JPH06273468A - 導電膜検査装置 - Google Patents
導電膜検査装置Info
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- JPH06273468A JPH06273468A JP5085746A JP8574693A JPH06273468A JP H06273468 A JPH06273468 A JP H06273468A JP 5085746 A JP5085746 A JP 5085746A JP 8574693 A JP8574693 A JP 8574693A JP H06273468 A JPH06273468 A JP H06273468A
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Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 パターンピッチの異なるＩ．Ｔ．Ｏパターン
についても良否判定のできる導電膜検査装置を提供する
こと 【構成】 各導電膜パターンと時間順次に接触するよう
に相対移動するプローブニードル３と、適当な複数個数
の導電膜パターンについてその一端部を互いに接触させ
るベタプローブ２と、プローブニードル３が各導電膜パ
ターンに接触するタイミングに同期してプローブニード
ル３に検査電圧ＶTPを供給する電圧供給部１３と、ベタ
プローブ２から得られる検出電圧ＶO に基づいて各導電
膜パターンの良否を判定する判断部１５とを備える。
についても良否判定のできる導電膜検査装置を提供する
こと 【構成】 各導電膜パターンと時間順次に接触するよう
に相対移動するプローブニードル３と、適当な複数個数
の導電膜パターンについてその一端部を互いに接触させ
るベタプローブ２と、プローブニードル３が各導電膜パ
ターンに接触するタイミングに同期してプローブニード
ル３に検査電圧ＶTPを供給する電圧供給部１３と、ベタ
プローブ２から得られる検出電圧ＶO に基づいて各導電
膜パターンの良否を判定する判断部１５とを備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、導電膜の断線状態お
よび短絡状態を検査する装置に関し、特に、なぞり方式
によってＬＣＤ(Liquid crystal display)基板の透明導
電膜パターンの良否を検査する導電膜検査装置に関す
る。
よび短絡状態を検査する装置に関し、特に、なぞり方式
によってＬＣＤ(Liquid crystal display)基板の透明導
電膜パターンの良否を検査する導電膜検査装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、なぞり方式によってＬＣＤ基
板の透明導電膜(I.T.O) パターンの良否を検査する装置
は存在する。図８は、このなぞり方式による検査装置を
説明する為の図面であり、プローブニードルＰ1 ，Ｐ2
がＩ．Ｔ．Ｏパターンを図８の上下方向になぞっている
状態を示している。図８において、各Ｉ．Ｔ．Ｏパター
ンは、端点Ｔi −Ｔi ’間に形成されており（ｉ＝１〜
ｎ）、プローブニードルＰ2 には、２つのプローブニー
ドルＰ1 ，Ｐ2 が各Ｉ．Ｔ．Ｏパターンをなぞるタイミ
ングに同期して、パルス電圧（または電流）が供給され
ている。
板の透明導電膜(I.T.O) パターンの良否を検査する装置
は存在する。図８は、このなぞり方式による検査装置を
説明する為の図面であり、プローブニードルＰ1 ，Ｐ2
がＩ．Ｔ．Ｏパターンを図８の上下方向になぞっている
状態を示している。図８において、各Ｉ．Ｔ．Ｏパター
ンは、端点Ｔi −Ｔi ’間に形成されており（ｉ＝１〜
ｎ）、プローブニードルＰ2 には、２つのプローブニー
ドルＰ1 ，Ｐ2 が各Ｉ．Ｔ．Ｏパターンをなぞるタイミ
ングに同期して、パルス電圧（または電流）が供給され
ている。
【０００３】いま、Ｉ．Ｔ．Ｏパターンが断線していな
ければ、プローブニードルＰ2 に加わるパルス電圧と同
じ電圧がプローブニードルＰ1 から得られることにな
る。一方、Ｉ．Ｔ．Ｏパターンが断線していれば、プロ
ーブニードルが当該Ｉ．Ｔ．Ｏパターンをなぞっている
タイミングにおいて、プローブニードルＰ1 からパルス
電圧が得られないことになり、そのことからＩ．Ｔ．Ｏ
パターンの断線状態が検知される。例えば、ｊ番目のパ
ルス電圧のタイミングにおいて、プローブニードルＰ1
からパルス電圧が得られなければ、ｊ番目のＩ．Ｔ．Ｏ
パターンが断線している旨が検知される。
ければ、プローブニードルＰ2 に加わるパルス電圧と同
じ電圧がプローブニードルＰ1 から得られることにな
る。一方、Ｉ．Ｔ．Ｏパターンが断線していれば、プロ
ーブニードルが当該Ｉ．Ｔ．Ｏパターンをなぞっている
タイミングにおいて、プローブニードルＰ1 からパルス
電圧が得られないことになり、そのことからＩ．Ｔ．Ｏ
パターンの断線状態が検知される。例えば、ｊ番目のパ
ルス電圧のタイミングにおいて、プローブニードルＰ1
からパルス電圧が得られなければ、ｊ番目のＩ．Ｔ．Ｏ
パターンが断線している旨が検知される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
検査装置では、プローブニードルＰ2 がなぞるＩ．Ｔ．
Ｏパターンと、プローブニードルＰ1 がなぞるＩ．Ｔ．
Ｏパターンとが同一ピッチでないと使用できないという
問題点がある。つまり、一般に、Ｉ．Ｔ．Ｏパターンは
パターン中央部と端点部（図８のａ部を参照）とのパタ
ーンピッチが異なるのであるが、かかる場合にＩ．Ｔ．
Ｏパターンの端点部分（ａ部）の検査ができないという
問題点がある。
検査装置では、プローブニードルＰ2 がなぞるＩ．Ｔ．
Ｏパターンと、プローブニードルＰ1 がなぞるＩ．Ｔ．
Ｏパターンとが同一ピッチでないと使用できないという
問題点がある。つまり、一般に、Ｉ．Ｔ．Ｏパターンは
パターン中央部と端点部（図８のａ部を参照）とのパタ
ーンピッチが異なるのであるが、かかる場合にＩ．Ｔ．
Ｏパターンの端点部分（ａ部）の検査ができないという
問題点がある。
【０００５】かかる問題点を回避する為に、端点Ｔi 及
び端点Ｔi ’に対して、同時に２ｎ個のプローブニード
ル（Ｐ1 〜Ｐn ，Ｐ1 ’〜Ｐn ’）を接触させることも
考えられる。しかしながら、この方法の場合には、全て
のプローブニードルを全ての端点に適宜に接触させる為
の調整が大変であるという問題点がある。また、破損状
態や接触不良状態のプローブニードルが１個でもある
と、それだけで正常な検査ができなくなるので、プロー
ブニードルの管理にも困難を伴うという問題点もある。
この発明は、これらの問題点に着目してなされたもので
あって、なぞり方式の利点を生かしつつ、パターンピッ
チの異なるＩ．Ｔ．Ｏパターンについても良否判定を行
う導電膜検査装置を提供することを目的とする。
び端点Ｔi ’に対して、同時に２ｎ個のプローブニード
ル（Ｐ1 〜Ｐn ，Ｐ1 ’〜Ｐn ’）を接触させることも
考えられる。しかしながら、この方法の場合には、全て
のプローブニードルを全ての端点に適宜に接触させる為
の調整が大変であるという問題点がある。また、破損状
態や接触不良状態のプローブニードルが１個でもある
と、それだけで正常な検査ができなくなるので、プロー
ブニードルの管理にも困難を伴うという問題点もある。
この発明は、これらの問題点に着目してなされたもので
あって、なぞり方式の利点を生かしつつ、パターンピッ
チの異なるＩ．Ｔ．Ｏパターンについても良否判定を行
う導電膜検査装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する
為、この発明に係る導電膜検査装置は、複数個の導電膜
パターンを備える基板について、なぞり方式によって各
導電膜パターンの良否を検査する導電膜検査装置であっ
て、前記各導電膜パターンと時間順次に接触するよう
に、前記導電膜パターンとの間で相対移動する第１の検
出電極と、この第１の検出電極と接触状態にある導電
膜パターンを含む適当個数の導電膜パターンについて、
その導電膜パターンの一端部を互いに接触させる第２の
検出電極と、前記第１の検出電極が前記各導電膜パタ
ーンに接触するタイミングに同期して、前記第１または
第２の検出電極の一方側に対して電気信号を供給する信
号供給部と、前記第１または第２の検出電極の他方側
から得られる信号に基づいて、前記各導電膜パターンの
良否を判定する判定部とを特徴的に備えている。ここ
で、「なぞり」とは、検出電極を導電膜パターンに接触
させた状態で、検出電極と導電膜パターンとを相対移動
させることをいう。検出電極と導電膜パターンとが相対
移動すれば良いので、検出電極を移動させる場合と導電
膜パターンを備える基板を移動させる場合の２態様があ
る。
為、この発明に係る導電膜検査装置は、複数個の導電膜
パターンを備える基板について、なぞり方式によって各
導電膜パターンの良否を検査する導電膜検査装置であっ
て、前記各導電膜パターンと時間順次に接触するよう
に、前記導電膜パターンとの間で相対移動する第１の検
出電極と、この第１の検出電極と接触状態にある導電
膜パターンを含む適当個数の導電膜パターンについて、
その導電膜パターンの一端部を互いに接触させる第２の
検出電極と、前記第１の検出電極が前記各導電膜パタ
ーンに接触するタイミングに同期して、前記第１または
第２の検出電極の一方側に対して電気信号を供給する信
号供給部と、前記第１または第２の検出電極の他方側
から得られる信号に基づいて、前記各導電膜パターンの
良否を判定する判定部とを特徴的に備えている。ここ
で、「なぞり」とは、検出電極を導電膜パターンに接触
させた状態で、検出電極と導電膜パターンとを相対移動
させることをいう。検出電極と導電膜パターンとが相対
移動すれば良いので、検出電極を移動させる場合と導電
膜パターンを備える基板を移動させる場合の２態様があ
る。
【０００７】
【作用】 第１の検出電極は、各導電膜パターンと時間順次に接
触するように、前記導電膜パターンとの間で相対移動す
る。ここで、相対移動の方向は特に限定されないが、例
えば、第１の検出電極が導電膜パターンと直交するよう
に相対移動させれば良い。なお、この第１の検出電極の
先端部は、パターンピッチに合わせた適宜な太さのもの
である。
触するように、前記導電膜パターンとの間で相対移動す
る。ここで、相対移動の方向は特に限定されないが、例
えば、第１の検出電極が導電膜パターンと直交するよう
に相対移動させれば良い。なお、この第１の検出電極の
先端部は、パターンピッチに合わせた適宜な太さのもの
である。
【０００８】第２の検出電極は、第１の検出電極と接
触状態にある導電膜パターンを含む適当個数の導電膜パ
ターンについて、その導電膜パターンの一端部を互いに
接触させる。例えば、第１の検出電極が第ｉ番目の導電
膜パターンと接触している状態で、第ｉ−ｎ番目から第
ｉ＋ｍ番目の導電膜パターンの一端部を互いに接触させ
る。
触状態にある導電膜パターンを含む適当個数の導電膜パ
ターンについて、その導電膜パターンの一端部を互いに
接触させる。例えば、第１の検出電極が第ｉ番目の導電
膜パターンと接触している状態で、第ｉ−ｎ番目から第
ｉ＋ｍ番目の導電膜パターンの一端部を互いに接触させ
る。
【０００９】信号供給部は、第１の検出電極が前記各
導電膜パターンに接触するタイミングに同期して、第１
または第２の検出電極の一方側に対して電気信号を供給
する。ここで、導電膜パターンが断線状態でなければ、
一方側の検出電極に供給された電気信号は、そのまま他
方側の検出電極に伝えられる。
導電膜パターンに接触するタイミングに同期して、第１
または第２の検出電極の一方側に対して電気信号を供給
する。ここで、導電膜パターンが断線状態でなければ、
一方側の検出電極に供給された電気信号は、そのまま他
方側の検出電極に伝えられる。
【００１０】そこで、判定部は、他方側の検出電極か
ら得られる信号に基づいて、第１の検出電極が接触して
いる導電膜パターンの良否を判定する。
ら得られる信号に基づいて、第１の検出電極が接触して
いる導電膜パターンの良否を判定する。
【００１１】
【実施例】以下、実施例に基づいて、この発明を更に詳
細に説明する。図１は、この発明の一実施例である導電
膜検査装置の特徴部分を示す概略図である。ＬＣＤ基板
上に形成されるＩ．Ｔ．Ｏパターン１-1〜１-nと、上下
動をして必要に応じてＩ．Ｔ．Ｏパターン１-1〜１-nの
一端部に接触するベタプローブ２と、各Ｉ．Ｔ．Ｏパタ
ーンに電圧を供給する為のプローブニードル３とが図示
されている。
細に説明する。図１は、この発明の一実施例である導電
膜検査装置の特徴部分を示す概略図である。ＬＣＤ基板
上に形成されるＩ．Ｔ．Ｏパターン１-1〜１-nと、上下
動をして必要に応じてＩ．Ｔ．Ｏパターン１-1〜１-nの
一端部に接触するベタプローブ２と、各Ｉ．Ｔ．Ｏパタ
ーンに電圧を供給する為のプローブニードル３とが図示
されている。
【００１２】ここで、ベタプローブ２は、必要に応じて
上下動をする保持部４と、保持部４によって保持される
と共にスライド溝５を介して移動するプローブ部６とで
構成されており、プローブ部６では、金属箔で形成され
た導電部７が複数のＩ．Ｔ．Ｏパターンの一端部と接触
するようになっている。また、プローブニードル３は、
Ｉ．Ｔ．Ｏパターンの直交方向に各Ｉ．Ｔ．Ｏパターン
をなぞってゆくものである。なお、ここでは、ベタプロ
ーブ２とプローブニードル３とが移動する旨の説明した
が、代わりにＬＣＤ基板を移動させても良いので、以降
は、ＬＣＤ基板が移動するとして、この装置の動作説明
をすることにする。
上下動をする保持部４と、保持部４によって保持される
と共にスライド溝５を介して移動するプローブ部６とで
構成されており、プローブ部６では、金属箔で形成され
た導電部７が複数のＩ．Ｔ．Ｏパターンの一端部と接触
するようになっている。また、プローブニードル３は、
Ｉ．Ｔ．Ｏパターンの直交方向に各Ｉ．Ｔ．Ｏパターン
をなぞってゆくものである。なお、ここでは、ベタプロ
ーブ２とプローブニードル３とが移動する旨の説明した
が、代わりにＬＣＤ基板を移動させても良いので、以降
は、ＬＣＤ基板が移動するとして、この装置の動作説明
をすることにする。
【００１３】図２は、図１に示す装置の回路ブロック図
を図示したものである。この装置は、ベタプローブ２
と、プローブニードル３と、ＬＣＤ基板８と、ＬＣＤ基
板８を移動させるモータ９と、モータ９を駆動するモー
タドライバ１０と、基準パルスＢＰを発生するパルスゼ
ネレータ１１と、基準パルスＢＰを受けてタイミングパ
ルスＴＰを発生するタイミングパルス発生部１２と、タ
イミングパルス発生部１２の出力を受けて検査電圧ＶTP
を発生する電圧供給部１３と、ベタプローブ２からの検
出電圧ＶO を受ける増幅部１４と、増幅部１４の出力と
タイミングパルスＴＰとを受けてＬＣＤ基板８の不良パ
ターン箇所を特定する判断部１５とで構成されている。
なお、図２での図示を省略しているが、この装置には、
短絡位置を検査する為のプローブニードルと、これに付
随する回路も備えられている。
を図示したものである。この装置は、ベタプローブ２
と、プローブニードル３と、ＬＣＤ基板８と、ＬＣＤ基
板８を移動させるモータ９と、モータ９を駆動するモー
タドライバ１０と、基準パルスＢＰを発生するパルスゼ
ネレータ１１と、基準パルスＢＰを受けてタイミングパ
ルスＴＰを発生するタイミングパルス発生部１２と、タ
イミングパルス発生部１２の出力を受けて検査電圧ＶTP
を発生する電圧供給部１３と、ベタプローブ２からの検
出電圧ＶO を受ける増幅部１４と、増幅部１４の出力と
タイミングパルスＴＰとを受けてＬＣＤ基板８の不良パ
ターン箇所を特定する判断部１５とで構成されている。
なお、図２での図示を省略しているが、この装置には、
短絡位置を検査する為のプローブニードルと、これに付
随する回路も備えられている。
【００１４】図３は、図２の装置の動作を説明する為の
図面であり、第ｉ番目のパターンが断線箇所ＧO で断線
している一方で、第ｉ−１番目と第ｉ番目のパターンが
短絡箇所ＧS で短絡されていることを示している。以
下、図３を参照しつつ、この装置の動作内容を説明す
る。なお、ＬＣＤ基板のＩ．Ｔ．Ｏパターンの良否を検
査する場合、この装置の検査内容は、パターン断線を検
査する〔オープン測定〕と、短絡箇所の位置を検出する
〔ショート・ショート位置測定〕とに別れる。
図面であり、第ｉ番目のパターンが断線箇所ＧO で断線
している一方で、第ｉ−１番目と第ｉ番目のパターンが
短絡箇所ＧS で短絡されていることを示している。以
下、図３を参照しつつ、この装置の動作内容を説明す
る。なお、ＬＣＤ基板のＩ．Ｔ．Ｏパターンの良否を検
査する場合、この装置の検査内容は、パターン断線を検
査する〔オープン測定〕と、短絡箇所の位置を検出する
〔ショート・ショート位置測定〕とに別れる。
【００１５】〔オープン測定〕オープン測定時には、先
ず、ベタプローブ２を下側に移動させて（図１参照）Ｌ
ＣＤ基板８に接触させる。この状態において、ＬＣＤ基
板８は、載置台（図示せず）の上でベタプローブ２とプ
ローブニードル３に接触しつつ移動する。図４は、この
動作状態におけるパルスゼネレータ１１の出力（基準パ
ルスＢＰ）と、タイミングパルス発生部１２の出力（タ
イミングパルスＴＰ）とを示している。モータ９と電圧
供給部１３とは、パルスＢＰ，ＴＰに制御されて動作す
るので、モータ９は基準パルスＢＰに対応して図示しな
い載置台を移動させる一方、電圧供給部１３はタイミン
グパルスＴＰに同期してプローブニードル３に検査電圧
ＶTPを供給する（図２参照）。
ず、ベタプローブ２を下側に移動させて（図１参照）Ｌ
ＣＤ基板８に接触させる。この状態において、ＬＣＤ基
板８は、載置台（図示せず）の上でベタプローブ２とプ
ローブニードル３に接触しつつ移動する。図４は、この
動作状態におけるパルスゼネレータ１１の出力（基準パ
ルスＢＰ）と、タイミングパルス発生部１２の出力（タ
イミングパルスＴＰ）とを示している。モータ９と電圧
供給部１３とは、パルスＢＰ，ＴＰに制御されて動作す
るので、モータ９は基準パルスＢＰに対応して図示しな
い載置台を移動させる一方、電圧供給部１３はタイミン
グパルスＴＰに同期してプローブニードル３に検査電圧
ＶTPを供給する（図２参照）。
【００１６】図５は、プローブニードル３に供給される
検査電圧ＶTPと、ベタプローブ２から得られる検出電圧
ＶO との関係を図示したものである。Ｉ．Ｔ．Ｏパター
ンが断線していない場合には、プローブニードル３とベ
タプローブ２間は短絡状態であるので、ベタプローブ２
からは検査電圧ＶTPと同じ電圧ＶO が検出される。しか
し、Ｉ．Ｔ．Ｏパターンが断線している場合には、ベタ
プローブ２からは電圧が得られないことになる（図３の
ＧO 、図５のｉ番目のパルス参照）。
検査電圧ＶTPと、ベタプローブ２から得られる検出電圧
ＶO との関係を図示したものである。Ｉ．Ｔ．Ｏパター
ンが断線していない場合には、プローブニードル３とベ
タプローブ２間は短絡状態であるので、ベタプローブ２
からは検査電圧ＶTPと同じ電圧ＶO が検出される。しか
し、Ｉ．Ｔ．Ｏパターンが断線している場合には、ベタ
プローブ２からは電圧が得られないことになる（図３の
ＧO 、図５のｉ番目のパルス参照）。
【００１７】判断部１５は、検出電圧ＶO とタイミング
パルスＴＰとを受けており、タイミングパルスＴＰをカ
ウントすると共に、タイミングパルスＴＰに同期して検
出電圧ＶO が得られるか否かを判断している。いま、ｉ
番目のタイミングパルスＴＰをカウントした状態では検
出電圧ＶO が得られないので、このことから第ｉ番目の
導体パターンが断線していることを検知できる。以上の
ようにして第１番目から第ｎ番目までのＩ．Ｔ．Ｏパタ
ーンのオープン測定が完了すると、次に、ショート・シ
ョート位置測定に移行する。
パルスＴＰとを受けており、タイミングパルスＴＰをカ
ウントすると共に、タイミングパルスＴＰに同期して検
出電圧ＶO が得られるか否かを判断している。いま、ｉ
番目のタイミングパルスＴＰをカウントした状態では検
出電圧ＶO が得られないので、このことから第ｉ番目の
導体パターンが断線していることを検知できる。以上の
ようにして第１番目から第ｎ番目までのＩ．Ｔ．Ｏパタ
ーンのオープン測定が完了すると、次に、ショート・シ
ョート位置測定に移行する。
【００１８】〔ショート・ショート位置測定〕ショート
位置測定では、ベタプローブ２を上昇させて、ベタプロ
ーブ２とＩ．Ｔ．Ｏパターンとを非接触状態に制御す
る。この状態で、プローブニードル３がＩ．Ｔ．Ｏパタ
ーンをなぞってゆくと共に、別の２個のプローブニード
ルが隣接位置にあるＩ．Ｔ．Ｏパターンをなぞってゆ
く。図３は、この状態を図示したものであって、ｉ−１
番目のパターンをプローブニードルＰ2 ，Ｐ3 がなぞっ
ている時に、第ｉ番目のパターンをプローブニードルＰ
1 がなぞっている状態を示している。
位置測定では、ベタプローブ２を上昇させて、ベタプロ
ーブ２とＩ．Ｔ．Ｏパターンとを非接触状態に制御す
る。この状態で、プローブニードル３がＩ．Ｔ．Ｏパタ
ーンをなぞってゆくと共に、別の２個のプローブニード
ルが隣接位置にあるＩ．Ｔ．Ｏパターンをなぞってゆ
く。図３は、この状態を図示したものであって、ｉ−１
番目のパターンをプローブニードルＰ2 ，Ｐ3 がなぞっ
ている時に、第ｉ番目のパターンをプローブニードルＰ
1 がなぞっている状態を示している。
【００１９】かかるショート位置測定検査において、隣
接するパターン間が短絡状態でなければ、プローブニー
ドルＰ2 ，Ｐ3 からは何の信号が得られない。しかし、
例えば図３のＧS で示すよりに、隣接するパターン間が
短絡状態であると、プローブニードルＰ1 からプローブ
ニードルＰ2 ，Ｐ3 に向かって電流が流れることにな
り、短絡箇所ＧS の位置に対応した信号を得ることがで
きる。そこで、プローブニードルＰ2 ，Ｐ3 からの信号
に基づいて短絡位置を特定してゆく。
接するパターン間が短絡状態でなければ、プローブニー
ドルＰ2 ，Ｐ3 からは何の信号が得られない。しかし、
例えば図３のＧS で示すよりに、隣接するパターン間が
短絡状態であると、プローブニードルＰ1 からプローブ
ニードルＰ2 ，Ｐ3 に向かって電流が流れることにな
り、短絡箇所ＧS の位置に対応した信号を得ることがで
きる。そこで、プローブニードルＰ2 ，Ｐ3 からの信号
に基づいて短絡位置を特定してゆく。
【００２０】図６は、別の種類のＩ．Ｔ．Ｏパターンに
ついて図示したものである。このようなＩ．Ｔ．Ｏパタ
ーンを有するＬＣＤ基板８の場合には、先ず〔オープン
測定〕において、パターンＰＡＴ１，ＰＡＴ２につい
て図６の上下方向になぞり検査をし、ＬＣＤ基板８を
左方向に移動させた後、パターンＰＡＴ３，ＰＡＴ４に
ついてなぞり検査をし、更にＬＣＤ基板８を左方向に
移動させた後、パターンＰＡＴ５，ＰＡＴ６についてな
ぞり検査をする。
ついて図示したものである。このようなＩ．Ｔ．Ｏパタ
ーンを有するＬＣＤ基板８の場合には、先ず〔オープン
測定〕において、パターンＰＡＴ１，ＰＡＴ２につい
て図６の上下方向になぞり検査をし、ＬＣＤ基板８を
左方向に移動させた後、パターンＰＡＴ３，ＰＡＴ４に
ついてなぞり検査をし、更にＬＣＤ基板８を左方向に
移動させた後、パターンＰＡＴ５，ＰＡＴ６についてな
ぞり検査をする。
【００２１】また、〔ショート・ショート位置測定〕も
同様であって、３本のプローブニードルＰ1 ，Ｐ2 ，Ｐ
3 によって、ＰＡＴ１〜ＰＡＴ２と、ＰＡＴ３〜ＰＡＴ
４と、ＰＡＴ５〜ＰＡＴ６とをなぞってゆく。つまり、
合計６回のなぞりによって〔オープン測定〕と〔ショー
ト・ショート位置測定〕が完了する。
同様であって、３本のプローブニードルＰ1 ，Ｐ2 ，Ｐ
3 によって、ＰＡＴ１〜ＰＡＴ２と、ＰＡＴ３〜ＰＡＴ
４と、ＰＡＴ５〜ＰＡＴ６とをなぞってゆく。つまり、
合計６回のなぞりによって〔オープン測定〕と〔ショー
ト・ショート位置測定〕が完了する。
【００２２】図７は、更に別の種類のＩ．Ｔ．Ｏパター
ンについて図示したものである。このようなＩ．Ｔ．Ｏ
パターンを有するＬＣＤ基板の場合には、ベタプローブ
２，２’を２つ設けて、左右のＩ．Ｔ．Ｏパターンを別
々に検査してゆく。
ンについて図示したものである。このようなＩ．Ｔ．Ｏ
パターンを有するＬＣＤ基板の場合には、ベタプローブ
２，２’を２つ設けて、左右のＩ．Ｔ．Ｏパターンを別
々に検査してゆく。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、この発明に係る導
電膜検査装置は、第１の検出電極と、第２の検出電極
と、信号供給部と、判定部とで構成されており、第２の
検出電極を特徴的に備えている。すなわち、第２の検出
電極は、第１の検出電極と接触している導電膜パターン
を含んだ適当個数の導電膜パターンを一端部において常
に短絡状態にするので、導電膜パターンのピッチが場所
によって相違することがあっても、なぞり方式によって
導電膜パターンの良否を判定することができる。
電膜検査装置は、第１の検出電極と、第２の検出電極
と、信号供給部と、判定部とで構成されており、第２の
検出電極を特徴的に備えている。すなわち、第２の検出
電極は、第１の検出電極と接触している導電膜パターン
を含んだ適当個数の導電膜パターンを一端部において常
に短絡状態にするので、導電膜パターンのピッチが場所
によって相違することがあっても、なぞり方式によって
導電膜パターンの良否を判定することができる。
【図１】この発明の一実施例である導電膜検査装置につ
いて特徴部分を示す概略図である。
いて特徴部分を示す概略図である。
【図２】図１の装置のブロック図を図示したものであ
る。
る。
【図３】ＬＣＤ基板のＩ．Ｔ．Ｏパターンの一例を図示
したものである。
したものである。
【図４】図２に示すブロック図の各部の波形を図示した
ものである。
ものである。
【図５】図２に示すブロック図の各部の波形を図示した
ものである。
ものである。
【図６】ＬＣＤ基板のＩ．Ｔ．Ｏパターンの別の一例を
図示したものである。
図示したものである。
【図７】ＬＣＤ基板のＩ．Ｔ．Ｏパターンの更に別の一
例を図示したものである。
例を図示したものである。
【図８】従来の導電膜検査装置の動作を説明する為の図
面である。
面である。
２ ベタプローブ（第２の検出電極） ３ プローブニードル（第１の検出電極） ８ ＬＣＤ基板 ９ モータ １０ モータドライバ １１ パルスゼネレータ １２ タイミングパルス発生部 １３ 電圧供給部 １４ 増幅部 １５ 判断部 ＢＰ 基準パルス ＴＰ タイミングパルス ＶTP 検査電圧 ＶO 検出電圧
Claims (1)
- 【請求項１】 複数個の導電膜パターンを備える基板に
ついて、なぞり方式によって各導電膜パターンの良否を
検査する導電膜検査装置であって、 前記各導電膜パターンと時間順次に接触するように、前
記導電膜パターンとの間で相対移動する第１の検出電極
と、 この第１の検出電極と接触状態にある導電膜パターンを
含む適当個数の導電膜パターンについて、その導電膜パ
ターンの一端部を互いに接触させる第２の検出電極と、 前記第１の検出電極が前記各導電膜パターンに接触する
タイミングに同期して、前記第１または第２の検出電極
の一方側に対して電気信号を供給する信号供給部と、 前記第１または第２の検出電極の他方側から得られる信
号に基づいて、前記各導電膜パターンの良否を判定する
判定部とを備えることを特徴とする導電膜検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5085746A JPH06273468A (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 導電膜検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5085746A JPH06273468A (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 導電膜検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06273468A true JPH06273468A (ja) | 1994-09-30 |
Family
ID=13867420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5085746A Withdrawn JPH06273468A (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 導電膜検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06273468A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006112543A1 (ja) * | 2005-04-19 | 2006-10-26 | Oht Inc. | 検査装置および導電パターン検査方法 |
| CN111326432A (zh) * | 2018-12-17 | 2020-06-23 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 导线与胶膜粘合质量识别装置 |
-
1993
- 1993-03-18 JP JP5085746A patent/JPH06273468A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006112543A1 (ja) * | 2005-04-19 | 2006-10-26 | Oht Inc. | 検査装置および導電パターン検査方法 |
| CN111326432A (zh) * | 2018-12-17 | 2020-06-23 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 导线与胶膜粘合质量识别装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000530 |