JPH06244264A - チャック機構 - Google Patents
チャック機構Info
- Publication number
- JPH06244264A JPH06244264A JP2703793A JP2703793A JPH06244264A JP H06244264 A JPH06244264 A JP H06244264A JP 2703793 A JP2703793 A JP 2703793A JP 2703793 A JP2703793 A JP 2703793A JP H06244264 A JPH06244264 A JP H06244264A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- chuck
- opening amount
- block
- stopper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 チャック機構に関し，安価で制御方法が簡単
な汎用簡易メカチャックの提供を目的とする。 【構成】 被処理物を把持する２つのチャック爪 1と，
軸方向に移動し且つ該２つのチャック爪をリンク機構を
介して開閉するシャフト 3と，該チャック爪を閉じ該シ
ャフトを該軸方向に押し上げるように設けられたバネ 8
と, 該シャフトを該軸方向に押し下げるように移動させ
る駆動源となるシリンダ 2と, 該シャフトに連結するス
トッパ 6と, 該ストッパが突き当たる複数の段を有する
開量可変ブロック 5とを有し, 該ストッパが突き当たる
段の位置により該シャフトのストロークを変えて該爪の
開量を可変にするように構成する。
な汎用簡易メカチャックの提供を目的とする。 【構成】 被処理物を把持する２つのチャック爪 1と，
軸方向に移動し且つ該２つのチャック爪をリンク機構を
介して開閉するシャフト 3と，該チャック爪を閉じ該シ
ャフトを該軸方向に押し上げるように設けられたバネ 8
と, 該シャフトを該軸方向に押し下げるように移動させ
る駆動源となるシリンダ 2と, 該シャフトに連結するス
トッパ 6と, 該ストッパが突き当たる複数の段を有する
開量可変ブロック 5とを有し, 該ストッパが突き当たる
段の位置により該シャフトのストロークを変えて該爪の
開量を可変にするように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はチャック機構に係り, 特
にパッケージのハンドリングにおいて, パッケージの形
状や大きさに係わらない汎用の簡易メカチャック機構に
関する。
にパッケージのハンドリングにおいて, パッケージの形
状や大きさに係わらない汎用の簡易メカチャック機構に
関する。
【０００２】半導体装置の製造段階で, トレイ等の治具
からパッケージを取り出し, 処理終了後トレイまたは別
治具に収納する工程が多い。そして，近年のパッケージ
の多様化に伴って製造設備の汎用化の要求が高まってい
る。このために，各種のメカチャック機構が利用されて
いるが, 過剰機構による設備の高額化, 制御方法の複雑
化等の問題が生じ, 安価で制御の容易な簡易メカチャッ
ク機構が要求されている。
からパッケージを取り出し, 処理終了後トレイまたは別
治具に収納する工程が多い。そして，近年のパッケージ
の多様化に伴って製造設備の汎用化の要求が高まってい
る。このために，各種のメカチャック機構が利用されて
いるが, 過剰機構による設備の高額化, 制御方法の複雑
化等の問題が生じ, 安価で制御の容易な簡易メカチャッ
ク機構が要求されている。
【０００３】
【従来の技術】従来のパッケージハンドリングは, 真空
吸着による方法や, ボールネジを用いたパルスモータ制
御によるメカチャック機構が一般的であった。ところ
が, 近年のパッケージの多様化, 複雑化により真空吸着
による方法が利用できないものが多くなってきている。
このため，パルスモータ制御による汎用メカチャック機
構が開発されているが, この機構は高価で制御方法が複
雑である。
吸着による方法や, ボールネジを用いたパルスモータ制
御によるメカチャック機構が一般的であった。ところ
が, 近年のパッケージの多様化, 複雑化により真空吸着
による方法が利用できないものが多くなってきている。
このため，パルスモータ制御による汎用メカチャック機
構が開発されているが, この機構は高価で制御方法が複
雑である。
【０００４】パルスモータ制御による汎用メカチャック
機構では，爪開閉の駆動系に一般的にボールネジを使用
している。この際, 駆動を円滑にするためのガイドとし
て複雑なガイド方式がとられ, 構成部品が増えて高価に
なり，また制御ソフトウエアも汎用化した分複雑にな
り，設計工数, デバッグ工数が増えていた。
機構では，爪開閉の駆動系に一般的にボールネジを使用
している。この際, 駆動を円滑にするためのガイドとし
て複雑なガイド方式がとられ, 構成部品が増えて高価に
なり，また制御ソフトウエアも汎用化した分複雑にな
り，設計工数, デバッグ工数が増えていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の汎用メカチャッ
ク機構は, ボールネジやパルスモータ等高価な部品を使
用するため価格が高くなり，制御のソフトウエアが複雑
であるという問題を生じていた。
ク機構は, ボールネジやパルスモータ等高価な部品を使
用するため価格が高くなり，制御のソフトウエアが複雑
であるという問題を生じていた。
【０００６】本発明は, 安価で制御方法が簡単な汎用簡
易メカチャックの提供を目的とする。
易メカチャックの提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題の解決は，被処
理物を把持する２つのチャック爪 1と，軸方向に移動し
且つ該２つのチャック爪をリンク機構を介して開閉する
シャフト 3と，該チャック爪を閉じ該シャフトを該軸方
向に押し上げるように設けられたバネ 8と, 該シャフト
を該軸方向に押し下げるように移動させる駆動源となる
シリンダ 2と,該シャフトに連結するストッパ 6と, 該
ストッパが突き当たる複数の段を有する開量可変ブロッ
ク 5とを有し, 該ストッパが突き当たる段の位置により
該シャフトのストロークを変えて該爪の開量を可変にし
ているチャック機構により達成される。
理物を把持する２つのチャック爪 1と，軸方向に移動し
且つ該２つのチャック爪をリンク機構を介して開閉する
シャフト 3と，該チャック爪を閉じ該シャフトを該軸方
向に押し上げるように設けられたバネ 8と, 該シャフト
を該軸方向に押し下げるように移動させる駆動源となる
シリンダ 2と,該シャフトに連結するストッパ 6と, 該
ストッパが突き当たる複数の段を有する開量可変ブロッ
ク 5とを有し, 該ストッパが突き当たる段の位置により
該シャフトのストロークを変えて該爪の開量を可変にし
ているチャック機構により達成される。
【０００８】
【作用】図１，図２は本発明の原理説明図である。図１
は基板 7の裏側の側面図，図２は基板 7の表側の側面図
である。
は基板 7の裏側の側面図，図２は基板 7の表側の側面図
である。
【０００９】図において， 1はパッケージを保持するチ
ャック爪, 2はシリンダで, リンク機構を介してチャッ
ク爪を開閉する駆動源となっている。チャック爪 1の閉
量は, シリンダ 2がOFF 状態でシリンダロッドが上昇
し，バネ 8の力でリンク機構が閉じる。このときのパッ
ケージの大きさでチャック爪の閉量が決まる。
ャック爪, 2はシリンダで, リンク機構を介してチャッ
ク爪を開閉する駆動源となっている。チャック爪 1の閉
量は, シリンダ 2がOFF 状態でシリンダロッドが上昇
し，バネ 8の力でリンク機構が閉じる。このときのパッ
ケージの大きさでチャック爪の閉量が決まる。
【００１０】チャック爪 1の開量は, 図１のシャフト 3
と図２のブロック 4が基板 7に開けられた孔を介して連
結され，シャフト 3はシリンダ 2と連動して下方に移動
する。このとき, 開量可変ブロック 5の上縁にストッパ
6が突き当たりチャック爪の開量を決めている。開量可
変ブロック 5の上縁の段の位置で開量が決まり, 数段設
けることによりパッケージの汎用化が可能となる。
と図２のブロック 4が基板 7に開けられた孔を介して連
結され，シャフト 3はシリンダ 2と連動して下方に移動
する。このとき, 開量可変ブロック 5の上縁にストッパ
6が突き当たりチャック爪の開量を決めている。開量可
変ブロック 5の上縁の段の位置で開量が決まり, 数段設
けることによりパッケージの汎用化が可能となる。
【００１１】上記のように本発明では，基板 7の表側に
閉量を可変できる機構ユニットを,基板の裏側に閉量を
可変できる機構ユニットを設けることによりパッケージ
の汎用化に対応している。
閉量を可変できる機構ユニットを,基板の裏側に閉量を
可変できる機構ユニットを設けることによりパッケージ
の汎用化に対応している。
【００１２】
【実施例】図１，図２を用いて本発明の実施例を説明す
る。チャック爪 1の閉量は, シリンダ 2がOFF 状態でシ
リンダロッドが上昇し, ２個のクロスローラガイド14に
取りつけられたバネ 8に引っ張られてリンク機構が閉
じ, チャック爪 1は閉じる。このときの閉量はパッケー
ジ外形の大きさで決まる。
る。チャック爪 1の閉量は, シリンダ 2がOFF 状態でシ
リンダロッドが上昇し, ２個のクロスローラガイド14に
取りつけられたバネ 8に引っ張られてリンク機構が閉
じ, チャック爪 1は閉じる。このときの閉量はパッケー
ジ外形の大きさで決まる。
【００１３】チャック爪 1の開量は, シリンダ 2がON状
態でシリンダロッドが下降することにより，シャフト 3
に連結されたブロック 4が下降し，開量可変ブロック 5
の所定の段の上縁にブロック 4に取りつけられたストッ
パ 6が突き当たりチャック爪の開量を決めている。
態でシリンダロッドが下降することにより，シャフト 3
に連結されたブロック 4が下降し，開量可変ブロック 5
の所定の段の上縁にブロック 4に取りつけられたストッ
パ 6が突き当たりチャック爪の開量を決めている。
【００１４】ここで，シャフト 3は基板に固定されたガ
イド（スリーブ）13内をスライドし，上端はシリンダ 2
に突き当たるように, 下端はチャック爪 1を開閉させる
リンク機構に接続される。
イド（スリーブ）13内をスライドし，上端はシリンダ 2
に突き当たるように, 下端はチャック爪 1を開閉させる
リンク機構に接続される。
【００１５】開量可変ブロック 5にはピン10とストッパ
11が設けられている。処理装置からの品種変更命令によ
り, ピン10をハンド内の固定ブロックに当て, 図示の矢
印の方向に開量可変ブロック 5を指定量移動し, 開量可
変ブロック 5の段の位置を決める。段の位置がきまると
シリンダ12がONし, ストッパ11が開量可変ブロック 5の
切欠に挿入され，開量可変ブロック 5は固定される。
11が設けられている。処理装置からの品種変更命令によ
り, ピン10をハンド内の固定ブロックに当て, 図示の矢
印の方向に開量可変ブロック 5を指定量移動し, 開量可
変ブロック 5の段の位置を決める。段の位置がきまると
シリンダ12がONし, ストッパ11が開量可変ブロック 5の
切欠に挿入され，開量可変ブロック 5は固定される。
【００１６】実施例のチャック機構は, ロボットのＺ軸
に搭載され，処理品種の切替えは装置内部にある切替え
スイッチ等で遠隔操作で行い, 装置内に取りつけられた
ブロックにピン10を突き当て指定量だけブロック 5を移
動させて行う。
に搭載され，処理品種の切替えは装置内部にある切替え
スイッチ等で遠隔操作で行い, 装置内に取りつけられた
ブロックにピン10を突き当て指定量だけブロック 5を移
動させて行う。
【００１７】実施例では，開量可変ブロック 5は４段で
あるが，目的に応じて適宜増減することができる。
あるが，目的に応じて適宜増減することができる。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば, パッケージのハンドリ
ングの汎用化に対して，安価で制御方法が簡単な汎用簡
易メカチャックが得られた。この結果，アセンブリ工程
や試験工程でのハンドリング性の向上に寄与することが
できた。
ングの汎用化に対して，安価で制御方法が簡単な汎用簡
易メカチャックが得られた。この結果，アセンブリ工程
や試験工程でのハンドリング性の向上に寄与することが
できた。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の原理説明図(1)
【図２】 本発明の原理説明図(2)
1 チャック爪 2 シリンダ 3 シャフト 4 シャフトに固定されたブロック 5 開量可変ブロック 6 ブロック 4のストッパ 7 基板 8 チャック爪を閉じるバネ 9 開量可変ブロックの位置決め用バネ 10 開量可変ブロックの位置決め用ピン 11 開量可変ブロックの位置決め用ストッパ 12 開量可変ブロックの位置決め用シリンダ 13 シャフト移動用ガイド 14 チャック爪用ガイド
Claims (1)
- 【請求項１】 被処理物を把持する２つのチャック爪 1
と，軸方向に移動し且つ該２つのチャック爪をリンク機
構を介して開閉するシャフト 3と，該チャック爪を閉じ
該シャフトを該軸方向に押し上げるように設けられたバ
ネ 8と, 該シャフトを該軸方向に押し下げるように移動
させる駆動源となるシリンダ 2と, 該シャフトに連結す
るストッパ 6と, 該ストッパが突き当たる複数の段を有
する開量可変ブロック 5とを有し, 該ストッパが突き当
たる段の位置により該シャフトのストロークを変えて該
爪の開量を可変にしていることを特徴とするチャック機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2703793A JPH06244264A (ja) | 1993-02-17 | 1993-02-17 | チャック機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2703793A JPH06244264A (ja) | 1993-02-17 | 1993-02-17 | チャック機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06244264A true JPH06244264A (ja) | 1994-09-02 |
Family
ID=12209877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2703793A Withdrawn JPH06244264A (ja) | 1993-02-17 | 1993-02-17 | チャック機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06244264A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102420159A (zh) * | 2011-12-15 | 2012-04-18 | 杭州立昂微电子股份有限公司 | 一种半导体湿法腐蚀的装置及方法 |
| JP2013244579A (ja) * | 2012-05-29 | 2013-12-09 | Ebara Corp | ワークを搬送する装置のための可動範囲調整機構 |
| JP2018020417A (ja) * | 2016-08-05 | 2018-02-08 | 富士機械製造株式会社 | 部品把持具 |
-
1993
- 1993-02-17 JP JP2703793A patent/JPH06244264A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102420159A (zh) * | 2011-12-15 | 2012-04-18 | 杭州立昂微电子股份有限公司 | 一种半导体湿法腐蚀的装置及方法 |
| JP2013244579A (ja) * | 2012-05-29 | 2013-12-09 | Ebara Corp | ワークを搬送する装置のための可動範囲調整機構 |
| JP2018020417A (ja) * | 2016-08-05 | 2018-02-08 | 富士機械製造株式会社 | 部品把持具 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000509 |