JPH0629593A - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH0629593A JPH0629593A JP18425992A JP18425992A JPH0629593A JP H0629593 A JPH0629593 A JP H0629593A JP 18425992 A JP18425992 A JP 18425992A JP 18425992 A JP18425992 A JP 18425992A JP H0629593 A JPH0629593 A JP H0629593A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- space
- gas
- high voltage
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 容器の小形化が達成できるようにする。
【構成】 容器１１内に封入されて循環されるレーザガ
ス１６を、電源１７から高電圧が印加される電極１２，
１３間の放電により励起させるようにしたものにおい
て、容器１１内の高電圧導入部空間２０を放電部空間２
１から隔壁２２によって隔絶し、その高電圧導入部空間
２０に絶縁性の高いガス２３を封入することにより、高
電圧接続部１９と容器１１との絶縁をその絶縁性の高い
ガス２３により保つようにして、高電圧接続部１９と容
器１１との距離を大きくとる必要をなくし、その距離を
短縮化できるようにした。
ス１６を、電源１７から高電圧が印加される電極１２，
１３間の放電により励起させるようにしたものにおい
て、容器１１内の高電圧導入部空間２０を放電部空間２
１から隔壁２２によって隔絶し、その高電圧導入部空間
２０に絶縁性の高いガス２３を封入することにより、高
電圧接続部１９と容器１１との絶縁をその絶縁性の高い
ガス２３により保つようにして、高電圧接続部１９と容
器１１との距離を大きくとる必要をなくし、その距離を
短縮化できるようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザガスを高電圧の印
加により放電励起させるガスレーザ装置に関する。
加により放電励起させるガスレーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、この種のガスレーザ装置とし
て、図２に示すものが供されている。この図２におい
て、１は所定の容器を示しており、この容器１内に、上
下一対の電極２，３と、冷却器４、及び送風機５が設け
られ、レーザガス６が封入されている。又、電極２，３
には容器１外の電源７から高電圧が印加されるようにな
っている。
て、図２に示すものが供されている。この図２におい
て、１は所定の容器を示しており、この容器１内に、上
下一対の電極２，３と、冷却器４、及び送風機５が設け
られ、レーザガス６が封入されている。又、電極２，３
には容器１外の電源７から高電圧が印加されるようにな
っている。
【０００３】この構成で、送風機５が駆動されることに
より、レーザガス６が、電極２，３間及び冷却器４を通
して容器１内で循環され、その循環路中、電極２，３間
で、この電極２，３に印加された高電圧による放電によ
り励起されるようになっている。そして、図示はしない
が、放電部のガス流と直交する方向の両側に対向させて
設けられた共振器により、レーザ発振が行なわれ、レー
ザ光が得られるようになっている。
より、レーザガス６が、電極２，３間及び冷却器４を通
して容器１内で循環され、その循環路中、電極２，３間
で、この電極２，３に印加された高電圧による放電によ
り励起されるようになっている。そして、図示はしない
が、放電部のガス流と直交する方向の両側に対向させて
設けられた共振器により、レーザ発振が行なわれ、レー
ザ光が得られるようになっている。
【０００４】しかして、このものの場合、容器１は、機
械的強度並びに製造コストの面から、金属製とすること
が多い。このため、放電が電極２，３間で発生するのみ
ならず、電極２，３と容器１との間でも発生するおそれ
があり、それを防止するために、電極２，３間の距離に
比して、電極２，３と容器１との間の距離を充分に大き
くとる必要があった。特に、容器１内に高電圧を導入す
る部分では、ブッシング８を用いて容器１に対する電気
的絶縁を保つようにしているが、このブッシング８先端
での電極２との接続部９については、これと容器１との
距離を、電極２，３間の距離に比して充分に大きくとる
必要があった。
械的強度並びに製造コストの面から、金属製とすること
が多い。このため、放電が電極２，３間で発生するのみ
ならず、電極２，３と容器１との間でも発生するおそれ
があり、それを防止するために、電極２，３間の距離に
比して、電極２，３と容器１との間の距離を充分に大き
くとる必要があった。特に、容器１内に高電圧を導入す
る部分では、ブッシング８を用いて容器１に対する電気
的絶縁を保つようにしているが、このブッシング８先端
での電極２との接続部９については、これと容器１との
距離を、電極２，３間の距離に比して充分に大きくとる
必要があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
ものでは、容器１内の高電圧接続部９と容器１との距離
を充分に大きくとる必要があることから、容器１が大形
化し、ひいてはレーザ装置が全体に大形化するという問
題点を有していた。
ものでは、容器１内の高電圧接続部９と容器１との距離
を充分に大きくとる必要があることから、容器１が大形
化し、ひいてはレーザ装置が全体に大形化するという問
題点を有していた。
【０００６】本発明は上述の事情に鑑みてなされたもの
であり、従ってその目的は、容器内の高電圧接続部と容
器との距離を短縮化できて、容器の小形化を図ることの
できるガスレーザ装置を提供するにある。
であり、従ってその目的は、容器内の高電圧接続部と容
器との距離を短縮化できて、容器の小形化を図ることの
できるガスレーザ装置を提供するにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のガスレーザ装置においては、容器内の高電
圧接続部が存する高電圧導入部空間を放電部から隔絶
し、その高電圧導入部空間に絶縁性の高いガスを封入し
たことを特徴とする。
に、本発明のガスレーザ装置においては、容器内の高電
圧接続部が存する高電圧導入部空間を放電部から隔絶
し、その高電圧導入部空間に絶縁性の高いガスを封入し
たことを特徴とする。
【０００８】
【作用】上記手段によれば、容器内の高電圧接続部と容
器との絶縁は、放電部空間から隔絶した高電圧導入部空
間に封入した絶縁性の高いガスによって充分に保たれ
る。よって、その高電圧接続部と容器との距離を所望に
短縮化することができる。又、この場合、絶縁性の高い
ガスは高電圧導入部空間に封入され、その高電圧導入部
空間と隔絶した放電部空間に及ぶことがないので、電極
間の放電に影響することはない。
器との絶縁は、放電部空間から隔絶した高電圧導入部空
間に封入した絶縁性の高いガスによって充分に保たれ
る。よって、その高電圧接続部と容器との距離を所望に
短縮化することができる。又、この場合、絶縁性の高い
ガスは高電圧導入部空間に封入され、その高電圧導入部
空間と隔絶した放電部空間に及ぶことがないので、電極
間の放電に影響することはない。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例につき、図１を参照
して説明する。
して説明する。
【００１０】図１において、１１は金属製の所定の容器
を示しており、この容器１１内に、上下一対の電極１
２，１３と、冷却器１４、及び送風機１５を設け、レー
ザガス１６を封入している。又、電極１２，１３には容
器１１外の電源１７から高電圧を印加するようにしてい
る。この高電圧を容器１１内に導入する部分にはブッシ
ング１８を用いており、それによって容器１１に対する
電気的絶縁を保つようにしている。更に、その高電圧導
入部にはブッシング１８先端での電極１２との接続部１
９が存しており、容器１１内にあっては、その接続部１
９が存する高電圧導入部空間２０と電極１２，１３によ
る放電部空間２１とを、隔壁２２により別の室となるよ
うに隔絶し、その高電圧導入部空間２０に例えばＳＦ6
ガス等の絶縁性の高いガス２３を封入している。又、前
記レーザガス１６は容器１１内の放電部空間２１側に封
入している。
を示しており、この容器１１内に、上下一対の電極１
２，１３と、冷却器１４、及び送風機１５を設け、レー
ザガス１６を封入している。又、電極１２，１３には容
器１１外の電源１７から高電圧を印加するようにしてい
る。この高電圧を容器１１内に導入する部分にはブッシ
ング１８を用いており、それによって容器１１に対する
電気的絶縁を保つようにしている。更に、その高電圧導
入部にはブッシング１８先端での電極１２との接続部１
９が存しており、容器１１内にあっては、その接続部１
９が存する高電圧導入部空間２０と電極１２，１３によ
る放電部空間２１とを、隔壁２２により別の室となるよ
うに隔絶し、その高電圧導入部空間２０に例えばＳＦ6
ガス等の絶縁性の高いガス２３を封入している。又、前
記レーザガス１６は容器１１内の放電部空間２１側に封
入している。
【００１１】上記構成のものの場合、送風機１５が駆動
されることにより、レーザガス１６が、電極１２，１３
間及び冷却器１４を通して容器１１内の放電部空間２１
側で循環され、その循環路中、電極１２，１３間で、こ
の電極１２，１３に印加された高電圧による放電により
励起される。そして、図示はしないが、放電部のガス流
と直交する方向の両側に対向させて設けた共振器によ
り、レーザ発振を行ない、レーザ光を得る。
されることにより、レーザガス１６が、電極１２，１３
間及び冷却器１４を通して容器１１内の放電部空間２１
側で循環され、その循環路中、電極１２，１３間で、こ
の電極１２，１３に印加された高電圧による放電により
励起される。そして、図示はしないが、放電部のガス流
と直交する方向の両側に対向させて設けた共振器によ
り、レーザ発振を行ない、レーザ光を得る。
【００１２】しかして、容器１１内では高電圧接続部１
９が存する高電圧導入部空間２０を隔壁２２によって放
電部空間２１から隔絶し、その高電圧導入部空間２０に
絶縁性の高いガス２３を封入しているから、高電圧接続
部１９と容器１１との絶縁はその絶縁性の高いガス２３
によって保たれる。よって、その高電圧接続部１９と容
器１１との距離を従来のように大きくとる必要がなく、
その距離を短縮化できるから、容器１１を所望に小形化
でき、レーザ装置全体としても所望に小形化することが
できる。
９が存する高電圧導入部空間２０を隔壁２２によって放
電部空間２１から隔絶し、その高電圧導入部空間２０に
絶縁性の高いガス２３を封入しているから、高電圧接続
部１９と容器１１との絶縁はその絶縁性の高いガス２３
によって保たれる。よって、その高電圧接続部１９と容
器１１との距離を従来のように大きくとる必要がなく、
その距離を短縮化できるから、容器１１を所望に小形化
でき、レーザ装置全体としても所望に小形化することが
できる。
【００１３】又、この場合、上述の絶縁性の高いガス２
３は高電圧導入部空間２０に封入され、その高電圧導入
部空間２０と隔絶した放電部空間２１に及ぶことがない
ので、電極１２，１３間の放電に影響することはない。
３は高電圧導入部空間２０に封入され、その高電圧導入
部空間２０と隔絶した放電部空間２１に及ぶことがない
ので、電極１２，１３間の放電に影響することはない。
【００１４】
【発明の効果】以上の記述で明らかなように、本発明の
ガスレーザ装置は、所定の容器内に封入されて循環され
るレーザガスを、高電圧の印加により放電励起させるよ
うにしたものにあって、その容器内の高電圧導入部空間
を放電部空間から隔絶し、その高電圧導入部空間に絶縁
性の高いガスを封入したことを特徴とするものであり、
それによって、容器内の高電圧接続部と容器との距離を
短縮化できて、容器の小形化、ひいては装置全体の小形
化を達成することができるという優れた効果を奏する。
ガスレーザ装置は、所定の容器内に封入されて循環され
るレーザガスを、高電圧の印加により放電励起させるよ
うにしたものにあって、その容器内の高電圧導入部空間
を放電部空間から隔絶し、その高電圧導入部空間に絶縁
性の高いガスを封入したことを特徴とするものであり、
それによって、容器内の高電圧接続部と容器との距離を
短縮化できて、容器の小形化、ひいては装置全体の小形
化を達成することができるという優れた効果を奏する。
【図１】本発明の一実施例を示す縦断面図
【図２】従来例を示す縦断面図
１１は容器、１２，１３は電極、１６はレーザガス、２
０は高電圧導入部空間、２１は放電部空間、２２は隔
壁、２３は絶縁性の高いガスを示す。
０は高電圧導入部空間、２１は放電部空間、２２は隔
壁、２３は絶縁性の高いガスを示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 8934−4Ｍ Ｈ０１Ｓ 3/09
Claims (1)
- 【請求項１】 所定の容器内に封入されて循環されるレ
ーザガスを、高電圧の印加により放電励起させるように
したものにおいて、その容器内の高電圧導入部空間を放
電部空間から隔絶し、その高電圧導入部空間に絶縁性の
高いガスを封入したことを特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18425992A JPH0629593A (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18425992A JPH0629593A (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0629593A true JPH0629593A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=16150190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18425992A Pending JPH0629593A (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0629593A (ja) |
-
1992
- 1992-07-13 JP JP18425992A patent/JPH0629593A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102007654A (zh) | 具有挠性外壳的扩散冷却的co2激光器 | |
| JPS5825289A (ja) | Ｔｅ型高出力レ−ザ− | |
| US4703489A (en) | Waveguide laser | |
| US4677637A (en) | TE laser amplifier | |
| US5164952A (en) | Electrically pumped gas laser suitable for high input power | |
| JPH0629593A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPS6310597B2 (ja) | ||
| JPH0559536B2 (ja) | ||
| JPH024148B2 (ja) | ||
| JPS6346995B2 (ja) | ||
| JPH09167867A (ja) | パルスレーザ装置 | |
| JPS63313487A (ja) | ギヤツプスイツチ | |
| US20080019411A1 (en) | Compact sealed-off excimer laser | |
| JP2001177169A (ja) | コロナ予備電離電極を有するガスレーザ装置 | |
| JPH06252480A (ja) | ガスレーザ放電部 | |
| RU2134925C1 (ru) | Устройство лазера с возбуждением объемным самостоятельным разрядом | |
| JPH06188481A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPH06152004A (ja) | パルスレーザ装置 | |
| JPH11168254A (ja) | コロナバー，予備電離電極及びエキシマレーザ装置 | |
| JPH0388374A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPS62126683A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS63227074A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPH0645359U (ja) | レーザ発振器用放電電極 | |
| JPH0484474A (ja) | レーザ装置 | |
| JPS6279609A (ja) | 高圧セラミツクコンデンサ |