JPH06246719A - セラミックグリーンシートの積層圧着方法 - Google Patents
セラミックグリーンシートの積層圧着方法Info
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- JPH06246719A JPH06246719A JP6257993A JP6257993A JPH06246719A JP H06246719 A JPH06246719 A JP H06246719A JP 6257993 A JP6257993 A JP 6257993A JP 6257993 A JP6257993 A JP 6257993A JP H06246719 A JPH06246719 A JP H06246719A
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- ceramic green
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- green sheets
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 69
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 11
- 238000002788 crimping Methods 0.000 claims description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 5
- 238000003475 lamination Methods 0.000 abstract description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Moulds, Cores, Or Mandrels (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 セラミックグリーンシートの破れや積層ずれ
のない積層体の形成によって、特性劣化や歩留り低下の
ない積層セラミック電子部品の提供をはかる。 【構成】 キャリアフィルム４にて保持されたセラミッ
クグリーンシート５やキャリアフィルム９にて保持され
内部電極１０を形成したセラミックグリーンシート１１
をセラミックグリーンシート５，１１同士を接触させた
状態でプレス金型にて積み重ね圧着する際、キャリアフ
ィルム４又は９と接する表面に金属メッシュ７を取付け
た上金型８を下降してキャリアフィルム４又は９上に接
触させて圧着した後、上金型８を所定の位置まで上昇さ
せ、次にキャリアフィルム４又は９をセラミックグリー
ンシート５又は１１から剥離させる動作を積層数に応じ
た回数繰り返すようにする。
のない積層体の形成によって、特性劣化や歩留り低下の
ない積層セラミック電子部品の提供をはかる。 【構成】 キャリアフィルム４にて保持されたセラミッ
クグリーンシート５やキャリアフィルム９にて保持され
内部電極１０を形成したセラミックグリーンシート１１
をセラミックグリーンシート５，１１同士を接触させた
状態でプレス金型にて積み重ね圧着する際、キャリアフ
ィルム４又は９と接する表面に金属メッシュ７を取付け
た上金型８を下降してキャリアフィルム４又は９上に接
触させて圧着した後、上金型８を所定の位置まで上昇さ
せ、次にキャリアフィルム４又は９をセラミックグリー
ンシート５又は１１から剥離させる動作を積層数に応じ
た回数繰り返すようにする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、積層セラミック電子部
品の製造過程におけるセラミックグリーンシートの積層
圧着技術を改良したセラミックグリーンシートの積層圧
着方法に関する。
品の製造過程におけるセラミックグリーンシートの積層
圧着技術を改良したセラミックグリーンシートの積層圧
着方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、積層セラミックコンデンサ、積
層セラミックバリスタ及び積層圧電素子等の積層セラミ
ック電子部品の積層体形成手段としては、最外装となる
所定厚みに形成したグリーンシートと素子機能部を構成
する内部電極を印刷したグリーンシートとを所定枚数積
層圧着するものであり、積層圧着手段としてプレス金型
を用い、グリーンシート上に所定の温度と圧力を加え、
グリーンシート同士を圧着する工程を繰り返し行い、所
定枚数の積層体を構成するようにしている。
層セラミックバリスタ及び積層圧電素子等の積層セラミ
ック電子部品の積層体形成手段としては、最外装となる
所定厚みに形成したグリーンシートと素子機能部を構成
する内部電極を印刷したグリーンシートとを所定枚数積
層圧着するものであり、積層圧着手段としてプレス金型
を用い、グリーンシート上に所定の温度と圧力を加え、
グリーンシート同士を圧着する工程を繰り返し行い、所
定枚数の積層体を構成するようにしている。
【０００３】すなわち、プレス金型の下金型を構成する
プレート上に、キャリアフィルムにて保持されたセラミ
ックグリーンシート（最外装となる単なるセラミックグ
リーンシート及び内部電極を形成したセラミックグリー
ンシート）を適宜一枚一枚セラミックグリーンシート同
士を接触させた状態で積み重ね、プレス金型を構成する
加熱された上金型を下降して積み重ねられたセラミック
グリーンシートを保持しているキャリアフィルム上に接
触させ、所定の時間加熱及び加圧を行い接触されたセラ
ミックグリーンシート同士を密着させ、しかる後、上金
型を所定の位置まで上昇させ、次に、キャリアフィルム
をセラミックグリーンシートから剥離させる動作を積層
数に応じた回数繰り返すようにしている。
プレート上に、キャリアフィルムにて保持されたセラミ
ックグリーンシート（最外装となる単なるセラミックグ
リーンシート及び内部電極を形成したセラミックグリー
ンシート）を適宜一枚一枚セラミックグリーンシート同
士を接触させた状態で積み重ね、プレス金型を構成する
加熱された上金型を下降して積み重ねられたセラミック
グリーンシートを保持しているキャリアフィルム上に接
触させ、所定の時間加熱及び加圧を行い接触されたセラ
ミックグリーンシート同士を密着させ、しかる後、上金
型を所定の位置まで上昇させ、次に、キャリアフィルム
をセラミックグリーンシートから剥離させる動作を積層
数に応じた回数繰り返すようにしている。
【０００４】しかして、上記のような積層圧着技術にお
いて、均一な圧力でセラミックグリーンシート同士を密
着させ、且つ、積層ずれのない加圧を目的として、セラ
ミックグリーンシートを保持しているキャリアフィルム
と、このキャリアフィルムと接触させる上金型の表面は
極めて平滑度の高い状態に仕上げられている。
いて、均一な圧力でセラミックグリーンシート同士を密
着させ、且つ、積層ずれのない加圧を目的として、セラ
ミックグリーンシートを保持しているキャリアフィルム
と、このキャリアフィルムと接触させる上金型の表面は
極めて平滑度の高い状態に仕上げられている。
【０００５】そのため、圧着時にキャリアフィルムと上
金型の接触面間が真空状態となることから、上金型を所
定の位置まで上昇させる過程でスムースに上金型とキャ
リアフィルムが剥離し難く、上金型上昇時キャリアフィ
ルムを介してセラミックグリーンシートも引っ張られ、
セラミックグリーンシートの破れやずれ等が発生し、歩
留り低下はもとより、積層セラミック電子部品の特性劣
化を引き起こす要因を抱える結果となっていた。
金型の接触面間が真空状態となることから、上金型を所
定の位置まで上昇させる過程でスムースに上金型とキャ
リアフィルムが剥離し難く、上金型上昇時キャリアフィ
ルムを介してセラミックグリーンシートも引っ張られ、
セラミックグリーンシートの破れやずれ等が発生し、歩
留り低下はもとより、積層セラミック電子部品の特性劣
化を引き起こす要因を抱える結果となっていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】以上のように前述した
従来技術では、セラミックグリーンシートの積層化過程
でセラミックグリーンシートを損傷することなくキャリ
アフィルムを効率良く剥離することが困難で、結果とし
て積層セラミック電子部品の特性劣化に結び付き、歩留
りの低下となる要因をもつものとなっていた。
従来技術では、セラミックグリーンシートの積層化過程
でセラミックグリーンシートを損傷することなくキャリ
アフィルムを効率良く剥離することが困難で、結果とし
て積層セラミック電子部品の特性劣化に結び付き、歩留
りの低下となる要因をもつものとなっていた。
【０００７】本発明は、上記の課題を解決するために成
されたもので、その目的は、セラミックグリーンシート
を積層圧着する際、キャリアフィルムの剥離を容易と
し、セラミックグリンシートの破れ又はずれを防止し、
特性劣化がなく、且つ、歩留りの安定した積層セラミッ
ク電子部品を得るためのセラミックグリーンシートの積
層圧着方法を提供することである。
されたもので、その目的は、セラミックグリーンシート
を積層圧着する際、キャリアフィルムの剥離を容易と
し、セラミックグリンシートの破れ又はずれを防止し、
特性劣化がなく、且つ、歩留りの安定した積層セラミッ
ク電子部品を得るためのセラミックグリーンシートの積
層圧着方法を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明になるセラミック
グリーンシートの積層圧着方法は、キャリアフィルムに
て保持し所定厚に形成したセラミックグリーンシート、
及びキャリアフィルムにて保持し表面に内部電極を形成
したセラミックグリーンシート所定枚数をプレス金型に
て加熱−加圧し積層圧着するセラミックグリーンシート
の積層圧着方法において、前記キャリアフィルムと接す
る前記プレス金型表面にメッシュを取付けて行うことを
特徴とするものである。
グリーンシートの積層圧着方法は、キャリアフィルムに
て保持し所定厚に形成したセラミックグリーンシート、
及びキャリアフィルムにて保持し表面に内部電極を形成
したセラミックグリーンシート所定枚数をプレス金型に
て加熱−加圧し積層圧着するセラミックグリーンシート
の積層圧着方法において、前記キャリアフィルムと接す
る前記プレス金型表面にメッシュを取付けて行うことを
特徴とするものである。
【０００９】
【作用】以上のような構成によれば、セラミックグリー
ンシートの積層圧着時、セラミックグリーンシートを保
持するキャリアフィルムと接触する上金型表面に取付け
たメッシュの網目によって、上金型とキャリアフィルム
間に空間を作り、上金型表面とキャリアフィルムを完全
に密着することがないため、加熱、圧着後上金型を元の
位置に上昇する過程で、上金型とキャリアフィルムはス
ムースに剥離され、上金型の上昇に追随しキャリアフィ
ルムをも持ち上げ、それによって、セラミックグリーン
シートを損傷する等の危険性解消に大きく貢献する。
ンシートの積層圧着時、セラミックグリーンシートを保
持するキャリアフィルムと接触する上金型表面に取付け
たメッシュの網目によって、上金型とキャリアフィルム
間に空間を作り、上金型表面とキャリアフィルムを完全
に密着することがないため、加熱、圧着後上金型を元の
位置に上昇する過程で、上金型とキャリアフィルムはス
ムースに剥離され、上金型の上昇に追随しキャリアフィ
ルムをも持ち上げ、それによって、セラミックグリーン
シートを損傷する等の危険性解消に大きく貢献する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例につき図面を参照して
説明する。
説明する。
【００１１】すなわち、図１に示すように、プレス金型
１の下金型２を構成するプレート３上に、例えば図２に
示すようにキャリアフィルム４にて保持された最外装と
なるセラミックグリーンシート５を配置し、プレス金型
１を構成する例えばヒータ６を具備することによって加
熱され表面に金属メッシュ７を取付けた上金型８を下降
してキャリアフィルム４と接触させて押圧し、次に、前
記上金型８を上昇させて前記セラミックグリーンシート
５から前記キャリアフィルム４を剥離する。
１の下金型２を構成するプレート３上に、例えば図２に
示すようにキャリアフィルム４にて保持された最外装と
なるセラミックグリーンシート５を配置し、プレス金型
１を構成する例えばヒータ６を具備することによって加
熱され表面に金属メッシュ７を取付けた上金型８を下降
してキャリアフィルム４と接触させて押圧し、次に、前
記上金型８を上昇させて前記セラミックグリーンシート
５から前記キャリアフィルム４を剥離する。
【００１２】次に、前記セラミックグリーンシート５
に、例えば図３に示すようにキャリアフィルム９にて保
持され内部電極１０を形成したセラミックグリーンシー
ト１１を、このセラミックグリーンシート１１面を接触
させて積み重ね、しかる後、前記と同様に前記キャリア
フィルム９上に前記上金型８を下降して接触させて押圧
し、次に、前記と同様に前記上金型８を所定の位置まで
上昇させて、次に、前記セラミックグリーンシート１１
から前記キャリアフィルム９を剥離する動作をセラミッ
クグリーンシート１１の積層数に応じた回数繰り返し、
最後にキャリアフィルム４にて保持されたセラミックグ
リーンシート５を配置し、前記と同様にして圧着し、結
果として所定の時間加熱及び加圧を行い接触されたセラ
ミックグリーンシート５とセラミックグリーンシート１
１、あるいはセラミックグリーンシート１１同士を密着
させ、セラミック積層体（図示せず）を得るようにして
なるものである。
に、例えば図３に示すようにキャリアフィルム９にて保
持され内部電極１０を形成したセラミックグリーンシー
ト１１を、このセラミックグリーンシート１１面を接触
させて積み重ね、しかる後、前記と同様に前記キャリア
フィルム９上に前記上金型８を下降して接触させて押圧
し、次に、前記と同様に前記上金型８を所定の位置まで
上昇させて、次に、前記セラミックグリーンシート１１
から前記キャリアフィルム９を剥離する動作をセラミッ
クグリーンシート１１の積層数に応じた回数繰り返し、
最後にキャリアフィルム４にて保持されたセラミックグ
リーンシート５を配置し、前記と同様にして圧着し、結
果として所定の時間加熱及び加圧を行い接触されたセラ
ミックグリーンシート５とセラミックグリーンシート１
１、あるいはセラミックグリーンシート１１同士を密着
させ、セラミック積層体（図示せず）を得るようにして
なるものである。
【００１３】以上のように構成してなるセラミックグリ
ーンシートの積層圧着方法によれば、セラミックグリー
ンシート５を保持するキャリアフィルム４、又はセラミ
ックグリーンシート１１を保持するキャリアフィルム９
と接触する上金型８表面に金属メッシュ７が取り付けら
れているため、キャリアフィルム４上に前記メッシュ７
部が接触した状態でキャリアフィルム４表面が網目状と
なり、上金型８とキャリアフィルム４、又はキャリアフ
ィルム９の間に複数の微細空間を作り、キャリアフィル
ム４、又は９と上金型８の密着性を防止することがで
き、上金型８の上昇時、上金型８とキャリアフィルム４
又は９はスムースに剥離され、上金型８の上昇に追随し
キャリアフィルム４、又は９の持ち上げはなく、セラミ
ックグリーンシート５やセラミックグリーンシート１１
の破れや積層ずれの危険性は解消され、所望の積層体形
成が可能となり、積層セラミック電子部品の特性劣化や
歩留り低下の解消に大きく貢献できる優れた効果を得る
ことができる。
ーンシートの積層圧着方法によれば、セラミックグリー
ンシート５を保持するキャリアフィルム４、又はセラミ
ックグリーンシート１１を保持するキャリアフィルム９
と接触する上金型８表面に金属メッシュ７が取り付けら
れているため、キャリアフィルム４上に前記メッシュ７
部が接触した状態でキャリアフィルム４表面が網目状と
なり、上金型８とキャリアフィルム４、又はキャリアフ
ィルム９の間に複数の微細空間を作り、キャリアフィル
ム４、又は９と上金型８の密着性を防止することがで
き、上金型８の上昇時、上金型８とキャリアフィルム４
又は９はスムースに剥離され、上金型８の上昇に追随し
キャリアフィルム４、又は９の持ち上げはなく、セラミ
ックグリーンシート５やセラミックグリーンシート１１
の破れや積層ずれの危険性は解消され、所望の積層体形
成が可能となり、積層セラミック電子部品の特性劣化や
歩留り低下の解消に大きく貢献できる優れた効果を得る
ことができる。
【００１４】なお、上記実施例ではメッシュとして金属
メッシュを用いたものを例示したが、これに限定される
ことなく、その他の材質、例えば樹脂又はセラミックか
らなるものであっても同様の効果を得ることができる。
メッシュを用いたものを例示したが、これに限定される
ことなく、その他の材質、例えば樹脂又はセラミックか
らなるものであっても同様の効果を得ることができる。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、セラミックグリーンシ
ートの積層圧着の際、セラミックグリーンシートの破れ
や積層ずれのない積層圧着が可能となり、積層セラミッ
ク電子部品における特性劣化のない歩留りの良好な実用
的価値の高いセラミックグリーンシートの積層圧着方法
を得ることができる。
ートの積層圧着の際、セラミックグリーンシートの破れ
や積層ずれのない積層圧着が可能となり、積層セラミッ
ク電子部品における特性劣化のない歩留りの良好な実用
的価値の高いセラミックグリーンシートの積層圧着方法
を得ることができる。
【図１】本発明の一実施例に係るセラミックグリーンシ
ートの積層圧着方法の説明図。
ートの積層圧着方法の説明図。
【図２】本発明の一実施例に係るセラミックグリーンシ
ートを示す斜視図。
ートを示す斜視図。
【図３】本発明の一実施例に係る図２と異なった構成か
らなるセラミックグリーンシートを示す斜視図。
らなるセラミックグリーンシートを示す斜視図。
１ プレス金型 ２ 下金型 ３ プレート ４ キャリアフィルム ５ セラミックグリーンシート ６ ヒータ ７ 金属メッシュ ８ 上金型 ９ キャリアフィルム １０ 内部電極 １１ セラミックグリーンシート
Claims (1)
- 【請求項１】 キャリアフィルムにて保持し所定厚に形
成したセラミックグリーンシート、及びキャリアフィル
ムにて保持し表面に内部電極を形成したセラミックグリ
ーンシート所定枚数をプレス金型にて加熱−加圧し積層
圧着するセラミックグリーンシートの積層圧着方法にお
いて、前記キャリアフィルムと接する前記プレス金型表
面にメッシュを取付けて行うことを特徴とするセラミッ
クグリーンシートの積層圧着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6257993A JPH06246719A (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | セラミックグリーンシートの積層圧着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6257993A JPH06246719A (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | セラミックグリーンシートの積層圧着方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06246719A true JPH06246719A (ja) | 1994-09-06 |
Family
ID=13204372
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6257993A Pending JPH06246719A (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | セラミックグリーンシートの積層圧着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06246719A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100862342B1 (ko) * | 2007-01-04 | 2008-10-13 | 삼성전기주식회사 | 세라믹 시트의 적층 유니트 |
| CN106239701A (zh) * | 2016-07-26 | 2016-12-21 | 江苏省陶瓷研究所有限公司 | 一种热敏陶瓷基片成型方法 |
-
1993
- 1993-02-25 JP JP6257993A patent/JPH06246719A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100862342B1 (ko) * | 2007-01-04 | 2008-10-13 | 삼성전기주식회사 | 세라믹 시트의 적층 유니트 |
| US7861759B2 (en) | 2007-01-04 | 2011-01-04 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Lamination unit of ceramic green sheets |
| CN106239701A (zh) * | 2016-07-26 | 2016-12-21 | 江苏省陶瓷研究所有限公司 | 一种热敏陶瓷基片成型方法 |
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