JPH11354380A - 積層体の製造方法及び積層体の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 デラミネーションや接着不良などがなく、信
頼性の高い積層体を効率よく製造することが可能な積層
体の製造方法及び積層体の製造装置を提供する。 【解決手段】 押し付け開始時には押圧面４ａが凸面と
なるように湾曲した、弾性材料からなる押圧部材４を用
い、該押圧部材４の押圧面４ａが平坦になるまで、キャ
リアフィルム３を介して被積層シート１２ａをグリーン
シート１２ｂに押し付け、プレス機構Ａにより、押圧面
４ａが平坦になった状態の押圧部材４を介して、被積層
シート１２ａとグリーンシート１２ｂの積重ね体２３を
プレスすることにより、被積層シート１２ａをグリーン
シート１２ｂに圧着させる。また、圧着工程で被積層シ
ート１２ａをグリーンシート１２ｂに圧着させた後、押
圧部材４にかかる押圧力を徐々に低下させ、押圧部材４
を湾曲した形状に復帰させることにより、キャリアフィ
ルム３を被積層シート１２ａの両端側から徐々に引き剥
がす。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願発明は、積層体の製造方
法及び製造装置に関し、詳しくは、キャリアフィルムに
支持されたグリーンシートを積み重ねることにより製造
される積層体の製造方法及びそれに用いられる製造装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】代表的
な積層電子部品の一つである積層セラミックコンデンサ
は、通常、グリーンシート（セラミックグリーンシー
ト）に、内部電極となる導電ペーストを所定のパターン
で印刷した電極印刷シートと、導電ペーストの印刷され
ていないグリーンシート（カバーシート）を所定枚数積
層し、圧着することにより、積層圧着体を形成し、この
積層圧着体を所定の位置でカットし、個々のセラミック
素子を切り出し、これを焼成した後、セラミック素子の
端面を含む両端部に導電ペーストを塗布、焼き付けし
て、内部電極と導通する外部電極を形成することにより
製造されている。

【０００３】ところで、このような積層電子部品の製造
に用いられるグリーンシートは、機械的強度が小さく、
慎重な取扱が必要であるが、近年、電子部品の小型化へ
の要求が大きくなるにつれて、極めて薄く、機械的な強
度がさらに小さいグリーンシートが用いられるようにな
っている。そのため、取扱中にグリーンシートが損傷し
ないように、グリーンシートをキャリアフィルムに保持
させた状態で取り扱う種々の方法が提案、実施されるに
至っている。

【０００４】そして、キャリアフィルムに保持させたグ
リーンシートを積層、圧着して積層体を製造するにあた
っては、例えば、図７に示すように、キャリアフィルム
５１の一方の面（図７では下面）に保持されたグリーン
シート（被積層シート）５２ａをテーブル５３の上方に
位置させた後、図８に示すように、プレスヘッド５４を
下降させることにより、キャリアフィルム５１を介して
被積層シート５２ａをテーブル５３あるいはテーブル５
３上のグリーンシート５２ｂに向かってプレスし、被積
層シート５２ａをグリーンシート５２ｂに圧着させた
後、図９に示すように、キャリアフィルム５１を上方に
持ち上げて被積層シート５２ａから引き剥がし、再び、
次の被積層シートを積層、圧着することにより積層体を
製造している。

【０００５】しかし、上記従来の方法では、被積層シー
ト５２ａを、下面が平坦なプレスヘッド５４により、キ
ャリアフィルム５１を介してグリーンシート５２ｂに圧
着するようにしているため、ときとして被積層シート５
２ａとグリーンシート５２ｂの間に空気が入り込んで、
被積層シート５２ａとグリーンシート５２ｂを圧着した
後にも層間に残留し、デラミネーションや接着不良の原
因になるという問題点がある。

【０００６】また、上記従来の方法では、被積層シート
５２ａをグリーンシート５２ｂに圧着した後に、キャリ
アフィルム５１を上方に持ち上げることにより被積層シ
ート５２ａからキャリアフィルム５１を引き剥がすよう
にしているが、キャリアフィルム５１を上方に持ち上げ
るだけでは、全面が被積層シート５２ａに密着したキャ
リアフィルム５１を被積層シート５２ａの上面から引き
剥がすことは容易ではなく、積層体の損傷や剥離を招く
おそれがあるため、信頼性が低いばかりでなく、キャリ
アフィルム５１の剥離に時間がかかり、生産性が低いと
いう問題点がある。

【０００７】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、積層工程で積層体を構成する各シート間に空気が
入り込んで、積層体中に残留することを防止し、デラミ
ネーションや接着不良などがなく、信頼性の高い積層体
を効率よく製造することが可能な積層体の製造方法及び
積層体の製造装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明（請求項１）の積層体の製造方法は、キャ
リアフィルムに支持されたグリーンシートを積み重ねて
積層体を製造する方法において、キャリアフィルムの一
方の面に支持されたグリーンシート（被積層シート）
を、該被積層シートが積層、圧着されるべきグリーンシ
ートと対向するように位置させる工程と、押し付け開始
時には、押圧面が凸面となるように湾曲した、弾性材料
からなる押圧部材を用い、該押圧部材の押圧面が平坦に
なるまで、キャリアフィルムを介して被積層シートをグ
リーンシートに押し付ける工程と、プレス機構により、
押圧面が平坦になった状態の押圧部材を介して、被積層
シートとグリーンシートの積重ね体をプレスすることに
より、被積層シートをグリーンシートに圧着させる圧着
工程とを具備することを特徴としている。

【０００９】押し付け開始時には、押圧面が凸面となる
ように湾曲した、弾性材料からなる押圧部材を用いて、
該押圧部材の押圧面が平坦になるまで、キャリアフィル
ムを介して被積層シートをグリーンシートに押し付ける
ことにより、被積層シートの一部、すなわち、押圧部材
の凸面の頂上部に対応する部分がまずグリーンシートに
当接し、その後、押圧部材の押圧面が平坦になるまで押
し付けることにより、被積層シートの他の部分、すなわ
ち、押圧部材の凸面の裾野部分に対応する部分が、順
次、グリーンシートに当接することになるため、被積層
シートとグリーンシートの間に存在する空気が確実に押
し出されながら、被積層シートがセラミックグリーンシ
ートに確実に積み重ねられる。そして、押圧面が平坦に
なった状態の押圧部材を介して、プレス機構により、被
積層シートとグリーンシートの積重ね体をプレスするこ
とにより、被積層シートの全面を確実にグリーンシート
に圧着させることが可能になる。

【００１０】また、請求項２の積層体の製造方法は、前
記圧着工程で被積層シートをグリーンシートに圧着させ
た後、前記押圧部材にかかる押圧力を徐々に低下させ、
押圧部材を湾曲した形状に復帰させることにより、キャ
リアフィルムを被積層シートの両端側から徐々に引き剥
がす剥離工程を備えていることを特徴としている。

【００１１】圧着工程で被積層シートをグリーンシート
に圧着させた後、押圧部材にかかる押圧力を徐々に低下
させ、押圧部材を湾曲した形状に復帰させるようにした
場合、キャリアフィルムを、被積層シートとキャリアフ
ィルムの接着部分の両端側から徐々に、確実に引き剥が
すことが可能になり、製造工程（剥離工程）を効率化し
て、生産性を向上させることが可能になる。

【００１２】また、本願発明（請求項３）の積層体の製
造装置は、請求項１又は２記載の積層体の製造方法を実
施するために用いられる積層体の製造装置であって、
(ａ)プレスヘッドと、プレスヘッドと対向するように配
設され、プレスヘッドから加えられる押圧力を受ける受
圧板とを備えたプレス機構と、(ｂ)プレスヘッドと受圧
板の間に配設され、キャリアフィルムと接触する押圧面
が凸面となるように湾曲しており、所定の押圧力で、キ
ャリアフィルムを介して被積層シートをグリーンシート
に押し付けた場合に、弾性変形して押圧面が平坦になる
ように構成された弾性材料からなる押圧部材と、押圧部
材を受圧板に向かって押圧する方向に、あるいはその逆
側に動作させる押圧部材駆動手段とを備えたシート押圧
機構と、を具備し、前記シート押圧機構の押圧部材によ
り、キャリアフィルムを介して、キャリアフィルムの一
方の面に支持されたグリーンシート（被積層シート）
を、受圧板上のグリーンシートに押し付け、押圧部材の
押圧面が平坦になった状態で、前記プレス機構のプレス
ヘッドにより、押圧面が平坦になった状態の押圧部材を
介して、被積層シートとグリーンシートの積重ね体をプ
レスすることにより、被積層シートをグリーンシートに
圧着させるように構成されていることを特徴としてい
る。

【００１３】本願発明（請求項３）の積層体の製造装置
は、上述のように、プレスヘッドと受圧板を備えたプレ
ス機構と、プレスヘッドと受圧板の間に配設された押圧
部材と、押圧部材を受圧板に向かって押し付けたり引き
離したりする押圧部材駆動手段とを備えており、上記本
願発明の積層体の製造方法を効率よく実施して、デラミ
ネーションや接着不良などがなく、信頼性の高い積層体
を効率よく製造することが可能になる。

【００１４】また、本願発明（請求項４）の積層体の製
造装置は、前記押圧部材が、板ばねであることを特徴と
している。

【００１５】押圧部材として、板ばねを用いることによ
り、押し付け開始時には、押圧面が凸面となるように湾
曲しており、押圧力を上昇させることにより押圧面が平
坦になるような押圧部材を、容易かつ確実に構成するこ
とが可能になるとともに、圧着工程で被積層シートをグ
リーンシートに圧着させた後に、押圧部材にかかる押圧
力を徐々に低下させて、その形状を凸状に湾曲した形状
に復帰させ、キャリアフィルムを、被積層シートとキャ
リアフィルムの接着部分の端部側から徐々に、確実に引
き剥がすことが可能になり、本願発明をより実効あらし
めることができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。
なお、図１は、この実施形態で用いた積層体の製造装置
の概略構成を示す図である。

【００１７】この実施形態の積層体の製造装置は、図１
に示すように、プレスヘッド１と、プレスヘッド１と対
向するように配設され、プレスヘッド１から加えられる
押圧力を受ける受圧板２とを備えたプレス機構Ａと、プ
レスヘッド１と受圧板２の間に配設され、キャリアフィ
ルム３と接触する押圧面４ａが凸面となるように湾曲し
た板ばねからなる押圧部材４と、押圧部材４を受圧板２
上のグリーンシート１２ｂに向かって（すなわち下方
に）押し付けたり、逆側に移動させたりするための押圧
部材駆動手段（昇降手段）５とを備えたシート押圧機構
Ｂを具備している。

【００１８】なお、押圧部材（板ばね）４は、キャリア
フィルム３の上面側から、キャリアフィルム３の下面側
に支持されたグリーンシート（被積層シート）１２ａ
を、受圧板２上のグリーンシート１２ｂに押し付けた場
合に、弾性変形して押圧面４ａが平坦になるように構成
されている。

【００１９】また、押圧部材４の両端部は、押圧部材駆
動手段５に、弾性変形を妨げないような態様で取り付け
られている。

【００２０】また、押圧部材４を昇降させる押圧部材駆
動手段５としては、油圧シリンダを用いている。

【００２１】次に、上記積層体の製造装置を用いて、積
層体を製造する方法について説明する。図２〜図６は、
この実施形態の積層体の製造方法の各工程を模式的に示
す図である。なお、この実施形態では、図２〜６に示す
ように、キャリアフィルム３の一方の面（この実施形態
では下面）側に支持されたグリーンシート（被積層シー
ト）１２ａを、受圧板２上のグリーンシート１２ｂに積
層、圧着する場合を例にとって説明する。

【００２２】まず、図２に示すように、キャリアフィ
ルム３の下面に保持されたグリーンシート（被積層シー
ト）１２ａを、受圧板２上のグリーンシート１２ｂの上
に位置させた状態で、押圧部材（板ばね）４の押圧面４
ａである下面側の凸面を、キャリアフィルム３の上面に
当接させる。

【００２３】それから、図３に示すように、押圧部材
駆動手段５(図１)により、押圧部材４を下降させて、キ
ャリアフィルム３の下面に保持されたグリーンシート
（被積層シート）１２ａを、受圧板２上のグリーンシー
ト１２ｂに押し付け、さらに、押圧部材４を下降させ
て、押圧部材４の押圧面４ａの、キャリアフィルム３の
下面側の被積層シート１２ａの上面に対応する部分が平
坦になるまで、徐々に弾性変形させる。

【００２４】その後、図４に示すように、プレスヘッ
ド１を下降させ、押圧部材４の平坦になった部分をプレ
スすることにより、キャリアフィルム３の下面に保持さ
れた被積層シート１２ａと受圧板２上の積重ね体２３を
プレスし、被積層シート１２ａの全面を、グリーンシー
ト１２ｂに圧着する。

【００２５】それから、図５に示すように、プレスヘ
ッド１を上昇させる。このとき押圧部材４の押圧面４ａ
は、まだ平坦な状態にある。

【００２６】そして、図６に示すように、押圧部材駆
動手段５（図１）により、押圧部材４の両端側を徐々に
上昇させることにより、押圧部材４が徐々に、元の湾曲
した形状に復帰する。このとき、キャリアフィルム３
が、被積層シート１２ａの両端側から徐々に持ち上げら
れることになり、被積層シート１２ａとキャリアフィル
ム３の下面の隙間に空気が入り込み、キャリアフィルム
３が被積層シート１２ａから、確実に剥離される。

【００２７】その後、キャリアフィルム３を移動させ、
上記〜の操作を繰り返すことにより、所定枚数のグ
リーンシートを積層し、必要により、全体を最終的にプ
レスすることにより、各グリーンシートが確実に密着し
た積層体を得ることができる。

【００２８】上記の製造方法によれば、押し付け開始時
には、押圧面４ａが凸面となるように湾曲している押圧
部材４を用いて、キャリアフィルム３の他方の面側から
被積層シート１２ａをグリーンシート１２ｂに押し付け
るようにしているので、空気を抱き込むことなく、被積
層シート１２ａをグリーンシート１２ｂに積み重ねるこ
とが可能になる。また、押圧部材４が弾性変形し、押圧
面４ａが平坦になった状態で、押圧部材４を介して、被
積層シート１２ａとグリーンシート１２ｂの積重ね体２
３をプレスすることにより、被積層シート１２ａの全面
をグリーンシート１２ｂに押圧して、両者を確実に圧着
させることが可能になる。

【００２９】また、圧着工程で被積層シート１２ａをグ
リーンシート１２ｂに圧着させた後、押圧部材４にかか
る押圧力を徐々に低下させ、押圧部材４を元の湾曲した
形状に復帰させることにより、キャリアフィルム３を、
被積層シート１２ａとキャリアフィルム３の接着部分の
両端側から徐々に、確実に引き剥がすことが可能にな
り、製造工程（剥離工程）を効率化して、生産性を向上
させることが可能になる。

【００３０】なお、上記実施形態では、押圧部材として
板ばねを用いた場合について説明したが、下面が湾曲面
となっているタンポ状の部材や、中空ゴム部材などを押
圧部材として用いることも可能である。

【００３１】また、上記実施形態では、押圧部材駆動手
段として、油圧シリンダを用いた場合について説明した
が、エアシリンダを用いることも可能であり、さらにそ
の他の駆動手段を用いることも可能である。さらに、上
記実施形態では、キャリアフィルム３に支持された被積
層シート１２ａを、グリーンシート１２ｂに積み重ねる
場合について説明したが、受圧板２上に直接被積層シー
ト１２ａを圧着させてももちろんよい。つまり、積層体
を構成する全ての被積層シートを同様に積み重ねてもよ
い。

【００３２】また、本願発明においては、積層すべきグ
リーンシートの種類に特別の制約はなく、誘電体セラミ
ック、磁性体セラミック、半導体セラミックなどの種々
のセラミックグリーンシートや、セラミック以外の材料
からなるグリーンシートなど、種々のグリーンシートを
積層して積層体を製造する場合に広く適用することが可
能である。

【００３３】本願発明は、さらにその他の点においても
上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨の
範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能
である。

【００３４】

【発明の効果】上述のように、本願発明（請求項１）の
積層体の製造方法は、押し付け開始時には、押圧面が凸
面となるように湾曲している押圧部材を用いて、キャリ
アフィルムの他方の面側から被積層シートをグリーンシ
ートに押し付けるようにしているので、空気を抱き込む
ことなく、被積層シートをグリーンシートに積み重ねる
ことができる。また、押圧部材が弾性変形し、押圧面が
平坦になった状態で、押圧部材を介して、被積層シート
とグリーンシートの積重ね体をプレスするようにしてい
るので、被積層シートの全面をグリーンシートに押圧し
て、両者を確実に圧着させることができる。したがっ
て、デラミネーションや接着不良などがなく、信頼性の
高い積層体を効率よく製造することが可能になる。

【００３５】また、請求項２の積層体の製造方法のよう
に、圧着工程で被積層シートをグリーンシートに圧着さ
せた後、押圧部材にかかる押圧力を徐々に低下させ、押
圧部材を湾曲した形状に復帰させるようにした場合、キ
ャリアフィルムを、被積層シートとキャリアフィルムの
接着部分の両端側から徐々に、確実に引き剥がすことが
可能になり、製造工程（剥離工程）を効率化して、生産
性を向上させることが可能になる。

【００３６】また、本願発明（請求項３）の積層体の製
造装置は、上述のように、プレスヘッドと受圧板を備え
たプレス機構と、プレスヘッドと受圧板の間に配設され
た押圧部材と、押圧部材を受圧板に向かって押し付けた
り引き離したりする押圧部材駆動手段とを備えており、
上記本願発明の積層体の製造方法を効率よく実施して、
デラミネーションや接着不良などがなく、信頼性の高い
積層体を効率よく製造することができる。

【００３７】また、本願発明（請求項４）の積層体の製
造装置のように、押圧部材として、板ばねを用いた場
合、押し付け開始時には、押圧面が凸面となるように湾
曲しており、押圧力を上昇させることにより押圧面が平
坦になるような押圧部材を、容易かつ確実に構成するこ
とが可能になるとともに、圧着工程で被積層シートをグ
リーンシートに圧着させた後に、押圧部材にかかる押圧
力を徐々に低下させて、その形状を凸状に湾曲した形状
に復帰させ、キャリアフィルムを、被積層シートとキャ
リアフィルムの接着部分の端部側から徐々に、確実に引
き剥がすことが可能になり、本願発明をより実効あらし
めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明の一実施形態にかかる積層体の製造装
置の概略構成を示す図である。

【図２】本願発明の一実施形態にかかる積層体の製造方
法の一工程において、キャリアフィルムに支持されたグ
リーンシート（被積層シート）を、受圧板上のグリーン
シートの上方に位置させた状態を示す図である。

【図３】本願発明の一実施形態にかかる積層体の製造方
法の一工程において、押圧部材をキャリアフィルムに押
し付けている状態を示す図である。

【図４】本願発明の一実施形態にかかる積層体の製造方
法の一工程において、プレスヘッドを下降させて被積層
シートをグリーンシートに圧着している状態を示す図で
ある。

【図５】本願発明の一実施形態にかかる積層体の製造方
法の一工程において、プレス工程の終了後にプレスヘッ
ドを上昇させた状態を示す図である。

【図６】本願発明の一実施形態にかかる積層体の製造方
法の一工程において、押圧部材を徐々に湾曲した形状に
復帰させながらキャリアフィルムを被積層シート上から
剥離させている状態を示す図である。

【図７】従来の積層体の製造方法の一工程を示す図であ
る。

【図８】従来の積層体の製造方法の他の工程を示す図で
ある。

【図９】従来の積層体の製造方法のさらに他の工程を示
す図である。

【符号の説明】

１ プレスヘッド ２ 受圧板 ３ キャリアフィルム ４ 押圧部材（板ばね） ４ａ 押圧部材の下面 ５ 押圧部材駆動手段（昇降手段） １２ａ グリーンシート（被積層シート） １２ｂ グリーンシート（積層圧着体の最上
層） ２３ 被積層シートと積層圧着体の積重ね体 Ａ プレス機構 Ｂ シート押圧機構

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】キャリアフィルムに支持されたグリーンシ
   ートを積み重ねて積層体を製造する方法において、 キャリアフィルムの一方の面に支持されたグリーンシー
   ト（被積層シート）を、該被積層シートが積層、圧着さ
   れるべきグリーンシートと対向するように位置させる工
   程と、 押し付け開始時には、押圧面が凸面となるように湾曲し
   た、弾性材料からなる押圧部材を用い、該押圧部材の押
   圧面が平坦になるまで、キャリアフィルムを介して被積
   層シートをグリーンシートに押し付ける工程と、 プレス機構により、押圧面が平坦になった状態の押圧部
   材を介して、被積層シートとグリーンシートの積重ね体
   をプレスすることにより、被積層シートをグリーンシー
   トに圧着させる圧着工程とを具備することを特徴とする
   積層体の製造方法。
2. 【請求項２】前記圧着工程で被積層シートをグリーンシ
   ートに圧着させた後、前記押圧部材にかかる押圧力を徐
   々に低下させ、押圧部材を湾曲した形状に復帰させるこ
   とにより、キャリアフィルムを被積層シートの両端側か
   ら徐々に引き剥がす剥離工程を備えていることを特徴と
   する請求項１記載の積層体の製造方法。
3. 【請求項３】請求項１又は２記載の積層体の製造方法を
   実施するために用いられる積層体の製造装置であって、 (ａ)プレスヘッドと、プレスヘッドと対向するように配
   設され、プレスヘッドから加えられる押圧力を受ける受
   圧板とを備えたプレス機構と、 (ｂ)プレスヘッドと受圧板の間に配設され、キャリアフ
   ィルムと接触する押圧面が凸面となるように湾曲してお
   り、所定の押圧力で、キャリアフィルムを介して被積層
   シートをグリーンシートに押し付けた場合に、弾性変形
   して押圧面が平坦になるように構成された弾性材料から
   なる押圧部材と、押圧部材を受圧板に向かって押圧する
   方向に、あるいはその逆側に動作させる押圧部材駆動手
   段とを備えたシート押圧機構と、 を具備し、 前記シート押圧機構の押圧部材により、キャリアフィル
   ムを介して、キャリアフィルムの一方の面に支持された
   グリーンシート（被積層シート）を、受圧板上のグリー
   ンシートに押し付け、押圧部材の押圧面が平坦になった
   状態で、前記プレス機構のプレスヘッドにより、押圧面
   が平坦になった状態の押圧部材を介して、被積層シート
   とグリーンシートの積重ね体をプレスすることにより、
   被積層シートをグリーンシートに圧着させるように構成
   されていることを特徴とする積層体の製造装置。
4. 【請求項４】前記押圧部材が、板ばねであることを特徴
   とする請求項３記載の積層体の製造装置。