JPH06290456A - 保護膜生成方法及び保護膜生成装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】平面を有する物体の表面に液体硬化剤を付着さ
せて物体の平面に保護膜を生成する保護膜生成方法及び
保護膜生成装置において、液体硬化剤の飛散を低減す
る。 【構成】物体ＤＩＳＣの平面に液体硬化剤４を塗布した
後、当該物体ＤＩＳＣを液体硬化剤４の塗布平面に対し
てほぼ法線方向に伸びる軸を中心として回転させ、平面
に塗布された液体硬化剤４を引き伸ばすようにしたこと
により、液体硬化剤の飛散量を格段的に低減し得る保護
膜生成方法及び保護膜生成装置を実現できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【目次】以下の順序で本発明を説明する。 産業上の利用分野 従来の技術（図６） 発明が解決しようとする課題（図６） 課題を解決するための手段（図１及び図５） 作用（図１及び図５） 実施例（図１〜図５） 発明の効果

【０００２】

【産業上の利用分野】本発明は保護膜生成方法及び保護
膜生成装置に関し、例えば所定の情報を光磁気記録する
ようになされたデイスク状記録媒体の保護膜生成方法及
び保護膜生成装置に適用して好適なものである。

【０００３】

【従来の技術】従来、この種のデイスク状記録媒体（以
下これをデイスクと呼ぶ）においては、表面に保護膜を
生成するようになされており、この保護膜を生成するコ
ート剤（液体硬化剤）の塗布工程として図６に示す方法
が考えられている。

【０００４】すなわち図６（Ａ）においてデイスク保持
部２上にデイスクＤＩＳＣを保持した後、図６（Ｂ）に
示すように当該デイスクＤＩＳＣを矢印ａ方向に回転さ
せながら当該デイスクＤＩＳＣの表面内周側に滴下部３
によつて、粘度27〜30[cp]の比較的低粘度でなるコート
剤４を滴下する。

【０００５】このようにしてデイスクＤＩＳＣの表面内
周側にほぼ１回転分のコート剤４が滴下された後（図４
（Ｃ））、当該デイスクＤＩＳＣを矢印ａ方向に約２〜
３秒間高速回転させることにより当該内周側に滴下され
たコード剤４が図４（Ｄ）に示すように外周側に引き伸
ばされ、均一に塗布された状態となる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、かかる方法
によつて保護膜を生成しようとすると比較的低粘度でな
るコート剤４が塗布されたデイスクＤＩＳＣを高速回転
させる分、コート剤の飛散が多くなり、当該コート剤の
塗布装置が設けられたクリーンルーム内に細かい霧状の
コート剤が飛散するといつた問題があり、コート剤の回
収及び濾化装置が必要であつた。

【０００７】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、コート剤の飛散を低減すると共に塗布工程に要する
時間を短縮化し得る保護膜生成方法及び保護膜生成装置
を提案しようとするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、平面を有する物体ＤＩＳＣの表面
に液体硬化剤４を付着させて物体ＤＩＳＣの平面に保護
膜を生成する保護膜生成方法において、液体硬化剤４を
物体ＤＩＳＣの平面に塗布し、物体ＤＩＳＣを、液体硬
化剤４を塗布した平面に対して法線方向に伸びる軸を中
心として、所定時間回転させるようにする。

【０００９】また本発明においては、平面を有する物体
ＤＩＳＣの表面に液体硬化剤４を付着させて物体ＤＩＳ
Ｃの平面に保護膜を生成する保護膜生成装置１０におい
て、液体硬化剤４を物体ＤＩＳＣの平面に塗布する液剤
塗布手段１９と、物体ＤＩＳＣを固定する物体固定手段
１３と、物体固定手段１３に枢着し、物体ＤＩＳＣの液
体硬化剤４を塗布した平面に対して法線方向に伸びる軸
を中心として物体固定手段１３を回転させる回転手段２
１、２２とを備え、液剤塗布手段１９によつて物体ＤＩ
ＳＣの平面に液体硬化剤４を塗布した後、回転手段２
１、２２によつて物体固定手段１３を回転させるように
する。

【００１０】また本発明においては、液剤塗布手段１９
は、物体ＤＩＳＣの液体硬化剤４を塗布する平面のう
ち、液体硬化剤４を塗布する所定領域において液体硬化
剤４を透過するスクリーン１９Ｂと、スクリーン１９Ｂ
上の少なくとも液体硬化剤４を透過させる位置に液体硬
化剤４を分散させる分散手段１９Ｃとを備えるようにす
る。

【００１１】

【作用】物体ＤＩＳＣの平面にスクリーン１９Ｂを介し
て液体硬化剤４を分散させて塗布した後、物体ＤＩＳＣ
を液体硬化剤４を塗布した平面に対して法線方向に伸び
る軸を中心として回転させることにより、当該回転によ
る当該液体硬化剤４の引き伸ばし量を少なくすることが
できる。従つて粘度の高い液体硬化剤を用いることがで
き、この結果物体ＤＩＳＣを回転させる際の液体硬化剤
４の飛散を格段的に低減することができる。

【００１２】

【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。

【００１３】図１において１０は全体として保護膜生成
装置を示し、基台１１上にインデツクステーブル１２が
矢印ｂで示す方向に回動し得るように支持されている。
このインデツクステーブル１２にはほぼ60度間隔で一対
のデイスク受け治具１３が配置されている。

【００１４】また基台１１上には供給テーブル１５が設
けられており、当該供給テーブル１５には６本のスタツ
キングポールにそれぞれ複数のデイスクＤＩＳＣが収納
されている。

【００１５】また基板１１上には供給テーブル１５に収
納されたデイスクＤＩＳＣをインデツクステーブル１２
のデイスク受け治具に搬送するための直動搬送装置１６
が設けられている。この直動搬送装置１６は２つのデイ
スクＤＩＳＣを吸着保持する２つの吸着ヘツドが設けら
れた搬送部１６Ａ及び、当該搬送部１６Ａを矢印ｃで示
す方向に移動するための駆動部１６Ｂを有し、搬送部１
６Ａの２つの吸着ヘツドによつて供給テーブル１５の１
本のスタツキングポールから２枚のデイスクＤＩＳＣを
取り、当該搬送部１６Ａを矢印ｃで示す方向に移動させ
ることにより、当該デイスクＤＩＳＣをデイスク受け治
具１３上に移動させることができる。

【００１６】またデイスク受け治具１３上に移動された
デイスクＤＩＳＣは、インデツクステーブル１２を矢印
ｂ方向に回動させることにより、印刷部１９に移動す
る。

【００１７】ここで図２は印刷部１９を示し、出力軸４
７を矢印ｈで示す方向又はこれとは逆方向に駆動するシ
リンダ４８の当該出力軸４７に吸着ブロツク４５に固定
された突起部４６が固定されている。また吸着ブロツク
４５には吸着ブロツク４４及び４２が固定され、シリン
ダ４８によつて出力軸４７を矢印ｈで示す方向又はこれ
とは逆方向に駆動することにより、当該吸着ブロツク４
５、４４及び４２を同様の方向に上下動し得るようにな
されている。

【００１８】各吸着ブロツク４５、４４及び４２内には
それぞれ真空路４５Ａ、４４Ａ及び４２Ａが連通するよ
うに形成されており、当該吸着ブロツク４５、４４及び
４２を矢印ｈで示す方向に移動させることにより、この
とき印刷部１９まで移動したデイスク受け治具１３の下
側面に吸着ブロツク４２を当接する。このとき吸着ブロ
ツク４２の真空路４２Ａ及びデイスク受け治具１３の真
空路４１を連通させ、真空ポンプによつて真空圧を与え
ることにより、デイスク受け治具１３上に載置されたデ
イスクＤＩＳＣを吸着保持する。ここで当該デイスクＤ
ＩＳＣはセンタホールピン４３によつて位置決めされて
いる。

【００１９】この状態において印刷部１９のスクリーン
保持部１９Ａが矢印ｇで示す方向に下降し、当該スクリ
ーン保持部１９ＡをデイスクＤＩＳＣの表面に当接した
ところでデイスクＤＩＳＣ表面にコート剤をスクリーン
印刷の手法を用いて塗布する。

【００２０】このようにして印刷部１９に移動した２つ
のデイスク受け治具１３上のデイスクＤＩＳＣに対して
それぞれコート剤を塗布した後、インデツクステーブル
１２（図１）を矢印ｂで示す方向に回動することによ
り、当該２つのデイスク受け治具１３に保持された２つ
のデイスクＤＩＳＣのうち、第１のデイスクを第１のス
ピンナ２１まで移動させる。

【００２１】ここで図３はスピンナ２１を示し、出力軸
５７を矢印ｈで示す方向又はこれとは逆方向に駆動する
シリンダ５８の当該出力軸５７に吸着ブロツク５５に固
定された突起部５６が固定されている。また吸着ブロツ
ク５５には吸着ブロツク５４及び５２が固定され、シリ
ンダ５８によつて出力軸５７を矢印ｈで示す方向又はこ
れとは逆方向に駆動することにより、当該吸着ブロツク
５５、５４及び５２を同様の方向に上下動し得るように
なされている。

【００２２】各吸着ブロツク５５、５４及び５２内には
それぞれ真空路５５Ａ、５４Ａ及び５２Ａが連通するよ
うに形成されており、当該吸着ブロツク５５、５４及び
５２を矢印ｈで示す方向に移動させることにより、この
ときスピンナ２１まで移動したデイスク受け治具１３の
下側面に吸着ブロツク５２を当接する。このとき吸着ブ
ロツク５２の真空路５２Ａ及びデイスク受け治具１３の
真空路４１を連通させ、真空ポンプによつて真空圧を与
えることにより、デイスク受け治具１３上に載置された
デイスクＤＩＳＣを吸着保持する。ここで当該デイスク
ＤＩＳＣはセンタホールピン４３によつて位置決めされ
ている。

【００２３】この状態においてシリンダ５８によつてデ
イスク受け治具１３をさらに矢印ｈで示す方向に上昇さ
せ、デイスクＤＩＳＣを飛散防止カバー５９内に保持
し、吸着ブロツク５２を回転させるためのモータＭを回
転駆動することにより、吸着ブロツク５２と共にデイス
ク受け治具１３が一体に回転し、当該デイスク受け治具
１３上のデイスクＤＩＳＣを回転させることができる。

【００２４】ここでデイスクＤＩＳＣを約3000[rpm] 程
度の回転数で0.7 〜 1.0秒程度回転させることにより当
該デイスクＤＩＳＣ表面に塗布されたコート剤を引き伸
ばして均一化することができる。

【００２５】第１のデイスクＤＩＳＣをスピンナ２１に
よつて第１のデイスクＤＩＳＣを回転させた後、シリン
ダ５８（図３）を駆動することによつてデイスク受け治
具１３を矢印ｈに対して逆方向に下降させ、インデツク
ステーブル１２に収納すると、当該インデツクステーブ
ル１２はさらに矢印ｂで示す方向に回動し、第２のデイ
スクＤＩＳＣを第２のスピンナ２２まで移動する。

【００２６】第２のスピンナ２２は図３について上述し
た第１のスピンナ２１と同様の構成でなり、スピンナ２
１によつて回転した第１のデイスクに隣合う第２のデイ
スクを回転させ、当該デイスクの表面に塗布されたコー
ト剤を均一化することができる。

【００２７】このようにして近接して配置された一対の
デイスク受け治具１３にそれぞれ保持された２つのデイ
スクＤＩＳＣに対してスクリーン印刷によつて塗布され
たコート剤の均一化処理が終了すると、インデツクステ
ーブル１２がさらに矢印ｂ方向に回動し、当該一対のデ
イスクＤＩＳＣを紫外線（ＵＶ）照射部２３に移動す
る。

【００２８】このＵＶ照射部２３において一対のデイス
ク受け治具１３に保持された２つのデイスクＤＩＳＣに
対して紫外線を照射することにより、デイスク表面に塗
布されたコート剤を硬化させる。ここでＵＶランプの出
力は約３[kw]、最大照射時間は 2.5秒とする。

【００２９】この状態においてさらにインデツスクテー
ブル１２を矢印ｂ方向に回動することにより、当該紫外
線の照射処理を終了したデイスクＤＩＳＣを排出位置ま
で移動する。

【００３０】この排出位置には直動搬送装置２５が設け
られている。この直動搬送装置２５はデイスクを２枚同
時に吸着する吸着ヘツド２５Ａ及び当該吸着ヘツド２５
Ａを矢印ｄで示す方向に移動する駆動部２５Ｂによつて
構成されている。従つて排出位置にあるデイスクは吸着
ヘツド２５Ａによつて２枚同時に吸着保持され、インデ
ツクスコンベア２７上に搬送される。

【００３１】インデツステコンベア２７上に搬送された
デイスクＤＩＳＣは、当該インデツクスコンベア２７に
よつて矢印ｅで示す方向にピツチ送りされ、当該インデ
ツスクコンベア２７の先端部まで搬送されると、搬送装
置３３によつて続く検査装置３５に搬送される。

【００３２】すなわち搬送装置３３は回動軸３３Ａを中
心として第１の回動アーム３３Ｂ及び第２の回動アーム
３３Ｃが一体に矢印ｆで示す方向又はこれとは逆方向に
回動し得るようになされており、インデツクスコンベア
２７の先端部まで搬送されたデイスクＤＩＳＣを第１の
回動アーム３３Ｂが受け取り、これを検査装置３５に搬
送する。

【００３３】検査装置３５は、コート剤を塗布すること
によつて保護膜を形成したデイスクＤＩＳＣ表面のピン
ホール、傷等の検査を行い、当該検査が終了すると検査
済のデイスクＤＩＳＣは搬送装置３３の第２の回動アー
ム３３Ｃによつて排出テーブル３６に搬送される。

【００３４】排出テーブル３６は６分割のスタツキング
ポールによつて構成され、各スタツキングポールに複数
のデイスクＤＩＳＣを集積するようになされている。

【００３５】かくして供給テーブル１５からインデツク
ステーブル１２に供給されたデイスクＤＩＳＣは、当該
インデツクステーブル１２によつて印刷部１９、スピン
ナ２１又は２２、紫外線照射部２３を順次介することに
より、表面に保護膜を形成することができる。

【００３６】ここで図４はインデツクステーブル１２に
設けられた複数のデイスク受け治具１３を用いて複数の
デイスクＤＩＳＣに対して順次保護膜を形成するシーケ
ンスを示し、図４（Ａ）において近接して配置された一
対のデイスク受け治具１３（図１）に第１及び第２のデ
イスクＤ１及びＤ２を供給し、インデツステーブル１２
を矢印ｂ方向に回動する。これにより印刷部１９（図
１）に第１及び第２のデイスクＤＩＳＣが移動すると、
続くデイスク受け治具１３が供給位置まで移動すること
により、第３及び第４のデイスクＤ３及びＤ４をこれに
供給する（図４（Ｂ）。

【００３７】ここで第１及び第２のデイスクＤ１及びＤ
２に対してコート剤の塗布が終了すると、インデツクス
テーブル１２をさらに矢印ｂ方向に回動する。これによ
り図４（Ｃ）に示すように第１のデイスクＤ１がスピン
ナ２１（図１）まで移動すると共に、第３及び第４のデ
イスクＤ３及びＤ４が印刷部１９まで移動する。このと
き第３及び第４のデイスクＤ３及びＤ４を保持した一対
のデイスク受け治具１３に続く第５及び第６のデイスク
受け治具１３がデイスク供給位置まで移動することによ
り、当該供給位置にあるデイスク受け治具１３に第５及
び第６のデイスクＤ５及びＤ６を供給する。

【００３８】この状態において、第１のデイスクＤ１に
対するスピンナ２１による回転処理、第３及び第４のデ
イスクＤ３及びＤ４に対するコート剤の塗布がそれぞれ
終了すると、インデツスクテーブル１２をさらに矢印ｂ
方向に回動することにより、図４（Ｄ）に示すように第
２のデイスクＤ２がスピンナ２２（図１）まで移動する
と共に、第３のデイスクＤ３がスピンナ２１まで移動す
る。このとき第５及び第６のデイスクＤ５及びＤ６が印
刷部１９まで移動する。また第５及び第６のデイスクＤ
５及びＤ６を保持した一対のデイスク受け治具１３に続
く第７及び第８のデイスク受け治具がデイスク供給位置
まで移動することにより、当該供給位置にあるデイスク
受け治具１３に第７及び第８のデイスクＤ７及びＤ８を
供給する。

【００３９】この状態において、第２のデイスクＤ２に
対するスピンナ２２による回転処理、第３のデイスクＤ
３に対するスピンナ２１による回転処理、第５及び第６
のデイスクＤ５及びＤ６に対するコート剤の塗布がそれ
ぞれ終了すると、インデツスクテーブル１２をさらに矢
印ｂ方向に回動することにより、図４（Ｅ）に示すよう
に第１及び第２のデイスクＤ１及びＤ２が紫外線照射部
２３まで移動すると共に、第４のデイスクＤ４がスピン
ナ２２（図１）まで移動し、さらに第５のデイスクＤ５
がスピンナ２１まで移動する。このとき第７及び第８の
デイスクＤ７及びＤ８が印刷部１９まで移動すると共
に、第７及び第８のデイスクＤ７及びＤ８を保持した一
対のデイスク受け治具１３に続く第９及び第１０のデイ
スク受け治具がデイスク供給位置まで移動することによ
り、当該供給位置にあるデイスク受け治具１３に第９及
び第１０のデイスクＤ９及びＤ１０を供給する。

【００４０】この状態において、第１及び第２のデイス
クＤ１及びＤ２に対する紫外線照射処理、第４のデイス
クＤ４に対するスピンナ２２による回転処理、第５のデ
イスクＤ５に対するスピンナ２１による回転処理、第７
及び第８のデイスクＤ７及びＤ８に対するコート剤の塗
布がそれぞれ終了すると、インデツスクテーブル１２を
さらに矢印ｂ方向に回動することにより、図４（Ｆ）に
示すように第１及び体２のデイスクＤ１及びＤ２が排出
位置まで移動すると共に、第３及び第４のデイスクＤ３
及びＤ４が紫外線照射部２３まで移動し、さらに第６の
デイスクＤ６がスピンナ２２（図１）まで移動すると共
に第７のデイスクＤ７がスピンナ２１まで移動する。こ
のとき第９及び第１０のデイスクＤ９及びＤ１０が印刷
部１９まで移動すると共に、第９及び第１０のデイスク
Ｄ９及びＤ１０を保持した一対のデイスク受け治具１３
に続く第１１及び第１２のデイスク受け治具がデイスク
供給位置まで移動することにより、当該供給位置にある
デイスク受け治具１３に第１１及び第１２のデイスクＤ
１１及びＤ１２を供給する。

【００４１】このようにして、インデツスクテーブル１
２の各停止位置に対応して、デイスク供給部、印刷装置
１９、スピンナ２１及び２２、紫外線照射部２３及び排
出部を配置することにより、複数のデイスクＤＩＳＣに
対してそれぞれ異なつた処理を同時に施すことができ、
一定時間内に保護膜の生成処理をし得るデイスクの数を
格段的に増加させることができる。

【００４２】以上の構成において、図５に示すようにイ
ンデツスクテーブル１２のデイスク受け治具１３に供給
されたデイスクＤＩＳＣ（図５（Ａ））は、図５（Ｂ）
に示すように印刷部１９においてその表面にコート剤４
がスクリーン印刷の手法を用いて塗布される。

【００４３】印刷部１９はスクリーン保持部１９Ａに形
成されたスクリーン１９Ｂ（メツシユ 300〜380 ）に対
して分散塗布部材１９Ｃを用いてコート剤４（粘度 200
〜270[cp])を塗布することにより、スクリーン１９Ｂを
介して当該スクリーン１９Ｂに接したデイスクＤＩＳＣ
の表面にコート剤４が塗布される。

【００４４】この状態において図５（Ｃ）に示すよう
に、当該デイスクＤＩＳＣをスピンナ２１又は２２によ
つて矢印ａ方向に回転させることにより、当該デイスク
ＤＩＳＣの表面に塗布されたコート剤４が引き伸ばさ
れ、当該デイスク表面の外周方向に 0.5〜１[mm]程度移
動する。

【００４５】この結果図５（Ｄ）に示すように、デイス
クＤＩＳＣの表面においてスクリーン１９Ｂのメツシユ
跡が消え、ピンホールの発生が防止され、さらに当該コ
ート剤がデイスクＤＩＳＣの端面へ回り込むことによつ
て、当該デイスクＤＩＳＣの表面に予め形成されている
アルミ薄膜の剥離を防止することができる。

【００４６】このようにスクリーン印刷の手法を用いて
コート剤をデイクスＤＩＳＣの表面全体に塗布すること
により、スピンナ２１又は２２によつてデイスクＤＩＳ
Ｃを回転させた際に当該コート剤をピンホールを防止す
る程度（ 0.5〜１[mm]）だけ引き伸ばせば良く、この分
粘度の高いコート剤を用いることができると共に回転時
間も少なくすることができる。従つて低い粘度のコート
剤を用いる場合に比して、スピンナ２１又は２２によつ
てデイスクＤＩＳＣを回転させた際の当該コート剤の飛
散量を格段的に低減することができる。

【００４７】以上の構成によれば、スクリーン印刷の手
法を用いてデイスク表面に液体硬化剤を塗布した後、こ
れをスピンナ２１又は２２によつて回転させるようにし
たことにより、当該スピンナ２１又は２２による回転時
において液体硬化剤４の引き伸ばし量を少なくすること
ができる。従つてこの分粘度の高い液体硬化剤を用いる
ことができ、回転時における液体硬化剤の飛散量を格段
的に低減することができる。

【００４８】因にインデツスクテーブル１２の各停止位
置に対応して、デイスク供給部、印刷装置１９、スピン
ナ２１及び２２、紫外線照射部２３及び排出部を配置す
ることにより、複数のデイスクＤＩＳＣに対してそれぞ
れ異なつた処理を同時に施すことができ、一定時間内に
保護膜の生成処理をし得るデイスクの数を格段的に増加
させることができる。

【００４９】なお上述の実施例においては、所定の情報
を光磁気記録するようになされた光磁気デイスクＤＩＳ
Ｃの保護膜を生成する場合について述べたが、本発明は
これに限らず、種々のデイスク状部材にコート剤を塗布
する際に広く適用することができる。

【００５０】

【発明の効果】上述のように本発明によれば、物体の平
面に液体硬化剤を塗布した後、当該物体を液体硬化剤の
塗布平面に対してほぼ法線方向に伸びる軸を中心として
回転させ、平面に塗布された液体硬化剤を引き伸ばすよ
うにしたことにより、液体硬化剤の飛散量を格段的に低
減し得る保護膜生成方法及び保護膜生成装置を実現でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による保護膜生成装置の一実施例を示す
略線的平面図である。

【図２】印刷部の構成を示す断面図である。

【図３】スピンナの構成を示す断面図である。

【図４】保護膜生成装置のシーケンスを示す略線図であ
る。

【図５】保護膜生成工程を示す略線的斜視図である。

【図６】従来の保護膜生成方法を示す略線的斜視図であ
る。

【符号の説明】

１０……保護膜生成装置、１２……インデツクステーブ
ル、１３……デイスク受け治具、１９……印刷部、２
１、２２……スピンナ、２３……紫外線照射部、ＤＩＳ
Ｃ……デイスク。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 橋本 正孚 神奈川県横浜市神奈川区三ツ沢中町６番地 18ホリウチフアーストビル203号株式会社 ホロン内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】平面を有する物体の表面に液体硬化剤を付
   着させて上記物体の平面に保護膜を生成する保護膜生成
   方法において、 上記液体硬化剤を上記物体の平面に塗布し、 上記物体を、上記液体硬化剤を塗布した上記平面に対し
   て法線方向に伸びる軸を中心として、所定時間回転させ
   るようにしたことを特徴とする保護膜生成方法。
2. 【請求項２】平面を有する物体の表面に液体硬化剤を付
   着させて上記物体の平面に保護膜を生成する保護膜生成
   装置において、 上記液体硬化剤を上記物体の平面に塗布する液剤塗布手
   段と、 上記物体を固定する物体固定手段と、 上記物体固定手段に枢着し、上記物体の上記液体硬化剤
   を塗布した上記平面に対して法線方向に伸びる軸を中心
   として上記物体固定手段を回転させる回転手段とを具
   え、上記液剤塗布手段によつて上記物体の平面に上記液
   体硬化剤を塗布した後、上記回転手段によつて上記物体
   固定手段を回転させるようにしたことを特徴とする保護
   膜生成装置。
3. 【請求項３】上記液剤塗布手段は、 上記物体の上記液体硬化剤を塗布する平面のうち、上記
   液体硬化剤を塗布する所定領域において上記液体硬化剤
   を透過するスクリーンと、 上記スクリーン上の少なくとも上記液体硬化剤を透過さ
   せる位置に上記液体硬化剤を分散させる分散手段とを具
   えることを特徴とする請求項２に記載の保護膜生成装
   置。