JPH06274813A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】機械加工によりコア材に誘発される加工ひずみ
及び変質層を取り除き、再生効率が良好で、かつばらつ
きの小さな磁気ヘッドの製造方法を提供すること。 【構成】磁気ヘッドの製造工程において、切削、切断、
研磨等の機械加工工程終了後、該機械加工面にイオンビ
ームエッチングを施す。 【効果】磁気ヘッドの製造工程における、ヘッドチップ
切断工程等の機械加工によって加工ひずみ及び汚染層が
誘発された、所謂加工変質層をイオンビームエッチング
法によって除去する。これにより、従来の磁気ヘッドの
製造方法をほとんど変更せずに、再生効率が良好で、か
つばらつきの小さな磁気ヘッドを得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はＶＴＲ等の磁気ヘッドの
製造方法に係り、とくに再生効率の良好な磁気ヘッドの
製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＶＴＲ等に用いられている磁気ヘ
ッドには、主に単結晶フェライト等のバルク磁性材料が
用いられてきた。図１１は特開昭５６−６８９１４に記
載されたフェライトヘッドを示したものである。図１１
において、コア部片３、３’はＭｎＺｎフェライト等か
らなり、５に示す作動ギャップにＳｉＯ₂ 等のギャップ
材を介し、４、４’に示す充填ガラスによって接合され
ている。６は信号コイル巻線用の窓である。以下に、製
造工程を記す。

【０００３】まず、図１２に示すように、ＭｎＺｎフェ
ライト等より、巻線用窓１３を形成した所定形状のコア
ブロック１１、１１’を作り、それぞれのギャップ突合
せ面においてこのコアブロック１１、１１’の長手方向
に対して垂直方向にトラック幅ｔを規制する溝１２を形
成し、該ギャップ突合せ面を鏡面研磨した後、この一対
のコアブロック１１、１１’をガラス融着により接合一
体化して、コアブロック１４を得る。つぎに、図１３中
一点鎖線で示す垂直面でコアブロック１４を切断し、図
１１のようなヘッドチップを得る。

【０００４】以上の工程は磁気ヘッドの製造にごく一般
的に用いられている方法であり、他の磁気ヘッドの製造
工程も図４〜図８に示した製造方法と類似している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の製造方法では、
トラック幅を規制する溝を入れる工程、巻線窓用溝をい
れる工程、磁気ヘッドチップを切り出す工程、ギャップ
突合せ面の鏡面研磨工程等の機械加工を行う際に、コア
材に加工ひずみが誘発されることが多く、それに伴い逆
磁歪効果により磁気コアの透磁率が低下し、磁気ヘッド
の性能低下、及びそのばらつきが大きくなるという問題
があった。特にこの状況は磁歪定数の大きな単結晶フェ
ライトを用いた磁気ヘッドで顕著であり、深刻な問題と
なっていた。また、金属磁性材料により主磁路が構成さ
れる磁気ヘッドにおいても、該金属磁性材料に機械加工
による汚染に起因する変質層が生じ、これに伴う磁気ヘ
ッドの性能低下、及びそのばらつき幅の増大といった問
題があった。

【０００６】本発明は、従来の製造方法をほとんど変更
せずに、加工変質層を取り除き、磁気コアの透磁率が高
い、引いては再生効率が良好で、かつばらつき幅の小さ
な磁気ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明では、従来の製造
方法における機械加工にともなって生じる加工ひずみ、
及び加工面の汚染に注目し、その対策を講じたものであ
る。

【０００８】すなわち本発明の磁気ヘッドの製造方法で
は、機械加工により加工ひずみ及び汚染層が誘発され
た、所謂加工変質層をイオンビームエッチング法により
除去する。

【０００９】

【作用】機械加工により磁気コアに生じた加工変質層は
その加工面にイオンビームによるエッチングを施すこと
によって取り除かれ、磁気コアの透磁率の低下を防止で
きる。これにより、性能のばらつきが少なく、かつ再生
効率の良好な磁気ヘッドを得ることができる。本発明に
よる磁気ヘッドの製造方法によれば、従来の製造方法を
ほとんど変更せずに、性能のばらつきが少なく、かつ性
能が良好な磁気ヘッドを得ることができる。

【００１０】

【実施例】以下に本発明を実施例によって説明する。

【００１１】（第１の実施例）図２に、本発明を適用し
たフェライトヘッドを示す。図２においてコア部片３、
３’は単結晶フェライトからなり、５に示す作動ギャッ
プにＳｉＯ₂ 等のギャップ材を介し、４、４’に示す充
填ガラスによって接合されている。６は信号コイル巻線
用の窓である。図２に示すフェライトヘッドの上部ａ面
が磁気テープとの摺動面である。図２に示すように摺動
幅ｗ１がリア側の幅ｗ２よりも小さくなっており、これ
により磁気テープと磁気ヘッドの接触状態を向上させ、
かつ再生効率、チップ強度を確保している。

【００１２】以下に、このフェライトヘッドの製造方法
を述べる。

【００１３】（第１工程）図４に示すようにフェライト
からなるコア部片１１を用意し、該コア部片１１にダイ
サー加工等でトラック幅規制溝１２を入れる。この溝を
形成する際、フロント１１ａ側を適当な角度上方に傾
け、該フロント１１ａ側からリア１１ｂ側に向かってト
ラック幅規制溝１２が徐々に浅くなるように切削加工す
る。

【００１４】（第２工程）図５に示すようにコア部片１
１に磁性媒体との摺動面となる面ａに平行となる方向に
巻線窓用溝１３を切削加工する。

【００１５】（第３工程）第１工程によってできたコア
部片１１と、第２工程によってできたコア部片１１’の
作動ギャップ対向面を鏡面加工する。

【００１６】（第４工程）第３工程によってできたコア
部片１１及び１１’を、図６に示すように上記作動ギャ
ップ対向面をＳｉＯ₂ 等のギャップ材を介して相対峙さ
せ、ガラス融着等により接合一体化させ、コア部片１４
を得る。

【００１７】（第５工程）図７に示すように、第３工程
によってできたコア部片１４に、ギャップ突合せ面に垂
直となる方向にダイサー加工等で摺動幅狭小化用溝１５
を所定の深さｄだけ入れる。

【００１８】（第６工程）第４工程によって得られたコ
ア部片１４の磁性媒体との摺動面を円研した後にギャッ
プ突合せ面に垂直な面、すなわち図８中のｇｈｉｊ面や
ｇ'ｈ’ｉ’ｊ’面に沿って切断し、ヘッドチップを得
る。

【００１９】（第７工程）図２に示すフェライトヘッド
チップ２の側面ｂを上にして、図１のようにトレー１の
上に並べ、側面ｂに例えばＡｒイオンビームによるエッ
チングを施す。つぎに、前記フェライトヘッドチップ２
のもう一方の側面ｂを上にして図１のようにトレー１の
上に並べ、側面ｃに例えばＡｒイオンビームによるエッ
チングを施す。

【００２０】以上の方法によれば、従来の磁気ヘッドの
製造方法をほとんど変更せずに、機械加工によりフェラ
イトに生じる加工ひずみを取り除くことができる。

【００２１】このようにして得られたフェライトヘッド
について摺動面の円研を行ない所定のギャップ深さを
得、所定の巻き数だけ信号コイルを巻線して再生出力を
測定したところ、エッチング量と再生出力のばらつき幅
の関係は図１０のようになった。エッチング量の増加と
共に再生出力は向上し、エッチング量：１μｍ以上で飽
和する。さらに、Ａｒイオンビームによるエッチングを
施さない従来ヘッドの再生出力のばらつき幅が約３ｄＢ
程度であるのに対して、Ａｒイオンビームによるエッチ
ングを施した本発明によりなるフェライトヘッドの同ば
らつき幅は約１ｄＢであった。また、従来フェライトヘ
ッドにくらべ、本発明によるフェライトヘッドの再生出
力の平均値は、１．５ｄＢ程度高かった。

【００２２】以上のように、本発明の製造方法を適用し
て製造したフェライトヘッドは従来の製造方法によって
得られるフェライトヘッドにくらべ、良好なものであっ
た。

【００２３】（第２の実施例）図２に示すようなフェラ
イトヘッドの製造方法を第１の実施例において紹介し
た。この製造方法における第３工程によって出来上がっ
たコア部片１１と１１’を、それぞれｅ面とｆ面を上に
して図９に示すようにトレー１の上に並べ、コア部片１
１のｅ面及びコア部片１１’のｆ面に例えばＡｒイオン
ビームによるエッチングを施す。この後に、第１の実施
例で紹介した磁気ヘッドの製造方法における第４〜６工
程を行なう。以上の方法によれば、第１及び第２の実施
例と同様に、従来の磁気ヘッドの製造方法をほとんど変
更せずに、機械加工によりフェライトに生じる加工ひず
みを取り除くことができ、さらにコア部片１１と１１’
の付き合わせ面に生じる加工ひずみを取り除くことがで
きる。

【００２４】この様にして得られたヘッドについても摺
動面の円研を行ない所定のギャップ深さを得、所定の巻
き数だけ信号コイルを巻線して再生出力の測定を行なっ
たところ、第１の実施例と同様に良好なヘッドを得るこ
とができた。

【００２５】（第３の実施例）図３に、本発明を適用し
たフェライトと金属磁性膜の複合型ヘッドの外観斜視図
を示す。図３においてコア部片３、３’はフェライトか
らなり、５に示す作動ギャップにＳｉＯ₂ 等のギャップ
材を介し、４、４’に示す充填ガラスによって接合され
ている。６は信号コイル巻線用の窓である。７は例えば
ＣｏＮｂＺｒ等の金属磁性膜である。図３に示すような
フェライトと金属磁性膜との複合型ヘッドについても、
第２の実施例と同様にＡｒイオンビームによるエッチン
グを施した。以上の方法によれば、従来の磁気ヘッドの
製造方法をほとんど変更せずに、機械加工によりフェラ
イトに生じる加工ひずみと、鏡面研磨工程によりギャッ
プ突き合わせ面の金属磁性材料に生じる汚染層を取り除
くことができる。

【００２６】この様にして得られたヘッドについても摺
動面の円研を行ない所定のギャップ深さを得、所定の巻
き数だけ信号コイルを巻線して再生出力の測定を行なっ
たところ、第１及び第２の実施例と同様に良好なヘッド
を得ることができた。

【００２７】（第４の実施例）本発明は、主磁路が金属
磁性材料により構成された磁気ヘッドにも適用できる。
すなわち、該磁気ヘッドの製造工程において、第２の実
施例と同様に、ギャップ突き合わせ面の鏡面研磨工程
後、該ギャップ突合せ面にＡｒイオンビームによるエッ
チングを施す。これにより、金属磁性材料に生じる汚染
層を取り除くことができる。

【００２８】この様にして得られたヘッドについても摺
動面の円研を行ない、所定のギャップ深さを得、所定の
巻き数だけ信号コイルを巻線して再生出力の測定を行な
ったところ、第１、第２、及び第３の実施例と同様に良
好なヘッドを得ることができた。

【００２９】以上の第１、第２、第３、及び第４の実施
例においてはイオンビームとしてＡｒイオンを使用した
が、Ａｒイオンの代わりに例えばＡｒ＋Ｏ₂ 等を用いて
もよい。

【００３０】また、本発明は、第１、第３、及び第４の
実施例に挙げたヘッドのほかに、各種のフェライトヘッ
ド、フェライトと金属磁性材料からなる各種の複合型ヘ
ッド、及び金属磁性材料を主磁路とする各種のヘッドの
製造方法にも適用できる。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、機
械加工により加工ひずみ及び汚染層が誘発された、所謂
加工変質層をイオンビームエッチング法により除去する
ので、性能のばらつきが少なく、かつ再生効率が良好な
磁気ヘッドを得ることができる。さらに本発明によれ
ば、従来の磁気ヘッドの製造方法をほとんど変更するこ
となしに良好な磁気ヘッドを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による磁気ヘッドの製造方法の第１の実
施例においてヘッドチップにイオンビームエッチングを
施す工程を示す外観斜視図である。

【図２】本発明を適用したフェライトヘッドを示す外観
斜視図である。

【図３】フェライトと金属磁性材料の複合型ヘッドの一
例を示す外観斜視図である。

【図４】本発明を適用したフェライトヘッドの製造方法
においてトラック幅規制溝をフェライト基板にいれる工
程を示す外観斜視図である。

【図５】巻線溝をいれる工程を示す外観斜視図である。

【図６】左右両コアを接合する工程を示す外観斜視図で
ある。

【図７】摺動幅を狭小化する工程を示す外観斜視図であ
る。

【図８】ヘッドチップ切断工程を示す外観斜視図であ
る。

【図９】本発明による磁気ヘッドの製造方法の第３の実
施例においてコアブロックにイオンビームエッチングを
施す工程を示す外観斜視図である。

【図１０】本発明による磁気ヘッドの製造方法によるフ
ェライトヘッドのイオンビームエッチング量と再生出力
のばらつき幅の関係を示すグラフである。

【図１１】従来のフェライトヘッドの一例を示す外観斜
視図である。

【図１２】従来の磁気ヘッドの製造工程において、左右
両コアを接合する工程を示す外観斜視図である。

【図１３】従来の磁気ヘッドの製造工程において、ヘッ
ドチップ切断工程を示す外観斜視図である。

【符号の説明】

１…トレー、２…ヘッドチップ、３、３’、１１、１
１’、１４…コア部片、５…作動ギャップ、６…コイル
巻線窓、７…金属磁性膜。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】磁性フェライトにより主磁路が構成される
   磁気ヘッドの製造方法において、該磁気ヘッドの製造工
   程が、切削、切断、研磨等の機械加工工程終了後、該機
   械加工面にイオンビームエッチングを施す工程を含むこ
   とを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】請求項１記載の磁気ヘッドの製造方法にお
   いて、該機械加工がチップ切断工程であり、ヘッドチッ
   プ側面にイオンビームエッチングを施すことを特徴とす
   る磁気ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】請求項１記載の磁気ヘッドの主磁路が磁性
   フェライトと金属磁性材料により構成されていることを
   特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
4. 【請求項４】請求項１記載の磁気ヘッドの主磁路が金属
   磁性材料により構成されていることを特徴とする磁気ヘ
   ッドの製造方法。