JPH0677569A - 横流形炭酸ガスレーザ装置 - Google Patents
横流形炭酸ガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH0677569A JPH0677569A JP5183652A JP18365293A JPH0677569A JP H0677569 A JPH0677569 A JP H0677569A JP 5183652 A JP5183652 A JP 5183652A JP 18365293 A JP18365293 A JP 18365293A JP H0677569 A JPH0677569 A JP H0677569A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- carbon dioxide
- current level
- laser device
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- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、放電の起動時の不安定な状態を解
消し、安定な放電の開始を図る。 【構成】 ヘリウムを含むガスを封入したレーザ風洞内
に、放電部を設け、この放電部にガスを流して放電を生
じさせる横流形炭酸ガスレーザ装置において、放電の起
動時、ガスの混合比をヘリウムの割合を多くして低電流
レベルの放電を起こし、その後、混合比を一定時間かけ
て徐々に所定値にすると共に、放電電流レベルも徐々に
上げ、混合比が所定値になった頃に放電電流レベルを所
期値にする制御手段を具備した横流形炭酸ガスレーザ装
置。
消し、安定な放電の開始を図る。 【構成】 ヘリウムを含むガスを封入したレーザ風洞内
に、放電部を設け、この放電部にガスを流して放電を生
じさせる横流形炭酸ガスレーザ装置において、放電の起
動時、ガスの混合比をヘリウムの割合を多くして低電流
レベルの放電を起こし、その後、混合比を一定時間かけ
て徐々に所定値にすると共に、放電電流レベルも徐々に
上げ、混合比が所定値になった頃に放電電流レベルを所
期値にする制御手段を具備した横流形炭酸ガスレーザ装
置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は横流形炭酸ガスレーザ装
置に係り、特に放電の起動方法に関する。
置に係り、特に放電の起動方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、横流形炭酸ガスレーザ装置は図１
及び図２に示すように構成され、所定のガスを封入した
レーザ風洞１が略環状に形成されている。このレーザ風
洞１内の上部には放電部２が設けられ、下部には送風機
３が配設されている。上記放電部２には、１個の共通電
極４と複数の分割電極５が対向して配設され、この分割
電極５にはそれぞれ直列に安定化抵抗が接続されてい
る。そして共通電極４は高圧電源７の＋側に、安定化抵
抗６は−側にそれぞれ接続されている。
及び図２に示すように構成され、所定のガスを封入した
レーザ風洞１が略環状に形成されている。このレーザ風
洞１内の上部には放電部２が設けられ、下部には送風機
３が配設されている。上記放電部２には、１個の共通電
極４と複数の分割電極５が対向して配設され、この分割
電極５にはそれぞれ直列に安定化抵抗が接続されてい
る。そして共通電極４は高圧電源７の＋側に、安定化抵
抗６は−側にそれぞれ接続されている。
【０００３】このような横流形炭酸ガスレーザ装置にお
いて、放電の起動は封入ガス圧力を初期値に設定し、そ
の後、放電を起こし、放電電流を徐々に上げて放電の電
流レベルを所期値にする。或いは、その後、即放電電流
を所期値に上げるというシーケンスで行なっていた。
いて、放電の起動は封入ガス圧力を初期値に設定し、そ
の後、放電を起こし、放電電流を徐々に上げて放電の電
流レベルを所期値にする。或いは、その後、即放電電流
を所期値に上げるというシーケンスで行なっていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】放電の起動時、従来の
ように封入ガス圧力を所期値に設定した後で、放電を開
始すると、放電開始時の電極間電圧がそもそも高い上
に、放電部のガス温度も冷えており、電極間電圧は益々
高くなっている。即ち、放電が起動し難い状態になって
いる。この状態で放電を起こすと、アーク放電になった
り、電極間ではなく、他の金属への異常放電が発生した
りという不具合が生じる可能性が大きい。更に、放電電
流を放電開始と同時に所期値まで上げる場合は、更にア
ーク放電、異常放電を起こし易くなる。本発明の目的
は、放電の起動時の不安定な状態を解消し、安定な放電
の開始を行わせることができる横流形炭酸ガスレーザ装
置を提供することである。
ように封入ガス圧力を所期値に設定した後で、放電を開
始すると、放電開始時の電極間電圧がそもそも高い上
に、放電部のガス温度も冷えており、電極間電圧は益々
高くなっている。即ち、放電が起動し難い状態になって
いる。この状態で放電を起こすと、アーク放電になった
り、電極間ではなく、他の金属への異常放電が発生した
りという不具合が生じる可能性が大きい。更に、放電電
流を放電開始と同時に所期値まで上げる場合は、更にア
ーク放電、異常放電を起こし易くなる。本発明の目的
は、放電の起動時の不安定な状態を解消し、安定な放電
の開始を行わせることができる横流形炭酸ガスレーザ装
置を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、ヘリウムを含
むガスを封入したレーザ風洞内に、放電部を設け、この
放電部に前記ガスを流して放電を生じさせる横流形炭酸
ガスレーザ装置において、放電の起動時、前記ガスの混
合比におけるヘリウムの割合を多くして低電流レベルの
放電を起こし、その後、前記混合比を一定時間かけて徐
々に所定値にすると共に、放電電流レベルも徐々に上
げ、前記混合比が前記所定値になった頃に放電電流レベ
ルを所期値にする制御手段を具備した横流形炭酸ガスレ
ーザ装置である。
むガスを封入したレーザ風洞内に、放電部を設け、この
放電部に前記ガスを流して放電を生じさせる横流形炭酸
ガスレーザ装置において、放電の起動時、前記ガスの混
合比におけるヘリウムの割合を多くして低電流レベルの
放電を起こし、その後、前記混合比を一定時間かけて徐
々に所定値にすると共に、放電電流レベルも徐々に上
げ、前記混合比が前記所定値になった頃に放電電流レベ
ルを所期値にする制御手段を具備した横流形炭酸ガスレ
ーザ装置である。
【０００６】
【作用】従って、本発明は以上のような手段を講じたこ
とにより、放電の起動時、制御手段が、ガスの混合比に
おけるヘリウムの割合を多くして低電流レベルの放電を
起こし、その後、混合比を一定時間かけて徐々に所定値
にすると共に、放電電流レベルも徐々に上げ、混合比が
前記所定値になった頃に放電電流レベルを所期値にする
ので、放電の起動時の不安定な状態を解消し、安定な放
電の開始を行わせることができる。
とにより、放電の起動時、制御手段が、ガスの混合比に
おけるヘリウムの割合を多くして低電流レベルの放電を
起こし、その後、混合比を一定時間かけて徐々に所定値
にすると共に、放電電流レベルも徐々に上げ、混合比が
前記所定値になった頃に放電電流レベルを所期値にする
ので、放電の起動時の不安定な状態を解消し、安定な放
電の開始を行わせることができる。
【０００７】
【実施例】上記課題を解決するために、本発明の横流形
炭酸ガスレーザ装置においては、その構造は図１及び図
２とほぼ同様であるが、封入ガス混合比と放電電流を制
御する制御部（図示せず）を具備している。
炭酸ガスレーザ装置においては、その構造は図１及び図
２とほぼ同様であるが、封入ガス混合比と放電電流を制
御する制御部（図示せず）を具備している。
【０００８】すなわち、放電の起動時、制御部は、ガス
混合比を放電を起こし易いＨｅを多くして（但し封入ガ
ス圧は予め所期値に上げておく）、低電流レベルの放電
を起こす。この放電は、パルスレーザ等のいわゆるシン
マー放電（予備放電）の場合もあるし、主放電の場合も
ある。この放電はヘリウムの混合比が高いため、所期の
放電時に比べ、電極間電圧が低く、いわゆる点灯し易い
放電であり、放電部のガス温度が冷えていても容易に放
電開始の状態に至る。その後、制御部は、混合比を一定
時間かけて徐々に正規の値にすると共に、放電電流レベ
ルも徐々に上げ、ガス混合比がほぼ正規の値になった頃
に、放電電流レベルを所期値にする。
混合比を放電を起こし易いＨｅを多くして（但し封入ガ
ス圧は予め所期値に上げておく）、低電流レベルの放電
を起こす。この放電は、パルスレーザ等のいわゆるシン
マー放電（予備放電）の場合もあるし、主放電の場合も
ある。この放電はヘリウムの混合比が高いため、所期の
放電時に比べ、電極間電圧が低く、いわゆる点灯し易い
放電であり、放電部のガス温度が冷えていても容易に放
電開始の状態に至る。その後、制御部は、混合比を一定
時間かけて徐々に正規の値にすると共に、放電電流レベ
ルも徐々に上げ、ガス混合比がほぼ正規の値になった頃
に、放電電流レベルを所期値にする。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、従
来より起動し易い状態で放電を起こすことができ、いわ
ゆる放電のソフトスタートが可能になった。この結果、
従来の課題が解消された。
来より起動し易い状態で放電を起こすことができ、いわ
ゆる放電のソフトスタートが可能になった。この結果、
従来の課題が解消された。
【図１】従来から使用されている横流形炭酸ガスレーザ
装置を示す概略正面図。
装置を示す概略正面図。
【図２】従来から使用されている横流形炭酸ガスレーザ
装置の要部の回路構成図。
装置の要部の回路構成図。
１…レーザ風洞、２…放電部、３…送風機、４…共通電
極、５…分割電極、６…安定化抵抗、７…高圧電源。
極、５…分割電極、６…安定化抵抗、７…高圧電源。
Claims (1)
- 【請求項１】 ヘリウムを含むガスを封入したレーザ風
洞内に、放電部を設け、この放電部に前記ガスを流して
放電を生じさせる横流形炭酸ガスレーザ装置において、 放電の起動時、前記ガスの混合比におけるヘリウムの割
合を多くして低電流レベルの放電を起こし、その後、前
記混合比を一定時間かけて徐々に所定値にすると共に、
放電電流レベルも徐々に上げ、前記混合比が前記所定値
になった頃に放電電流レベルを所期値にする制御手段を
具備したことを特徴とする横流形炭酸ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5183652A JPH0738479B2 (ja) | 1984-02-14 | 1993-07-26 | 横流形炭酸ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59024464A JPH0626262B2 (ja) | 1984-02-14 | 1984-02-14 | 横流形炭酸ガスレ−ザ装置 |
| JP5183652A JPH0738479B2 (ja) | 1984-02-14 | 1993-07-26 | 横流形炭酸ガスレーザ装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59024464A Division JPH0626262B2 (ja) | 1984-02-14 | 1984-02-14 | 横流形炭酸ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0677569A true JPH0677569A (ja) | 1994-03-18 |
| JPH0738479B2 JPH0738479B2 (ja) | 1995-04-26 |
Family
ID=26361974
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5183652A Expired - Lifetime JPH0738479B2 (ja) | 1984-02-14 | 1993-07-26 | 横流形炭酸ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0738479B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017216463A (ja) * | 2017-07-10 | 2017-12-07 | 精電舎電子工業株式会社 | 炭酸ガスレーザ装置 |
-
1993
- 1993-07-26 JP JP5183652A patent/JPH0738479B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017216463A (ja) * | 2017-07-10 | 2017-12-07 | 精電舎電子工業株式会社 | 炭酸ガスレーザ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0738479B2 (ja) | 1995-04-26 |
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