体の使用に基く全種類の製品
についての結果である。寸法に関しては、ほとんど適用
されないが、本発明の方式は光ファイバの作製における
キログラム又はそれ以上の基体のような、より大きな基
体に対して、特に価値がある。
【0048】他の方式と一致して、プロセス条件、材料
の純度等は、すべて必要な品質、たとえば作製された製
品中の非常に低いレベルに、最終的な不純物を制限する
といったことを保障するようなものである。本発明の進
んだ点が依存する添加物に関しては、それらはたとえば
光ファイバといった最終的な製品中で有害とわかってい
る成分を除去する困難がないように選択される。
【0049】前述の注意は、本発明の結果を保障する。
要因はたとえば第四水酸化アンモニウムの使用によるゾ
ル安定化、たとえばギ酸メチル又は他のpH減少エステル
のようなゲル化を生じる条件、多価アルコール及びポリ
マの含有量である。種類及び量の両方において、すべて
の含有材料を適切に選択することにより、たとえば光フ
ァイバの特性に有害な遷移金属イオン及びアルカリ金属
イオンの量を減すための熱処理中、有害な残留物の除去
に成功する。
【0050】クラック発生なしに、大きなゲル基体を乾
燥させることは、実現の見通しがなかったが、そのよう
な破損を起させる多くの理論がある。これらの多くは、
そのような破損を開始させる毛細管応力の効果に向いて
いる。そのような応力は、孔の半径に逆比例する。従っ
て、小さな孔を最小にしたり、除くことが望ましい。こ
の例では、本発明のプロセスにより、小さな孔(<直径
15nm)の濃度を最小にし、直径50nm付近の孔の分布
が狭いことを特徴とするゲル構造が生じる。
【0051】これらは水銀浸透多孔度測定により測定さ
れた寸法である。この周知の診断プロセスについては、
たとえばエス・ロウェル(S. Lowell)、粉末表面積入
門、ウィリー,90−99,181−189(197
9)に述べられている。そのような分布を実現すること
は、多くの特性に依存する。その中には以下のものがあ
る。 1.シリカの平均粒子サイズ 2.粒子サイズの分布 3.ゾルのセット量 4.ゾル中の電解質の濃度とその化学的性質 5.ゾルを安定化させるために用いられる濃度とその化
学的性質 6.ゲル化を起すために用いられるゲル化剤又は塩又は
表面活性剤の濃度と性質 7.安定化されたゾル中に溶解させたシリカの量 8.ゾル中のポリマ及び多価アルコールの質及び量 9.8の添加物間の相乗作用
【0052】結合剤としてのポリマの共通的な用途とと
は対象的に、本件の非常に低い濃度は、通常結合剤に付
随した粒子固着を生じるには、不十分なようにみえる。
むしろ、それはゲルの構造を制御する働きをし、このこ
とにより孔の寸法分布が調整される。
【0053】プロセス/材料 ここでの説明は、連続したプロセス工程に関してであ
る。ほとんどの部分で、議論はそのような工程に関して
行い、そこでは光ファイバの作製で考えられる工程/材
料をとりあげる。番号をつけた工程及び詳細な説明は、
そのらうな作製において最も可能性の高いプロセスを明
らかにするという点で行われる。ここで述べる工程は、
数を減しても増してもよい。基本的に3及び4と数字を
つけた工程中の事柄に関する本発明の進んだ点は、添付
された特許請求の範囲に従って規定される。
【0054】数字をつけた工程は、最初に成分を示すこ
とを主に、表の形で示す。表中の内容は例を示すためだ
けであることを記憶しておく必要がある。この明細書の
他の所で詳細に述べるように、有用な変更は、表に示さ
れたものを越えてよく、ある種の例では、一致しなくて
もよい。1例として、重量%SiO2は、最初の商業生産に
期待された方式に最も近い実験的研究により十分支持さ
れているが、極端な場合とは一致しない。この例では存
在する自由粒子表面の許容範囲と一致しない。そのよう
な不一致のすべては、具体例の記述の助けとなるよう
に、解決すべきである。
【0055】
【表1】
【表2】
【表3】
【0056】表は好ましい範囲と広い範囲の両方を含
み、またそのような範囲外で動作した場合の結果につい
て、簡単に述べている。以下の説明では表と同じ番号を
ふり、一般化して述べる。
【0057】1.上で議論したように、主な推進力はよ
り高価な作製技術に伴う特性を保ったまま、経済性を上
げることである。たとえば要求のない用途に対して十分
な純度といった標準的な市販材料を使用することが、本
発明の重要な特徴である。たとえば、最初の蒸発させた
シリカは、床ワックス又はシェラックとしての光沢を減
すため、又は塗料添加物の作製に用いられるものと同じ
等級と価格をもつ。
【0058】出発材料については、必要な含有物に関し
て述べる。他の成分、すなわち意図的に添加するか許容
しうる不純物として存在するものが、存在してもよい。
上述の“用語”で規定したように、出発材料はたとえば
SiCl4 といった適切な化合物出発材料の炎加水分解によ
り、形成してもよい。本発明のファイバ作製必要条件に
適する市販の蒸発シリカは容易に入手しうる。
【0059】先の表に示した一般的な注意は、ここでの
結果以上のものではない。研究的な目的に対しては、別
の修正されない記入事項としては、含まれるシリカ粒子
の量について述べることは、有用である。示されている
範囲は実際、最初の市販用を構成する可能性のある粒子
寸法及び分布に、留保なく適用できる。しかし、許容さ
れる寸法及び分布の変化は、示されている重量パーセン
ト範囲を越える。たとえば、本発明の全体的部分である
〜50%粒子被覆最大値を越えることを示唆している。
同じ表中の事項−プロセス工程1−は懸濁媒体として水
を必要とし、一方他の所で指摘するように、この好まし
い媒体は、修正するか別のもので置きかえてよい。
【0060】同様に、異なる製造者により供給される製
品は、変化する可能性がある。作製の具体例について
は、明白に述べないが、特性の変化により、プロセスの
容易さ、速度及び経済性が異なる結果が生じた。そのよ
うな変化は、同じ名目上の粒子寸法の製品の中で、粒子
寸法分布の変化に原因が見出されていた。具体的な指針
は多くの実験に基き、すべての考察に固有のことは、本
発明の必要条件を満すが、最適化は多くの経験に依存す
る。
【0061】それらの注意で述べたように、表中の事項
と他の所で述べる本発明の必要条件の間の不一致は、後
者に従って解決すべきものである。
【0062】2.輸送及び蓄積の目的のためには、蒸発
したシリカ粒子の安定な水溶性ゾルは、テトラメチル水
酸化アンモニウムのような有機塩基材料を、少量含んで
もよい。一般に、そのように含まれる塩基の量は、大き
な整形ゲル基体の形成を成功させるのに好ましい11な
いし14の範囲内のpHを生じるのには、不十分である。
従って、指示された範囲内に入れるため、TMAH又は
他の適切な材料の添加により、pHは調整される。
【0063】多くの目的に対して、混合の後、得られる
ゾルは平衡にしてもよい。室温における24時間までの
時間で、十分であることがわかっている。平衡はより短
い時間でよい。ゲル化がただちに始まらないようにする
場合は、別の平衡工程は避けてもよい。
【0064】多くの実験により、シリカ濃度及び粘性に
関して、好ましいゾルが明らかになっている。粘性は多
くの観点からの結果である。すなわち、ゾル作成の観点
からは、ある最大値以下に保つことが望ましい。(泡の
除去、均一な分散。ともに許容しうる温度−時間条件下
において)適切に鋳造を保障し、含まれる空気又は他の
ガスの除去を容易にするための十分な流動性である。大
気温度で測定した50−250センチポアズの範囲の粘
性が、許容できることがわかっている。
【0065】TMAHは第四水酸化アンモニウムの類の
一例である。この材料は(粒子の集合形成及び沈殿に対
して)コロイド状ゾルを安定に保ち、付随してpHを高め
る働きをする。それはまた、少量のシリカ(10ppm な
いし5重量%)を分解させ、それは粒子−粒子結合の形
成を助け、それによってゲル強度を増し、更にクラック
発生の傾向を減す助けもする。TMAHの別の適切なも
のには、たとえば対応するエチル化合物及び混合物及び
化学的に関連した材料のようなより高次の同種性のもの
が含まれる。価格及び適切さの観点から、単純なメチル
又はエチル化合物も、選択される可能性がある。この説
明に便利なように、モデル的にTMAHをしばしばとり
あげる。これを指定することは、制限するためではな
く、述べる種類の代表とすることが目的である。考えら
れる安定剤は、一般に便利なように、水溶液中に含まれ
る。メチル化合物の溶解度により、25重量%溶液の形
成と使用が可能になる。(表の工程11中)低温加熱工
程中、分解が容易なため、エチル類、テトラエチル水酸
化アンモニウムは、ある程度の利点をもつ。
【0066】3.この工程で添加されるポリマは、指針
に従って必要な第1の添加物を構成する。表の上では別
の番号として述べてあるが、工程3及び4と番号をつけ
た工程は、この順序ではなく、実際には2つは単一工程
に結びつけてよい。
【0067】ポリエチルオキサゾリンは本発明の指針に
従うゲル化基体のクラック耐性を増すのに効果的なポリ
マの例である。効率、価格及び除去可能性の観点から、
水という通常の懸濁媒体の点で、一般的な種類は水溶性
脂肪族ポリアミドである。この種類には、低次の同類の
もの、ポリメチルオキサゾリンが含まれ、それはポリマ
を背景に、アミドの働きもする。ポリアクリルアミドは
未解明の種類のアミドを含む有用なポリマの例である。
後者の材料は、従来の水溶性ラジカル開始剤の存在下
で、水溶液中のモノマの重合により、従来合成されてき
た。他の場合と同様、アルカリ金属陽イオンは、重合触
媒としては、避けるのが望ましい。なぜなら、シンタ工
程13中、それらはかなりの程度、シリカの結晶化を促
進傾向があるからである。他の注意と同様、重要なこと
は、最終的な製品の厳密さの必要度に依存する。特に、
光学以外の用途に対しては、最初重合触媒として導入さ
れた残留アルカリ金属イオンは、ほとんど重要でない。
10,000−100,000の範囲のポリマ分子量
は、100万まで役立つが、名前のついているポリマに
対して適していることがわかっている。
【0068】また、水の純化に用いられるポリマの使用
に成功している。アメリカンシアナミドから市販されて
いるマグニフロックシリーズである。これらの材料は少
量の分子鎖分枝ジアミンとともに、ジメチルアミン及び
エピクロロヒドリンから合成される。それらは、背景に
[-CH2-N+ (CH3)2-CH2- ]単位を含む固有の高い陽イオ
ンである。アミド及び第四アンモニア類の両方を含むコ
ポリマは、条件にあう種類の有用なポリマである。
【0069】上で述べたように、用いるポリマの量は、
シリカ粒子上に、単原子量を形成するのに必要な量より
も少く、反応のモードは、従来の結合剤とは異なる。よ
り多くの量も、クラックを最小にするという基本的な目
的には役立つが、分解した時のガス蒸発量が増すため、
一般に避けるべきである。生じる孔はガラス中の泡の原
因となり、それらはその後のプロセスを通して残留し、
光ファイバ中の場合のように、光学的性質に関して、重
要な結果をもたらす。
【0070】作用の可能なモードは、シリカ粒子の接触
点においてポリマの影響を誘発する。その場合、体積対
表面比は、例外的に高く、粒子間粘着力は強度に対し
て、厳密さを必要とする程度になる。(アール・ケイ・
イラー)(R.K. Iler)シリカの化学、3章、ジョーン・
ウィリー・アンドサンズ,ニューヨーク(1979)を
参照のこと)すなわち、クラック発生の傾向を、効果的
に抑えることに対して、厳密さを必要とする程度にな
る。
【0071】4.グリセリンは第2の添加物を構成し、
本発明の指針の重要な部分をなす低分子量表面修正剤の
種類の一例である。多くの実験により、グリセリンの適
応性が確立している。経費の考えに基づくと、これは選
択の問題である可能性が大きい。別の材料は、一般に多
価アルコールの類で、エチレングリコール及び2−メチ
ルプロパン−1,2,3トリオールといった組成が含ま
れる。低分子量添加物が工程9及び工程10の始めの段
階で、ゲルがもろくなるのを防止する点で、有利である
と考えるいくつかの理由がある。上述のように、工程3
及び4の各添加物、すなわちポリマ及び例えばグリセリ
ンは、それ自身、クラックを最小にする上で、著しい効
果をもつ。そのような各添加物の1つを含むことが望ま
しいということは、各種類の第2の種類の添加物を加え
ることによるクラックを含まない程度が、ある測定で
は、2つの効果の単純な合計の50%の改善であるとい
う多くの実験に基いている。
【0072】5.表のこの項目は、それ自身例を示すも
のである。エージングにより、平衡が得られる。
【0073】6.この段階で、たとえばpH減少を含む電
荷の中性化により、ゲル化が起る。出発時のレベルに依
存して、低下させるpH値は、典型的な場合11又は10
以下で、典型的な場合水溶性加水分解性エステルの添加
により実現される。有用な組成には、ギ酸メチルととも
に、より高次の同類、たとえばエチル、イソプロピル等
が含まれる。pHを指定されたレベルまで下るために、他
の材料を用いてもよい。特定の化合物及び量は、所望の
ゲル化速度が得られるよう、選択される。一例では、
2.7重量%TMAH(SiO2に基き)を含む試料の場
合、添加されたTMAHに比べ1.28当量のギ酸メチ
ルを加えることにより、8−10分でゲルが起る。
【0074】ゲル化を起すのに用いられるエステルは、
母体の酸とエステルを形成するために用いられるアルコ
ールのテトラアルキルアンモニウム塩を形成するため加
水分解を通して、アルカリを消費することにより、機能
する。このプロセスが起る速度は重要である。これまで
示されたように、速すぎるゲル化速度は、ゾルの鋳造に
不便で、遅すぎる速度は、生産価格に影響を与える。示
されるように、室温より約10℃の冷却は、ギ酸メチル
含有物の例では、有用であることがわかっている。加水
分解反応の速度は、母体酸(pKa)の強さと、エステ
ルカルボニル類への水酸化物の作用に影響を与えるエス
テル分子構造中の立体因子により、影響を受ける。
【0075】冷却の必要性は、エステルの適切な選択に
より避けてもよい。たとえば、グリコール酸メチル、乳
酸メチル及び乳酸エチルは遅い速度でアルカリを消費
し、室温において鋳型を確実に適切に満すのに、より時
間が必要であり、冷却の必要性は小さくなる。更に、こ
れらのエステルは、その揮発性の点でギ酸より利点があ
るとともに、十分な水溶性を保ったまま、毒性は低下す
る。
【0076】表に示されるように、ゲル化の開始に続い
て、材料は再びエージングされ、ゲルの強度を増し、そ
れによって鋳型からとり出した時、その鋳造の形を維持
し、その後の加工に耐えるようにする。
【0077】7−8 これらの項目は例である。 9 最終的に破損の原因となるクラックの形成を保つた
め、最小の力で、鋳型からゾルーゲル基体をとり出す。
鋳型及び含有物は水又は他の液体中に浸し、引き出し中
基体は支持されるようにする。次に、基体は乾燥のた
め、支持ローラに直接移されるのが望ましい。
【0078】10 ゲル化した基体は、均一な乾燥を保
障するため、回転しながら乾燥させる。実験はその軸の
まわりに、1rpm 以下の非常に遅い速度で、基体を回転
する支持ローラを使用する。含まれる水の約98%を除
去するための乾燥は、この段階で実現すると便利であ
る。完成させるためのスケジュールは、試しの行程で決
められる前及び後の重さに依存してよい。約1−2kgの
基体をこのレベルに乾燥させることは、15−20℃に
おける60−80%相対湿度雰囲気中で、1ないし2週
間で達成される。体積対表面比が減少した大きな基体
は、より長い乾燥時間又は高い温度を必要とする。
【0079】11−13 熱処理の各種段階の目的は、
表中に別に示されている。ファイバの作製に近い例での
全体的な目的は、上述のように、それ自身で支持するオ
ーバクラッド管である。コアロッドの挿入(管中のロッ
ド)又は(直接)クラッドを形成した)後、固められ
る。固めると、管はもはや不透明ではなく、肉眼には半
透明又は透明である。
【0080】熱処理の第1の段階は、残った分子水及び
有機材料の除去である。このことは、流れる空気又はCl
2 、N2、O2混合中の示された範囲の温度へ、大気温度か
らゆっくり加熱することにより、達成される。選択され
る正確な上限温度は、除去すべき具体的な有機材料に依
存する。
【0081】図を参照する。最初にこの段階のプロセス
の議論に関して念入りに参照し、次に、その後のプロセ
スについて参照する。
【0082】図の説明 容器10、内容物11及びかく拌手段12を描く図1
は、最初の工程を表わし、この場合、出発成分は恐らく
先の節で述べたように、溶融シリカ及び水を含むもの
で、この中で加工される。図2は外部保持管壁21及び
心軸22を含む鋳型20を描き、それから現在整形され
るゾルゲール基体23(この例では管基体23)が引か
れた。例で述べた条件下で、ゲル化は典型的な場合、指
示された温度において、5ないし60分間を必要とす
る。心軸22は別々の要素で、鋳型管21からそれを引
張る前に、基体23から実際にとり出された。
【0083】図3はプロセスの次の段階における基体2
3を描く。デヒドロキシレーションはヘリウム及び塩素
の混合雰囲気中又はヘリウム、塩素及び酸素の混合雰囲
気中で、溶融石英シュラウド30内で実現される。シュ
ラウドは大気からの炉マッフルの封じの複雑さを避ける
実験上の便利さから用いられるが、本発明を実施するた
めの必要条件ではない。最初に挿入したため、基体23
は石英プレート31により支持され、シュラウド及び内
容物は炉32の水平ゾーンを通して下げられる。100
0℃のピーク温度に保たれた炉内に=2時間奥ことによ
り、本質的にデビドロキシレーションが完成し、遷移金
属が除去される。損失の原因となる汚染をなくすという
観点から、最も重要であるが、上で示した条件は、より
高価なプロセスにより生産しうる品質に近い品質の精製
された基体を生じる。プロセス条件の許容される変化
は、“ゾル−ゲル誘導シリカガラス中の不純物分布に対
する“デヒドロキシレーション/シンタ条件の影響”、
ジェイ・ビー・マックチェスニー(J.B.MacChesne
y)ら、マテリアル・リサーチ・ブリテン(Mat.Res.Bul
l.)、22、1209−21頁(1987)に、詳細に
述べられている。
【0084】図示され/議論されている具体的な装置の
場合、今精製された基体は、プレート31上なお支持さ
れ、炉32の高温領域より下の位置にある。流れる雰囲
気は、ヘリウム過剰(屈折率を減すため、SiF4を添加で
きる) とし、炉温度は1300−1500℃の最大高温
領域を得るまで上昇させる。それに続いて、シェラウド
30を、縮み及び透明度により、シンタがわかるような
速度で、上方に移動させる。なお管33により支持され
ている基体33は約25%(長さで)収縮している。高
温領域を通りぬける横方向の速度は、約15cm/時間
で、それは一組の条件下で高温領域に、約90分滞在す
ることに対応する。同じ装置及び同じ条件下で、100
cm/時間もの高速でも、十分な結果が得られた。
【0085】その後のプロセス 表の情報は、自己支持無孔基体すなわちファイバ作製の
例では、オーバクラッドプリフォーム管を生じるシンタ
で終っている。
【0086】ここで40と印した図4中の今固化した管
状基体は、トーチ42で加熱することによりつぶす過程
における挿入されたコアロッド41と伴に示されてい
る。それは2つを密着させ、光ファイバを引くためのト
プリフォームを生成するためである。描かれた具体的な
装置において、密着を保障するためにつぶすことは、と
り囲んだ排気管43内を排気することにより、容易にな
る。オーバクラッド管40とコアロッド41内の界面領
域は、管端44及びオーバクラッド管表面45間の接続
部におけるシールにより、シリカキャップ46の上端及
び下端において、封じられる。泡のない構造はそのよう
な界面領域を、30−50mTorr の圧力に保つことによ
り、信頼性よく生成される。
【0087】本発明の合成プリフォームからのファイバ
の生産は、コア構造を生成する具体的な手段には、依存
しない。十分な構造はVADとともにMCVDにより作
製されたコアロッドを用いて作られてきた。通常のMC
VD作製中で基板管を用いることにより、クラッドの割
合が幾分増加する。(D/d値がより大きくなる。ここ
で、Dはコアロッド全体の直径で、dはコアの直径であ
る。)本発明に従う十分なオーバクラッド構造を生じる
実験は、それぞれMCVDの場合4−6のD/d比、V
ADの場合3.0−4.5のD/d比に依存した。
【0088】最後の図である図5は、図4に描かれたプ
ロセス中に生成されるつぶされたオーバクラッド・コア
ロッド51を描く。たとえば、ティー・リー(T.Li)
編、光ファイバ通信、アカデミックプレス、ニューヨー
ク(1985)中のエフ・ブィ・ディマルセロ(F.
V.DiMarcello)ら、“ファイバの引張り及び強度特
性”、179−242頁に述べられている引張りプロセ
スは、単に、プリフォーム51の温度を領域52におけ
る軟化点まで上昇させ、それによって図示されていない
手段により引かれたファイバ53が生じるように、炉5
0内を加熱することを含む。
【0089】
【実施例】
【実施例1】本発明のプロセスによる通信用途級の光フ
ァイバの生産は、3つの工程を含む。すなわち、ゲル誘
導ガラス状シリカオーバクラッド管の作成と固化、気相
誘導コアロッド周囲へのこの管の融合、及び合成プリフ
ォームのファイバへの引張り、である。
【0090】この例において、オーバクラッド管は溶融
シリカの2500グラム水溶性分散から作成した。分散
は約50m2/g の表面積を有する46重量%のコロイド
シリカを含んだ。粒子サイズの分布は、約50nm径に中
心があり、5nmないし100nmに広がった。分散に、水
(25重量%)に溶解させた一定量のテトラエチル水酸
化アンモニウム(TMAH)(SiO2を基準に2.8重量
%−ともに乾燥した重量)を添加した。これによりpHが
約12に上昇し、ゲル化及び沈殿に対して、安定化し
た。20時間後、分子量約50,000(ポリスチレン
を標準に、ゲル浸透クロマトグラフィで測定)の0.2
1重量%ポリエチルオキサゾリン及びグリセリン(0.
87重量%、ともにSiO2に基く)を添加し、ゾルと混合
した。メチルホルメート(2.1重量%SiO2に基づく)
を添加し、ただちに鋳型中に注いだ。鋳型はアクリル管
と同心状のステンレススチールロッドから成り、ともに
63.5mmOD×28.6mmID×1メートル長の管状
鋳造を可能にする。エステル添加後、10分以内で、ゾ
ルはゲル化した。ギ酸の添加に続く10分間で、pHは
9.6−9.7の範囲の値に減少し、本質的に完全なゲ
ル化が起った。
【0091】ゲル管は鋳型からとり出し、3″離れた回
転する2.5″径ローラ上で、水平にして乾燥させた。
ゆるく閉じた箱の中で2週間1rpm で回転することによ
り、25.1mmID×55.6mmOD×844mm長(1
2.4%の収縮に対応する)のゆがみのない乾燥した管
が生じた。報告した結果は、室温及び約80%の相対湿
度で得られた。
【0092】乾燥させた管は、溶融石英焼結シュラウド
(図4)中に置いた。焼結シュラウドは12″長の炉高
温領域を通して垂直方向に試料を移動させる昇降機上
に、支持された。焼結中、基体はシンタされない管の中
心の穴の中に11.3cm延びる19mmロッドにより、支
持された。試料はHe、O2及びCl2 が流れる雰囲気中の高
温領域とに置かれ、一方炉は1000℃の加水分解温度
に加熱された。炉はこの温度に16時間保たれ、一方試
料はそれを通してゆっくり下降させた。試料を底部にお
いて、炉温度を1400℃に上昇させ、高温領域を通し
て上昇させることにより、試料を固化させた。固化の結
果、管は更に27%収縮し、18.3mmの内径に減少
し、管は19mmの支持ロッドに融着した。約8cmの長さ
の融着部分はとり出され、長さ約59cmの管が残った。
【0093】コアロッドはMCVDにより生成され、Ge
O2−ドープコア(△+ =0.27%、すなわちアンドー
プシリカの屈折率より27%大)、フッ素ドープクラッ
ド(△- =0.11%、すなわちアンドープリシカの屈
折率より11%小)及び16mmの外径を有した。ロッド
は管の中に挿入し、合成プリフォームが生成した。簡単
に言うと、作製はコアロッドとオーバクラッド管を加熱
するために、垂直旋盤と表面バーナを用いた。水銀25
−27インチの真空が、コアロッド上へのゾル−ゲル管
のつぶしを助けた。アセンブリは10rpm で回転させ、
1.2cm/分の速度で上から下へ融着させた。オーバク
ラッド温度はいくつかの目的を達成するのに、十分であ
った。すなわち、(1)ゾル−ゲル管中に残っている孔
の除去、(2)コアロッド上への管のつぶし、(3)管
−コアロッド界面における融着である。このプロセスに
より、直線状の円筒状基体が生じた。得られたプリフォ
ームは2.6mm径のコアと、40mmのODを有した。作
製の詳細は、米国特許第4,820,332号の指針に
従った。
【0094】プリフォームは2200℃で動作するZrO2
/RF誘導炉を用いて、125μm径のファイバに引い
た。引張り速度は毎秒3.9メートルで、引張っている
間の張力は75gであった。UV照射アクリルの二重被
覆を適用した。引張ったファイバは8.2μmのコア
と、125μmの外径を有した。
【0095】引張ったファイバは、カットバック技術に
より測定した。その損失は1.3μmで0.42dB/キ
ロメートルで、1.55μmにおいて、0.35dB/キ
ロメートルであった。他の研究では、挿入損は最善の市
販のファイバの特性値まで、更に減少した。
【0096】
【実施例2】一連のオーバクラッド管が、TMAHの2
5重量%水溶液の152gで安定化した3000gのゾ
ル(水中に46重量%のSiO2)の塊から作成された。2
0gの水中の約50,000mWのポリエチルオキサゾリ
ン2.4gを、12gのグリセリンとともに添加し、混
合した。一晩エージングした後、ゾルは冷却し、24g
のギ酸メチルを添加した。高シャーミキサを用いて2つ
を混合した。1〃O.D.コア心軸を有する21/2″
I.D.鋳型中で鋳造した。
【0097】約16時間置いた後、コア心軸はとり除
き、その短時間後、水のタンク中に浸したまま、ゾル基
体をローラ上に鋳型から押し出した。各ゲル円筒とその
上にそれがのっている2つのローラは、雰囲気制御キャ
ビネット中に置いた。ここで、約0.2RPMで回転さ
せたまま、円筒は15℃及び80%相対湿度において、
約7日間乾燥させた。得られた多孔質シリカ基体は、焼
結前に、時間を変えて蓄えた。
【0098】各管は最初、150℃に24時間加熱する
ことにより、焼結させた。これにより、重さの5%まで
が除かれ、主に水と有機物が残った。次に、乾燥させた
基体を先に述べた焼結シュラウド中に支持した。中心の
“つりさげた管”を、多孔質シリカ管の最上部中に2″
の深さに挿入し、アセンブリは垂直管炉の底部に置い
た。シュラウドと試料は次に、炉高温領域中の最上部に
置かれ、領域の温度は14時間にわたって、1000℃
に上昇させた。チャンバ中の雰囲気は、7%O2及びHe中
0.8ないし1.7%のCl2 を含んだ気体(全流量14
00sccm/分)を流すことにより、制御した。高温領域
が1000℃に達した時、昇降機を用い、10時間で高
温領域を通して、試料を上昇させた。雰囲気を7%O2
93%Heに変え、試料は同じ時間をかけて底部まで下降
させた。炉の温度は次に1475℃にあげられ、雰囲気
はすべてHeに変えられ、5時間で炉の最上部に上るにつ
れ、試料は固化した。
【0099】約40mmO.D.、18mmI.D×50cm
長のこのようにして作られた管を、米国特許第4,82
0,322号の指針に従って、16.5mmMCVDコア
ーロッドを被覆するために用いた。MCVDの場合、フ
ァイバ損に対するオーバクラッド管の効果は、別々の6
個のMCVDコアーロッド(それぞれ被覆の後、75km
のファイバに設計された) により、市販の低加水分解含
有合成シリカオーバクラッドと本発明に従って作られた
ゾル−ゲルオーバクラッド管の差が調べられた。それぞ
れの最初の半分は、市販の管中で被覆され、他の半分は
ここで述べられたように作製したゾル−ゲル管で被覆し
た。いくつかのファイバは引張り条件を同じに保って、
各部分から引いた。2つのオーバクラッドを有して作ら
れたファイバ間の媒体伝送損の差は、1.310及び
1.55μmの両方において、0.003dB/km であっ
た。差は十分小さいと考えられる。
【0100】
【実施例3】管は3500グラムのシリカゾル(46重
量%SiO2) で出発して作製した。これに179グラムの
25%水溶性TMAH及び25グラムの水中に溶解させ
た5.4グラムのポリエチルアゾリン(平均分子量5
0,000)を添加した。高シャーミキサ中で5分間混
合し、その後室温で1晩エージングさせた。次に、ゾル
は10℃に冷却し、26グラムのギ酸メチルを混合しな
がら添加した。45秒後、63.5×25.4mmの円状
空胴を規定する同心のステンレススチールロッドを含む
円筒状アクリル鋳型に移した。鋳型中の自由空間は、捕
獲された空気のゾルを除くため、数Torrに排気した。真
空は除かれ、鋳型は閉じられた15分でゲル化は本質的
に完了した。
【0101】2時間後、心軸を除き、ゲル基体を鋳型か
らローラ上に押した。ゲル円筒を80%相対湿度、20
℃雰囲気中で、1時間当たり1回転の速度で回転させな
がら、乾燥させた。10日後、約97%の水が除かれた
後、試料は空気中で120℃にゆっくり加熱され、その
温度に一晩保たれた。それは次に、冷却され、図4に示
されたような焼結シュラウド中に置かれた。表中の工程
11である中間の加熱の後、アセンブリは炉中の12イ
ンチ高温領域を通して、10時間試料を加熱及び昇温し
ながら、1000℃に加熱した。試料上の雰囲気はこの
焼結中、4%塩素、6%酸素及び90%ヘリウムに保た
れた。次に、炉温度は1475℃に上げられ、雰囲気は
すべてヘリウムに変えられ、試料は5時間、高温領域を
通過させた。
【0102】この管は最初、室温において2時間、10
%水溶性HF中でエッチングすることにより、清浄化さ
れた。次に、コアロッドが挿入され、管及びロッドはHe
中で1900℃の温度に保たれた炭素炉中で、加熱され
た。コアロッドは3.10mm径のコア領域を含む。VA
D成長クラッド領域を含み、それは14mmのODを有
し、従って比はD/d =4.5であった。ロッドの中のコ
アとクラッドの屈折率差は、△=0.33%であった。
次にプリフォームをよく知られた市販用生産条件(この
例では約3m/秒の速度)で、引いた。得られるプリフ
ォームの半分より幾分少ない量を引き、125μmの外
径をもつ約22kmのファイバが生成された。ファイバは
標準的な実施例に従い、アクリルポリマで被覆された。
ファイバはλ=1.55μmで0.196dB/km 、λ=
1.3μmで0.33dB/km の平均減衰を有した。ゼロ
色分散は、1.3μmで生じ、遮断は1.28ないし
1.30μmの間で変化した。
【0103】
【実施例4】ゲル誘導シリカの下方ドーピングを示す条
件下で、オーバクラッド管を作成した。管は実施例2と
同様のプロセスにより作成した。2,750グラムのゾ
ルを、133グラムの(25%)水溶性TMAHと混合
した。この混合物に、マグニフロック581−C(アメ
リカン・シアナミド社、ウェイン,ニュージャージーの
製品)3.3グラムとともに、20グラムのグリセリン
を加えた。一晩平衡に置いた後、28グラムのギ酸メチ
ルを添加し、ゾルは実施例2で述べた鋳型中で、鋳造し
た。ゲル化した基体は鋳型からとり出され、先の例のよ
うに乾燥させた。それは次に、以下のスケジュールに従
って、乾燥及び焼結させた。He中で0.5時間120℃
に上昇、He中で0.5時間120℃に保持、85%He、
10%O2、5%Cl2 中で11時間、1000℃に上昇、
85%He、10%O2、5%Cl2 中で10時間、1000
℃において、試料を上昇、1000℃において、雰囲気
を92.2%He、5.6%Cl2 、2.2%SiF4に変更、
92.2He、5.6%Cl2 、2.2%SiF4中で10時
間、1000℃において試料を下降、97.6He、2.
4%SiF4中で2時間、1400℃に上昇、97.6He、
2.4%SiF4中で5時間、1400℃において、試料を
上昇。得られたシリカ管は低下した屈折率:1.452
6(シリカのそれより0.006単位低い)を有した。
管は約50cmの長さで、ODは44mm、IDは18mmで
あった。
【0104】
【実施例5】オーバクラッド管の作成方式は、2500
グラムのシリカゾル(46重量%SiO2) 、水中の121
グラムの25重量%TMAH、26.8g の水中の3.
2グラムのポリエチルオキサゾリン及び15グラムのグ
リセリンを含んだ。ゾルを1晩エージングした後、4
1.2グラムのグリコール酸メチルをゾルに添加した。
ゾルは実施例2の場合のように鋳造され、室温におい
て、約35分でゲル化が起こった。そのようなゲル基体
の1つを、例2で述べたのと同一の方式で乾燥させた。
実施例2のスケジュールに従い焼結したところ、クラッ
クのない透明な管が得られた。
【0105】
【実施例6】オーバークラッド管の作成方法は、250
0グラムのシリカゾル(46重量%SiO2) 、125グラ
ムの25重量%水溶性テトラエチル水酸化アンモニウ
ム、26.8グラムの水中の3.2グラムのポリエチル
オキサゾリン及び15グラムのグリセリンを含んだ。1
晩ゾルをエージングした後、氷槽中で冷却し、強くかく
拌しながら(すべての例で、pH降下エステルの添加の際
用いるように)、25グラムのギ酸メチルを添加した。
ゲル化は約20分で起こった。ゲル基体は実施例2に述
べたように乾燥させ、焼結させた。焼結させたところ、
明らかなクラックのないシリカ管が得られた。
【0106】
【実施例7】オーバクラッド管の作成方式は、2500
グラムのシリカゾル(46重量%SiO2) 、121グラム
の25重量%水溶性TMAH、26.8グラムの水中の
ポリエチルオキサゾリン3.2グラム、及び15グラム
のグリセリンを含んだ。1晩ゾルをエージングした後、
強くかく拌しながら、47.7グラムの乳酸メチルを添
加した。室温において約50分でゲル化が起こった。ゲ
ルは実施例2で述べた方式で鋳造及び乾燥させた。焼結
した時、明らかなクラックのないシリカ管が得られた。
【0107】
【実施例8】オーバクラッド管の作成方式は、2500
グラムのシリカゾル(46重量%SiO2) 、121グラム
の25重量%水溶性TMAH溶液、26.8グラムの水
中の3.2グラムのポリエチルオキサゾリン及び15グ
ラムのグリセリンを含んだ。1晩ゾルをエージング後、
強くかく拌しながら、54.1グラムの乳酸エチルを、
ゾルに添加した。室温において約60分でゲル化が起こ
った。ゲル基体が、実施例3に述べた方式で鋳造及び乾
燥させることにより、生成した。焼結させたところ、明
らかなクラックのないシリカ管が得られた。
【0108】他の事項 本発明で解決すべき基本的な問題は、長い撚線である。
この問題を解決するために、多くの研究が世界的に向け
られてきた。基本的に、問題はゾル・ゲルにより生成さ
れるガラス基体の生成中の、ゾル−ゲル統一体のクラッ
ク発生にある。適切な文献は、この問題を、各種の機構
によるとしている。本発明の発見は、実験にのみ基いて
いる。そのような発見は、ある種の機構の説明と一致し
ているが、それらは何も明白には支持しない。
【0109】適切な機構についての説明は、ゲル乾燥中
の孔の寸法を含む。クラック発生は、その原因が毛細管
の歪にあると考えられる。すなわち、孔から水を部分的
に除去した時存在する自由水面の張力にある。(より一
般的には、用いる懸濁媒体の表面張力の張力である。)
そのような歪は孔の寸法が小さくなるとともに増し、
(狭い分布又は広い分布で存在しても)、小さな粒子寸
法に対して、著しくなる。実験結果が、この機構の説明
と一致することは、注意すべきである。十分な湿化能力
をもつ指示された種類のポリマは、より小さな孔に好都
合で、従って水を除去する。気体製品を生成させるため
の分解によるポリマ除去は、水の除去後に行なわれる。
ポリマ−ガラス界面における自由エネルギーを最小にす
るのは、最も負の曲線の表面(たとえば、粒子−粒子接
触点)における溶液からの好ましい析出の周知の現象に
より、補正してもよい。
【0110】
【発明の効果】本発明の指針は、各種の利点をもつ。そ
のような利点のすべてが、最初の商業生産に使用される
であろう。しかし、本発明の利点は、より大きな広さを
もつ。広さは商業生産があまり制限されない用途を含む
ようなものである。一例として、顕著な利点は、鋳造に
よることである。これにより、この早い段階で正味の形
又はほぼ正味の形が、容易に得られる。すなわち、たと
えば鋳造基体の機械加工が避けられる。しかし、焼結ゲ
ル基体が、鋳造してもしなくても、最終的な製品(最終
的な製品の適切な要素でなく)の形を規定しない状況が
ある。たとえば、炉管として用いるためのシリカ管は、
固体ゲル基体から引くか、追い出しよいことが予想され
る。経済的には、これは次のような考えに基いて示され
る道筋である。すなわち、最終的な製品の寸法に厳密さ
を必要としないこと(炉管についてあてはまる可能性が
大きい)あるいは必要なこと(特定の鋳造構造の価格を
正当化するには、不十分である。)が限られていること
である。
【図面の簡単な説明】
図面の本発明に従って考えられるプロセス及び材料の議
論に便利なように、示したものである。一般的に、発明
全体を示すことを意図しているが、具体的な説明は、基
本的な視点、すなわち光ファイバの作製に関してであ
る。
【図1】かく拌手段と作成中のゾルを含む容器の透視
図。
【図2】鋳型から引いた整形した基体を示す透視図。
【図3】たとえばデビドロキシレーション及び凝固のた
めに、炉シュラウド内に支持されたプロセスの次の段階
でゲル化される基体を、一部分断面で示す透視図。
【図4】管のつぶし過程で、挿入されたコアロッドを有
する今凝固中の管を示す透視図。
【図5】ファイバの引張り過程で、オーバクラッドと密
着したコアロッドを含むプリフォームを、一部分断面で
示す透視図。
【符号の説明】
10 容器 11 内容物 12 かく拌手段 20 鋳型 21 外部保持管壁、鋳型管 22 心軸 23 ゾル−ゲル基体、管基体、基体 30 溶融石英シュラウド 31 石英プレート 32 炉 33 管、基体 40 管状基体、オーバクラッド管 41 コアロッド 42 トーチ 43 排気管 44 管端 45 オーバクラッド管表面 46 シリカキャットプ 50 炉 51 コアロッド、プリフォーム 52 領域 53 ファイバ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 エドウィン アーサー チャンドロス アメリカ合衆国 07974 ニュージャーシ ィ,マレイ ヒル,ハンタードン ブウル ヴァード 14 (72)発明者 デブラ アン フレミング アメリカ合衆国 07034 ニュージャーシ ィ,レイヒアワザ,グレンウッド アヴェ ニュー 60 (72)発明者 ディヴィッド ウィルフレッド ジョンソ ン,ジュニヤ アメリカ合衆国 07921 ニュージャーシ ィ,ベドミンスター,オアクラ レーン 5 (72)発明者 ジョン バーネット マックチェスニー アメリカ合衆国 08833 ニュージャーシ ィ,レバノン,クレートタウン ロード ボックス 187 (72)発明者 フレデリック ダブリュ.ワルツ,ジュニ ヤ アメリカ合衆国 07060 ニュージャーシ ィ,プレインフィールド,ハンティングト ン アヴェニュー 724

Claims (23)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ゲルに帰結する懸濁液媒体中コロイドシ
    リカ粒子の懸濁液を含むゾルを、ゲル化することよりな
    る方法により、高シリカガラス基体を作製する工程、 そのような懸濁媒体を本質的に除去するために、ゲルを
    乾燥させる工程、及び高シリカガラス基体を生成するた
    め、そのようなゲルを焼結する工程よりなる、高シリカ
    ガラスで、少くとも一部が構成される製品を作製する方
    法において、 前記ゾルは、ゲル化の本質的な部分中、少くとも1つの
    有機ポリマから本質的に成る第1の添加物を含む添加物
    を含有し、そのようなポリマは (1)そのようなコロイドシリカ粒子の全自由表面の5
    %ないし50%を単分子で被覆するのに十分な量で、 (2)ゲル化の前に、前記ゾル中に本質的に完全な溶液
    を生じるような溶解度を有し、 (3)前記シリカ粒子を湿らすような性質をもち、 (4)基本的に熱的に分解し、気体分解生成物になり、
    焼結した生成物が本質的にそのようなポリマを含まない
    とともに、そのような製品の特性に有害な影響を与える
    無視できない汚染を構成する分解生成物を含まないよう
    な組成、をもつことを特徴とする工程よりなる高シリカ
    ガラスで少くとも一部が構成される製品の作製方法。
  2. 【請求項2】 懸濁液媒体が水であり、ゲル化はゾルの
    pHを下ることを要する請求項1記載の方法。
  3. 【請求項3】 前記粒子は1グラム当り100平方メー
    トルの最大表面積を有し、ゾル中のシリカの量は、ゾル
    に対して少くとも30重量パーセントで、ゲル化前のゾ
    ルのpHは、しばしば少くとも9.5の値になる請求項2
    記載の方法。
  4. 【請求項4】 ゾル中にpH上昇成分を含むことにより、
    ゲル化の前に少くとも9.5の値が確実に得られ、pHの
    低下は少くとも一部、ゾル中にpH降下成分を加えること
    による請求項3記載の方法。
  5. 【請求項5】 ゾルはゲル化が起る鋳型中に導入され、
    鋳型中にゾルを導入する前に、ゾルにpH降下成分が添加
    され、pH降下成分は本質的にエステルを含み、それによ
    りゲル化速度が制御される請求項4記載の方法。
  6. 【請求項6】 湿らせることは、逆化学吸着を含み、鋳
    型はゲル化した時鋳造されたほぼ正味の形を生じるよう
    な空胴を定める請求項5記載の方法。
  7. 【請求項7】 前記ゾルは前記ゲル化の本質的な部分
    中、多価アルコールから本質的に成る第2の添加物を含
    む請求項6記載の方法。
  8. 【請求項8】 鋳型中へ導入されるゾルの量は、少くと
    も1キログラムの重さの高シリカガラス基体を生じるの
    に十分である請求項7記載の方法。
  9. 【請求項9】 前記ポリマは基本的に脂肪族で、炭素、
    水素、酸素及び窒素からなる群より選択された原子から
    基本的に成り、そのようなポリマの分子量は、100万
    の最大値を有する請求項8記載の方法。
  10. 【請求項10】 アルカリ金属イオンの全含有物は、ナ
    トリウム及びカリウムから成る群から選択され、乾燥さ
    せたゲル化基体に対して、最大100ppm 含まれる請求
    項9記載の方法。
  11. 【請求項11】 そのようなポリマはポリアミドである
    請求項10記載の方法。
  12. 【請求項12】 ポリマはポリエチルオキサゾリン、ポ
    リメチルオキサゾリン及びポリアクリルアミドから成る
    群から選択される請求項11記載の方法。
  13. 【請求項13】 そのようなポリマは第四アンモニウム
    置換基及びハロゲン化対向イオンを含む請求項12記載
    の方法。
  14. 【請求項14】 ゾルは本質的に多価アルコールから成
    る第2の添加物を含む請求項12記載の方法。
  15. 【請求項15】 第2の添加物はグリセリンである請求
    項14記載の方法。
  16. 【請求項16】 pH降上成分は少くとも1つの第四水酸
    化アンモニウムである請求項4記載の方法。
  17. 【請求項17】 pH降上成分は水酸化テトラメチルアン
    モニウム及び水酸化テトラエチルアンモニウムから成る
    群から選択された少くとも1つの化合物である請求項1
    6記載の方法。
  18. 【請求項18】 pH降下成分は、ギ酸、乳酸及びグリコ
    ール酸から成る群から選択された酸の水溶性脂肪族エス
    テルから本質的に成る請求項4記載の方法。
  19. 【請求項19】 製品の特性には、光スペクトル中の電
    磁エネルギーの低損失伝送が含まれる請求項1〜18の
    いずれかに記載の方法。
  20. 【請求項20】 製品は光ファイバで、高シリカガラス
    基体はそのようなファイバの本質的な部分を生じ、前記
    方法はそのような基体から成るファイバプリフォームか
    ら、そのようなファイバを引くことを含む請求項1〜1
    8のいずれかに記載の方法。
  21. 【請求項21】 製品は光ファイバであり、高シリカガ
    ラス基体はオーバクラッド管を構成し、前記方法は内部
    クラッド部分内のコア部分を含む囲まれたコアロッドと
    密着するように、そのような管をつぶすことにより生成
    したファイバプリフォームから、そのようなファイバを
    引張ることを含み、前記コアロッドは修正化学気相堆積
    及び気相軸堆積及び外部気相堆積から成る群から選択さ
    れたスート堆積プロセスを含む群から選択されたプロセ
    スを用いる堆積により生成される請求項1〜18のいず
    れかに記載の方法。
  22. 【請求項22】 製品は光ファイバであり、高シリカガ
    ラス基体はオーバクラッド管を構成し、前記方法は内部
    クラッド部分内のコア部分を含む囲まれたコアロッドと
    密着するように、そのような管をつぶすことにより生成
    したファイバプリフォームから、そのようなファイバを
    引張ることを含み、前記コアロッドは修正化学気相堆積
    及び気相軸堆積及び外部気相堆積から成る群から選択さ
    れたスート堆積プロセスを含む群から選択されたプロセ
    スを用いる堆積により生成され、前記管はそのようなコ
    アロッドをとり囲んだまま焼結される請求項1〜18の
    いずれかに記載の方法。
  23. 【請求項23】 請求項1〜22のいずれかに記載の方
    法により生成された製品。
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Families Citing this family (115)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1256359B (it) * 1992-09-01 1995-12-01 Enichem Spa Procedimento per la preparazione di componenti e dispositivi ottici indimensioni finali o quasi finali, e prodotti cosi' ottenuti
FR2717470B1 (fr) * 1994-03-16 1996-05-24 Aerospatiale Revêtement haute température sur substrat céramique et procédé ne nécessitant pas de cuisson pour son obtention.
US5565014A (en) * 1994-03-31 1996-10-15 Lucent Technologies Inc. Process of manufacturing a vitreous silica product including hydrothermally drying a collordal sol-gel
US5840465A (en) * 1995-07-17 1998-11-24 Taiyo Ink Manufacturing Co., Ltd. Compositions and method for formation of barrier ribs of plasma display panel
CA2161160C (en) * 1994-12-29 2000-01-04 Edwin Arthur Chandross Fabrication including sol-gel float processing
US5633741A (en) * 1995-02-23 1997-05-27 Lucent Technologies Inc. Multichannel optical fiber communications
US5596668A (en) * 1995-06-30 1997-01-21 Lucent Technologies Inc. Single mode optical transmission fiber, and method of making the fiber
US5567622A (en) * 1995-07-05 1996-10-22 The Aerospace Corporation Sensor for detection of nitrogen dioxide and nitrogen tetroxide
US5578101A (en) * 1995-09-01 1996-11-26 Lucent Technologies Inc. Method of making a sol-gel glass body and removing same from mold
US5598496A (en) * 1995-12-14 1997-01-28 Lucent Technologies Inc. Optical fiber connector comprising a glass ferrule, and method of making same
EP0807610B1 (en) * 1996-05-14 2001-06-20 Lucent Technologies Inc. Process entailing sol-gel production of silica glass
US6343490B1 (en) * 1996-05-14 2002-02-05 Lucent Technologies, Inc. Processing entailing sol-gel fabrication of silica glass
CN1042922C (zh) * 1996-07-31 1999-04-14 中国建筑材料科学研究院 耐高温低膨胀高硼含量封接玻璃的制备工艺
KR100229900B1 (ko) * 1997-03-10 1999-11-15 윤종용 솔-젤법을 이용한 실리카 유리 단일체의 제조방법
US6007685A (en) * 1997-06-19 1999-12-28 Lucent Technologies Inc. Deposition of highly doped silicon dioxide films
KR100252184B1 (ko) * 1997-07-29 2000-04-15 윤종용 실리카 글래스의 제조방법
KR100252185B1 (ko) * 1997-08-29 2000-04-15 윤종용 실리카 글래스의 제조방법
US6080339A (en) * 1997-09-26 2000-06-27 Lucent Technologies Inc. Process for fabricating silica article utilizing sol-gel extrusion
US5944866A (en) * 1997-09-26 1999-08-31 Lucent Technologies Inc. Fabrication including sol-gel processing
CN1113044C (zh) 1997-10-29 2003-07-02 三星电子株式会社 石英玻璃组合物
KR100238191B1 (ko) 1998-02-16 2000-02-01 윤종용 실리카 글래스의 제조방법
US6007727A (en) * 1998-03-06 1999-12-28 Lucent Technologies Inc. Process for treating by-product of optical fiber fabrication
US6334338B1 (en) 1998-07-02 2002-01-01 Lucent Technologies Inc. Sol gel process of making a fiber preform with removal of oxide particles
US6209357B1 (en) 1998-07-21 2001-04-03 Lucent Technologies Inc. Method for forming article using sol-gel processing
US6041623A (en) * 1998-08-27 2000-03-28 Lucent Technologies Inc. Process for fabricating article comprising refractory dielectric body
US6132649A (en) * 1999-01-29 2000-10-17 Lucent Technologies Inc. Fabrication including sol-gel processing
KR100322132B1 (ko) 1999-01-29 2002-01-29 윤종용 졸-겔 공정용 실리카 글래스 조성물
CA2361817A1 (en) 1999-02-05 2000-08-10 Steven B. Dawes Optical fiber component with shaped optical element and method of making same
ITNO990004A1 (it) * 1999-03-08 2000-09-08 Gel Design And Engineering S R Processo sol-gel per la produzione di manufatti contenenti e aderentiad un inserto cilindrico incomprimibile e manufatti cosi' ottenuti.
DE19936478A1 (de) * 1999-08-03 2001-02-15 Degussa Sinterwerkstoffe
KR100357638B1 (ko) 1999-08-31 2002-10-25 삼성전자 주식회사 실리카 솔의 초음파 분산 장치
US6436187B1 (en) 1999-09-01 2002-08-20 Agere Systems Guardian Corp. Process for fabricating article having substantial three-dimensional order
US6193926B1 (en) 1999-09-03 2001-02-27 Heraeus Amersil, Inc. Process for making molded glass and ceramic articles
US6398849B1 (en) 1999-10-01 2002-06-04 Lucent Technologies Inc. Process and apparatus for treating gaseous products of sol-gel manufacturing
US6550280B1 (en) 1999-12-13 2003-04-22 Agere Systems Guardian Corp. Process of sintering a hanging silica tube so as to exhibit a low bow
KR100318949B1 (ko) 1999-12-16 2002-01-04 윤종용 솔-젤 공법을 이용한 고순도 실리카 글래스 제조 방법
KR100477880B1 (ko) * 1999-12-24 2005-03-18 주식회사 포스코 강판이송용 허스롤에 사용되는 실리카질 슬리브의 제조방법
KR100417682B1 (ko) * 1999-12-24 2004-02-11 재단법인 포항산업과학연구원 실리카질 슬리브 성형용 조성물 및 이로부터 실리카질슬리브를 제조하는 방법
KR100326173B1 (ko) 1999-12-30 2002-02-27 윤종용 고순도 실리카 글래스 제조 공정의 열처리 제어 방법
KR100326174B1 (ko) 1999-12-31 2002-02-27 윤종용 솔-젤 공법을 이용한 고순도 실리카 글래스 제조 방법
US6223563B1 (en) 2000-03-17 2001-05-01 Lucent Technologies Inc. Process for fabricating fluorine-doped sol-gel article
US6553790B1 (en) 2000-05-09 2003-04-29 Fitel Usa Corp. Process for fabricating optical fiber involving tuning of core diameter profile
NL1015405C2 (nl) * 2000-06-09 2001-12-12 Draka Fibre Technology Bv Single mode optische vezel en werkwijze voor het vervaardigen van een single mode optische vezel.
US6442977B1 (en) 2000-06-20 2002-09-03 Fitel Usa Corp. Sol-gel process for fabricating germanium-doped silica article
IT1318617B1 (it) * 2000-07-10 2003-08-27 Novara Technology Srl Processo sol-gel per la produzione di geli secchi di grandidimensioni e vetri derivati.
DE10035451C2 (de) * 2000-07-19 2002-12-05 November Ag Molekulare Medizin Verfahren und Vorrichtung zur Identifizierung einer Polymersequenz
US6732549B1 (en) * 2000-08-01 2004-05-11 Lucent Technologies Inc. Multi-pass sintering of a sol-gel body through a hot zone
US6446468B1 (en) 2000-08-01 2002-09-10 Fitel Usa Corp. Process for fabricating optical fiber involving overcladding during sintering
US6679945B2 (en) * 2000-08-21 2004-01-20 Degussa Ag Pyrogenically prepared silicon dioxide
US6742364B2 (en) * 2000-09-06 2004-06-01 Minolta Co., Ltd. Method of manufacturing micro glass optical element
WO2002026647A1 (en) * 2000-09-28 2002-04-04 Corning Incorporated Optical glass silica soot particles and method of making same
US6457329B1 (en) 2000-12-14 2002-10-01 Fitel Usa Corp. Process for fabricating sol-gel article involving low-shrinkage formulation
KR20020051387A (ko) * 2000-12-22 2002-06-29 신현준 비정질합금 제조용 실리카질 슬릿형 노즐의 제조방법
US6604408B2 (en) 2001-03-02 2003-08-12 Matec Instrument Companies, Inc. Device for use in determining characteristics of particles dispersed in a medium, and method therefor
US6571582B2 (en) 2001-04-19 2003-06-03 Fitel Usa Corp. Manufacture of silica bodies using sol-gel techniques
US6776012B2 (en) * 2001-06-26 2004-08-17 Fitel Usa Corp. Method of making an optical fiber using preform dehydration in an environment of chlorine-containing gas, fluorine-containing gases and carbon monoxide
DE10141103B4 (de) * 2001-08-22 2007-01-18 Schott Ag Verfahren zur Herstellung optischer Gläser und Farbgläser bei niederen Temperaturen
WO2003040050A1 (en) * 2001-10-18 2003-05-15 Research Institute Of Industrial Science & Technology Preform for glass ferrule and fabrication method thereof
KR100446512B1 (ko) * 2001-11-13 2004-09-04 삼성전자주식회사 솔-젤 공법을 이용한 실리카 글래스 제조 방법
US6832493B2 (en) * 2002-02-27 2004-12-21 Corning Incorporated High purity glass bodies formed by zero shrinkage casting
US20030230118A1 (en) * 2002-06-12 2003-12-18 Dawes Steven B. Methods and preforms for drawing microstructured optical fibers
US6966201B2 (en) * 2002-08-16 2005-11-22 Furukawa Electric North America, Inc. High-temperature sintering of soot bodies doped using molecular stuffing
US20040057692A1 (en) * 2002-08-28 2004-03-25 Ball Laura J. Low loss optical fiber and method for making same
US20040107735A1 (en) * 2002-12-04 2004-06-10 Fitel Usa Corp. Rod-in-tube optical fiber preform and method
US20040112089A1 (en) * 2002-12-16 2004-06-17 Digiovanni David J. Manufacture of optical fibers using enhanced doping
RU2222409C1 (ru) * 2003-04-15 2004-01-27 Мочалов Николай Александрович Силикатное связующее
KR101066281B1 (ko) 2003-08-29 2011-09-20 코닝 인코포레이티드 알칼리 금속 산화물을 함유하는 광섬유, 및 그 제조 방법및 장치
NL1024480C2 (nl) * 2003-10-08 2005-04-11 Draka Fibre Technology Bv Werkwijze ter vervaardiging van een voorvorm voor optische vezels, alsmede werkwijze ter vervaardiging van optische vezels.
US7769071B2 (en) * 2004-02-02 2010-08-03 California Institute Of Technology Silica sol gel micro-laser on a substrate
US7628041B2 (en) * 2004-02-27 2009-12-08 Alcatel-Lucent Usa Inc. Carbon particle fiber assembly technique
US20060130530A1 (en) * 2004-12-21 2006-06-22 Anderson James G Method of doping silica glass with an alkali metal, and optical fiber precursor formed therefrom
FR2886309B1 (fr) * 2005-05-31 2007-08-17 Airbus France Sas Sol pour le revetement par voie sol-gel d'une surface et procede de revetement par voie sol-gel le mettant en oeuvre
US8318459B2 (en) 2011-02-17 2012-11-27 Purecircle Usa Glucosyl stevia composition
US8257948B1 (en) 2011-02-17 2012-09-04 Purecircle Usa Method of preparing alpha-glucosyl Stevia composition
US9386797B2 (en) 2011-02-17 2016-07-12 Purecircle Sdn Bhd Glucosyl stevia composition
US9107436B2 (en) 2011-02-17 2015-08-18 Purecircle Sdn Bhd Glucosylated steviol glycoside as a flavor modifier
US9392799B2 (en) 2011-02-17 2016-07-19 Purecircle Sdn Bhd Glucosyl stevia composition
EP1952186A4 (en) * 2005-11-23 2010-08-04 Corning Inc NON-ZERO DISCHARGE OPTICAL FIBER WITH LOW MITIGATION
EP2032509A2 (en) * 2006-06-09 2009-03-11 Cleveland State University High strength composite materials and related processes
US7421174B2 (en) * 2006-08-28 2008-09-02 Furakawa Electric North America; Inc. Multi-wavelength, multimode optical fibers
WO2008145182A1 (en) * 2007-05-30 2008-12-04 Degussa Novara Technology S.P.A. Method to produce precision structured preforms of glass
EP2088128B1 (en) 2007-12-10 2015-04-08 Cristal Materials Corporation Method for the production of glassy monoliths via the sol-gel process
US10696706B2 (en) 2010-03-12 2020-06-30 Purecircle Usa Inc. Methods of preparing steviol glycosides and uses of the same
WO2011112892A1 (en) 2010-03-12 2011-09-15 Purecircle Usa Inc. High-purity steviol glycosides
WO2012082587A2 (en) 2010-12-13 2012-06-21 Purecircle Usa Highly soluble rebaudioside d
US9510611B2 (en) 2010-12-13 2016-12-06 Purecircle Sdn Bhd Stevia composition to improve sweetness and flavor profile
MX391906B (es) 2011-02-10 2025-03-19 Purecircle Usa Composicion de estevia.
US9474296B2 (en) 2011-02-17 2016-10-25 Purecircle Sdn Bhd Glucosyl stevia composition
CN102863158B (zh) * 2011-07-05 2014-09-10 洛阳兰迪玻璃机器股份有限公司 真空玻璃封接方法及装置
JP5384679B2 (ja) * 2012-01-19 2014-01-08 湖北工業株式会社 光ファイバ母材を製造する方法及び光ファイバ母材
EP2820090A4 (en) * 2012-02-27 2015-10-28 3M Innovative Properties Co BASIC COMPOSITIONS INCLUDING INORGANIC OXIDE NANOPARTICLES AND AN ORGANIC BASE, COATED SUBSTRATES, ARTICLES, AND METHODS
MX352678B (es) 2012-05-22 2017-12-04 Purecircle Sdn Bhd Glucosidos de esteviol de alta pureza.
US10646514B2 (en) * 2013-03-14 2020-05-12 Novabone Products, Llc Processing methods of solgel-derived bioactive glass-ceramic compositions and methods of using the same
CN103739194B (zh) * 2013-12-25 2015-12-23 中天科技精密材料有限公司 一种光纤预制棒的烧结方法及其设备
US10494291B2 (en) * 2014-10-23 2019-12-03 Corning Incorporated Hygroscopic additives for silica soot compacts and methods for forming optical quality glass
US10793466B2 (en) 2015-02-27 2020-10-06 Corning Incorporated Nanoparticle additives for silica soot compacts and methods for strengthening silica soot compacts
EP3390293B1 (de) 2015-12-18 2023-04-19 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Erhöhen des siliziumgehalts bei der herstellung von quarzglas
CN108698880B (zh) 2015-12-18 2023-05-02 贺利氏石英玻璃有限两合公司 不透明石英玻璃体的制备
JP6981710B2 (ja) 2015-12-18 2021-12-17 ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー 二酸化ケイ素造粒体からの石英ガラス体の調製
TW201731782A (zh) 2015-12-18 2017-09-16 何瑞斯廓格拉斯公司 在多腔式爐中製備石英玻璃體
EP3390295B1 (de) * 2015-12-18 2024-10-23 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Siliziumdioxidgranulat für die herstellung von quarzglaskörpern
TWI813534B (zh) 2015-12-18 2023-09-01 德商何瑞斯廓格拉斯公司 利用露點監測在熔融烘箱中製備石英玻璃體
JP6940235B2 (ja) 2015-12-18 2021-09-22 ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー 高融点金属の溶融坩堝内での石英ガラス体の調製
CN108698883A (zh) 2015-12-18 2018-10-23 贺利氏石英玻璃有限两合公司 石英玻璃制备中的二氧化硅的喷雾造粒
JP7044454B2 (ja) 2015-12-18 2022-03-30 ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー 石英ガラス調製時の中間体としての炭素ドープ二酸化ケイ素造粒体の調製
CN105693267A (zh) * 2016-01-29 2016-06-22 卓达新材料科技集团有限公司 一种氧化锗气凝胶复合材料的制备方法
CN122035878A (zh) 2016-09-02 2026-05-15 3M创新有限公司 成型凝胶制品和由其制备的烧结制品
DE102016012003A1 (de) * 2016-10-06 2018-04-12 Karlsruher Institut für Technologie Zusammensetzung und Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers aus hochreinem, transparentem Quarzglas mittels additiver Fertigung
US11111172B2 (en) * 2016-11-30 2021-09-07 Corning Incorporated Basic additives for silica soot compacts and methods for forming optical quality glass
NL2020974B1 (en) * 2018-05-23 2019-12-02 Draka Comteq Bv A device, system and method for forming a core rod for optical fibers
EP3830044B1 (en) 2018-08-02 2025-09-03 Corning Incorporated Methods of capturing soot
IL296730B2 (en) * 2020-04-06 2026-03-01 Aspen Aerogels Inc Improved aerogel compositions and methods
CN111574034B (zh) * 2020-05-19 2022-05-24 浙江大学杭州国际科创中心 一种利用聚合物塑性制备三维透明玻璃的方法
US12617707B2 (en) * 2023-03-29 2026-05-05 Sterlite Technologies Limited Optical fiber and a glass preform manufacturing method
US20250051212A1 (en) * 2023-08-10 2025-02-13 The Aerospace Corporation Self-healing oxides for ionizing radiation damage

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5777044A (en) * 1980-10-30 1982-05-14 Central Glass Co Ltd Manufacture of glass from metallic alcoholate
GB2165233B (en) * 1984-10-04 1988-03-09 Suwa Seikosha Kk Method of making a tubular silica glass member
GB2165234B (en) * 1984-10-05 1988-09-01 Suwa Seikosha Kk Methods of preparing doped silica glass
GB2165534B (en) * 1984-10-05 1988-10-19 Suwa Seikosha Kk Method of preparing parent material for optical fibres
US5080962A (en) * 1985-02-25 1992-01-14 University Of Florida Method for making silica optical devices and devices produced thereby
JPS62123032A (ja) * 1985-08-26 1987-06-04 Seiko Epson Corp 多孔質ガラスの製造方法
US4860045A (en) * 1985-11-27 1989-08-22 Minolta Camera Kabushiki Kaisha Automatic focusing device
JP2635313B2 (ja) * 1986-05-14 1997-07-30 日立化成工業株式会社 シリカガラスの製造法
DE3635842A1 (de) * 1986-10-22 1988-04-28 Philips Patentverwaltung Verfahren zur herstellung von formkoerpern aus keramik oder glas
US4872895A (en) * 1986-12-11 1989-10-10 American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories Method for fabricating articles which include high silica glass bodies
US4775401A (en) * 1987-06-18 1988-10-04 American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories Method of producing an optical fiber
US4897370A (en) * 1987-06-30 1990-01-30 Lion Corporation Process for preparing ceramics composite sintered bodies
DE3780954T2 (de) * 1987-07-03 1992-12-24 Asahi Glass Co Ltd Verfahren zur herstellung von siliziumdioxid-glasfasern.
JPH01119528A (ja) * 1987-10-31 1989-05-11 Hitachi Chem Co Ltd シリカガラスの製造法
JPH01119526A (ja) * 1987-10-31 1989-05-11 Hitachi Chem Co Ltd シリカガラスの製造法
JPH01138139A (ja) * 1987-11-20 1989-05-31 Hitachi Chem Co Ltd シリカガラスの製造法
JPH01138138A (ja) * 1987-11-20 1989-05-31 Hitachi Chem Co Ltd シリカガラスの製造法
JPH0238321A (ja) * 1988-07-28 1990-02-07 Hitachi Chem Co Ltd シリカガラスの製造法
US5009688A (en) * 1988-09-28 1991-04-23 Asahi Glass Company, Ltd. Process for producing porous glass
JPH02129034A (ja) * 1988-11-07 1990-05-17 Ube Nitto Kasei Co Ltd シリカガラスの製造方法
JPH02141433A (ja) * 1988-11-22 1990-05-30 Seiko Epson Corp ガラスの製造方法
JPH0345519A (ja) * 1989-07-13 1991-02-27 Toyo Ink Mfg Co Ltd 液相からのガラスの製造方法
JPH03141122A (ja) * 1989-10-24 1991-06-17 Hitachi Chem Co Ltd シリカガラスの製造法

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