JPH03266486A - レーザ発振器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的コ （産業上の利用分野） 本発明は、レーザ発振器に関し、特に複数個のアノード
電極を有するマルチ電極式のレーザ発振器に関するもの
である。

（従来の技術） ＣＯ２ガス等の気体をレーザ媒体とする気体レーザ発振
器は、多くの場合、アノード電極とカソード電極との放
電電極による放電によってレーザ媒質であるレーザガス
の励起を行うようになっている。

従来一般に、アノード電極はピン電極として構成されて
おり、アノード電極は一本であると、そのアノード電極
に於ける通電量（電流）が多くなり、アノード電極とし
てのピン電極の消耗が激しくなり、また一つのアノード
電極に与える電流が大きくなると、放電がピンチ効果に
より収縮し、放電部の温度が上昇することによってレー
ザの利得が減少し、レーザ出力が低下する、謂ゆる熱飽
和現象が生じる。この様なことから、アノード電極を複
数個設け、−個当りのアノード電極の電流値を下げて、
高電力に於ても均一な放電空間を得てレーザ出力の熱的
飽和現象を緩和することが既に考えられている。

アノード電極が複数個設けられる場合に於ては、アノー
ド電極の各々に互いに等しい電流を与える必要があり、
このため複数個のアノード電極の各々に対してバランス
抵抗を設け、このバランス抵抗によって複数個のアノー
ド電極に対する通電電流値を互いに均等にすることが行
われている。

（発明が解決しようとする課題） 上述の如くバランス抵抗が設けられれば、平常状態時に
於ては、複数個のアノード電極に対する通電電流値が互
いに均等になるが、しかしコールドスタート時や長期間
休止後の立上げ時、ガス成分が悪く、放電管内部に不純
物が存在している時などは、バランス抵抗が設けられて
も、一つのアノード電極に放電が集中し、このための熱
的飽和現象が生じてレーザ出力が低下、或いは全く得ら
れなくなることがある。

この対策としては、バランス抵抗値を充分に大きくする
ことが考えられるが、しかしバランス抵抗値が大きくな
ると、抵抗による発熱量が多くなり、また物理的に大き
な抵抗が必要となって実用的ではない。

本発明は、上述の如き不具合に鑑み、立上げ時等の非定
常時に於ても複数個のアノード電極に対する通電電流量
を良好なバランス状態に設定することができるレーザ発
振器を提供することを目的としている。

Ｃ発明の構成］ （課題を解決するための手段） 上述の如き目的は、本発明によれば、複数個のアノード
電極を有するレーザ発振器に於て、前記複数個のアノー
ド電極の各々に対し電流制御装置が個別に設けられてい
ることを特徴とするレーザ発振器によって達成される。

（作用） 上述の如き構成によれば、電流制御装置によって複数個
のアノード電極に対する通電電流値が各々個別に任意に
制御されるようになり、複数個のアノード電極に於ける
電流バランスをレーザ出力の安定性から良好な状態に保
つことができるようになる。

（実施例） 以下に本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。

第１図及び第２図は本発明によるレーザ発振器の一つの
実施例を示している。レーザ発振器は、ガラス管等によ
り構成されたレーザ放電管１を有しており、レーザ放電
管１の一端部にはアノード電極３が、他端部にはカソー
ド電極５が各々設けられている。カソード電極５は一つ
のリング状電極により構成されているのに対し、アノー
ド電極３は複数個のピン電極により構成されている。ビ
ン電極により構成されたアノード電極３は、第２図によ
く示されている如く、レーザ放電管１の周方向に互いに
等間隔をおいて複数個、図示の実施例に於ては、八個設
けられており、これら八個のアノード電極３と−っのカ
ソード電極５との間に電源装置７によって所定の高電圧
が印加されるようになっている。

電源装置７より複数個のアノード電極３の各々に電流を
与えるための伝送線９の途中には複数個のアノード電極
３の各々について電流制御袋Ｗ１１が互いに個別に設け
られている。電流制御装置１１は、各々、個別の制御信
号線１３よりの制御信号に基いて各々個別に電流制御を
行い、複数個のアノード電極３の通電電流値を互いに個
別に行うようになっている。

第３図は電流制御装置１１の一つの具体的実施例を示し
ている。この実施例に於ては、アノード電極３のアノー
ド電流と制御電流設定回路１５よりの基準電流とを与え
られる比較演算器１７を有しており、比較演算器１７は
アノード電流と基準電流との比較演算に基いてその差分
に関する制御信号を信号処理回路１９へ出力するように
なっている。信号処理回路１９は比較演算器１７よりの
制御信号に基いて高圧ユニット２１に制御信号を出力し
、これによりアノード電極３に与えられる電流は制御電
流設定回路１３により可変設定される制御電流値にフィ
ードバック制御式に制御されることになる。

従って、アノード電極３の通電電流値は制御電流設定回
路１５に於ける制御電流値の設定によって任意の値に設
定されるようになる。

上述の如き電流制御装置が複数個のアノード電極３の各
々について個別に設けられていることにより、その複数
個のアノード電極３に対する通電電流値が各々個別に任
意の値に設定されるようになり、一つのアノード電極３
に偏って電流が流れることか回避される。

以上に於ては、本発明を特定の実施例について詳細に説
明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、
本発明の範囲内にて種々の実施例が可能であることは当
業者にとって明らかであろつＯ ［発明の効果］ 上述の如き実施例の説明より理解されるように、電流制
御装置によって複数個のアノード電極に対する通電電流
値が各々個別に任意に制御されるようになり、この制御
によって複数個のアノード電極に於ける電流バランスが
立上げ時やその他の非定常時に於てもレーザ出力の安定
性から良好な状態に保たれるようになり、良好なレーザ
出力特性が得られるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるレーザ発振器の一つの実施例を示
す概略構成図、第２図は本発明によるレーザ発振器に於
けるアノード電極部分の概略構成図、第３図は本発明に
よるレーザ発振器に用いられる電流制御装置の具体的実
施例を示す電気回路図である。 １・・・レーザ放電管　　　　３・・・アノード電極５
・・・カソード電極　　　　７・・・電源装置１１・・
・電流制御装置 １５・・・制御電流設定回路 １７・・・比較演算器

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数個のアノード電極を有するレーザ発振器に於て、前
   記複数個のアノード電極の各々に対し電流制御装置が個
   別に設けられていることを特徴とするレーザ発振器。