JPH0629160U - エキシマレーザ用ウインドウ - Google Patents
エキシマレーザ用ウインドウInfo
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- JPH0629160U JPH0629160U JP6880292U JP6880292U JPH0629160U JP H0629160 U JPH0629160 U JP H0629160U JP 6880292 U JP6880292 U JP 6880292U JP 6880292 U JP6880292 U JP 6880292U JP H0629160 U JPH0629160 U JP H0629160U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 エキシマレーザ装置のレーザチャンバ内に密
封されたレーザ媒質ガスの寿命を伸長する。 【構成】 レーザチャンバにゴム製のＯリング６を介し
て、ウインドウホルダ４および５により装着されたウイ
ンドウ２の、Ｏリング６との密接面に紫外光を透過しな
いアルミニウム膜１０を蒸着する。その上にアルミニウ
ム膜１０の酸化を防止するために、フッ化マグネシウム
膜１１を蒸着する。作動中、紫外光がウインドウ内で多
重反射してＯリング６に到達してもアルミニウム膜１０
のために遮光され、レーザ媒質ガス中のハロゲンガスと
Ｏリング６のゴム材との反応により不純物の発生を促進
することがなく、Ｏリング６自体の劣化を招くこともな
いため、レーザ出力の低下が少なく、レーザ媒質ガスの
寿命が伸長する。
封されたレーザ媒質ガスの寿命を伸長する。 【構成】 レーザチャンバにゴム製のＯリング６を介し
て、ウインドウホルダ４および５により装着されたウイ
ンドウ２の、Ｏリング６との密接面に紫外光を透過しな
いアルミニウム膜１０を蒸着する。その上にアルミニウ
ム膜１０の酸化を防止するために、フッ化マグネシウム
膜１１を蒸着する。作動中、紫外光がウインドウ内で多
重反射してＯリング６に到達してもアルミニウム膜１０
のために遮光され、レーザ媒質ガス中のハロゲンガスと
Ｏリング６のゴム材との反応により不純物の発生を促進
することがなく、Ｏリング６自体の劣化を招くこともな
いため、レーザ出力の低下が少なく、レーザ媒質ガスの
寿命が伸長する。
Description
【０００１】
本考案は、エキシマレーザ装置のレーザチャンバに装着された、レーザ光透過 ウインドウに関する。
【０００２】
図１はエキシマレーザ装置のブロック構成図であり、レーザ媒質ガスを密封す るレーザチャンバ１の両端にはレーザ光を取り出すためのウインドウ２a および ２b が装着されている。レーザチャンバ１の内部には励起電極３a および３b が 配設されており、レーザ光は点線のように進む。
【０００３】 エキシマレーザ用のウインドウは紫外光を透過する材料である必要があり、一 般にはフッ化カルシウムやフッ化マグネシウムが使用される。これらは非常に脆 い結晶材料なので、レーザ媒質ガスをレーザチャンバ内に密封するためのシール としてはメタルシールの使用は困難で、通常はゴム製のＯリングが使用される。
【０００４】 図２はウインドウ部の詳細図であり、１はレーザチャンバ、２はウインドウ、 ４および５はウインドウホルダ、６はＯリングである。
【０００５】
Ｏリングが封止しているレーザ媒質ガスは、非常に反応性に富んだハロゲンガ ス（塩化水素やフッ素）を含むため、わずかではあるがＯリングのゴム材料と反 応して不純物を発生し、レーザの出力を低下させる。
【０００６】 ウインドウは機械的強度が弱いため、あまり大きなものは使用しにくく、通常 、レーザビームぎりぎりの大きさのものが使用される。そのため、ウインドウの 外周に密接したＯリングに、図６の点線矢印に示すようにウインドウの表面およ び裏面より多重反射した紫外光が、余り減衰せずに照射され、前記の反応が促進 されて不純物がより多く発生する。
【０００７】 更に、Ｏリング自体も紫外光によって劣化し、ガス漏れを発生し、不純物の増 加と合わせてレーザ媒質ガスの寿命を低下させている。
【０００８】 本考案は上記の問題点に着目してなされたもので、不純物の発生を少なくして レーザ出力の低下を防止し、Ｏリング自体の劣化を少なくして、レーザ媒質ガス の寿命を伸長させるエキシマレーザ用ウインドウを提供することを目的としてい る。
【０００９】
上記の目的達成のため、本考案に係るエキシマレーザ用ウインドウの第１の考 案においては、レーザ発振器のレーザチャンバに、レーザ光取り出し用のウイン ドウをＯリングを介して装着してなるエキシマレーザ装置において、前記ウイン ドウが、前記Ｏリングとの密接面に、蒸着した紫外光を透過しない膜を具備せる ことを特徴としており、第２の考案においては、前記ウインドウに蒸着した前記 紫外光を透過しない膜の上に、被着した酸化保護膜を具備せることを特徴として いる。
【００１０】
上記構成によれば、レーザ光取り出し用のウインドウのＯリングとの密接面に 紫外光を透過しない膜を蒸着し、その膜の上に酸化保護膜を被着したため、紫外 光が直接Ｏリングに照射されるのを防止するとともに、紫外光の透過を防止する 膜が酸化することを防止する。
【００１１】
以下に本考案に係るエキシマレーザ用ウインドウの実施例について、図面を参 照して説明する。図３はウインドウ部の詳細断面図であり、２はウインドウ、４ および５はウインドウホルダ、６はゴム製のＯリングである。用いるレーザはエ キシマレーザの一種であるＫｒＦレーザである。
【００１２】 ウインドウ２のＯリング６との密接面には紫外光の透過を防止するアルミニウ ム膜１０を蒸着する。アルミニウムは空気中で酸化するので、その上に酸化防止 用のフッ化マグネシウム膜１１を蒸着する。
【００１３】 これにより、図６に示す多重反射による紫外光のゴム製Ｏリングに対する照射 が防止されるので、不純物の発生が促進されることなく、レーザ出力の低下が防 止でき、Ｏリング自体の劣化も防止できる。
【００１４】 図４は不純物の一例であるＣＦ4 の発生状況を示すグラフであり、横軸はレー ザ発振時間、縦軸はＣＦ4 濃度である。実線は本考案の場合、一点鎖線は従来の 場合を示し、図のごとく本考案のものは従来のものよりＣＦ4 の濃度は低い。
【００１５】 図５はレーザの平均出力の変化を示すグラフであり、横軸はレーザ発振時間、 縦軸はレーザの平均出力である。実線は本考案の場合、一点鎖線は従来の場合を 示し、図のごとく本考案のものは従来のものより出力低下が少ない。
【００１６】
以上説明したごとく、本考案は、エキシマレーザ装置のレーザチャンバに装着 された、レーザ光取り出し用のウインドウのＯリングとの密接面に、紫外光を透 過しない膜を蒸着し、その上に酸化防止膜を蒸着した。
【００１７】 そのため、ゴム製のＯリングに紫外光が直接照射されることはなく、従って、 不純物の発生はＯリングとハロゲンガスとのスタティックな反応分だけとなり、 紫外線により促進されることはない。
【００１８】 また、Ｏリングの劣化によるガスの漏れも防止でき、紫外光を透過しない膜自 体も酸化することがないため、レーザ媒質ガスの寿命を伸長できるエキシマレー ザ用ウインドウが得られる。
【図１】エキシマレーザのレーザチャンバのブロック構
成図である。
成図である。
【図２】レーザチャンバのウインドウ装着部の詳細断面
図である。
図である。
【図３】本考案のウインドウ部の詳細断面図である。
【図４】レーザ発振時間に対する不純物ＣＦ4 の濃度変
化状況を示すグラフである。
化状況を示すグラフである。
【図５】レーザ発振時間に対するレーザの平均出力低下
状況を示すグラフである。
状況を示すグラフである。
【図６】ウインドウ内の紫外光の光路の一例を示す図で
ある。
ある。
１ レーザチャンバ ６ Ｏリ
ング ２ ウインドウ １０ アル
ミニウム膜 ４、５ ウインドウホルダ １１ フッ
化マグネシウム膜
ング ２ ウインドウ １０ アル
ミニウム膜 ４、５ ウインドウホルダ １１ フッ
化マグネシウム膜
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ発振器のレーザチャンバに、レー
ザ光取り出し用のウインドウをＯリングを介して装着し
てなるエキシマレーザ装置において、前記ウインドウ
が、前記Ｏリングとの密接面に、蒸着した紫外光を透過
しない膜を具備せることを特徴とするエキシマレーザ用
ウインドウ。 - 【請求項２】 前記ウインドウに蒸着した前記紫外光を
透過しない膜の上に、被着した酸化保護膜を具備せるこ
とを特徴とする請求項１のエキシマレーザ用ウインド
ウ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6880292U JP2579539Y2 (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | エキシマレーザ用ウインドウ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6880292U JP2579539Y2 (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | エキシマレーザ用ウインドウ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0629160U true JPH0629160U (ja) | 1994-04-15 |
| JP2579539Y2 JP2579539Y2 (ja) | 1998-08-27 |
Family
ID=13384220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6880292U Expired - Lifetime JP2579539Y2 (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | エキシマレーザ用ウインドウ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2579539Y2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009158885A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-16 | Gigaphoton Inc | ガスレーザ用光学素子の緩衝手段及びそれを用いたガスレーザ装置 |
| WO2017199395A1 (ja) * | 2016-05-19 | 2017-11-23 | ギガフォトン株式会社 | 波長検出装置 |
| US10040700B2 (en) | 2015-03-11 | 2018-08-07 | Photoscience Japan Corporation | Ultraviolet treatment apparatus and light-shielding component therefor |
| WO2019207630A1 (ja) * | 2018-04-23 | 2019-10-31 | ギガフォトン株式会社 | レーザチャンバ、シール部材の製造方法、及び電子デバイスの製造方法 |
| JPWO2022009289A1 (ja) * | 2020-07-06 | 2022-01-13 | ||
| KR20230046634A (ko) * | 2021-09-30 | 2023-04-06 | 한국원자력연구원 | 핵연료 피복관 다차원 거동 실험 장치 |
| JP2024512543A (ja) * | 2021-03-23 | 2024-03-19 | コーニング インコーポレイテッド | レーザー光学素子用の覆われた阻止被膜 |
-
1992
- 1992-09-08 JP JP6880292U patent/JP2579539Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009158885A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-16 | Gigaphoton Inc | ガスレーザ用光学素子の緩衝手段及びそれを用いたガスレーザ装置 |
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| CN115702528A (zh) * | 2020-07-06 | 2023-02-14 | 极光先进雷射株式会社 | 气体激光装置和电子器件的制造方法 |
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| US12283786B2 (en) | 2020-07-06 | 2025-04-22 | Gigaphoton Inc. | Gas laser apparatus and electronic device manufacturing method |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2579539Y2 (ja) | 1998-08-27 |
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