JPH0688225B2 - 吸着コレツト装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は半導体装置等の製造工程で用いられるペレット
等の微小物を吸着して運搬する吸着コレット装置に関す
るものである。

従来の技術 従来から半導体装置の組立行程では、リードフレームの
ペレット載置部（通称アイランド）にペレットのボンデ
ィングを行うが、ペレットのリードフレームに対するボ
ンディング方向は、第３図ａの平面図に示すようにペレ
ットボンダー上のリードフレーム21の進行方向Ｆとペレ
ット22辺が平行となるようそのペレット22をボンディン
グする場合と、次工程のワイヤーボンディングを容易に
するため、第３図ｂの平面図に示すように、ペレットボ
ンダー上のリードフレーム21の進行方向Ｆとペレット21
の辺とにある角度を付してペレットボンディングをする
場合とがある。

以下、従来の吸着コレット装置について説明する。一般
的に使用されているペレットボンダーは、ダイシング
後、粘着性シートに貼り付けられたペレット群をパルス
モーター等によって駆動されるＸ−Ｙテーブル上に載積
し、たとえばビジコン等の撮像手段によって、所定の電
気的特性検査を行い不良ペレットに付された不合格マー
クとペレットの形状等を撮像検出する。そして、良品ペ
レットのみを吸着コレットにより吸着し、リードフレー
ムのアイランドの所定の位置にボンディングする機構で
ある。ところで第３図ａのようにリードフレーム21の進
行方向Ｆとペレット22の辺が平行となるペレットボンデ
ィングの場合は、ペレット群を載積しているＸ−Ｙテー
ブルの移動方向とペレット22の辺および前記撮像手段の
走査方向とペレットの辺とが同一方向であり、前記Ｘ−
Ｙテーブルの移動および前記撮像検出も容易に行える。

発明が解決しようとする問題点 しかし、第３図ｂに示すように、リードフレーム21の進
行方向とペレット22の辺とに角度を付してペレット22が
ボンディングされる半導体装置を、第３図ａのようにリ
ードフレーム21の進行方向Ｆとペレット22の辺が平行な
半導体装置組立用と同一のペレットボンダーでペレット
ボンディングを行う場合には、粘着性シートに貼り付け
られたペレット群を所定の角度に振り向けてＸ−Ｙテー
ブル上に載積するため、Ｘ−Ｙテーブルの移動方向およ
び撮像手段の走査方向とペレット22の辺とに角度が付さ
れ、Ｘ−Ｙテーブルの駆動および撮像手段によって撮像
検出する検出に複雑な手法を必要とした。

本発明は上記従来の問題点を解決するもので、簡単な構
成でペレット等の微小物を吸着して運搬する吸着コレッ
ト装置を提供することを目的とする。

問題点を解決するための手段 この目的を達成するために本発明の吸着コレット装置は
微小物を吸着する吸着コレットのコレット軸を上下動お
よび回転可能に支持し、コレット軸の回転を制御するバ
ネと回転停止手段とをそなえたものである。

作用 この構成により、ペレット等の微小物を角度を付してボ
ンディングする場合吸着コレットに微小物を吸着したの
ち、コレット軸を回転させ、微小物を所定角度回転させ
る。

実施例 以下、本発明の一実施例について、第１図乃至第２図を
参照しながら説明する。

第１図は実施例の概要を示す斜視図であり、第２図ａ乃
至ｃは第１図実施例の吸着コレットにおけるコレット軸
の回転動作を説明する平面図である。

１はペレット等の微小物を吸着する吸着コレットで、２
は吸着コレット１を固定する上下動および回転可能なコ
レット軸、３は伸縮自在のアーム、４はアーム３に埋め
込まれた軸受、５はコレット軸２の上方に位置するブロ
ックプレート、６はブロックプレート５の一端に当接す
る回転ストッパー、７はコレット軸２を上下動させる上
下動ピン、８はコレット軸２の上下動を操作するための
クランク、９はその操作杆、10はブロックプレート５の
他端に設けられた揺動ピン、11は揺動ピンの一端に設け
られた回転子、12は一端が揺動ピン10に掛装され、他端
がピン13を介してアーム３に掛装されているコイルバ
ネ、14は揺動ピン10の先端に取り付けられた回転子11が
衝接する当て棒、15は当て棒14を支持している支持ピ
ン、16は半導体ペレットである。これらの構成品の中
で、アーム３の先端部3aには回転ストッパ６が螺合され
ており、この回転ストッパー６の一端はブロックプレー
ト５に当接している。また図示していないがコレット上
下動駆動部により上下動杆９が矢印Ｂ方向に動作すると
クランク８を介して、コレット軸２が上動するようにな
っている。

以上のように構成された本実施例の吸着コレットについ
て以下その動作を説明する。第２図ａは半導体ペレット
16をコレット１の先端で吸着した時点の平面状態図であ
り（上下動作は図中より省略）、ブロックプレート５は
コイルバネ12の引張力により、上方から見て反時計方向
に回転するように引張され、回転ストッパー６に当接し
た位置に停止している。第２図ａでアーム３が矢印Ａ方
向に移動すると、移動途中にて回転子11は機台に取り付
けられた当て棒14に衝接し、アーム３の移動が進むに従
いブロックプレート５はコイルバネ12の引張力に打ち勝
って第２図ｂのように上方より見て時計方向に回転を始
めアーム３の矢印Ａ方向の移動が終了した点、すなわち
吸着コレット１の先端に吸着されたペレット16がボンデ
ィングされるリードフレームのアイランド（図示せず）
の所定の位置に達した点で、ブロックプレート５の回転
も完了する。

ブロックプレート５の回転に伴い、吸着コレット１の先
端に吸着されている半導体ペレット16も所定の位置に第
３図ｂのように角度付けされてボンディングされる。

尚、当て棒14は機台に支持ピン15にて回転可能に支持さ
れており、第２図ｃのように当て棒14を機台に平行に倒
しておくことにより、アーム３が矢印Ａ方向に移動を行
っても回転子11は当て棒14に衝接せず、コレットは回転
しないためコレット１の先端に吸着されている半導体ペ
レット16もまた回転せず、第３図ａのようなリードフレ
ームの進行方向とペレットの辺とが平行なボンディング
を可能にする。

尚、半導体ペレット16の回転角度の調整は、回転ストッ
パー６の調整により容易に行うことが可能である。

発明の効果 本発明は、リードフレーム上へペレットをボンディング
するとき、リードフレームの進行方向に対し、ペレット
の辺を平行にボンディングするか、あるいは角度を付し
てボンディングするかを同一のペレットボンダーで容易
に変更可能とし、ペレットボンディングの経済性を向上
させるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による吸着コレット装置の斜
視図、第２図a,b,cはそれぞれ上記実施例の異なる状態
における、同要部の平面図、第３図a,bは、それぞれペ
レットをボンディングしたリードフレームの平面図であ
る。 １……吸着コレット、２……コレット軸、３……アー
ム、５……ブロックプレート、６……回転ストッパー、
11……回転子、12……コイルバネ、14……当て棒、15…
…支持ピン、16……半導体ペレット。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】微小物を吸着して運搬する吸着コレット
   と、前記吸着コレットを固定するコレット軸と、前記コ
   レット軸に回転を伝達するブロックプレートと、前記コ
   レット軸を軸受を介して支持するアームと、前記アーム
   の一端と前記ブロックプレートの一端に固定された揺動
   ピンとを連結して前記ブロックプレートに回転を与える
   バネと、前記ブロックプレートの回転を制御して前記コ
   レット軸を介して前記吸着コレットに初期角度を与える
   回転ストッパーと、前記ブロックプレートの一端に固定
   された揺動ピンの先端部に設けられた回転子に当接して
   前記アームの移動方向と逆の方向に前記ブロックプレー
   トに力を与え、前記ブロックプレートに前記バネによる
   回転とは反対方向の回転を与える当て棒を有し、前記当
   て棒が前記回転子に当接しない位置に移動可能なように
   支持ピンで回転支持されている当て棒であることを特徴
   とする吸着コレット装置。