JPH0626262B2 - 横流形炭酸ガスレ−ザ装置 - Google Patents
横流形炭酸ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPH0626262B2 JPH0626262B2 JP59024464A JP2446484A JPH0626262B2 JP H0626262 B2 JPH0626262 B2 JP H0626262B2 JP 59024464 A JP59024464 A JP 59024464A JP 2446484 A JP2446484 A JP 2446484A JP H0626262 B2 JPH0626262 B2 JP H0626262B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- carbon dioxide
- laser device
- gas
- gas pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は横流形炭酸ガスレーザ装置に係り、特に放電
の起動方法の改良に関する。
の起動方法の改良に関する。
従来、横流形炭酸ガスレーザ装置は第１図及び第２図に
示すように構成され、所定のガスを封入したレーザ風洞
１が略環状に形成されている。このレーザ風洞１内の上
部には放電部２が設けられ、下部には送風機３が配設さ
れている。上記放電部２には、１個の共通電極４と複数
の分割電極５が対向して配設され、この分割電極５には
それぞれ直列に安定化抵抗が接続されている。そして共
通電極４は高圧電源７の＋側に、安定化抵抗６は一側に
それぞれ接続されている。
示すように構成され、所定のガスを封入したレーザ風洞
１が略環状に形成されている。このレーザ風洞１内の上
部には放電部２が設けられ、下部には送風機３が配設さ
れている。上記放電部２には、１個の共通電極４と複数
の分割電極５が対向して配設され、この分割電極５には
それぞれ直列に安定化抵抗が接続されている。そして共
通電極４は高圧電源７の＋側に、安定化抵抗６は一側に
それぞれ接続されている。
このような横流形炭酸ガスレーザ装置において、放電の
励起は封入ガス圧力を初期値に設定し、この後、放電を
起こし、放電電流を徐々に上げて放電を電流レベルを所
期値にする。或いは、その後、即放電電流を所期値に上
げるというシーケンスで行なつていた。
励起は封入ガス圧力を初期値に設定し、この後、放電を
起こし、放電電流を徐々に上げて放電を電流レベルを所
期値にする。或いは、その後、即放電電流を所期値に上
げるというシーケンスで行なつていた。
放電の起動時、従来のように封入ガス圧力を所期値に設
定した後で、放電を開始すると、放電開始時の電極間電
圧がそもそも高い上に、放電部のガス温度も冷えてお
り、電極間電圧は益々高くなつている。即ち、放電が起
動し難い状態になつている。この状態で放電を起こす
と、アーク放電になつたり、電極間ではなく、他の金属
への異常放電が発生したりという不具合が生ずる可能性
が大きい。更に、放電電流を放電開始と同時に所期値ま
で上げる場合は、更にアーク放電、異常放電を起こし易
くなる。
定した後で、放電を開始すると、放電開始時の電極間電
圧がそもそも高い上に、放電部のガス温度も冷えてお
り、電極間電圧は益々高くなつている。即ち、放電が起
動し難い状態になつている。この状態で放電を起こす
と、アーク放電になつたり、電極間ではなく、他の金属
への異常放電が発生したりという不具合が生ずる可能性
が大きい。更に、放電電流を放電開始と同時に所期値ま
で上げる場合は、更にアーク放電、異常放電を起こし易
くなる。
この発明の目的は、放電の起動時の不安定な状態を解消
し、安定な放電の開始を行なわせることができる横流形
炭酸ガスレーザ装置を提供することである。
し、安定な放電の開始を行なわせることができる横流形
炭酸ガスレーザ装置を提供することである。
この発明は、放電の起動時、封入ガス圧力を低くして、
低電流レベルの放電を起こし、その後、ガス圧力を一定
時間をかけて徐々に上げ、且つ放電の電流レベルも徐々
に上げて、ガス圧力がほぼ所期値になつた頃に、放電の
電流レベルを所期値にする制御手段を具備した横流形炭
酸ガスレーザ装置である。
低電流レベルの放電を起こし、その後、ガス圧力を一定
時間をかけて徐々に上げ、且つ放電の電流レベルも徐々
に上げて、ガス圧力がほぼ所期値になつた頃に、放電の
電流レベルを所期値にする制御手段を具備した横流形炭
酸ガスレーザ装置である。
上記問題点を解消するために、この発明の横流形炭酸ガ
スレーザ装置においては、その構造は第１図及び第２図
とほぼ同様であるが、封入ガス圧力と放電電流との関係
を第４図に示すタイムチャートのように制御する制御部
（図示せず）を具備いている。
スレーザ装置においては、その構造は第１図及び第２図
とほぼ同様であるが、封入ガス圧力と放電電流との関係
を第４図に示すタイムチャートのように制御する制御部
（図示せず）を具備いている。
即ち、放電の起動時、制御部は封入ガス圧力を低くして
（但しガス混合比は変えない）、低電流レベルの放電を
起こす。この放電は、パルスレーザ等のいわゆるシンマ
ー放電（予備放電）の場合もあるし、主放電の場合もあ
る。この放電はガス圧力が低いため、所期の放電時に比
べ、電極間電圧が低く、いわゆる点灯し易い放電であ
り、放電部のガス温度が冷えていても容易に放電開始の
状態に至る。その後、制御部はガス圧力を一定時間をか
けて徐々に上げ、且つ主放電電流を徐々に上げてゆき、
ガス圧力がほぼ所期値になつた頃に放電電流も所期値に
上がるようにする。
（但しガス混合比は変えない）、低電流レベルの放電を
起こす。この放電は、パルスレーザ等のいわゆるシンマ
ー放電（予備放電）の場合もあるし、主放電の場合もあ
る。この放電はガス圧力が低いため、所期の放電時に比
べ、電極間電圧が低く、いわゆる点灯し易い放電であ
り、放電部のガス温度が冷えていても容易に放電開始の
状態に至る。その後、制御部はガス圧力を一定時間をか
けて徐々に上げ、且つ主放電電流を徐々に上げてゆき、
ガス圧力がほぼ所期値になつた頃に放電電流も所期値に
上がるようにする。
この発明によれば、従来より起動し易い状態で放電を起
こすことができ、いわゆる放電のソフトスタートが可能
になつた。この結果、従来の問題点は解消された。
こすことができ、いわゆる放電のソフトスタートが可能
になつた。この結果、従来の問題点は解消された。
第１図及び第２図は従来から使用されている横流形炭酸
ガスレーザ装置を示す概略正面図と要部の回路構成図、
第３図は従来の横流形炭酸ガスレーザ装置における封入
ガス圧力と放電電流の関係を示すタイムチヤート、第４
図はこの発明の一実施例に係る横流形炭酸ガスレーザ装
置における封入ガス圧力と放電電流の関係を示すタイム
チヤートである。 １……レーザ風洞、２……放電部、３……送風機、４…
…共通電極、５……分割電極、６……安定化抵抗、７…
…高圧電源。
ガスレーザ装置を示す概略正面図と要部の回路構成図、
第３図は従来の横流形炭酸ガスレーザ装置における封入
ガス圧力と放電電流の関係を示すタイムチヤート、第４
図はこの発明の一実施例に係る横流形炭酸ガスレーザ装
置における封入ガス圧力と放電電流の関係を示すタイム
チヤートである。 １……レーザ風洞、２……放電部、３……送風機、４…
…共通電極、５……分割電極、６……安定化抵抗、７…
…高圧電源。
Claims (1)
- 【請求項１】所定のガスを封入したレーザ風洞内に、１
個の共通電極と複数の分割電極を有する放電部を設け、
この放電部に高速のガスの流れを発生させて放電を起こ
させる横流形炭酸ガスレーザ装置において、放電の起動
時、封入ガス圧力を低くして低電流レベルの放電を起こ
し、その後、ガス圧力を一定時間をかけて徐々に上げ、
且つ、放電の電流レベルも徐々に上げて、ガス圧力がほ
ぼ初期値になった頃に、放電の電流レベルを所期値にす
る制御手段を具備したことを特徴とする横流形炭酸レー
ザ装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59024464A JPH0626262B2 (ja) | 1984-02-14 | 1984-02-14 | 横流形炭酸ガスレ−ザ装置 |
| JP5183652A JPH0738479B2 (ja) | 1984-02-14 | 1993-07-26 | 横流形炭酸ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59024464A JPH0626262B2 (ja) | 1984-02-14 | 1984-02-14 | 横流形炭酸ガスレ−ザ装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5183652A Division JPH0738479B2 (ja) | 1984-02-14 | 1993-07-26 | 横流形炭酸ガスレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60170282A JPS60170282A (ja) | 1985-09-03 |
| JPH0626262B2 true JPH0626262B2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=12138885
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59024464A Expired - Lifetime JPH0626262B2 (ja) | 1984-02-14 | 1984-02-14 | 横流形炭酸ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0626262B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6376388A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-06 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ発振器の起動方法 |
| JP4137972B2 (ja) | 2006-12-14 | 2008-08-20 | ファナック株式会社 | ガス組成異常判断方法及び放電励起ガスレーザ発振器 |
| JP4185958B1 (ja) | 2007-06-11 | 2008-11-26 | ファナック株式会社 | ガスレーザ装置の立ち上げ方法及びガスレーザ装置 |
| JP4890392B2 (ja) * | 2007-08-28 | 2012-03-07 | 株式会社リコー | レーザ管の寿命判定法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5969982A (ja) * | 1982-10-15 | 1984-04-20 | Asahi Optical Co Ltd | ガスレ−ザ−装置 |
-
1984
- 1984-02-14 JP JP59024464A patent/JPH0626262B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60170282A (ja) | 1985-09-03 |
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