JPH0787197B2 - ペレツト位置決め装置 - Google Patents
ペレツト位置決め装置Info
- Publication number
- JPH0787197B2 JPH0787197B2 JP61217464A JP21746486A JPH0787197B2 JP H0787197 B2 JPH0787197 B2 JP H0787197B2 JP 61217464 A JP61217464 A JP 61217464A JP 21746486 A JP21746486 A JP 21746486A JP H0787197 B2 JPH0787197 B2 JP H0787197B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- semiconductor pellet
- position regulating
- semiconductor
- positioning device
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- Die Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、矩形形状を有するペレットを、正しく位置さ
せるためのペレットの位置決め装置に関する。
せるためのペレットの位置決め装置に関する。
従来の技術 半導体装置の組立工程におけるペレットボンディング作
業は、半導体ペレットを、ペレットマウンターの吸着ノ
ズルに真空吸着し、リードフレームの所定の位置、すな
わちダイ接着位置に置き、これを加圧して接着を行う
が、安定してかつ速やかな接着を得るために、半導体ペ
レットをリードフレームの所定の位置に載置し、加圧し
た状態で、こすりつける方法が一般的に用いられてい
る。
業は、半導体ペレットを、ペレットマウンターの吸着ノ
ズルに真空吸着し、リードフレームの所定の位置、すな
わちダイ接着位置に置き、これを加圧して接着を行う
が、安定してかつ速やかな接着を得るために、半導体ペ
レットをリードフレームの所定の位置に載置し、加圧し
た状態で、こすりつける方法が一般的に用いられてい
る。
このような、半導体ペレットをリードフレームの所定の
位置に加圧しながらこすりつける作業を行うためには、
第３図の断面図のように、半導体ペレットを吸着する吸
着ノズル16の吸着面は、平坦な面とせず、四角錐状の凹
形もしくは90度乃至120度に開角した相対する２つの斜
面17a,17bを有する形状となし、第３図（ａ）のよう
に、吸着ノズル16の２つの斜面17a,17bに半導体ペレッ
ト10の２つの稜10e,10fをそれぞれに接して吸着させる
方法が採用されており、前記先端が開角したる吸着ノズ
ル16の相対した斜面17a,17bと、半導体ペレット10の稜1
0e,10fとは平行に吸着させることが必要である。しかる
に、たとえば、第３図（ｂ）のように、平行に吸着され
ていない状態でリードフレームの所定の位置に加圧しな
がらこすりつけると、半導体ペレット10が破損したり、
キズを発生させたりして、組立てられた半導体装置は不
良品となる。従って、吸着ノズル16と半導体ペレット10
との位置を正しく合致させた状態で吸着させる必要があ
り、このため、半導体ペレットを正しく位置決めしなけ
ればならない。
位置に加圧しながらこすりつける作業を行うためには、
第３図の断面図のように、半導体ペレットを吸着する吸
着ノズル16の吸着面は、平坦な面とせず、四角錐状の凹
形もしくは90度乃至120度に開角した相対する２つの斜
面17a,17bを有する形状となし、第３図（ａ）のよう
に、吸着ノズル16の２つの斜面17a,17bに半導体ペレッ
ト10の２つの稜10e,10fをそれぞれに接して吸着させる
方法が採用されており、前記先端が開角したる吸着ノズ
ル16の相対した斜面17a,17bと、半導体ペレット10の稜1
0e,10fとは平行に吸着させることが必要である。しかる
に、たとえば、第３図（ｂ）のように、平行に吸着され
ていない状態でリードフレームの所定の位置に加圧しな
がらこすりつけると、半導体ペレット10が破損したり、
キズを発生させたりして、組立てられた半導体装置は不
良品となる。従って、吸着ノズル16と半導体ペレット10
との位置を正しく合致させた状態で吸着させる必要があ
り、このため、半導体ペレットを正しく位置決めしなけ
ればならない。
従来の半導体ペレット位置決め装置は、第４図（ａ）の
平面図に示すように、先端を直角に切り欠かれた規正部
21を有する位置規正片20、この位置規正片20を矢印方向
に移動させる駆動装置（図示せず）よりなり、前記位置
規正片20の開角した規正部21に、半導体ペレット10を位
置させ、位置規正片20を駆動装置により矢印方向に移動
させる。位置規正片20の移動にともない半導体ペレット
10の２つの辺10a,10bは、前記位置規正片20の規正部の
各辺21a,21bに当接し、半導体ペレット10は、位置規正
片20の規正部21に嵌り込んだ状態で所定の位置まで移送
され位置決めされる。
平面図に示すように、先端を直角に切り欠かれた規正部
21を有する位置規正片20、この位置規正片20を矢印方向
に移動させる駆動装置（図示せず）よりなり、前記位置
規正片20の開角した規正部21に、半導体ペレット10を位
置させ、位置規正片20を駆動装置により矢印方向に移動
させる。位置規正片20の移動にともない半導体ペレット
10の２つの辺10a,10bは、前記位置規正片20の規正部の
各辺21a,21bに当接し、半導体ペレット10は、位置規正
片20の規正部21に嵌り込んだ状態で所定の位置まで移送
され位置決めされる。
発明が解決しようとする問題点 しかし、半導体ペレット10が初期状態で、第４図（ｂ）
のように、角度ズレをもち、その角度が略15度以上と大
なる場合には、位置規正片20の移動に従い、半導体ペレ
ット10の角10dが位置規正片20の規正部の辺21aに当接し
た状態で半導体ペレット10は、矢印θの方向に回転し、
角度修正が行われないまま所定の位置まで移送され、正
しい位置決めがなされないという重大な欠点があった。
のように、角度ズレをもち、その角度が略15度以上と大
なる場合には、位置規正片20の移動に従い、半導体ペレ
ット10の角10dが位置規正片20の規正部の辺21aに当接し
た状態で半導体ペレット10は、矢印θの方向に回転し、
角度修正が行われないまま所定の位置まで移送され、正
しい位置決めがなされないという重大な欠点があった。
前記したごとく従来の先端に直角の切り欠け部を有する
位置規正片の直進運動による半導体ペレットの位置決め
装置においては、半導体ペレットの初期状態での角度ズ
レが略15度以上と大なる場合には、正しく位置決めされ
ないという重大なる欠点があった。
位置規正片の直進運動による半導体ペレットの位置決め
装置においては、半導体ペレットの初期状態での角度ズ
レが略15度以上と大なる場合には、正しく位置決めされ
ないという重大なる欠点があった。
問題点を解決するための手段 本発明は、15度以上の大きな角度ズレを有して載置台上
に載置されたペレットを位置規正するペレット位置決め
装置において、駆動装置によって前後左右に移動するテ
ーブルと、前記テーブル上に設けられた支持台と、前記
支持台上に設けられ、モーターにより回転が加えられる
軸部と、前記軸部にその一端が固定されたクランク部
と、前記クランク部の他端とピンで連接され、前記軸部
の回転にともなって円弧運動する連接棹と、前記連接棹
に固定された単一の位置規正爪とを有したペレット位置
決め装置であって、前記位置規正爪は、前記連接棹の同
一線上に固定されたものである。
に載置されたペレットを位置規正するペレット位置決め
装置において、駆動装置によって前後左右に移動するテ
ーブルと、前記テーブル上に設けられた支持台と、前記
支持台上に設けられ、モーターにより回転が加えられる
軸部と、前記軸部にその一端が固定されたクランク部
と、前記クランク部の他端とピンで連接され、前記軸部
の回転にともなって円弧運動する連接棹と、前記連接棹
に固定された単一の位置規正爪とを有したペレット位置
決め装置であって、前記位置規正爪は、前記連接棹の同
一線上に固定されたものである。
作用 直角に開角した規正部を有する位置規正爪を、その方向
を変えることなく円弧運動を行わせると、位置規正爪の
移動状態は、移動の当初はＸ方向の移動量が、Ｙ方向の
移動量に比していちじるしく大であり、まず位置規正爪
の開角せる第一辺（Ｙ辺）が半導体ペレットのＹ辺に当
接し、半導体ペレットの角度ズレを修正し、円弧運動の
進行に従い、位置規正爪の移動は、当初の状態から逆と
なり、Ｙ方向の移動量がＸ方向の移動量に比して大とな
り、位置規正爪の第二辺（Ｘ辺）が半導体ペレットのＸ
辺に当接し、半導体ペレットの両辺が位置規正爪の開角
した規正部に嵌り合った状態で、所定の位置に正しく位
置決めされる。
を変えることなく円弧運動を行わせると、位置規正爪の
移動状態は、移動の当初はＸ方向の移動量が、Ｙ方向の
移動量に比していちじるしく大であり、まず位置規正爪
の開角せる第一辺（Ｙ辺）が半導体ペレットのＹ辺に当
接し、半導体ペレットの角度ズレを修正し、円弧運動の
進行に従い、位置規正爪の移動は、当初の状態から逆と
なり、Ｙ方向の移動量がＸ方向の移動量に比して大とな
り、位置規正爪の第二辺（Ｘ辺）が半導体ペレットのＸ
辺に当接し、半導体ペレットの両辺が位置規正爪の開角
した規正部に嵌り合った状態で、所定の位置に正しく位
置決めされる。
なお、ペレットの位置決めは、まず、半導体ペレットの
角度ズレを修正したのち、所定の位置へと位置決めする
のが、安定した位置決め手順である。
角度ズレを修正したのち、所定の位置へと位置決めする
のが、安定した位置決め手順である。
実施例 第１図および第２図を参照し、本発明ペレット位置決め
装置の一実施例を説明する。
装置の一実施例を説明する。
第１図は実施例による半導体ペレット位置決め装置の全
体的な構成を示す斜視図であり、２つの軸6a,6bにそれ
ぞれ固定された長さの等しいクランク4a,4bと同クラン
ク4a,4bに前記２つの軸6a,6bの軸間距離に等しい点で回
転自在にピン5a,5bで連接された連接棹３よりなる平行
クランク機構と、前記連接棹３に、隣り合う二つの辺2a
と2bとの開き角が90度になるように切り欠かれた規正部
２を有する位置規正爪１が取付けられており、ペレット
載置台９はその上面を前記位置規正爪１の下面にほぼ接
する位置に配されている。
体的な構成を示す斜視図であり、２つの軸6a,6bにそれ
ぞれ固定された長さの等しいクランク4a,4bと同クラン
ク4a,4bに前記２つの軸6a,6bの軸間距離に等しい点で回
転自在にピン5a,5bで連接された連接棹３よりなる平行
クランク機構と、前記連接棹３に、隣り合う二つの辺2a
と2bとの開き角が90度になるように切り欠かれた規正部
２を有する位置規正爪１が取付けられており、ペレット
載置台９はその上面を前記位置規正爪１の下面にほぼ接
する位置に配されている。
前記軸6aは支持台８に回転自在に取付けられ、軸6bはモ
ーター７の回転軸に固定されており、モーター７はおよ
そ90度までの揺動を行うようされている。前記モーター
７の揺動運動に従い、クランク4,連接棹３を通じて、軸
６とピン５の距離に等しい半径で、前記位置規正爪１は
揺動を行うが、位置規正爪１の方向は初期の状態を維持
したままである。
ーター７の回転軸に固定されており、モーター７はおよ
そ90度までの揺動を行うようされている。前記モーター
７の揺動運動に従い、クランク4,連接棹３を通じて、軸
６とピン５の距離に等しい半径で、前記位置規正爪１は
揺動を行うが、位置規正爪１の方向は初期の状態を維持
したままである。
第２図（ａ）〜（ｃ）は、実施例による半導体ペレット
の位置決めの様子を説明する工程順平面図であり、第２
図（ａ）は半導体ペレット10が位置決め領域18からずれ
て、角度αの方向ずれをもってペレット載置台９上の位
置規正爪１の規正部２の内へ載置された初期状態を示す
図であり、この状態から位置規正爪１が円弧運動を開始
する。移動の当初は位置規正爪１のＸ方向の移動量がＹ
方向の移動量に比していちじるしく大であるため、位置
規正爪１の規正部の辺2bが先ず半導体ペレット10の角10
cに当接し、半導体ペレット10にはこれを矢印θ方向に
回転させる力が作用し、所定の角度だけ、すなわち、α
＝０まで半導体ペレット10が回転したところでその１辺
10bと、規正部の辺2bとが完全に当接し、半導体ペレッ
ト10の回転は停止し、正しく角度が決められる。第２図
（ｂ）は、位置規正爪１の移動途中を示す図であり、前
記した、半導体ペレット10の角度が正しく決められた状
態を示している。ひきつづき位置規正爪１は移動を続
け、位置規正爪１の規正部の辺2aが半導体ペレットの辺
10aに当接し、半導体ペレット10は位置規正爪１の規正
部２に嵌り合った状態で所定の位置まで移送させられ
る。第２図（ｃ）は、位置規正爪１の移動が完了した状
態を示す図であり、図示するように半導体ペレット10は
位置決め領域18に正しく位置決めされる。
の位置決めの様子を説明する工程順平面図であり、第２
図（ａ）は半導体ペレット10が位置決め領域18からずれ
て、角度αの方向ずれをもってペレット載置台９上の位
置規正爪１の規正部２の内へ載置された初期状態を示す
図であり、この状態から位置規正爪１が円弧運動を開始
する。移動の当初は位置規正爪１のＸ方向の移動量がＹ
方向の移動量に比していちじるしく大であるため、位置
規正爪１の規正部の辺2bが先ず半導体ペレット10の角10
cに当接し、半導体ペレット10にはこれを矢印θ方向に
回転させる力が作用し、所定の角度だけ、すなわち、α
＝０まで半導体ペレット10が回転したところでその１辺
10bと、規正部の辺2bとが完全に当接し、半導体ペレッ
ト10の回転は停止し、正しく角度が決められる。第２図
（ｂ）は、位置規正爪１の移動途中を示す図であり、前
記した、半導体ペレット10の角度が正しく決められた状
態を示している。ひきつづき位置規正爪１は移動を続
け、位置規正爪１の規正部の辺2aが半導体ペレットの辺
10aに当接し、半導体ペレット10は位置規正爪１の規正
部２に嵌り合った状態で所定の位置まで移送させられ
る。第２図（ｃ）は、位置規正爪１の移動が完了した状
態を示す図であり、図示するように半導体ペレット10は
位置決め領域18に正しく位置決めされる。
支持台８は、XYテーブル11上に取付けられており、XYテ
ーブル11はＸ軸モーター12によりＸ方向に、Ｙ軸モータ
ー13によりＹ方向に移動されるようなっており、位置決
めを行うべき半導体ペレットの寸法の変化に合せて位置
規正爪１の円弧運動の初期及び終端の位置を、前記XYテ
ーブル11によって変化させることにより単一の位置規正
爪を用いて、各種の寸法の半導体ペレットの位置決めを
行うことが可能となる。
ーブル11はＸ軸モーター12によりＸ方向に、Ｙ軸モータ
ー13によりＹ方向に移動されるようなっており、位置決
めを行うべき半導体ペレットの寸法の変化に合せて位置
規正爪１の円弧運動の初期及び終端の位置を、前記XYテ
ーブル11によって変化させることにより単一の位置規正
爪を用いて、各種の寸法の半導体ペレットの位置決めを
行うことが可能となる。
発明の効果 以上説明したことから明らかなように、本発明のペレッ
ト位置決め装置は、ペレットの角度ズレが大きくずれて
いても確実に位置決めを行うと共に、ペレットの大きさ
の変化があっても、この変化の影響を受けることなく単
一の位置規正爪でペレットの位置決めを行うことを可能
とし、装置の取扱い、ならびに保守を容易にする効果が
ある。
ト位置決め装置は、ペレットの角度ズレが大きくずれて
いても確実に位置決めを行うと共に、ペレットの大きさ
の変化があっても、この変化の影響を受けることなく単
一の位置規正爪でペレットの位置決めを行うことを可能
とし、装置の取扱い、ならびに保守を容易にする効果が
ある。
第１図は本発明のペレット位置決め装置の一実施例の構
成を示す斜視図、第２図（ａ）〜（ｃ）は実施例による
半導体ペレットの位置決めの様子を説明する工程順平面
図、第３図（ａ），（ｂ）はペレットマウンターにおけ
る吸着ノズルと半導体ペレットとの関係位置を説明する
従来例断面図であり、第４図（ａ），（ｂ）は従来の半
導体ペレット位置決め装置を説明する図である。 １……位置規正爪、２……規正部、３……連接棹、４…
…クランク、７……モーター、９……ペレット載置台、
10……半導体ペレット、11……XYテーブル、16……吸着
ノズル、18……位置決め領域、20……位置規正片。
成を示す斜視図、第２図（ａ）〜（ｃ）は実施例による
半導体ペレットの位置決めの様子を説明する工程順平面
図、第３図（ａ），（ｂ）はペレットマウンターにおけ
る吸着ノズルと半導体ペレットとの関係位置を説明する
従来例断面図であり、第４図（ａ），（ｂ）は従来の半
導体ペレット位置決め装置を説明する図である。 １……位置規正爪、２……規正部、３……連接棹、４…
…クランク、７……モーター、９……ペレット載置台、
10……半導体ペレット、11……XYテーブル、16……吸着
ノズル、18……位置決め領域、20……位置規正片。
Claims (1)
- 【請求項１】15度以上の大きな角度ズレを有して載置台
上に載置されたペレットを位置規正するペレット位置決
め装置において、駆動装置によって前後左右に移動する
テーブルと、前記テーブル上に設けられた支持台と、前
記支持台上に設けられ、モーターにより回転が加えられ
る軸部と、前記軸部にその一端が固定されたクランク部
と、前記クランク部の他端とピンで連接され、前記軸部
の回転にともなって円弧運動する連接棹と、前記連接棹
に固定された単一の位置規正爪とを有したペレット位置
決め装置であって、前記位置規正爪は、前記連接棹の同
一線上に固定されたことを特徴とするペレット位置決め
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61217464A JPH0787197B2 (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | ペレツト位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61217464A JPH0787197B2 (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | ペレツト位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6373529A JPS6373529A (ja) | 1988-04-04 |
| JPH0787197B2 true JPH0787197B2 (ja) | 1995-09-20 |
Family
ID=16704640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61217464A Expired - Lifetime JPH0787197B2 (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | ペレツト位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0787197B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2862144B2 (ja) * | 1990-06-28 | 1999-02-24 | ローム 株式会社 | 半導体チップの位置決め方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5681940A (en) * | 1979-12-10 | 1981-07-04 | Hitachi Ltd | Pellet bonding device |
| JPS58216428A (ja) * | 1982-06-11 | 1983-12-16 | Toshiba Corp | 半導体チツプ供給装置 |
| JPS58202544A (ja) * | 1983-04-25 | 1983-11-25 | Matsushita Electronics Corp | 半導体ペレツトの位置決め装置 |
-
1986
- 1986-09-16 JP JP61217464A patent/JPH0787197B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6373529A (ja) | 1988-04-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |