JPH0630366B2 - テ−プボンダ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はテープ状のフイルムキヤリア（以下テープとい
う）に設けられたフインガーリード（以下リードとい
う）に半導体ペレツト（以下ペレツトという）のバンプ
をボンデイングするテープボンダに関する。

（従来技術） テープボンダは、第１６図に示すように、ガイド板２０
に沿つて間欠的に移送されるフイルム21にその移送ピツ
チに合わせて設けられたリード22を基板２３により順次
移送位置決めされるペレツト２４に対して正確に位置出
しして、その後ツール２５によりリード２２とペレツト
２４のバンプ２４ａとをボンデイングするものである。
このようにペレツト２４がボンデイングされたフイルム
２１は、その後リード２２とペレツト２４との導通及び
機能等のテストが行われる。

従来、前記したペレツトボンデイング後のテストは、プ
ローブを備えたテープハンドラーにテープを移し変えて
行つている。

（従来技術の問題点） 前記のように、テープをテープハンドラーに移動し換え
て行うので、定期的にボンデイング作業を停止し、導通
及び機能等のテストを行わなければならなく、作業性及
び生産性が著しく悪いと共に、製品の歩留りが悪いとい
う問題点があつた。

（発明の目的） 本発明の目的は、作業性及び生産性に優れると共に、製
品の良品率が向上するテープボンダを提供することにあ
る。

（発明の実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図乃至第１５図により説
明する。本発明は特開昭５４−１１６６４号公報に示す
テープボンダに適用した例を示す。

まず、本発明の説明に先立ち、特開昭５４−１１６６４
号公報の構造について説明する。第１図に示すように、
ベース板３０には接着用工具３１によるボンデイング位
置３２の部分にガイド板33が設けられている。図示しな
い方法によつて支持されている供給リール３４から送り
出されたテープ３５はアイドルスプロケツト３６、ガイ
ドローラ３７に規制案内されると共にバツクテンシヨン
を与えられ、ガイド板３３に沿つてボンデイング位置３
２に送られ、ガイドローラ３８及び駆動用スプロケツト
３９を経て巻取りリール４０に巻き取られる。

駆動用スプロケツト３９は回転軸４１の一端に固定され
ており、回転軸４１はベース板３０に固定されたブラケ
ツト（図示せず）に固定された回転軸ホルダ（図示せ
ず）に回転自在に支承されている。回転軸４１の他端に
はタイミングプーリ42が固定されており、前記駆動用ス
プロケツト３９はベース板３０に固定されたブラケツト
４３に固定されたパルスモータ４４により、このパルス
モータ４４の出力軸に固定されたタイミングプーリ４５
と、このタイミングプーリ４５と前記タイミングプーリ
４２に掛け渡されたタイミングベルト４６を介して駆動
される。

またボンデイング位置３２とガイドローラ３８の間には
その１端にテープ３５のスプロケットホールに係合する
位置決め爪５０ａを有する位置決め爪レバー５０が設け
られている。位置決め爪レバー５０は、位置決め爪５０
ａの直上方近傍で偏心軸５１によつて回転可能に支持さ
れると共に、その他端はベース板３０に固定された支点
軸５２の外周に引張コイルバネ５３に付勢され常時滑動
可能に接している。また偏心軸５１は図示しないモータ
によりカム機構を介して回転し、モータの出力軸の１回
転により約９０°往復回動するように構成されている。

次に動作について説明すると、テープ３５に固着された
リードの取付けピツチに相当するだけパルスモータ４４
が間欠的に回転して駆動用スプロケツト３９が回転する
と、テープ３５は必要量移送されてボンデイング位置に
リードが粗位置決めされる。次に図示しないモータがス
タートし、その半回転により偏心軸５１が約９０度回動
すると、位置決め爪レバー５０は第１図の状態に移動
し、粗位置決めされているテープ３５のスプロケツトホ
ールに係合し、テープ３５を更に微少量移送して停止
し、テープ３５を正確に位置決めする。

この状態でベース板３０がＸＹ方向に駆動され、テープ
３５のリードの検出位置を検出カメラの下方に移動させ
てテープ３５のリード位置ずれが検出され、再びベース
板３０がＸＹ方向に駆動されて補正された位置にテープ
３５のリードを位置させる動作が行なわれる。その後、
接着用工具３１が下降及び上昇して位置出しされたリー
ドとペレツトがボンデイングされる。

ボンデイングが終了すると、図示しないモータが再び半
回転し、偏心軸５１は前記と逆方向に約９０度回転し、
位置決め爪５０ａは移動してテープ３５のスプロケット
ホールから離れる。

この後はパルスモータ４４が起動し、前記したように駆
動用スプロケット３９によつてテープ３５は一定ピツチ
送られ、次のリードが接着用工具31の下方に粗位置決め
される。以後、前記した一連の動作を順次繰返してボン
デイングされる。

本発明においては、ボンデイング位置３２と巻取りリー
ル４０間（実施例はガイドローラ３８と駆動用スプロケ
ツト３９間）にテープ３５のリードとこのリードに前記
のようにしてボンデイングされたペレツトとの導通及び
機能等のテストを行うテープハンドラー６０が配設され
ている。以下、本発明の特徴とするテープハンドラーの
構造について説明する。

上下動可能に設けられた主ベース６１の裏面には、上方
より順次Ｙ方向スライドベース６２、Ｘ方向スライドベ
ース６３及びθ方向スライドベースを兼ねたプローブカ
ードホルダ６４が配設されている。前記Ｙ方向スライド
ベース６２には、第２図、第３図に示すように、主ベー
ス６１に回転自在にＹ方向に伸びて取付けられたＹ方向
調整ねじ６５が螺合している。前記Ｘ方向スライドベー
ス６３には、第２図、第４図に示すように、主ベース６
１に回転自在にＸ方向に伸びて取付けられたＸ方向調整
ねじ６６が螺合している。ここで、Ｘ方向調整ねじ６６
はＹ方向にも摺動可能なように、Ｘ方向調整ねじ６６が
挿入される主ベース61の穴６１ａがＹ方向に長穴に形成
されている。またＸ方向調整ねじ６６の軸部には前記プ
ローブカードホルダ６４を支持するプローブカードホル
ダ支え６７が回転自在に嵌装されている。前記プローブ
カードホルダ６４には、第２図、第５図に示すように、
主ベース６１に固定された支持板６８に螺合されたθ方
向調整ねじ６９が当接している。またプローブカードホ
ルダ６４には、第１図乃至第５図に示すように、プロー
ブ７０が取付けられたプローブカード７１を第２図に示
す矢印Ａ方向より着脱できるようになつている。

前記主ベース６１、Ｙ方向スライドベース６２、Ｘ方向
スライドベース６３及びプローブカードホルダ６４のそ
れぞれの対向面には、第９図乃至第１２図（特に第１２
図に明瞭に表わされている）に示すように、各ベース６
２、６３及びプローブカードホルダ６４が指定された方
向にのみ移動できるように、後記する雄、雌の関係を有
する凹凸部が形成されている。

即ち、主ベース６１とＹ方向スライドベース62の対向面
には、主ベース６１にＹ方向に伸びた凹部６１ｂが形成
され、Ｙ方向スライドベース６２に前記凹部６１ｂに摺
動自在に嵌装されるＹ方向に伸びた凸部６２ａが形成さ
れている。Ｙ方向スライドベース６２とＸ方向スライド
ベース６３の対向面には、Ｙ方向スライドベース６２に
Ｘ方向に伸びた凹部６２ｂが形成され、Ｘ方向スライド
ベース６３に前記凹部６２ｂに摺動自在に嵌装されるＸ
方向に伸びた凸部６３ａが形成されている。Ｘ方向スラ
イドベース６３とプローブカードホルダ６４の対向面に
は、Ｘ方向スライドベース６３に円弧状の凹部６３ｂが
形成され、プローブカードホルダ６４に前記凹部６３ｂ
に摺動自在に嵌挿される円弧状の凸部６４ａが形成され
ている。

従つて、第２図、第３図に示すＹ方向調整ねじ６５を回
すと、Ｙ方向スライドベース６２は凸部６２ａが主ベー
ス６１の凹部６１ｂにガイドされてＹ方向に移動し、こ
のＹ方向の移動によつてＸ方向スライドベース６３及び
プローブカードホルダ６４もＹ方向スライドベース６２
と共にＹ方向に移動する。第２図、第４図に示すＸ方向
調整ねじ６６を回すと、Ｘ方向スライドベース６３は凸
部６３ａがＹ方向スライドベース６２の凹部６２ｂにガ
イドされてＸ方向に移動し、このＸ方向の移動によつて
プローブカードホルダ６４もＸ方向スライドベース６３
と共にＸ方向に移動する。第２図、第５図に示すθ方向
調整ねじ６９を回すと、プローブカードホルダ６４は凸
部６４ａがＸ方向スライドベース６３の凹部６３ｂにガ
イドされてθ方向に回転する。即ち、Ｙ方向スライドベ
ース６２、Ｘ方向スライドベース６３及びプローブカー
ドホルダ６４によつてＸＹθテーブルを構成している。

このように、プローブカードホルダ６４は、Ｙ方向調整
ねじ６５を回すことによつてＹ方向の位置が調整され、
Ｘ方向調整ねじ６６を回すことによつてＸ方向の位置が
調整され、θ方向調整ねじ６９を回すことによつてθ方
向の位置が調整されるので、プローブカードホルダ６４
に保持されたプローブカード７１のプローブ７０の位置
をＸＹθの任意の方向に自由に調整できる。

第２図、第６図に示すように、Ｘ方向スライドベース６
３には、主ベース６１、Ｙ方向スライドベース６２に形
成されたばか穴６１ｃ、６２ｃを通して上方よりＸＹ方
向スライドベース固定ねじ７５が螺合しており、このＸ
Ｙ方向スライドベース固定ねじ７５には主ベース６１の
上方に当接するつば部７５ａが形成されている。従つ
て、ＸＹ方向スライドベース固定ねじ７５が締付ける
と、Ｘ方向スライドベース６３は上方に持ち上げられ、
Ｙ方向スライドベース６２を介して主ベース６１に押付
けられるので、Ｙ方向スライドベース６２及びＸ方向ス
ライドベース６３はロツクされる。そこで前記したＸＹ
方向の調整はＸＹ方向スライドベース固定ねじ７５を緩
めて行い、調整後に締付ける。

第２図、第７図に示すように、プローブカードホルダ６
４には、主ベース６１、Ｙ方向スライドベース６２、Ｘ
方向スライドベース６３に形成されたばか穴６１ｄ、６
２ｄ、６３ｄを通して上方よりθ方向スライドベース
（プローブカードホルダ）固定ねじ７６が螺合してい
る。前記ばか穴63ｄはばか穴６１ｄ、６２ｄより小さく
形成されており、θ方向スライドベース固定ねじ７６に
はＸ方向スライドベース６３の上面に当接するつば部７
６ａが形成されている。従つて、θ方向スライドベース
固定ねじ７６を締付けると、プローブカードホルダ６４
は上方に持ち上げられ、Ｘ方向スライドベース６３に締
付けられてロツクされる。そこで、前記したθ方向の調
整はθ方向スライドベース固定ねじ７６を緩めて行い、
調整後に締付ける。

第２図、第８図に示すように、プローブカードホルダ６
４には、主ベース６１、Ｙ方向スライドベース６２、Ｘ
方向スライドベース６３に形成されたばか穴６１ｅ、６
２ｅ、６３ｅを通して上方よりプローブカード固定ねじ
７７が螺合している。従つてプローブカード固定ねじ７
７を締付けると、プローブカード７１はプローブカード
固定ねじ77の先端によりプローブカードホルダ６４に押
付けられてロツクされる。そこで、前記したプローブカ
ード７１の着脱はプローブカード固定ねじ７７を緩めて
行い、プローブカード７１をプローブカードホルダ６４
に装着した後に締付ける。

第１図、第２図、第１３図、第１４図、第１５図に示す
ように、主ベース６１の上面にはＺ方向調整ねじ固定用
の筒状体８０が固定されている。この筒状体８０には、
軸心方向に切欠き溝８０ａが、円周方向に切溝８０ｂが
形成され、切溝８０ｂの上方が径方向に弾性変形できる
ようになつている。前記筒状体８０の中心における主ベ
ース61の部分にはねじ部６１ｆが形成されており、この
ねじ部６１ｆに筒状体８０に嵌挿される軸部８１ａを有
するＺ方向調整ねじ８１が螺合している。Ｚ方向調整ね
じ８１の先端は図示しない上下動手段で上下動する上下
動アーム８２に当接している。また前記筒状体８０に
は、切溝８０ｂの上方で切欠き溝８０ａの近傍に固定ね
じ受部８０ｃが形成されている。また主ベース６１の上
面には、前記固定ねじ受部８０ｃに近接してめねじブロ
ツク83が固定されており、このめねじブロツク８３には
Ｚ方向調整ねじ用固定ねじ８４が前記固定ねじ受部８０
ｃに当接するように螺合されている。

従つて、Ｚ方向調整ねじ用固定ねじ８４を緩め、Ｚ方向
調整ねじ８１を回すと、上下アーム８２を基準として主
ベース６１、即ちテープハンドラー６０全体が上下動
し、プローブカード７１のプローブ７０の上下（Ｚ）方
向が調整される。Ｚ方向の調整後は、Ｚ方向調整ねじ用
固定ねじ８４を締付けると、筒状体８０が内側に弾性変
形してＺ方向調整ねじ８１の軸部８１ａを締付け、Ｚ方
向調整ねじ８１はロツクされる。

第１図に示すように、プローブ７０に対向してテープ３
５の下面側にはテープ受台８５が上下動可能に設けられ
ている。

次に作用を第１図によつて説明する。始動に先立ち、前
記したようにしてプローブカード７１のプローブ７０の
Ｘ、Ｙ、θ、Ｚ方向の調整を行つておく。またテープ３
５が送られる時は、上下動アーム８２（第１３図参照）
は上昇位置に、テープ受台８５は下降位置にあり、プロ
ーブ７１及びテープ受台８５はテープ３５が離れてい
る。前記したように、接着工具３１によつてテープ３５
のリードにペレツトがボンデイングされ、このボンデイ
ングされたテープ３５の部分がプローブ７１の下方に位
置すると、テープ受台８５が上昇してテープ３５の下面
を支持し、また同時に上下動アーム８２（第１３図参
照）が下降してテープハンドラー６０全体が下降し、プ
ローブ７１はテープ３５の測定部に当接する。これによ
り、リードとペレツトとの導通及び機能がテストされ
る。このテストはテープ３５が送られてボンデイング部
分が位置する毎に行われる。

このように、テープボンダにリードとペレツトとの導通
及び機能等のテストを行うプローブ７１を備えたテープ
ハンドラー６０を配設してなるので、導通及び機能等の
チエツクをボンデイング作業中に行うことができ、生産
性が向上すると共に、テープボンダの全自動化が行え
る。もし、テスト結果が連続して不良となつた場合、テ
ープボンダを自動的に停止することができ、製品の良品
率が向上する。

（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ボン
デイングと同時に他の位置でリードとペレツトとの導通
及び機能等のテストを行なうことができるので、生産性
が向上すると共に、テープボンダの全自動化が図れる。
またボンデイング状態が不良の場合、即座にボンデイン
グ作業を停止し、ボンデイング条件を変更できるので、
製品の良品率が向上する。またリードとペレツトとの導
通及び機能等のテストを行うプローブを備えたテープハ
ンドラーは、プローブを有するプローブカードを保持す
るプローブカードホルダと、このプローブカードホルダ
をＸ、Ｙ、Ｚ、θ方向に調整する手段と、前記プローブ
カードホルダを上下動させる手段とを備えた構成よりな
るので、カードホルダの調整を容易に行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になるテープボンダの一実施例を示す正
面図、第２図は第１図に示すテープハンドラーの平面
図、第３図は第２図の３−３線断面拡大図、第４図は第
２図の４−４線断面拡大図、第５図は第２図の５−５線
断面拡大図、第６図は第２図の６−６線断面拡大図、第
７図は第２図の７−７線断面拡大図、第８図は第２図の
８−８線断面拡大図、第９図乃至第１２図は主ベース、
Ｙ方向スライドベース、Ｘ方向スライドベース、プロー
ブカードホルダの関係を示し、第９図は平面図、第１０
図は第９図の正面図、第１１図は第10図の１１−１１線
断面図、第１２図は分解斜視図、第１３図は第１図の１
３−１３線断面拡大図、第１４図は第１３図の要部横断
面図、第１５図は第１３図、第１４図に示す筒状体の斜
視図、第１６図はボンデイング状態の断面図である。 ２１……フイルムキヤリア（テープ）、２２……フイン
ガーリード（リード）、２４……半導体ペレツト、３２
……ボンデイング位置、３５……フイルムキヤリア（テ
ープ）、４０……巻取りリール、６０……テープハンド
ラー、６１……主ベース、６２……Ｙ方向スライドベー
ス、６３……Ｘ方向スライドベース、６４……プローブ
カードホルダ、６５……Ｙ方向調整ねじ、６６……Ｘ方
向調整ねじ、６９……θ方向調整ねじ、７０……プロー
ブ、７１……プローブカード、７５……ＸＹ方向スライ
ドベース固定ねじ、７６……θ方向スライドベース固定
ねじ、７７……プローブカード固定ねじ、８０……筒状
体、８１……Ｚ方向調整ねじ、８２……上下動アーム、
８３……めねじブロツク、８４……Ｚ方向調整ねじ用固
定ねじ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石田 久雄 東京都武蔵村山市伊奈平２丁目51番地の１ 株式会社新川内 (56)参考文献 特開 昭58−122744（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】フイルムキヤリアに一定ピツチで設けられ
   たフインガーリードに半導体ペレツトを順次ボンデイン
   グするテープボンダにおいて、前記ボンデイングを行な
   うボンデイング位置と前記フイルムキヤリアを巻取る巻
   取りリール間に、フインガーリードと半導体ペレツトと
   の導通及び機能等のテストを行なうプローブを備えたテ
   ープハンドラーを配設してなり、テープハンドラーは、
   プローブを有するプローブカードを保持するプローブカ
   ードホルダと、このプローブカードホルダをＸ、Ｙ、
   Ｚ、θ方向に調整する手段と、前記プローブカードホル
   ダを上下動させる手段とを備えていることを特徴とする
   テープボンダ。