JPH0630129U - セラミックオゾン発生用放電体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 セラミックオゾン発生用放電体の基板に圧電
セラミックを使用することにより、防塵特性が均一なオ
ゾン発生用放電体を多量に作ることができる。 【構成】 基板１に圧電セラミックを用い、接地電極２
と基板を挟んで対向する位置に補助電極６を設ける。接
地電極２と補助電極６の間に圧電振動子駆動用電源１１
を接続することにより基板１を振動させる。 【効果】 オゾン発生用放電体と振動子を一体化できる
ため、防塵特性の均一な放電体を多量に作ることができ
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、多湿多塵環境下で使用されるオゾン発生用放電体の信頼性向上のた めの改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

オゾンは空気中で放電を行うことにより得られ、強い酸化力を持ち、脱臭、殺 菌、漂白など産業上のみならず民生用としても使用されている。 このようなオゾン発生用放電体はアルミナセラミックス基板上へ接地電極とア ルミナセラミックスからなる誘電体層と高圧電極とアルミナセラミックスからな るオーバーコート層を順次積層し、接地電極と高圧電極間に高周波高電圧を印加 して沿面放電を発生させるようにしたものが用いられていた。 さらに特開昭６２−２０１６３８号、実開平０３−６７０２９号公報に示され るようにセラミック基板の片面に圧電振動子を貼付け放電体表面に付着する水分 や塵を除去できるようにしたものもあった。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上記の如き、従来のオゾン発生用放電体では圧電振動子を接着剤などで貼り付 けるため、接着剤層の厚さ、硬化条件、材質により共振周波数のばらつきが大き くなり、振動子の特性を充分利用することが困難であった。 また長期運転中接着層のクラック、はがれが生じ振動子の振動を充分に放電体 へ伝達できなくなるなどの欠点があった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案は上記問題点を解決するため、接地電極、誘導体層、高圧電極、オーバ ーコート層を振動子として作用する圧電セラミックス基板上へ順次積層した構成 としたものである。

【０００５】

【作用】

上記のように構成されている本考案において、圧電セラミックスを基板とした ため振動子貼付け時のばらつきに由来する共振周波数の変化がなくなること、及 び耐久性が向上することにより、振動特性の均一なオゾン発生用放電体を多量に 作ることが可能になる。

【０００６】

【実施例】

図１は、本考案に係るオゾン発生用放電体の断面図を示す。 基板１は、Ｐｂ（Ｔｉ，Ｚｒ）Ｏ₃などの圧電性を有するセラミックでテープ 成形後焼成したものである。接地電極２はＡｇ，Ｎｉなどのペーストをスクリー ン印刷の手法により形成する。またＡｇ，Ｎｉなどの導電性物質を真空蒸着法、 スパッタ法等により形成してもよい。誘電体層３は、ペースト化したガラス又は 結晶化ガラスをスクリーン印刷などの手法により厚さ数μｍ〜数百μｍの膜厚で 形成する。高圧電極４は接地電極と同様にＡｇ，Ｎｉ，Ａｕなどのペーストを塗 布して形成する。 オーバーコート層５は、高圧電極４を覆うようにガラス、結晶化ガラス、セラ ミックスを塗布などの手法により形成する。 補助電極６は、圧電基板のもう片面へＡｇ，Ｎｉなどのペーストを塗布して形 成し、全体を焼成し一体化する。焼成後一体化したオゾン発生用放電体を１２０ ℃に保持したシリコンオイル中に浸し、補助電極６と接地電極２の間に３ＫＶ／ mmの電界強度となるように直流電圧を印加し分極処理を行う。 最後にオゾン発生用高電圧印加用リード線７，振動子駆動用電圧印加用リード線 ８，共通接地用リード線９をそれぞれ所定の位置へハンダ付けすればよい。オゾ ン発生用高周波高電圧電源１０の出力は接地電極２と高圧電極４へリード線７， ９を通じて接続される。振動子駆動用電源１１の出力は接地電極２と補助電極６ へリード線２，８により接続される。

【０００７】 このように製作したオゾン発生用放電体の基板１を振動させるため共振周波数 を測定した。また比較例として振動子をエポキシ系接着剤で貼り付けたものにつ いて共振周波数の測定を行った。その結果、共振周波数の標準偏差は表１の通り であり、本考案のものが標準偏差が小さくなることが判明した。

【表１】

【考案の効果】

このように本考案によれば、放電体表面へ付着する水分や塵を効率よく除去す ることができ、しかも信頼性が高く振動特性の均一なオゾン発生用放電体を提供 することができる。

【０００８】

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本考案のオゾン発生用放電体の実施例を
示す断面図である。

【符合の説明】

１ 圧電セラミックス基板 ２ 接地電極 ３ 誘電体層 ４ 高圧電極 ５ オーバーコート層 ６ 補助電極 ７ 高電圧印加用リード線 ８ 振動子駆動電圧印加用リード線 ９ 共通接地用リード線 １０ オゾン発生用高周波高電圧電源 １１ 振動子駆動用電源

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 接地電極と誘電体層と高圧電極とオーバ
   ーコート層を順次基板の一表面上に積層したオゾン発生
   用放電体に於いて、該基板を圧電性材料で構成したこと
   を特徴とするセラミックオゾン発生用放電体。
2. 【請求項２】 前記接地電極と基板を挟んで対向するよ
   うに補助電極を設け、その接地電極と補助電極間に交流
   電圧を印加し、基板を振動させることを特徴とした請求
   項１記載のセラミックオゾン発生用放電体。