JPH0730657Y2 - オゾン発生用放電体 - Google Patents
オゾン発生用放電体Info
- Publication number
- JPH0730657Y2 JPH0730657Y2 JP1989127588U JP12758889U JPH0730657Y2 JP H0730657 Y2 JPH0730657 Y2 JP H0730657Y2 JP 1989127588 U JP1989127588 U JP 1989127588U JP 12758889 U JP12758889 U JP 12758889U JP H0730657 Y2 JPH0730657 Y2 JP H0730657Y2
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- JP
- Japan
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- discharge
- piezoelectric element
- electrode
- ozone
- induction electrode
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、オゾンを発生させるための放電体に関するも
のである。
のである。
オゾンは乾燥空気中で放電を行なうことにより得られる
もので、強い酸化力を持ち、脱臭、殺菌、漂白などに使
用されている。
もので、強い酸化力を持ち、脱臭、殺菌、漂白などに使
用されている。
このようなオゾンの発生装置としては、たとえば特公昭
55-37483号公報に示されるようにアルミナセラミックス
からなる誘電体をはさんで放電を行なうようにしたもの
が用いられていた。また、特開昭59-44797号公報などに
示されているように、セラミックスからなる誘電体の内
部に面状の誘導電極を、表面に線状の放電電極をそれぞ
れ形成し、これらの電極間に高周波電圧を印加して沿面
放電を発生させるようにしたものも用いられていた。
55-37483号公報に示されるようにアルミナセラミックス
からなる誘電体をはさんで放電を行なうようにしたもの
が用いられていた。また、特開昭59-44797号公報などに
示されているように、セラミックスからなる誘電体の内
部に面状の誘導電極を、表面に線状の放電電極をそれぞ
れ形成し、これらの電極間に高周波電圧を印加して沿面
放電を発生させるようにしたものも用いられていた。
さらに、第６図に断面図を示すように、セラミック板41
の片面に圧電素子44を貼着し、これらのセラミック板41
と圧電素子44をはさむように誘導電極42、放電電極43を
形成し、２つの電極間に交流電圧を印加するようにした
ものもあった（特開昭62-201638号、63-190702号公報参
照）。
の片面に圧電素子44を貼着し、これらのセラミック板41
と圧電素子44をはさむように誘導電極42、放電電極43を
形成し、２つの電極間に交流電圧を印加するようにした
ものもあった（特開昭62-201638号、63-190702号公報参
照）。
〔従来技術の課題〕 ところが、上記の如き従来のオゾン発生用放電体では、
放電面に水分やホコリなどが付着して、良好な放電を維
持できなかった。たとえば、放電時に、空気中に含まれ
る窒素と水分により生成される硝酸塩の一種が付着し、
この硝酸塩は空気中の水分を吸着し潮解することによっ
て導電性を生じるため電極特性を不安定としていた。そ
のため、間欠運転の開始時に放電できなかったり、放電
できても所定のオゾン濃度に達するまで相当時間がかか
るなどの不都合が生じていた。さらに、上記付着物によ
り放電面が荒れ耐久性も悪かった。
放電面に水分やホコリなどが付着して、良好な放電を維
持できなかった。たとえば、放電時に、空気中に含まれ
る窒素と水分により生成される硝酸塩の一種が付着し、
この硝酸塩は空気中の水分を吸着し潮解することによっ
て導電性を生じるため電極特性を不安定としていた。そ
のため、間欠運転の開始時に放電できなかったり、放電
できても所定のオゾン濃度に達するまで相当時間がかか
るなどの不都合が生じていた。さらに、上記付着物によ
り放電面が荒れ耐久性も悪かった。
また、第６図に示す圧電素子を備えたオゾン発生用放電
体は、基本的に付着物を除去するためのものではなく、
ある特定周波数の電界を発生させたり、放電時の昇温を
防止するためのものであるため、セラミック板41と圧電
素子44に対して、同じ交流電圧を印加するような構造と
なっていた。したがって、この圧電素子44を振動させて
付着物を除去させるためには、圧電素子44の共振周波数
の電圧しか印加することができず、オゾン発生量を調整
すると振動しなくなってしまうという不都合が生じてい
た。
体は、基本的に付着物を除去するためのものではなく、
ある特定周波数の電界を発生させたり、放電時の昇温を
防止するためのものであるため、セラミック板41と圧電
素子44に対して、同じ交流電圧を印加するような構造と
なっていた。したがって、この圧電素子44を振動させて
付着物を除去させるためには、圧電素子44の共振周波数
の電圧しか印加することができず、オゾン発生量を調整
すると振動しなくなってしまうという不都合が生じてい
た。
上記に鑑みて本考案は、誘電体を介して誘導電極と放電
電極を形成した放電体に、前記誘導電極を覆うように絶
縁体を被着するとともに、該絶縁体に、固有の駆動電極
を有する圧電振動素子を配設し、該圧電振動素子の振動
により放電面への異物の付着を除去・防止するようにし
てオゾン発生用放電体を構成したものである。
電極を形成した放電体に、前記誘導電極を覆うように絶
縁体を被着するとともに、該絶縁体に、固有の駆動電極
を有する圧電振動素子を配設し、該圧電振動素子の振動
により放電面への異物の付着を除去・防止するようにし
てオゾン発生用放電体を構成したものである。
本考案によれば、オゾン発生用の印加電圧と、圧電素子
への印加電圧を別のものとしたため、圧電素子にはその
共振周波数の電圧を印加して振動させ、一方オゾン発生
用の印加電圧は自由に電圧周波数等を調整することが可
能となる。
への印加電圧を別のものとしたため、圧電素子にはその
共振周波数の電圧を印加して振動させ、一方オゾン発生
用の印加電圧は自由に電圧周波数等を調整することが可
能となる。
以下本考案の実施例を図によって説明する。
第１図（ａ）に上面側から見た斜視図、第１図（ｂ）に
下面側から見た斜視図、第２図に断面図を示すように、
このオゾン発生用放電体Ｚは、誘電体となる円板状のセ
ラミック板１の上面に放電電極３およびこれを覆う保護
層４を備え、下面には誘導電極２およびこれを覆う絶縁
層７を備え、該絶縁層７上に圧電素子用電極８および圧
電素子９を具備したものである。また、前記放電電極
３、誘導電極２にはそれぞれリード線5,6が取り付けら
れ、圧電素子用電極８および圧電素子９の下面にはそれ
ぞれ圧電素子用リード線10,11が取付けられている。
下面側から見た斜視図、第２図に断面図を示すように、
このオゾン発生用放電体Ｚは、誘電体となる円板状のセ
ラミック板１の上面に放電電極３およびこれを覆う保護
層４を備え、下面には誘導電極２およびこれを覆う絶縁
層７を備え、該絶縁層７上に圧電素子用電極８および圧
電素子９を具備したものである。また、前記放電電極
３、誘導電極２にはそれぞれリード線5,6が取り付けら
れ、圧電素子用電極８および圧電素子９の下面にはそれ
ぞれ圧電素子用リード線10,11が取付けられている。
このオゾン発生用放電体Ｚは、第２図に示すように、電
源12により誘導電極２、放電電極３間に交流電圧を印加
して放電電極３側で沿面放電を生じさせ、オゾン発生さ
せるものである。また、サラミック体１の下面に備えた
圧電素子９には別の電源13より、この圧電素子９の共振
周波数と同じ周波数の交流電圧を印加することによっ
て、圧電素子９およびセラミック体１を振動させ、放電
面への異物の付着を防止し、除去することができる。さ
らに、このオゾン発生用放電体はセラミック体１や圧電
素子９を円板状としてあるため、均一に振動させること
ができる。
源12により誘導電極２、放電電極３間に交流電圧を印加
して放電電極３側で沿面放電を生じさせ、オゾン発生さ
せるものである。また、サラミック体１の下面に備えた
圧電素子９には別の電源13より、この圧電素子９の共振
周波数と同じ周波数の交流電圧を印加することによっ
て、圧電素子９およびセラミック体１を振動させ、放電
面への異物の付着を防止し、除去することができる。さ
らに、このオゾン発生用放電体はセラミック体１や圧電
素子９を円板状としてあるため、均一に振動させること
ができる。
次に、上記オゾン発生用放電体Ｚの製造方法を説明す
る。まず、未焼成のセラミック板１の上面に放電電極
３、下面に誘導電極２をそれぞれ、タングステンまたは
モリブデンなどのペーストを塗布して形成する。次に放
電電極３を覆うようにセラミックスからなる保護層４
を、誘導電極２を覆うようにセラミックスからなる絶縁
層７を、それぞれ印刷、吹き付け、CVD法、PVD法等によ
り形成し、この絶縁層７上に、タングステンまたはモリ
ブデンなどのペーストを塗布して圧電素子用電極８を形
成し、全体を焼成一体化する。最後に、前記圧電素子用
電極８の上に圧電素子９を接着、ハンダ付け等により固
着し、リード線5,6、圧電素子用リード線10,11をそれぞ
れ所定の位置にハンダ付けすれば良い。
る。まず、未焼成のセラミック板１の上面に放電電極
３、下面に誘導電極２をそれぞれ、タングステンまたは
モリブデンなどのペーストを塗布して形成する。次に放
電電極３を覆うようにセラミックスからなる保護層４
を、誘導電極２を覆うようにセラミックスからなる絶縁
層７を、それぞれ印刷、吹き付け、CVD法、PVD法等によ
り形成し、この絶縁層７上に、タングステンまたはモリ
ブデンなどのペーストを塗布して圧電素子用電極８を形
成し、全体を焼成一体化する。最後に、前記圧電素子用
電極８の上に圧電素子９を接着、ハンダ付け等により固
着し、リード線5,6、圧電素子用リード線10,11をそれぞ
れ所定の位置にハンダ付けすれば良い。
また、他の実施例として第３図（ａ）〜（ｃ）、第４図
に示すオゾン発生用放電体Ｚ′を用いることもできる。
これは、第３図（ａ）に示すように四角板状のセラミッ
ク板21の上面に誘導電極22およびこれを覆うセラミック
スからなる誘電体層23を備え、さらに第３図（ｂ）に示
すように該誘電体層23上に放電電極24およびこれを覆う
セラミックスからなる保護層25を具備している。また、
第３図（ｃ）に示すようにセラミック板21の下面には圧
電素子用電極28を介して圧電素子29を固着し、放電電極
24、誘導電極22にはそれぞれリード線26,27を取付け、
圧電素子用電極28、圧電素子29の下面にはそれぞれ圧電
素子用リード線30,31を取付けている。
に示すオゾン発生用放電体Ｚ′を用いることもできる。
これは、第３図（ａ）に示すように四角板状のセラミッ
ク板21の上面に誘導電極22およびこれを覆うセラミック
スからなる誘電体層23を備え、さらに第３図（ｂ）に示
すように該誘電体層23上に放電電極24およびこれを覆う
セラミックスからなる保護層25を具備している。また、
第３図（ｃ）に示すようにセラミック板21の下面には圧
電素子用電極28を介して圧電素子29を固着し、放電電極
24、誘導電極22にはそれぞれリード線26,27を取付け、
圧電素子用電極28、圧電素子29の下面にはそれぞれ圧電
素子用リード線30,31を取付けている。
即ち、上記実施例では、誘電体層23の上下面に放電電極
24と誘導電極22を有し、該誘導電極22を覆う絶縁体とし
てセラミック板21を備え、該セラミック板21に圧電素子
29を配設した構造となっている。
24と誘導電極22を有し、該誘導電極22を覆う絶縁体とし
てセラミック板21を備え、該セラミック板21に圧電素子
29を配設した構造となっている。
このオゾン発生用放電体Ｚ′は、第４図に示すように誘
導電極22と放電電極24間に電源21により交流電圧を印加
させることによって沿面放電を生じ、オゾンを発生させ
ることができる。また、別の電源13より圧電素子29に、
その共振周波数と同じ周波数の交流電源を印加すること
によって、圧電素子29およびセラミック板21を振動させ
て付着物を除去することができる。
導電極22と放電電極24間に電源21により交流電圧を印加
させることによって沿面放電を生じ、オゾンを発生させ
ることができる。また、別の電源13より圧電素子29に、
その共振周波数と同じ周波数の交流電源を印加すること
によって、圧電素子29およびセラミック板21を振動させ
て付着物を除去することができる。
また、このオゾン発生用放電体Ｚ′の製法は、基本的に
前記実施例と同様であり、誘導電極22、放電電極24、圧
電素子用電極28はいずれもタングステンまたはモリブデ
ンなどのペーストを塗布して形成し、誘電体層23、保護
層25はセラミックスペーストを印刷、吹き付けなどによ
り形成したものである。
前記実施例と同様であり、誘導電極22、放電電極24、圧
電素子用電極28はいずれもタングステンまたはモリブデ
ンなどのペーストを塗布して形成し、誘電体層23、保護
層25はセラミックスペーストを印刷、吹き付けなどによ
り形成したものである。
さらに、以上の実施例では、放電のための２本のリード
線および圧電素子用の２本のリード線をそれぞれ別に備
えたものを示したが、このうち１本を兼用させることも
可能である。たとえば、第２図に示したものの変形実施
例を第５図に示すように、誘導電極２上に直接圧電素子
９を固着して、誘導電極２と圧電素子用電極８を兼用さ
せ、全体としてのリード線を３本とすることができる。
線および圧電素子用の２本のリード線をそれぞれ別に備
えたものを示したが、このうち１本を兼用させることも
可能である。たとえば、第２図に示したものの変形実施
例を第５図に示すように、誘導電極２上に直接圧電素子
９を固着して、誘導電極２と圧電素子用電極８を兼用さ
せ、全体としてのリード線を３本とすることができる。
なお、上記実施例において、セラミック板1,21,あるい
は誘電体層23、保護層4,25、絶縁層７を形成するセラミ
ックスは、アルミナ、ムライト、フォルステライトなど
さまざまなものを用いることができる。また、保護層4,
25は、セラミックスからなるものに限らず、放電電極3,
24の表面に耐酸化性金属を被覆したものでもよい。さら
に、圧電素子9,29とは、BaTiO3系あるいはPb(Zr,Ti)O3
系などの圧電セラミックスを用いる。
は誘電体層23、保護層4,25、絶縁層７を形成するセラミ
ックスは、アルミナ、ムライト、フォルステライトなど
さまざまなものを用いることができる。また、保護層4,
25は、セラミックスからなるものに限らず、放電電極3,
24の表面に耐酸化性金属を被覆したものでもよい。さら
に、圧電素子9,29とは、BaTiO3系あるいはPb(Zr,Ti)O3
系などの圧電セラミックスを用いる。
ここで、第３図（ａ）〜（ｃ）、第４図に示すオゾン発
生用放電体Ｚ′を試作し使用試験を行なった。セラミッ
ク板21は、A12O3含有量92％で残部がSiO2,MgO,CaOなど
からなるアルミナセラミックスを用い、大きさは10mm×
40mmで、厚みは0.38mm、0.5mm、0.75mmの３種類を用意
した。また、誘導電極22、放電電極24はタングステンに
より形成し、誘電体層23は厚み72μｍ、保護層25は厚み
25μｍでいずれもセラミック板21と同じアルミナセラミ
ックスで形成した。さらに、圧電素子29として、BaTiO3
系セラミックスを用い、大きさは7mm×20mm×0.15mmと
した。
生用放電体Ｚ′を試作し使用試験を行なった。セラミッ
ク板21は、A12O3含有量92％で残部がSiO2,MgO,CaOなど
からなるアルミナセラミックスを用い、大きさは10mm×
40mmで、厚みは0.38mm、0.5mm、0.75mmの３種類を用意
した。また、誘導電極22、放電電極24はタングステンに
より形成し、誘電体層23は厚み72μｍ、保護層25は厚み
25μｍでいずれもセラミック板21と同じアルミナセラミ
ックスで形成した。さらに、圧電素子29として、BaTiO3
系セラミックスを用い、大きさは7mm×20mm×0.15mmと
した。
上記３種類の厚みのセラミック板21を振動させるための
共振周波数を測定したところ、第１表の通りであった。
共振周波数を測定したところ、第１表の通りであった。
また使用試験として、セラミック板の厚さ0.5mmのオゾ
ン発生用放電体を用いて、圧電素子には共振周波数の電
圧を印加しながら、オゾン発生用の電圧として6500V、2
5kHzの交流電圧を印加した。同時に比較例として、圧電
素子を具備しないものについて、全く同一条件で使用試
験を行なった。その結果初期状態および１ケ月後のオゾ
ン発生量（濃度）は第２表の通り、本考案のものは付着
物が除去されるため、発生量の低下はなかった。
ン発生用放電体を用いて、圧電素子には共振周波数の電
圧を印加しながら、オゾン発生用の電圧として6500V、2
5kHzの交流電圧を印加した。同時に比較例として、圧電
素子を具備しないものについて、全く同一条件で使用試
験を行なった。その結果初期状態および１ケ月後のオゾ
ン発生量（濃度）は第２表の通り、本考案のものは付着
物が除去されるため、発生量の低下はなかった。
〔考案の効果〕 このように本考案によれば、オゾン発生用放電体の放電
電極と逆の面に圧電素子を備え、該圧電素子のみに電圧
を印加する手段を備えたことによって、圧電素子を振動
させて、水、ホコリなどの異物の付着を防止し、除去す
ることができ、長期間使用してもオゾン発生量の低下を
防止することができる。また、圧電素子を振動させなが
ら、オゾン発生用電圧は別に印加できるため、条件に応
じてオゾン発生量を調整できるなどの特長をもった高性
能のオゾン発生用放電体を提供できる。
電極と逆の面に圧電素子を備え、該圧電素子のみに電圧
を印加する手段を備えたことによって、圧電素子を振動
させて、水、ホコリなどの異物の付着を防止し、除去す
ることができ、長期間使用してもオゾン発生量の低下を
防止することができる。また、圧電素子を振動させなが
ら、オゾン発生用電圧は別に印加できるため、条件に応
じてオゾン発生量を調整できるなどの特長をもった高性
能のオゾン発生用放電体を提供できる。
第１図（ａ）（ｂ）はそれぞれ本考案のオゾン発生用放
電体の実施例を示す斜視図である。第２図は第１図
（ａ）中のＸ−Ｘ線断面図である。 第３図（ａ）（ｂ）（ｃ）はそれぞれ本考案の他の実施
例の製造工程を示す斜視図である。第４図は第３図
（ｂ）中のＹ−Ｙ線断面図である。 第５図は本考案のさらに他の実施例を示す断面図であ
る。 第６図は従来の圧電素子を備えたオゾン発生用放電体を
示す断面図である。 1,21,41……セラミック板 2,22,42……導電電極 3,24,43……放電電極 4,25……保護層 9,29,44……圧電素子
電体の実施例を示す斜視図である。第２図は第１図
（ａ）中のＸ−Ｘ線断面図である。 第３図（ａ）（ｂ）（ｃ）はそれぞれ本考案の他の実施
例の製造工程を示す斜視図である。第４図は第３図
（ｂ）中のＹ−Ｙ線断面図である。 第５図は本考案のさらに他の実施例を示す断面図であ
る。 第６図は従来の圧電素子を備えたオゾン発生用放電体を
示す断面図である。 1,21,41……セラミック板 2,22,42……導電電極 3,24,43……放電電極 4,25……保護層 9,29,44……圧電素子
Claims (1)
- 【請求項１】誘電体を介して誘導電極と放電電極を形成
した放電体に、前記誘導電極を覆うように絶縁体を被着
するとともに、該絶縁体に、固有の駆動電極を有する圧
電振動素子を配設し、該圧電振動素子の振動により放電
面への異物の付着を除去・防止するようにしたことを特
徴とするオゾン発生用放電体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989127588U JPH0730657Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | オゾン発生用放電体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989127588U JPH0730657Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | オゾン発生用放電体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0367029U JPH0367029U (ja) | 1991-06-28 |
| JPH0730657Y2 true JPH0730657Y2 (ja) | 1995-07-12 |
Family
ID=31675340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989127588U Expired - Lifetime JPH0730657Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | オゾン発生用放電体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0730657Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006265009A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Haruo Ito | オゾン発生装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0746627B2 (ja) * | 1986-02-26 | 1995-05-17 | ユーシンエンジニアリング株式会社 | イオン発生用放電体 |
| JPS63190702A (ja) * | 1987-02-04 | 1988-08-08 | Koji Takamura | オゾン発生方法及び装置 |
| JPH01141738U (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-28 |
-
1989
- 1989-10-31 JP JP1989127588U patent/JPH0730657Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0367029U (ja) | 1991-06-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |