JPH06255710A - クリーン装置付き収納設備 - Google Patents
クリーン装置付き収納設備Info
- Publication number
- JPH06255710A JPH06255710A JP7294193A JP7294193A JPH06255710A JP H06255710 A JPH06255710 A JP H06255710A JP 7294193 A JP7294193 A JP 7294193A JP 7294193 A JP7294193 A JP 7294193A JP H06255710 A JPH06255710 A JP H06255710A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fan
- chamber
- fan filter
- filter unit
- storage equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 9
- 238000005192 partition Methods 0.000 abstract description 4
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 abstract description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【構成】 前面と後面を開放した収納部の後面側に側面
チャンバー６を配置し、該側面チャンバー６にフィルタ
５ｂと複数個のファン５ａからなるファンフィルタユニ
ット８を配設してなるクリーン装置付き収納設備におい
て、天井側に前記側面チャンバー６に連通される上面チ
ャンバー７を設け、該上面チャンバー７に前記ファン５
ａよりも高いエア圧力を形成可能なファンを備えたファ
ンフィルタユニット８を配設したことを特徴とする。 【効果】 本発明のクリーン装置付き収納設備によれ
ば、側面チャンバーのファン同士の緩衝を防止でき、そ
の結果、収納設備の上下全域に亘って必要な風速を得る
ことができる。
チャンバー６を配置し、該側面チャンバー６にフィルタ
５ｂと複数個のファン５ａからなるファンフィルタユニ
ット８を配設してなるクリーン装置付き収納設備におい
て、天井側に前記側面チャンバー６に連通される上面チ
ャンバー７を設け、該上面チャンバー７に前記ファン５
ａよりも高いエア圧力を形成可能なファンを備えたファ
ンフィルタユニット８を配設したことを特徴とする。 【効果】 本発明のクリーン装置付き収納設備によれ
ば、側面チャンバーのファン同士の緩衝を防止でき、そ
の結果、収納設備の上下全域に亘って必要な風速を得る
ことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体のような
塵埃を極端に嫌う製品等の保管に採用されるクリーン装
置付き収納設備に関するものである。
塵埃を極端に嫌う製品等の保管に採用されるクリーン装
置付き収納設備に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来この種のクリーン装置付き収納設備
としては、例えば前面と後面を開放した収納部の後面側
に側面チャンバーを配置し、該側面チャンバーにフィル
タと複数個のファンからなるファンフィルタユニットを
配設してなるクリーン装置付き収納設備が知られてい
る。そして、このようなクリーン装置付き収納設備では
通常は側面チャンバーの下部にエア吸込口を連通させ、
そこからエアを側面チャンバー内に導入するようにして
いる。
としては、例えば前面と後面を開放した収納部の後面側
に側面チャンバーを配置し、該側面チャンバーにフィル
タと複数個のファンからなるファンフィルタユニットを
配設してなるクリーン装置付き収納設備が知られてい
る。そして、このようなクリーン装置付き収納設備では
通常は側面チャンバーの下部にエア吸込口を連通させ、
そこからエアを側面チャンバー内に導入するようにして
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来のようなクリ
ーン装置付き収納設備では、前記のとおり側面チャンバ
ーの下部に連通されたエア吸込口から側面チャンバー内
に吸引されたエアをファンフィルタユニットを介して収
納部の前面の作業空間に吹き出すようにするものである
が、ファンフィルタユニットのファン同士が近接してい
るために互いに緩衝し合い、その結果上段へ行くほどフ
ァンの数による抵抗が増大するとともに側面チャンバー
の距離による抵抗が増大して必要な吹出速度が得られな
いという不都合を有する。そこで、本発明は前記クリー
ン装置付き収納設備において、収納設備の上下全域に亘
って必要な吹出速度が得られるクリーン装置付き収納設
備を提供することを目的とする。
ーン装置付き収納設備では、前記のとおり側面チャンバ
ーの下部に連通されたエア吸込口から側面チャンバー内
に吸引されたエアをファンフィルタユニットを介して収
納部の前面の作業空間に吹き出すようにするものである
が、ファンフィルタユニットのファン同士が近接してい
るために互いに緩衝し合い、その結果上段へ行くほどフ
ァンの数による抵抗が増大するとともに側面チャンバー
の距離による抵抗が増大して必要な吹出速度が得られな
いという不都合を有する。そこで、本発明は前記クリー
ン装置付き収納設備において、収納設備の上下全域に亘
って必要な吹出速度が得られるクリーン装置付き収納設
備を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するべく、前面と後面を開放した収納部の後面側に側面
チャンバーを配置し、該側面チャンバーにフィルタと複
数個のファンからなるファンフィルタユニットを配設し
てなるクリーン装置付き収納設備において、天井側に前
記側面チャンバーに連通される上面チャンバーを設け、
該上面チャンバーに前記ファンよりも高いエア圧力を形
成可能なファンを備えたファンフィルタユニットを配設
したことを特徴とする。また、前記側面チャンバーの各
ファンに風量調節手段を設けることが好ましく、前記風
量調節手段としてはインバータ式制御装置やファンの吸
込口側に設けた抵抗板等が好ましい。さらにまた、前記
各ファンは軸流ファンであることが好ましい。
するべく、前面と後面を開放した収納部の後面側に側面
チャンバーを配置し、該側面チャンバーにフィルタと複
数個のファンからなるファンフィルタユニットを配設し
てなるクリーン装置付き収納設備において、天井側に前
記側面チャンバーに連通される上面チャンバーを設け、
該上面チャンバーに前記ファンよりも高いエア圧力を形
成可能なファンを備えたファンフィルタユニットを配設
したことを特徴とする。また、前記側面チャンバーの各
ファンに風量調節手段を設けることが好ましく、前記風
量調節手段としてはインバータ式制御装置やファンの吸
込口側に設けた抵抗板等が好ましい。さらにまた、前記
各ファンは軸流ファンであることが好ましい。
【０００５】
【作用】天井側に前記側面チャンバーに連通される上面
チャンバーを設け、該上面チャンバーに側面チャンバー
のファンよりも高いエア圧力を形成可能なファンを備え
たファンフィルタユニットを配設したので、側面チャン
バーのファン同士の緩衝が抑えられ、上段のファンと下
段のファンの競合が少なくなり、その結果、従来のよう
に上段に行くほどファンの抵抗が著しく増大して吹出速
度が遅くなるということが無くなる。また、前記上面チ
ャンバーに設けたファンによって、側面チャンバーの上
段側のファンの風量が喰われて風速が若干遅くなること
が予想されるが、前記側面チャンバーの各ファンに風量
調節手段を設けることにより、個々のファンの風量を制
御してより確実に必要な風速を得ることができる。
チャンバーを設け、該上面チャンバーに側面チャンバー
のファンよりも高いエア圧力を形成可能なファンを備え
たファンフィルタユニットを配設したので、側面チャン
バーのファン同士の緩衝が抑えられ、上段のファンと下
段のファンの競合が少なくなり、その結果、従来のよう
に上段に行くほどファンの抵抗が著しく増大して吹出速
度が遅くなるということが無くなる。また、前記上面チ
ャンバーに設けたファンによって、側面チャンバーの上
段側のファンの風量が喰われて風速が若干遅くなること
が予想されるが、前記側面チャンバーの各ファンに風量
調節手段を設けることにより、個々のファンの風量を制
御してより確実に必要な風速を得ることができる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明のクリーン装置付き収納設備の
一実施例を図面に基づき説明する。図示のクリーン装置
付き収納設備はクリーンルーム内で使用される密閉式の
荷保管装置として構成されたものであり、箱状の本体１
内には、上下方向に複数の収納空間２を区画形成した収
納部３がその前面の作業空間４を介して左右一対に対向
配置させて設けられている。前記収納部３は前面３ａと
後面３ｂとが開放され、後面３ｂ側全体に亘り複数個の
ファンフィルタユニット５を配設するとともにこれらフ
ァンフィルタユニット５の後方に側面チャンバー６を形
成し、該各側面チャンバー６の上方に上面チャンバー７
を連通させてある。
一実施例を図面に基づき説明する。図示のクリーン装置
付き収納設備はクリーンルーム内で使用される密閉式の
荷保管装置として構成されたものであり、箱状の本体１
内には、上下方向に複数の収納空間２を区画形成した収
納部３がその前面の作業空間４を介して左右一対に対向
配置させて設けられている。前記収納部３は前面３ａと
後面３ｂとが開放され、後面３ｂ側全体に亘り複数個の
ファンフィルタユニット５を配設するとともにこれらフ
ァンフィルタユニット５の後方に側面チャンバー６を形
成し、該各側面チャンバー６の上方に上面チャンバー７
を連通させてある。
【０００７】前記側面チャンバー６の各ファンフィルタ
ユニット５は、４個の軸流ファン５ａと１つのフィルタ
５ｂによって構成され、フィルタ５ｂは６１０ｍｍ×６
１０ｍｍ×６５ｍｍの大きさであり、これにφ１７２ｍ
ｍ、幅１５０ｍｍ、厚み５１ｍｍの軸流ファン４個を取
り付けたものである。図示のものでは、各側面チャンバ
ー６に前記ファンフィルタユニット５を４段重ねに設け
た構成とした。
ユニット５は、４個の軸流ファン５ａと１つのフィルタ
５ｂによって構成され、フィルタ５ｂは６１０ｍｍ×６
１０ｍｍ×６５ｍｍの大きさであり、これにφ１７２ｍ
ｍ、幅１５０ｍｍ、厚み５１ｍｍの軸流ファン４個を取
り付けたものである。図示のものでは、各側面チャンバ
ー６に前記ファンフィルタユニット５を４段重ねに設け
た構成とした。
【０００８】尚、前記各側面チャンバー６は６９０ｍ
ｍ、幅１１２ｍｍ、長さ２９５０ｍｍに構成されてお
り、両側面チャンバー６，６は上端において天井に設け
た上面チャンバー７に連通されており、該上面チャンバ
ー７には前記側面チャンバ６，６に設けられたファンフ
ィルタユニット５と同様の構成で、ただし前記ファンフ
ィルタユニット５よりも大きなエア圧を形成できるよう
に調整したファンフィルタユニット８を中央部に１個配
設してある。
ｍ、幅１１２ｍｍ、長さ２９５０ｍｍに構成されてお
り、両側面チャンバー６，６は上端において天井に設け
た上面チャンバー７に連通されており、該上面チャンバ
ー７には前記側面チャンバ６，６に設けられたファンフ
ィルタユニット５と同様の構成で、ただし前記ファンフ
ィルタユニット５よりも大きなエア圧を形成できるよう
に調整したファンフィルタユニット８を中央部に１個配
設してある。
【０００９】尚、前記各側面チャンバー６の下端には区
画室９が連通され、該区画室９の作業空間４側とクリー
ンルーム２０側には吸込口１０を設けるとともに各吸込
口１０にはプレフィルタ１１が設けてある。この区画室
９は作業空間４内に作業高さを設け、さらには側面チャ
ンバー６に層流を形成させるのに好適なものであるが、
本発明のクリーン装置付き収納設備にとってかならずし
も必須な構成ではない。尚、前記実施例では、軸流ファ
ンで構成されたファンフィルタユニットで説明したが、
本発明におけるファンフィルタユニットは軸流ファンに
かぎられるものではなく、斜流ファン、シロッコファン
で構成されるファンフィルタユニットであっても構わな
い。また、本発明におけるファンフィルタユニットはケ
ーシングにファンが内蔵されるものであっても、ケーシ
ングの外にファンを取り付けるものであっても構わな
い。
画室９が連通され、該区画室９の作業空間４側とクリー
ンルーム２０側には吸込口１０を設けるとともに各吸込
口１０にはプレフィルタ１１が設けてある。この区画室
９は作業空間４内に作業高さを設け、さらには側面チャ
ンバー６に層流を形成させるのに好適なものであるが、
本発明のクリーン装置付き収納設備にとってかならずし
も必須な構成ではない。尚、前記実施例では、軸流ファ
ンで構成されたファンフィルタユニットで説明したが、
本発明におけるファンフィルタユニットは軸流ファンに
かぎられるものではなく、斜流ファン、シロッコファン
で構成されるファンフィルタユニットであっても構わな
い。また、本発明におけるファンフィルタユニットはケ
ーシングにファンが内蔵されるものであっても、ケーシ
ングの外にファンを取り付けるものであっても構わな
い。
【００１０】次に、前記クリーン装置付き収納設備の作
動について説明する。クリーンルーム２０より吸引口１
０を介して吸い込まれたエアと、作業空間４より吸引口
１０を介して吸い込まれたエアは各プレフィルタ１１，
１１によって大きな塵埃を除去され、さらに各区画室９
内で緩衝され、各側面チャンバー６に供給され、各ファ
ンフィルタユニット５を介して作業空間４側に吹き出さ
れる。また、さらに側面チャンバー６を介して上面チャ
ンバー７に吸い込まれたエアは上面チャンバー７のファ
ンフィルタユニット５から作業空間４側に吹き出され
る。この時、上面チャンバー７のファンフィルタユニッ
ト８が側面チャンバー６のファンフィルタユニット５よ
りも大きなエア圧力を形成できるように構成されている
ので、各側面チャンバー６のファンフィルタユニット５
のファン５ａは相互に緩衝し合わないことになり、この
結果、均一な気流分布を収納部３及び作業空間４に形成
できる。
動について説明する。クリーンルーム２０より吸引口１
０を介して吸い込まれたエアと、作業空間４より吸引口
１０を介して吸い込まれたエアは各プレフィルタ１１，
１１によって大きな塵埃を除去され、さらに各区画室９
内で緩衝され、各側面チャンバー６に供給され、各ファ
ンフィルタユニット５を介して作業空間４側に吹き出さ
れる。また、さらに側面チャンバー６を介して上面チャ
ンバー７に吸い込まれたエアは上面チャンバー７のファ
ンフィルタユニット５から作業空間４側に吹き出され
る。この時、上面チャンバー７のファンフィルタユニッ
ト８が側面チャンバー６のファンフィルタユニット５よ
りも大きなエア圧力を形成できるように構成されている
ので、各側面チャンバー６のファンフィルタユニット５
のファン５ａは相互に緩衝し合わないことになり、この
結果、均一な気流分布を収納部３及び作業空間４に形成
できる。
【００１１】尚、上面チャンバーに側面チャンバーのフ
ァンフィルタユニットよりも大きなエア圧力を形成でき
るように構成したファンフィルタユニットを設けない従
来のクリーン装置付き収納設備では、側面チャンバーの
上方のフィルタの風速と下方のフィルタの風速では１．
５倍以上のバラツキが見られていたが、前記実施例の場
合、平均風速が０．３〜０．４ｍ／ｓとなるようにファ
ンを駆動したところ、上方のフィルタの風速と下方のフ
ィルタの風速のバラツキが１．２倍以下の風速であっ
た。また、前記実施例では側面チャンバーの各ファンに
特に風量調節手段を設けなかったが、各ファンに風量調
節手段を設けた場合、前記風速のバラツキがさらに小さ
くなることは言うまでもない。
ァンフィルタユニットよりも大きなエア圧力を形成でき
るように構成したファンフィルタユニットを設けない従
来のクリーン装置付き収納設備では、側面チャンバーの
上方のフィルタの風速と下方のフィルタの風速では１．
５倍以上のバラツキが見られていたが、前記実施例の場
合、平均風速が０．３〜０．４ｍ／ｓとなるようにファ
ンを駆動したところ、上方のフィルタの風速と下方のフ
ィルタの風速のバラツキが１．２倍以下の風速であっ
た。また、前記実施例では側面チャンバーの各ファンに
特に風量調節手段を設けなかったが、各ファンに風量調
節手段を設けた場合、前記風速のバラツキがさらに小さ
くなることは言うまでもない。
【００１２】
【発明の効果】このように、本発明のクリーン装置付き
収納設備によれば、側面チャンバーのファン同士の緩衝
を防止でき、その結果、収納設備の上下全域に亘って必
要な風速を得ることができる。
収納設備によれば、側面チャンバーのファン同士の緩衝
を防止でき、その結果、収納設備の上下全域に亘って必
要な風速を得ることができる。
【図１】本発明のクリーン装置付き収納設備の一実施例
の縦縦断面図
の縦縦断面図
１ 本体 ３ 収納部 ３ａ 前面 ３ｂ 後面 ４ 作業空間 ５ ファンフィルタユニット ５ａ ファン ５ｂ フィルタ ６ 側面チャンバー ７ 上面チャンバー ８ ファンフィルタユニット ２０ クリーンルーム
Claims (5)
- 【請求項１】 前面と後面を開放した収納部の後面側に
側面チャンバーを配置し、該側面チャンバーにフィルタ
と複数個のファンからなるファンフィルタユニットを配
設してなるクリーン装置付き収納設備において、天井側
に前記側面チャンバーに連通される上面チャンバーを設
け、該上面チャンバーに前記ファンよりも高いエア圧力
を形成可能なファンを備えたファンフィルタユニットを
配設したことを特徴とするクリーン装置付き収納設備。 - 【請求項２】 前記側面チャンバーの各ファンに風量調
節手段を設けたことを特徴とする請求項１記載のクリー
ン装置付き収納設備。 - 【請求項３】 前記風量調節手段はインバータ式制御装
置であることを特徴とする請求項２記載のクリーン装置
付き収納設備。 - 【請求項４】 前記風量調節手段はファンの吸込口側に
設けた抵抗板であることを特徴とする請求項２記載のク
リーン装置付き収納設備。 - 【請求項５】 前記各ファンは軸流ファンであることを
特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載のクリーン装
置付き収納設備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7294193A JPH06255710A (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | クリーン装置付き収納設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7294193A JPH06255710A (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | クリーン装置付き収納設備 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06255710A true JPH06255710A (ja) | 1994-09-13 |
Family
ID=13503911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7294193A Pending JPH06255710A (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | クリーン装置付き収納設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06255710A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008218687A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Asyst Technologies Japan Inc | 半導体基板用ストッカ |
-
1993
- 1993-03-08 JP JP7294193A patent/JPH06255710A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008218687A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Asyst Technologies Japan Inc | 半導体基板用ストッカ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010724 |