JPH06309708A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH06309708A JPH06309708A JP9435493A JP9435493A JPH06309708A JP H06309708 A JPH06309708 A JP H06309708A JP 9435493 A JP9435493 A JP 9435493A JP 9435493 A JP9435493 A JP 9435493A JP H06309708 A JPH06309708 A JP H06309708A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic layer
- magneto
- recording medium
- magnetic
- optical recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高感度に記録でき、高い再生CNRがえられ
る、光強度変調ダイレクト・オーバライトが可能な光磁
気記録媒体を提供する。 【構成】 基板6上に垂直磁気異方性を有する第1磁性
層から第5磁性層1〜5までの5層が順次積層され、そ
れぞれ隣接する層は互いに交換結合され、第1〜第5磁
性層1〜5のそれぞれのキュリー温度をTc1、
Tc2、Tc3、Tc4、Tc5としたときTc1>T
c2、Tc2<Tc4<Tc3、Tc4<Tc5の関係
になるように各磁性層の組成を設定する。
る、光強度変調ダイレクト・オーバライトが可能な光磁
気記録媒体を提供する。 【構成】 基板6上に垂直磁気異方性を有する第1磁性
層から第5磁性層1〜5までの5層が順次積層され、そ
れぞれ隣接する層は互いに交換結合され、第1〜第5磁
性層1〜5のそれぞれのキュリー温度をTc1、
Tc2、Tc3、Tc4、Tc5としたときTc1>T
c2、Tc2<Tc4<Tc3、Tc4<Tc5の関係
になるように各磁性層の組成を設定する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光変調ダイレクト・オ
ーバライトが可能で、とくに記録または再生の特性の向
上を図ることができる光磁気記録媒体に関する。
ーバライトが可能で、とくに記録または再生の特性の向
上を図ることができる光磁気記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の光磁気記録媒体を示す構成図およ
び該光磁気記録媒体への記録を行う記録装置の概要を図
4〜5に示す。図4は、たとえば「ジャーナル オブ
アプライド フィジックス(Journal of Applied Physi
cs)」第67巻9号、1990年5月1日号、4415〜4416頁に
記載された光磁気記録媒体の構成を示す図で、図4〜5
において、16は基板、11〜14はそれぞれ基板16上に形成
された垂直磁気異方性を有する第1磁性層、第2磁性
層、第3磁性層および第4磁性層であり、これらの層は
隣接する層と交換力により結合し、これらの基板16と磁
性層11〜14とで記録媒体18を構成している。17はバイア
ス磁界を発生させるバイアス磁石、19は記録媒体18を駆
動する駆動モータ、20はレーザ光21を出射する半導体レ
ーザ、22は半導体レーザ20から出射されるレーザ光21を
集光し、記録媒体18上に照射させる集光レンズである。
び該光磁気記録媒体への記録を行う記録装置の概要を図
4〜5に示す。図4は、たとえば「ジャーナル オブ
アプライド フィジックス(Journal of Applied Physi
cs)」第67巻9号、1990年5月1日号、4415〜4416頁に
記載された光磁気記録媒体の構成を示す図で、図4〜5
において、16は基板、11〜14はそれぞれ基板16上に形成
された垂直磁気異方性を有する第1磁性層、第2磁性
層、第3磁性層および第4磁性層であり、これらの層は
隣接する層と交換力により結合し、これらの基板16と磁
性層11〜14とで記録媒体18を構成している。17はバイア
ス磁界を発生させるバイアス磁石、19は記録媒体18を駆
動する駆動モータ、20はレーザ光21を出射する半導体レ
ーザ、22は半導体レーザ20から出射されるレーザ光21を
集光し、記録媒体18上に照射させる集光レンズである。
【0003】つぎに、前述のように構成される従来の光
磁気記録媒体のオーバライト動作について説明する。記
録媒体18は成膜後、第2〜第4磁性層12〜14の遷移金属
副格子磁化を最初に一度だけ上向きに配向させておき、
バイアス磁界はバイアス磁石17により下向きに発生させ
る。図6において、矢印は遷移金属副格子磁化の方向
を、斜線部は各磁性層のあいだで磁壁が生じている状態
を、ブランクはキュリー温度以上に昇温し強磁性が失わ
れている状態をそれぞれ示している。
磁気記録媒体のオーバライト動作について説明する。記
録媒体18は成膜後、第2〜第4磁性層12〜14の遷移金属
副格子磁化を最初に一度だけ上向きに配向させておき、
バイアス磁界はバイアス磁石17により下向きに発生させ
る。図6において、矢印は遷移金属副格子磁化の方向
を、斜線部は各磁性層のあいだで磁壁が生じている状態
を、ブランクはキュリー温度以上に昇温し強磁性が失わ
れている状態をそれぞれ示している。
【0004】図6において、まずローパワープロセス
(A)による記録について説明する。半導体レーザ20の
出力を再生時より上昇させ、レーザ光21の集光スポット
内の各磁性層を第1磁性層11のキュリー温度近傍まで昇
温させると、第2磁性層12の副格子磁化の方向が第1磁
性層11に転写され、第1磁性層11の副格子磁化の方向は
上向きになる。この時、第3および第4磁性層13、14は
動作に対してとくに寄与することなく、第3磁性層13の
磁化が消失しても第4磁性層14との交換力で再び同方
向に磁化され、状態「0」の記録、すなわちローパワー
プロセスが行われる。
(A)による記録について説明する。半導体レーザ20の
出力を再生時より上昇させ、レーザ光21の集光スポット
内の各磁性層を第1磁性層11のキュリー温度近傍まで昇
温させると、第2磁性層12の副格子磁化の方向が第1磁
性層11に転写され、第1磁性層11の副格子磁化の方向は
上向きになる。この時、第3および第4磁性層13、14は
動作に対してとくに寄与することなく、第3磁性層13の
磁化が消失しても第4磁性層14との交換力で再び同方
向に磁化され、状態「0」の記録、すなわちローパワー
プロセスが行われる。
【0005】つぎにハイパワープロセス(B)の記録に
ついて説明する。レーザ光の照射により第2磁性層12の
キュリー温度近傍まで前記ローパワープロセスと同様に
昇温させると、第1および第3磁性層11、13の磁化が消
失するが、第4磁性層14の副格子磁化方向は変化しな
い。そして、第1および第3磁性層11、13の磁化が消失
しているため交換力を受けず、第2磁性層12の副格子磁
化の方向はバイアス磁界により下向きになる。さらに、
第1磁性層11のキュリー温度より降温させると、第2磁
性層12の副格子磁化の方向が第1磁性層11に転写され、
第1磁性層11の副格子磁化の方向は下向きになる。そし
て、第3磁性層13のキュリー温度より降温させると、第
3磁性層13の副格子磁化の方向は第4磁性層14の副格子
磁化の方向と揃い上向きになる。さらに温度が下がり第
2磁性層12の副格子磁化の方向は第3磁性層13を介して
第4磁性層14の副格子磁化の向きと揃い上向きになっ
て、状態「1」の記録、すなわちハイパワープロセスが
行われる。以上のようにして、記録レーザ強度を少なく
とも2値に変調することでオーバライトが可能になる。
ついて説明する。レーザ光の照射により第2磁性層12の
キュリー温度近傍まで前記ローパワープロセスと同様に
昇温させると、第1および第3磁性層11、13の磁化が消
失するが、第4磁性層14の副格子磁化方向は変化しな
い。そして、第1および第3磁性層11、13の磁化が消失
しているため交換力を受けず、第2磁性層12の副格子磁
化の方向はバイアス磁界により下向きになる。さらに、
第1磁性層11のキュリー温度より降温させると、第2磁
性層12の副格子磁化の方向が第1磁性層11に転写され、
第1磁性層11の副格子磁化の方向は下向きになる。そし
て、第3磁性層13のキュリー温度より降温させると、第
3磁性層13の副格子磁化の方向は第4磁性層14の副格子
磁化の方向と揃い上向きになる。さらに温度が下がり第
2磁性層12の副格子磁化の方向は第3磁性層13を介して
第4磁性層14の副格子磁化の向きと揃い上向きになっ
て、状態「1」の記録、すなわちハイパワープロセスが
行われる。以上のようにして、記録レーザ強度を少なく
とも2値に変調することでオーバライトが可能になる。
【0006】一方、光変調ダイレクト・オーバライト可
能な光磁気記録媒体の第1磁性層に高キュリー温度を有
するGdFeCo膜を用い再生CNRの改善を図ったも
のが「プロシーディング オブ ザ 1991 インターナ
ショナル シンポジウム オン オプティカル メモリ
(Proceedings of the 1991 International Symposium
on Optical Memory)」55〜57頁に示されている。この
光磁気記録媒体では光変調ダイレクト・オーバライト動
作を実現させるために、3〜4kOeの磁界を発生する
初期化磁石といわれる外部磁界発生装置をあらたに設け
る必要があり、本発明の光磁気記録媒体とは大きく異な
る。
能な光磁気記録媒体の第1磁性層に高キュリー温度を有
するGdFeCo膜を用い再生CNRの改善を図ったも
のが「プロシーディング オブ ザ 1991 インターナ
ショナル シンポジウム オン オプティカル メモリ
(Proceedings of the 1991 International Symposium
on Optical Memory)」55〜57頁に示されている。この
光磁気記録媒体では光変調ダイレクト・オーバライト動
作を実現させるために、3〜4kOeの磁界を発生する
初期化磁石といわれる外部磁界発生装置をあらたに設け
る必要があり、本発明の光磁気記録媒体とは大きく異な
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来の光磁気記録媒体
は以上のように構成されており、第1磁性層11のキュリ
ー温度近傍においてローパワープロセスが、また第2磁
性層12のキュリー温度近傍においてハイパワープロセス
が行われる。これら第1磁性層11および第2磁性層12の
キュリー温度を低くすることにより記録感度を向上させ
ることができる。しかし、充分な記録再生特性をうるた
めにローパワープロセスとハイパワープロセスを行う温
度に差をつける、すなわち第1磁性層11と第2磁性層12
のキュリー温度に充分な温度差を設ける必要がある。一
方、キュリー温度の低い磁性膜においては信号強度に関
係する磁気光学効果のカー回転角が小さく記録再生特性
が劣化するため、第1磁性層11のキュリー温度を低くで
きないという問題がある。
は以上のように構成されており、第1磁性層11のキュリ
ー温度近傍においてローパワープロセスが、また第2磁
性層12のキュリー温度近傍においてハイパワープロセス
が行われる。これら第1磁性層11および第2磁性層12の
キュリー温度を低くすることにより記録感度を向上させ
ることができる。しかし、充分な記録再生特性をうるた
めにローパワープロセスとハイパワープロセスを行う温
度に差をつける、すなわち第1磁性層11と第2磁性層12
のキュリー温度に充分な温度差を設ける必要がある。一
方、キュリー温度の低い磁性膜においては信号強度に関
係する磁気光学効果のカー回転角が小さく記録再生特性
が劣化するため、第1磁性層11のキュリー温度を低くで
きないという問題がある。
【0008】本発明は前述のような問題を解消するため
になされたもので、高感度で高い信号出力がえられる光
磁気記録媒体を提供することを目的とする。
になされたもので、高感度で高い信号出力がえられる光
磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の光磁気記録媒体
は、基板上に垂直磁気異方性を有する第1磁性層から第
5磁性層までの5層が順次積層され、それぞれ隣接する
層は互いに交換結合されている光強度変調ダイレクト・
オーバライトが可能な光磁気記録媒体であって、その媒
体の各磁性層が、 Tc1>Tc2、Tc2<Tc4<Tc3、かつ、T
c4<Tc5 ただし、Tc1:第1磁性層のキュリー温度 Tc2:第2磁性層のキュリー温度 Tc3:第3磁性層のキュリー温度 Tc4:第4磁性層のキュリー温度 Tc5:第5磁性層のキュリー温度 の関係にあるものである。
は、基板上に垂直磁気異方性を有する第1磁性層から第
5磁性層までの5層が順次積層され、それぞれ隣接する
層は互いに交換結合されている光強度変調ダイレクト・
オーバライトが可能な光磁気記録媒体であって、その媒
体の各磁性層が、 Tc1>Tc2、Tc2<Tc4<Tc3、かつ、T
c4<Tc5 ただし、Tc1:第1磁性層のキュリー温度 Tc2:第2磁性層のキュリー温度 Tc3:第3磁性層のキュリー温度 Tc4:第4磁性層のキュリー温度 Tc5:第5磁性層のキュリー温度 の関係にあるものである。
【0010】また、本発明の光磁気記録媒体は前記各磁
性層の関係でさらに、Tc1<Tc5、かつ、Tc3<
Tc5の関係にあることが好ましい。
性層の関係でさらに、Tc1<Tc5、かつ、Tc3<
Tc5の関係にあることが好ましい。
【0011】さらに、本発明の光磁気記録媒体は前記各
磁性層の関係でさらに、Tc4<Tc1の関係にあるこ
とが好ましい。
磁性層の関係でさらに、Tc4<Tc1の関係にあるこ
とが好ましい。
【0012】さらに、本発明の光磁気記録媒体は、第1
磁性層が希土類金属元素Nd、Gd、TbおよびDyよ
りなる群から選ばれた少なくとも1種の元素と、遷移金
属元素FeおよびCoよりなる群から選ばれた少なくと
も1種の元素とを主体とした合金であることが好まし
い。
磁性層が希土類金属元素Nd、Gd、TbおよびDyよ
りなる群から選ばれた少なくとも1種の元素と、遷移金
属元素FeおよびCoよりなる群から選ばれた少なくと
も1種の元素とを主体とした合金であることが好まし
い。
【0013】さらに、本発明の光磁気記録媒体は、第2
磁性層が希土類金属元素TbおよびDyよりなる群から
選ばれた少なくとも1種の元素と、遷移金属元素Feお
よびCoよりなる群から選ばれた少なくとも1種の元素
とを主体とした合金であることが好ましい。
磁性層が希土類金属元素TbおよびDyよりなる群から
選ばれた少なくとも1種の元素と、遷移金属元素Feお
よびCoよりなる群から選ばれた少なくとも1種の元素
とを主体とした合金であることが好ましい。
【0014】さらに、本発明の光磁気記録媒体は、第3
磁性層が希土類金属元素Gd、TbおよびDyよりなる
群から選ばれた少なくとも1種の元素と、遷移金属元素
FeおよびCoよりなる群から選ばれた少なくとも1種
の元素とを主体とした合金であることが好ましい。
磁性層が希土類金属元素Gd、TbおよびDyよりなる
群から選ばれた少なくとも1種の元素と、遷移金属元素
FeおよびCoよりなる群から選ばれた少なくとも1種
の元素とを主体とした合金であることが好ましい。
【0015】また、本発明の光磁気記録媒体は、第4磁
性層が希土類金属元素TbおよびDyよりなる群から選
ばれた少なくとも1種の元素と、遷移金属元素Feおよ
びCoよりなる群から選ばれた少なくとも1種の元素と
を主体とした合金であることが好ましい。
性層が希土類金属元素TbおよびDyよりなる群から選
ばれた少なくとも1種の元素と、遷移金属元素Feおよ
びCoよりなる群から選ばれた少なくとも1種の元素と
を主体とした合金であることが好ましい。
【0016】さらに、本発明の光磁気記録媒体は第5磁
性層が希土類金属元素であるTbと、遷移金属元素Fe
およびCoよりなる群から選ばれた少なくとも1種の元
素とを主体とした合金であることが好ましい。
性層が希土類金属元素であるTbと、遷移金属元素Fe
およびCoよりなる群から選ばれた少なくとも1種の元
素とを主体とした合金であることが好ましい。
【0017】さらに、本発明の光磁気記録媒体は第2磁
性層と第3磁性層とのあいだに両層の交換結合力を調整
するための中間層が設けられていることが好ましい。
性層と第3磁性層とのあいだに両層の交換結合力を調整
するための中間層が設けられていることが好ましい。
【0018】さらに、本発明の光磁気記録媒体は磁性膜
の少なくとも一方の側に誘電体からなるカー効果エンハ
ンス層および/または保護膜が設けられていることが好
ましい。
の少なくとも一方の側に誘電体からなるカー効果エンハ
ンス層および/または保護膜が設けられていることが好
ましい。
【0019】また、本発明の光磁気記録媒体は第1磁性
層が少なくともPtまたはPdと、Coとの合金膜から
なっていてもよい。
層が少なくともPtまたはPdと、Coとの合金膜から
なっていてもよい。
【0020】また、本発明の光磁気記録媒体は第1磁性
層が少なくともPtまたはPdと、Coとを積層した多
層膜からなっていてもよい。
層が少なくともPtまたはPdと、Coとを積層した多
層膜からなっていてもよい。
【0021】
【作用】本発明における光磁気記録媒体では、磁性層を
5層で形成し、第1磁性層の副格子磁化の方向を第2磁
性層の副格子磁化の方向と交換結合させているため、第
1磁性層のキュリー温度を高く設定することができると
共に、第2磁性層および第3磁性層のキュリー温度を低
く設定することができ、しかも第2磁性層と第3磁性層
のキュリー温度に充分な温度差を設けることができる。
そのため、高い記録感度を実現でき、さら第1磁性層の
キュリー温度を高くすることによりカー回転角が大きく
なり、高い再生CNR(Carrier to Noise Ratio)がえ
られる。
5層で形成し、第1磁性層の副格子磁化の方向を第2磁
性層の副格子磁化の方向と交換結合させているため、第
1磁性層のキュリー温度を高く設定することができると
共に、第2磁性層および第3磁性層のキュリー温度を低
く設定することができ、しかも第2磁性層と第3磁性層
のキュリー温度に充分な温度差を設けることができる。
そのため、高い記録感度を実現でき、さら第1磁性層の
キュリー温度を高くすることによりカー回転角が大きく
なり、高い再生CNR(Carrier to Noise Ratio)がえ
られる。
【0022】
【実施例】つぎに、本発明の実施例を図面を参照しなが
ら説明する。図1は本発明の実施例における光磁気記録
媒体を示す構成図である。6はガラスまたはプラスチッ
クスの透明基板、1〜5は互いに交換結合させた第1磁
性層、第2磁性層、第3磁性層、第4磁性層および第5
磁性層で、これら各磁性層1〜5はガラスまたはプラス
チックスなどからなる透明基板6上に順次スパッタ法に
より成膜され、記録媒体8を構成している。7はバイア
ス磁石である。なお図示はされていないが、このように
積層された磁性層の両側には誘電体層および保護膜が形
成されている。
ら説明する。図1は本発明の実施例における光磁気記録
媒体を示す構成図である。6はガラスまたはプラスチッ
クスの透明基板、1〜5は互いに交換結合させた第1磁
性層、第2磁性層、第3磁性層、第4磁性層および第5
磁性層で、これら各磁性層1〜5はガラスまたはプラス
チックスなどからなる透明基板6上に順次スパッタ法に
より成膜され、記録媒体8を構成している。7はバイア
ス磁石である。なお図示はされていないが、このように
積層された磁性層の両側には誘電体層および保護膜が形
成されている。
【0023】第1磁性層1の副格子磁化方向は、第2磁
性層2との交換力により第2磁性層2の副格子磁化方向
と同じ方向になり、再生時のレーザ光照射により温度上
昇によるカー回転角の低下の小さい材料、たとえば(N
dR1GdR2TbR3DyR4)x(Fe1-yCoy)1-x(R1
〜R4はそれぞれ0≦R1〜R4≦1で、R1+R2+
R3+R4=1、0.05<x<0.3、0≦y≦1)などの
希土類金属と遷移金属との合金で形成される。前記xの
範囲は0.1<x<0.25であることがさらに好ましい。
性層2との交換力により第2磁性層2の副格子磁化方向
と同じ方向になり、再生時のレーザ光照射により温度上
昇によるカー回転角の低下の小さい材料、たとえば(N
dR1GdR2TbR3DyR4)x(Fe1-yCoy)1-x(R1
〜R4はそれぞれ0≦R1〜R4≦1で、R1+R2+
R3+R4=1、0.05<x<0.3、0≦y≦1)などの
希土類金属と遷移金属との合金で形成される。前記xの
範囲は0.1<x<0.25であることがさらに好ましい。
【0024】また、PtまたはPdとCoとの合金で形
成されたものであってもよい。このばあい短波長域での
磁気光学効果を向上させるという効果がある。さらに、
この合金膜をPtまたはPdとCoとをたとえば2元同
時スパッタ法などにより積層して形成したばあいにおい
て、周期を短くしてミキシングなどにより合金化したも
のでもよい。このばあいにおいても同様の効果がある。
また第1磁性層1の膜厚は1〜100nmの範囲であればよ
く、さらに10〜50nmの範囲が好ましい。膜厚が厚すぎる
と記録に必要なレーザパワーが増大して記録感度が低下
するだけでなく、第2磁性層2からの副格子磁化方向の
転写特性が悪化してノイズレベルの上昇によりCNRが
低下し、膜厚が薄すぎると高い再生CNRがえられない
からである。
成されたものであってもよい。このばあい短波長域での
磁気光学効果を向上させるという効果がある。さらに、
この合金膜をPtまたはPdとCoとをたとえば2元同
時スパッタ法などにより積層して形成したばあいにおい
て、周期を短くしてミキシングなどにより合金化したも
のでもよい。このばあいにおいても同様の効果がある。
また第1磁性層1の膜厚は1〜100nmの範囲であればよ
く、さらに10〜50nmの範囲が好ましい。膜厚が厚すぎる
と記録に必要なレーザパワーが増大して記録感度が低下
するだけでなく、第2磁性層2からの副格子磁化方向の
転写特性が悪化してノイズレベルの上昇によりCNRが
低下し、膜厚が薄すぎると高い再生CNRがえられない
からである。
【0025】第2磁性層2は第3磁性層3の副格子磁化
方向との交換力により降温時に副格子磁化方向が決めら
れるものであり、キュリー温度Tc2は第3磁性層3お
よび第4磁性層4のキュリー温度Tc3、Tc4より低
い材料であり、「1」、「0」の記録情報を保持するた
め高保磁力を有する材料、たとえば(TbR5DyR6)v
(Fe1-wCow)1-v(0≦R5≦1、0≦R6≦1で
R5+R6=1、0.1<v<0.3、0≦w≦0.5)などが
使用される。前記vの範囲は0.2<v<0.25であること
がさらに好ましい。また第2磁性層2の膜厚は10〜100n
mの範囲であればよく、さらに10〜50nmの範囲が好まし
い。膜厚が厚すぎると記録に必要なレーザパワーが増大
して記録感度が低下するだけでなく、第3磁性層3から
の副格子磁化方向の転写特性が悪化して記録磁界依存性
が悪化し、膜厚が薄すぎると第3磁性層3からの交換力
が強く働き、磁化の保持が不安定となるからである。
方向との交換力により降温時に副格子磁化方向が決めら
れるものであり、キュリー温度Tc2は第3磁性層3お
よび第4磁性層4のキュリー温度Tc3、Tc4より低
い材料であり、「1」、「0」の記録情報を保持するた
め高保磁力を有する材料、たとえば(TbR5DyR6)v
(Fe1-wCow)1-v(0≦R5≦1、0≦R6≦1で
R5+R6=1、0.1<v<0.3、0≦w≦0.5)などが
使用される。前記vの範囲は0.2<v<0.25であること
がさらに好ましい。また第2磁性層2の膜厚は10〜100n
mの範囲であればよく、さらに10〜50nmの範囲が好まし
い。膜厚が厚すぎると記録に必要なレーザパワーが増大
して記録感度が低下するだけでなく、第3磁性層3から
の副格子磁化方向の転写特性が悪化して記録磁界依存性
が悪化し、膜厚が薄すぎると第3磁性層3からの交換力
が強く働き、磁化の保持が不安定となるからである。
【0026】第3磁性層3はハイパワープロセスにおい
てバイアス磁界により副格子磁化方向が決められる層で
あり、キュリー温度Tc3は第2磁性層2および第4磁
性層4のキュリー温度Tc2、Tc4よりも高く、第5
磁性層5のキュリー温度Tc5より低い材料、たとえば
(GdR7TbR8DyR9)t(Fe1-uCou)1-t(R7〜
R9はそれぞれ0≦R7〜R9≦1で、R7+R8+R
9=1、0.15<t<0.4、0.2≦u≦1)などが使用され
る。とくにtの範囲が0.2<t<0.3であることが好まし
く、さらにはDyt(Fe1-uCou)1-tがキュリー温度
などの磁気特性の制御において望ましい。また第3磁性
層3の膜厚は20〜200nmの範囲であればよく、さらに30
〜60nmの範囲が好ましい。膜厚が厚すぎると記録に必要
なレーザパワーが増大して記録感度が低下し、膜厚が薄
すぎると第2磁性層2への副格子磁化方向の転写特性が
悪化しするからである。
てバイアス磁界により副格子磁化方向が決められる層で
あり、キュリー温度Tc3は第2磁性層2および第4磁
性層4のキュリー温度Tc2、Tc4よりも高く、第5
磁性層5のキュリー温度Tc5より低い材料、たとえば
(GdR7TbR8DyR9)t(Fe1-uCou)1-t(R7〜
R9はそれぞれ0≦R7〜R9≦1で、R7+R8+R
9=1、0.15<t<0.4、0.2≦u≦1)などが使用され
る。とくにtの範囲が0.2<t<0.3であることが好まし
く、さらにはDyt(Fe1-uCou)1-tがキュリー温度
などの磁気特性の制御において望ましい。また第3磁性
層3の膜厚は20〜200nmの範囲であればよく、さらに30
〜60nmの範囲が好ましい。膜厚が厚すぎると記録に必要
なレーザパワーが増大して記録感度が低下し、膜厚が薄
すぎると第2磁性層2への副格子磁化方向の転写特性が
悪化しするからである。
【0027】第4磁性層4は第3磁性層3と第5磁性層
5との層間の交換力をハイパワープロセスが行われる高
い温度で遮断し、低い温度では第3磁性層および第5磁
性層とのあいだにそれぞれ交換力を有し、副格子磁化の
方向がそれぞれ同じ方向になるような材料で、キュリー
温度Tc4は第3磁性層3のキュリー温度Tc3より低
い材料、たとえば(TbR10DyR11)r(Fe1-sC
os)1-r(0≦R10≦1、0≦R11≦1でR10+R11=
1、0.05<r<0.4、0≦s≦0.5)などが使用される。
前記rの範囲は0.1<r<0.2であることがさらに好まし
い。また第4磁性層4の膜厚は5〜50nmの範囲であれば
よく、さらに8〜30nmの範囲が好ましい。膜厚が厚す
ぎると記録に必要なレーザパワーが増大して記録感度が
低下し、膜厚が薄すぎるとハイパワープロセスでの第3
磁性層3と第5磁性層5間の交換力を十分に遮断できな
い。
5との層間の交換力をハイパワープロセスが行われる高
い温度で遮断し、低い温度では第3磁性層および第5磁
性層とのあいだにそれぞれ交換力を有し、副格子磁化の
方向がそれぞれ同じ方向になるような材料で、キュリー
温度Tc4は第3磁性層3のキュリー温度Tc3より低
い材料、たとえば(TbR10DyR11)r(Fe1-sC
os)1-r(0≦R10≦1、0≦R11≦1でR10+R11=
1、0.05<r<0.4、0≦s≦0.5)などが使用される。
前記rの範囲は0.1<r<0.2であることがさらに好まし
い。また第4磁性層4の膜厚は5〜50nmの範囲であれば
よく、さらに8〜30nmの範囲が好ましい。膜厚が厚す
ぎると記録に必要なレーザパワーが増大して記録感度が
低下し、膜厚が薄すぎるとハイパワープロセスでの第3
磁性層3と第5磁性層5間の交換力を十分に遮断できな
い。
【0028】第5磁性層5はハイパワープロセスにおい
て副格子磁化の方向が変化しない垂直磁気異方性が大き
く、キュリー温度Tc5が300℃以上の材料、たとえば
Tbp(Fe1-qCoq)1-p(0.15<p<0.4、0.3≦q≦
1)などが使用される。前記pの範囲は0.2<p<0.3で
あることがさらに好ましい。また第5磁性層5の膜厚は
20〜200nmの範囲であればよく、さらに30〜80nmの範囲
が好ましい。膜厚が厚すぎると記録に必要なレーザパワ
ーが増大して記録感度が低下し、膜厚が薄すぎると記録
および保存時に副格子磁化方向が不安定となる。
て副格子磁化の方向が変化しない垂直磁気異方性が大き
く、キュリー温度Tc5が300℃以上の材料、たとえば
Tbp(Fe1-qCoq)1-p(0.15<p<0.4、0.3≦q≦
1)などが使用される。前記pの範囲は0.2<p<0.3で
あることがさらに好ましい。また第5磁性層5の膜厚は
20〜200nmの範囲であればよく、さらに30〜80nmの範囲
が好ましい。膜厚が厚すぎると記録に必要なレーザパワ
ーが増大して記録感度が低下し、膜厚が薄すぎると記録
および保存時に副格子磁化方向が不安定となる。
【0029】また、誘電体層(図示せず)はカーエンハ
ンスメント効果を利用し見かけ上のカー回転角を増大さ
せると共に、反射率を低下させることでノイズレベルを
下げて再生CNRを向上させるための層で、Si、A
l、Tiなどのチッ化物または酸化物、およびそれらの
混合物(SiNx、SiOx、AlOx、AlNx、T
iNx、GeNx、SiAlNx、SiAlONなど)
からなる誘電体膜が用いられる。また誘電体層の膜厚は
用いる材料の屈折率(通常n=2.0〜2.5)により決ま
り、積層された磁性層の少なくとも基板側に50〜80nmの
厚さで設けられることが好ましい。
ンスメント効果を利用し見かけ上のカー回転角を増大さ
せると共に、反射率を低下させることでノイズレベルを
下げて再生CNRを向上させるための層で、Si、A
l、Tiなどのチッ化物または酸化物、およびそれらの
混合物(SiNx、SiOx、AlOx、AlNx、T
iNx、GeNx、SiAlNx、SiAlONなど)
からなる誘電体膜が用いられる。また誘電体層の膜厚は
用いる材料の屈折率(通常n=2.0〜2.5)により決ま
り、積層された磁性層の少なくとも基板側に50〜80nmの
厚さで設けられることが好ましい。
【0030】さらに保護層は磁性膜の信頼性向上のため
のもので、前記誘電体層と同じ材料が用いられ、積層さ
れた磁性層の両側にピンホールのない高信頼性がえられ
る膜厚として50〜100nm程度の厚さで設けられる。前述
の誘電体層が設けられているばあいは保護層と誘電体層
とを兼用することができる。
のもので、前記誘電体層と同じ材料が用いられ、積層さ
れた磁性層の両側にピンホールのない高信頼性がえられ
る膜厚として50〜100nm程度の厚さで設けられる。前述
の誘電体層が設けられているばあいは保護層と誘電体層
とを兼用することができる。
【0031】前述の各磁性層のキュリー温度の関係をま
とめると、 Tc1>Tc2、Tc2<Tc4<Tc3、かつ、Tc4<Tc5 (1) の関係になり、この関係にすることによりローパワープ
ロセスとハイパワープロセスによる記録を高感度で確実
にすることができ、しかもTc1を高くすることができ
るため、再生時にカー回転角が大きくなり、高いCNR
がえられる。
とめると、 Tc1>Tc2、Tc2<Tc4<Tc3、かつ、Tc4<Tc5 (1) の関係になり、この関係にすることによりローパワープ
ロセスとハイパワープロセスによる記録を高感度で確実
にすることができ、しかもTc1を高くすることができ
るため、再生時にカー回転角が大きくなり、高いCNR
がえられる。
【0032】前記各磁性層のキュリー温度の関係(1)
で、さらに Tc3<Tc5、かつ、Tc1<Tc5 (2) の関係にすることにより、第5磁性層5の安定性が向上
し、さらに高信頼性の優れた光磁気記録媒体がえられる
(後述する実施例37〜39参照)。
で、さらに Tc3<Tc5、かつ、Tc1<Tc5 (2) の関係にすることにより、第5磁性層5の安定性が向上
し、さらに高信頼性の優れた光磁気記録媒体がえられる
(後述する実施例37〜39参照)。
【0033】また、前記各磁性層のキュリー温度の関係
(1)または(1)と(2)で、さらに Tc1>Tc4 (3) の関係にすることにより、すなわち第1磁性層1のキュ
リー温度を高く設定することにより、えられる再生信号
強度が向上し、さらに高い再生CNRを有する光磁気記
録媒体がえられる(後述する実施例1〜19、22〜33参
照)。
(1)または(1)と(2)で、さらに Tc1>Tc4 (3) の関係にすることにより、すなわち第1磁性層1のキュ
リー温度を高く設定することにより、えられる再生信号
強度が向上し、さらに高い再生CNRを有する光磁気記
録媒体がえられる(後述する実施例1〜19、22〜33参
照)。
【0034】また、第2磁性層2と第3磁性層3とのあ
いだに、たとえば(GdR12TbR13DyR14HoR15)m
(Fe1-nCon)1-m(R12〜R15はそれぞれ0〜1
で、R12+R13+R14+R15=1、0.15<m<0.4、0
≦n≦1)のような磁性層からなる中間層を設けること
により、第2磁性層2と第3磁性層3とのあいだの交換
力を調整することができ、ハイパワープロセスを行った
のちに、第2磁性層2および第1磁性層1の副格子磁化
方向が反転して「1」の記録が「0」になる事故を防止
することができる(後述する実施例41、42参照)。なお
前記mの範囲は0.25<m<0.35であることがさらに好ま
しい。
いだに、たとえば(GdR12TbR13DyR14HoR15)m
(Fe1-nCon)1-m(R12〜R15はそれぞれ0〜1
で、R12+R13+R14+R15=1、0.15<m<0.4、0
≦n≦1)のような磁性層からなる中間層を設けること
により、第2磁性層2と第3磁性層3とのあいだの交換
力を調整することができ、ハイパワープロセスを行った
のちに、第2磁性層2および第1磁性層1の副格子磁化
方向が反転して「1」の記録が「0」になる事故を防止
することができる(後述する実施例41、42参照)。なお
前記mの範囲は0.25<m<0.35であることがさらに好ま
しい。
【0035】この中間層は第2磁性層2と第3磁性層3
とのあいだの交換力(界面磁壁エネルギー密度に比例)
を制御する(主に小さくする)ために用いられる。界面
磁壁エネルギー密度を低減するためには第2および第3
磁性層2、3に用いられる磁性材料に比べて垂直磁気異
方性エネルギーの小さい磁性材料または非磁性材料を用
いることが好ましい。したがって、他の第1〜第5磁性
層1〜5と同様な希土類−遷移金属(RE−TM)非晶
質合金を用いるばあい、垂直磁気異方性エネルギーの小
さな希土類金属にGdを主成分として用いたRE−TM
膜がとくに有効な材料である。
とのあいだの交換力(界面磁壁エネルギー密度に比例)
を制御する(主に小さくする)ために用いられる。界面
磁壁エネルギー密度を低減するためには第2および第3
磁性層2、3に用いられる磁性材料に比べて垂直磁気異
方性エネルギーの小さい磁性材料または非磁性材料を用
いることが好ましい。したがって、他の第1〜第5磁性
層1〜5と同様な希土類−遷移金属(RE−TM)非晶
質合金を用いるばあい、垂直磁気異方性エネルギーの小
さな希土類金属にGdを主成分として用いたRE−TM
膜がとくに有効な材料である。
【0036】また中間層の膜厚は1〜30nmが好ましく、
あまり膜厚が厚すぎると記録感度が低下する。
あまり膜厚が厚すぎると記録感度が低下する。
【0037】なお、各層の材料は第3磁性層としてDy
FeCo3元系非晶質合金を用い、第4磁性層としては
TbFeCo3元系非晶質合金を用いるとキュリー温度
などの磁気特性の制御が容易になるなど生産性において
有効である。
FeCo3元系非晶質合金を用い、第4磁性層としては
TbFeCo3元系非晶質合金を用いるとキュリー温度
などの磁気特性の制御が容易になるなど生産性において
有効である。
【0038】これらの磁性層からなる光磁気記録媒体に
おいて、光変調オーバライト可能な高感度、かつ、高い
再生CNRが実現された。
おいて、光変調オーバライト可能な高感度、かつ、高い
再生CNRが実現された。
【0039】つぎに図2を参照しながら、本発明の光磁
気記録媒体のオーバライトの動作について説明する。
気記録媒体のオーバライトの動作について説明する。
【0040】まずローパワープロセス(A)について説
明する。半導体レーザの出力を再生時より上昇させ、レ
ーザ光の集光スポット内の各磁性層を第2磁性層2のキ
ュリー温度近傍または第4磁性層4のキュリー温度近傍
まで昇温させる。第4磁性層4のキュリー温度は第2磁
性層2のキュリー温度より高く設定されている。そして
第2磁性層のキュリー温度近傍まで温度が下がると、第
3磁性層3の副格子磁化方向が第2磁性層2に転写さ
れ、第2磁性層2の副格子磁化方向は上向きになる。そ
ののち、第2磁性層2の副格子磁化方向が第1磁性層1
の交換力により第1磁性層1の副格子磁化方向も上向き
になる。このとき、第4および第5磁性層4、5はオー
バライト動作に対してとくに寄与することなく、第4磁
性層4の磁化が消失しても第5磁性層5との交換力で再
び第5磁性層5の副格子磁化方向と同じ方向に磁化さ
れ、状態「0」、すなわちローパワープロセスが行われ
る。
明する。半導体レーザの出力を再生時より上昇させ、レ
ーザ光の集光スポット内の各磁性層を第2磁性層2のキ
ュリー温度近傍または第4磁性層4のキュリー温度近傍
まで昇温させる。第4磁性層4のキュリー温度は第2磁
性層2のキュリー温度より高く設定されている。そして
第2磁性層のキュリー温度近傍まで温度が下がると、第
3磁性層3の副格子磁化方向が第2磁性層2に転写さ
れ、第2磁性層2の副格子磁化方向は上向きになる。そ
ののち、第2磁性層2の副格子磁化方向が第1磁性層1
の交換力により第1磁性層1の副格子磁化方向も上向き
になる。このとき、第4および第5磁性層4、5はオー
バライト動作に対してとくに寄与することなく、第4磁
性層4の磁化が消失しても第5磁性層5との交換力で再
び第5磁性層5の副格子磁化方向と同じ方向に磁化さ
れ、状態「0」、すなわちローパワープロセスが行われ
る。
【0041】また、図2のハイパワープロセス(B)で
は、レーザ光の照射により第3磁性層3のキュリー温度
近傍まで前記ローパワープロセスと同様に昇温させる
と、第2および第4磁性層2、4の磁化が消失するが、
第5磁性層5の副格子磁化方向は変化しない。そして、
第2および第4磁性層2、4の磁化が消失しているため
交換力を受けず、第3磁性層3の副格子磁化方向はバイ
アス磁界により下向きになる。つぎに、第4磁性層4の
キュリー温度より降温させると、第5磁性層5の副格子
磁化方向が第4磁性層4に転写され、第4磁性層4の副
格子磁化方向は上向きになる。さらに、第2磁性層2の
キュリー温度より降温させると、第3磁性層3の副格子
磁化方向が第2磁性層2に転写され、第2磁性層2の副
格子磁化方向は下向きになる。さらに温度が下がると、
第3磁性層3の副格子磁化方向は第4磁性層4を介して
第5磁性層5の副格子磁化方向と揃い上向きなる。室温
付近では第2磁性層2と第3磁性層3の交換力は第2磁
性層2の保磁力に比べ弱くなるため、第2磁性層2、第
1磁性層1の副格子磁化方向は下向きのままで、状態
「1」、すなわちハイパワープロセスが行われる。以上
のようにして、記録レーザ強度を少なくとも2値に変調
することでオーバライトが可能になる。
は、レーザ光の照射により第3磁性層3のキュリー温度
近傍まで前記ローパワープロセスと同様に昇温させる
と、第2および第4磁性層2、4の磁化が消失するが、
第5磁性層5の副格子磁化方向は変化しない。そして、
第2および第4磁性層2、4の磁化が消失しているため
交換力を受けず、第3磁性層3の副格子磁化方向はバイ
アス磁界により下向きになる。つぎに、第4磁性層4の
キュリー温度より降温させると、第5磁性層5の副格子
磁化方向が第4磁性層4に転写され、第4磁性層4の副
格子磁化方向は上向きになる。さらに、第2磁性層2の
キュリー温度より降温させると、第3磁性層3の副格子
磁化方向が第2磁性層2に転写され、第2磁性層2の副
格子磁化方向は下向きになる。さらに温度が下がると、
第3磁性層3の副格子磁化方向は第4磁性層4を介して
第5磁性層5の副格子磁化方向と揃い上向きなる。室温
付近では第2磁性層2と第3磁性層3の交換力は第2磁
性層2の保磁力に比べ弱くなるため、第2磁性層2、第
1磁性層1の副格子磁化方向は下向きのままで、状態
「1」、すなわちハイパワープロセスが行われる。以上
のようにして、記録レーザ強度を少なくとも2値に変調
することでオーバライトが可能になる。
【0042】つぎに、具体的な実施例で本発明をさらに
詳細に説明する。前記各構成部材としてつぎの材料で形
成した(合金の具体的な元素比率(原子比)は後述の各
実施例を参照)。
詳細に説明する。前記各構成部材としてつぎの材料で形
成した(合金の具体的な元素比率(原子比)は後述の各
実施例を参照)。
【0043】 基板6 :厚さ1.2mmの溝つきPC基板 誘電体層 :SiNx(屈折率n=2.2) 膜厚500Å 第1磁性層1:GdFeCo3元系非晶質合金 膜厚200Å 第2磁性層2:TbFe2元系非晶質合金 膜厚200Å 第3磁性層3:DyFeCo3元系非晶質合金 膜厚300Å 第4磁性層5:TbFeCo3元系非晶質合金 膜厚150Å 第5磁性層5:TbFeCo3元系非晶質合金 膜厚400Å 保護層 :SiNx 前記のように構成された記録媒体を用い、記録周波数5
MHzの信号を線速7.54m/sec、印加磁界300Oe、パル
ス幅100nsecで記録パワーを変化させ光変調オーバライ
トを行った結果を図3に示す。図3において左側のプロ
ットは再生時のレーザ光のパワーによる再生CNRの影
響を調べたもので、レーザ光をDC照射したときの再生
CNRであり、右側のプロットがローパワー一定でハイ
パワーを変化させた時の再生CNRの変化を示したもの
で、左側のプロットより再生時のパワーが2mW以上にな
ると記録が壊れ、再生CNRが劣化することを示してて
いる。図3には実施例1の組成の各磁性層で構成された
光磁気記録媒体の例を示してあるが、図3からも明らか
なように、ハイパワーPH=6.5mWにおいて再生CNR
=50.2dBの良好なCNRがえられている。このときのオ
ーバライト記録における消去比も40dB以上であった。
MHzの信号を線速7.54m/sec、印加磁界300Oe、パル
ス幅100nsecで記録パワーを変化させ光変調オーバライ
トを行った結果を図3に示す。図3において左側のプロ
ットは再生時のレーザ光のパワーによる再生CNRの影
響を調べたもので、レーザ光をDC照射したときの再生
CNRであり、右側のプロットがローパワー一定でハイ
パワーを変化させた時の再生CNRの変化を示したもの
で、左側のプロットより再生時のパワーが2mW以上にな
ると記録が壊れ、再生CNRが劣化することを示してて
いる。図3には実施例1の組成の各磁性層で構成された
光磁気記録媒体の例を示してあるが、図3からも明らか
なように、ハイパワーPH=6.5mWにおいて再生CNR
=50.2dBの良好なCNRがえられている。このときのオ
ーバライト記録における消去比も40dB以上であった。
【0044】各構成部材および膜厚などは同じ構成(実
施例41と42では第2磁性層と第3磁性層とのあいだに50
Åの中間層を介在させている)で、各磁性層の合金の各
原子の比率(%)を変えたときの再生CNRを記録パワ
ーと共に以下に示す。
施例41と42では第2磁性層と第3磁性層とのあいだに50
Åの中間層を介在させている)で、各磁性層の合金の各
原子の比率(%)を変えたときの再生CNRを記録パワ
ーと共に以下に示す。
【0045】[実施例1] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe81Co2 Tc4=155℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5≧300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=6.5mW/3.5mW、再生CNR=50.2dB
【0046】[実施例2] 第1磁性層 :Gd19Fe68Co13 Tc1=295℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe81Co2 Tc4=155℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=6.5mW/3.5mW、再生CNR=50.5dB
【0047】[実施例3] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb21Fe79 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe81Co2 Tc4=155℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.0mW/3.5mW、再生CNR=50.3dB
【0048】[実施例4] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb25Fe75 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe81Co2 Tc4=155℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.0mW/3.5mW、再生CNR=49.8dB
【0049】[実施例5] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy23Fe52Co25 Tc3=290℃ 第4磁性層 :Tb17Fe81Co2 Tc4=155℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.5mW/3.5mW、再生CNR=50.1dB
【0050】[実施例6] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy26Fe51Co23 Tc3=270℃ 第4磁性層 :Tb17Fe79Co4 Tc4=175℃ 第5磁性層 :Tb25Fe35Co40 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=6.5mW/3.0mW、再生CNR=50.2dB
【0051】[実施例7] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy27Fe49Co24 Tc3=270℃ 第4磁性層 :Tb17Fe81Co2 Tc4=155℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.5mW/3.0mW、再生CNR=50.2d
B
B
【0052】[実施例8] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb21Fe79 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe54Co21 Tc3=240℃ 第4磁性層 :Tb17Fe81Co2 Tc4=155℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=6.5mW/3.0mW、再生CNR=49.0d
B
B
【0053】[実施例9] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb21Fe79 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe30Co45 Tc3>300℃ 第4磁性層 :Tb17Fe81Co2 Tc4=155℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=9.0mW/3.5mW、再生CNR=47.5dB
【0054】[実施例10] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb21Fe79 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy26Co74 Tc3>300℃ 第4磁性層 :Tb17Fe81Co2 Tc4=155℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=9.0mW/3.5mW、再生CNR=46.8dB
【0055】[実施例11] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb14Fe83Co3 Tc4=160℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.0mW/3.5mW、再生CNR=50.2dB
【0056】[実施例12] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb18Fe80Co2 Tc4=155℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.0mW/3.5mW、再生CNR=50.4dB
【0057】[実施例13] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe79Co4 Tc4=175℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.0mW/4.0mW、再生CNR=50.1dB
【0058】[実施例14] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe78Co5 Tc4=185℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.0mW/4.0mW、再生CNR=50.3dB
【0059】[実施例15] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe80Co3 Tc4=165℃ 第5磁性層 :Tb23Fe17Co60 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.5mW/3.5mW、再生CNR=50.2dB
【0060】[実施例16] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe80Co3 Tc4=165℃ 第5磁性層 :Tb26Fe16Co58 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.0mW/3.5mW、再生CNR=50.0dB
【0061】[実施例17] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe80Co3 Tc4=165℃ 第5磁性層 :Tb23Co77 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.0mW/3.5mW、再生CNR=49.9dB
【0062】[実施例18] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe80Co3 Tc4=165℃ 第5磁性層 :Tb26Co74 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.0mW/3.5mW、再生CNR=50.1dB
【0063】[実施例19] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe80Co3 Tc4=160℃ 第5磁性層 :Tb24Fe38Co38 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.5mW/3.5mW、再生CNR=50.2dB
【0064】[実施例20] 第1磁性層 :Gd20Co80 Tc1>300℃ 第2磁性層 :Tb21Fe79 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe81Co2 Tc4=155℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.0mW/4.0mW、再生CNR=46.0dB
【0065】[実施例21] 第1磁性層 :Gd23Fe15Co62 Tc1>300℃ 第2磁性層 :Tb21Fe79 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe81Co2 Tc4=155℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.0mW/4.5mW、再生CNR=47.1dB
【0066】[実施例22] 第1磁性層 :Gd12Tb10Fe60Co18 Tc1=290℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe80Co3 Tc4=170℃ 第5磁性層 :Tb25Fe16Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.5mW/3.5mW、再生CNR=49.0dB
【0067】[実施例23] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe75Co3 Tc2=170℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe78Co5 Tc4=185℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.5mW/3.5mW、再生CNR=48.8dB
【0068】[実施例24] 第1磁性層 :Gd19Fe68Co13 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb24Fe73Co3 Tc2=170℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe78Co5 Tc4=185℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.5mW/4.0mW、再生CNR=49.5dB
【0069】[実施例25] 第1磁性層 :Tb18Fe63Co19 Tc1=290℃ 第2磁性層 :Tb24Fe73Co3 Tc2=170℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe78Co5 Tc4=185℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.5mW/3.5mW、再生CNR=48.5d
B
B
【0070】[実施例26] 第1磁性層 :Tb18Fe69Co13 Tc1=230℃ 第2磁性層 :Tb24Fe73Co3 Tc2=170℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe78Co5 Tc4=185℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.5mW/4.5mW、再生CNR=47.1d
B
B
【0071】[実施例27] 第1磁性層 :Gd20Fe67Co13 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Gd8Dy17Fe57Co18 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe79Co4 Tc4=175℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.5mW/4.0mW、再生CNR=48.0dB
【0072】[実施例28] 第1磁性層 :Gd20Dy3Fe62Co15 Tc1=290℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Gd8Dy17Fe57Co18 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe79Co4 Tc4=175℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=8.0mW/3.0mW、再生CNR=48.2dB
【0073】[実施例29] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Dy23Fe70Co7 Tc2=160℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe79Co4 Tc4=175℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=8.0mW/3.5mW、再生CNR=49.4dB
【0074】[実施例30] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Tb5Dy20Fe57Co18 Tc3=265℃ 第4磁性層 :Tb17Fe79Co4 Tc4=175℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=6.5mW/3.5mW、再生CNR=47.5dB
【0075】[実施例31] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb25Fe73Co2 Tc2=160℃ 第3磁性層 :Tb5Dy20Fe57Co18 Tc3=265℃ 第4磁性層 :Tb17Fe79Co4 Tc4=175℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.0mW/4.0mW、再生CNR=47.2dB
【0076】[実施例32] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy26Fe51Co23 Tc3=270℃ 第4磁性層 :Tb15Dy2Fe78Co5 Tc4=170℃ 第5磁性層 :Tb25Fe35Co40 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=6.5mW/4.0mW、再生CNR=48.5dB
【0077】[実施例33] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb16Dy3Fe81 Tc2=120℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb16Fe84 Tc4=150℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.0mW/2.5mW、再生CNR=46.7dB
【0078】[実施例34] 第1磁性層 :Nd10Gd19Fe55Co16 Tc1>300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Gd8Dy17Fe57Co18 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe79Co4 Tc4=175℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.5mW/3.5mW、再生CNR=47.1dB
【0079】[実施例35] 第1磁性層 :Pt77Co23 Tc1=200℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe79Co4 Tc4=175℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.5mW/3.0mW、再生CNR=47.5dB
【0080】[実施例36] 第1磁性層 :Pd76Co24 Tc1=200℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe79Co4 Tc4=175℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.0mW/4.0mW、再生CNR=46.8dB
【0081】[実施例37] 第1磁性層 :Tb18Fe78Co4 Tc1=180℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy27Fe48Co25 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe77Co6 Tc4=190℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.0mW/4.5mW、再生CNR=45.5dB
【0082】[実施例38] 第1磁性層 :Tb18Fe78Co4 Tc1=180℃ 第2磁性層 :Tb22Fe76Co2 Tc2=170℃ 第3磁性層 :Dy25Fe48Co27 Tc3=300℃ 第4磁性層 :Tb17Fe77Co6 Tc4=190℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=7.5mW/4.5mW、再生CNR=45.3dB
【0083】[実施例39] 第1磁性層 :Tb15Fe81Co4 Tc1=175℃ 第2磁性層 :Tb23Fe77 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe48Co27 Tc3=300℃ 第4磁性層 :Tb15Fe79Co6 Tc4=190℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=8.0mW/3.5mW、再生CNR=45.0dB
【0084】[実施例40] 第1磁性層 :Gd23Fe60Co17 Tc1>300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe76Co2 Tc2=170℃ 第3磁性層 :Dy25Fe48Co27 Tc3=300℃ 第4磁性層 :Tb17Fe77Co6 Tc4=190℃ 第5磁性層 :Tb24Fe55Co21 Tc5=290℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=8.0mW/3.5mW、再生CNR=46.5dB
【0085】[実施例41] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 中 間 層 :Gd32Fe63Co5 Tc =300℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe79Co4 Tc4=175℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=8.0mW/4.0mW、再生CNR=50.3dB
【0086】[実施例42] 第1磁性層 :Pt76Co24 Tc1=200℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 中 間 層 :Gd32Fe63Co5 Tc =300℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe79Co4 Tc4=175℃ 第5磁性層 :Tb25Co75 Tc5>300℃ 記録再生特性:記録パワーPH/PL=8.0mW/3.5mW、再生CNR=47.5dB
【0087】[比較例1] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe83 Tc4=140℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 第4磁性層のキュリー温度が低くオーバライト動作せず:Tc2>Tc4
【0088】[比較例2] 第1磁性層 :Tb23Fe77 Tc1=150℃ 第2磁性層 :Tb24Fe73Co3 Tc2=170℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe81Co2 Tc4=155℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 第1磁性層のキュリー温度が低い:Tc1<Tc2、再生CNR=38.5dB
【0089】[比較例3] 第1磁性層 :Dy20Fe80 Tc1=80℃ 第2磁性層 :Tb24Fe73Co3 Tc2=170℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe81Co2 Tc4=155℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 第1磁性層のキュリー温度が低い:Tc1<Tc2、再生CNR=28.5dB
【0090】[比較例4] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy24Fe56Co20 Tc3=245℃ 第4磁性層 :Tb17Fe58Co25 Tc4=260℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 第4磁性層のキュリー温度が高くオーバライト動作せず:Tc3<Tc4
【0091】[比較例5] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe61Co17 Tc2=280℃ 第3磁性層 :Dy24Fe56Co20 Tc3=245℃ 第4磁性層 :Tb18Fe63Co19 Tc4=290℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 第2磁性層のキュリー温度が高くオーバライト動作せず:Tc2>Tc3
【0092】[比較例6] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy24Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Dy17Fe83 Tc4=80℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 第4磁性層のキュリー温度が低くオーバライト動作せず:Tc4<Tc2
【0093】[比較例7] 第1磁性層 :Gd23Fe65Co12 Tc1=300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe79Co4 Tc4=175℃ 第5磁性層 :Tb24Fe73Co3 Tc5=170℃ 第5磁性層のキュリー温度が低くオーバライト動作せず:Tc4>Tc5
【0094】[比較例8] 第1磁性層 :Fe70Co30 Tc1>300℃ 第2磁性層 :Tb22Fe78 Tc2=150℃ 第3磁性層 :Dy25Fe51Co24 Tc3=280℃ 第4磁性層 :Tb17Fe81Co2 Tc4=155℃ 第5磁性層 :Tb24Fe17Co59 Tc5>300℃ 第1磁性層が遷移金属のみ。再生CNR=25.2dB
【0095】なお、前述の光磁気記録媒体を接着剤など
により貼り合せ両面媒体としたもの、または保護層上に
紫外線硬化樹脂などの層を加えた構成のものも同様の効
果を奏することができる。また、前述の光磁気記録媒体
の各磁性層に磁気特性を大きく変えない程度にAl、C
rなどの他の元素を少量添加したものも同様の効果を奏
することができる。
により貼り合せ両面媒体としたもの、または保護層上に
紫外線硬化樹脂などの層を加えた構成のものも同様の効
果を奏することができる。また、前述の光磁気記録媒体
の各磁性層に磁気特性を大きく変えない程度にAl、C
rなどの他の元素を少量添加したものも同様の効果を奏
することができる。
【0096】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば互いに交
換結合した第1磁性層から第5磁性層までのキュリー温
度を設定することにより、高記録感度で高い再生CNR
を有する光変調ダイレクト・オーバライト可能な光磁気
記録媒体がえられる。
換結合した第1磁性層から第5磁性層までのキュリー温
度を設定することにより、高記録感度で高い再生CNR
を有する光変調ダイレクト・オーバライト可能な光磁気
記録媒体がえられる。
【図1】本発明の一実施例における光磁気記録媒体を示
す構成図である。
す構成図である。
【図2】図1に示す光磁気記録媒体への記録動作を説明
するための模式図である。
するための模式図である。
【図3】記録レーザパワーを変化させたばあいのCNR
の記録パワー依存性を示す特性図である。
の記録パワー依存性を示す特性図である。
【図4】従来の磁気記録媒体を示す構成図である。
【図5】図4に示す光磁気記録媒体への記録を行う記録
装置の概要を示す斜視図である。
装置の概要を示す斜視図である。
【図6】図4に示す光磁気記録媒体への記録動作を説明
するための模式図である。
するための模式図である。
【符号の説明】 1 第1磁性層 2 第2磁性層 3 第3磁性層 4 第4磁性層 5 第5磁性層 6 基板 8 記録媒体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 堤 和彦 尼崎市塚口本町8丁目1番1号 三菱電機 株式会社材料デバイス研究所内
Claims (12)
- 【請求項1】 基板上に垂直磁気異方性を有する第1磁
性層から第5磁性層までの5層が順次積層され、それぞ
れ隣接する層は互いに交換結合されている光強度変調ダ
イレクト・オーバライトが可能な光磁気記録媒体であっ
て、その媒体の各磁性層が、 Tc1>Tc2、Tc2<Tc4<Tc3、かつ、T
c4<Tc5 ただし、Tc1:第1磁性層のキュリー温度 Tc2:第2磁性層のキュリー温度 Tc3:第3磁性層のキュリー温度 Tc4:第4磁性層のキュリー温度 Tc5:第5磁性層のキュリー温度 の関係にある光磁気記録媒体。 - 【請求項2】 前記各磁性層の関係でさらに、Tc1<
Tc5、かつ、Tc3<Tc5の関係にある請求項1記
載の光磁気記録媒体。 - 【請求項3】 前記各磁性層の関係でさらに、Tc4<
Tc1の関係にある請求項1または2記載の光磁気記録
媒体。 - 【請求項4】 第1磁性層が希土類金属元素Nd、G
d、TbおよびDyよりなる群から選ばれた少なくとも
1種の元素と、遷移金属元素FeおよびCoよりなる群
から選ばれた少なくとも1種の元素とを主体とした合金
である請求項1、2または3記載の光磁気記録媒体。 - 【請求項5】 第2磁性層が希土類金属元素Tbおよび
Dyよりなる群から選ばれた少なくとも1種の元素と、
遷移金属元素FeおよびCoよりなる群から選ばれた少
なくとも1種の元素とを主体とした合金である請求項
1、2または3記載の光磁気記録媒体。 - 【請求項6】 第3磁性層が希土類金属元素Gd、Tb
およびDyよりなる群から選ばれた少なくとも1種の元
素と、遷移金属元素FeおよびCoよりなる群から選ば
れた少なくとも1種の元素とを主体とした合金である請
求項1、2または3記載の光磁気記録媒体。 - 【請求項7】 第4磁性層が希土類金属元素Tbおよび
Dyよりなる群から選ばれた少なくとも1種の元素と、
遷移金属元素FeおよびCoよりなる群から選ばれた少
なくとも1種の元素とを主体とした合金である請求項
1、2または3記載の光磁気記録媒体。 - 【請求項8】 第5磁性層が希土類金属元素であるTb
と、遷移金属元素FeおよびCoよりなる群から選ばれ
た少なくとも1種の元素とを主体とした合金である請求
項1、2または3記載の光磁気記録媒体。 - 【請求項9】 第2磁性層と第3磁性層とのあいだに両
層の交換結合力を調整するための中間層が設けられてな
る請求項1、2または3記載の光磁気記録媒体。 - 【請求項10】 磁性膜の少なくとも一方の側に誘電体
からなるカー効果エンハンス層および/または保護膜が
設けられてなる請求項1、2または3記載の光磁気記録
媒体。 - 【請求項11】 第1磁性層が少なくともPtまたはP
dと、Coとの合金膜からなる請求項1、2または3記
載の光磁気記録媒体。 - 【請求項12】 第1磁性層が少なくともPtまたはP
dと、Coとを積層した多層膜からなる請求項1、2ま
たは3記載の光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9435493A JPH06309708A (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9435493A JPH06309708A (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06309708A true JPH06309708A (ja) | 1994-11-04 |
Family
ID=14107957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9435493A Pending JPH06309708A (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06309708A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1341362A3 (en) * | 2002-02-27 | 2003-12-10 | Hosiden Besson Limited | Hands free audio kit for helmet wearers |
-
1993
- 1993-04-21 JP JP9435493A patent/JPH06309708A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1341362A3 (en) * | 2002-02-27 | 2003-12-10 | Hosiden Besson Limited | Hands free audio kit for helmet wearers |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH06162589A (ja) | 光磁気記録媒体及び光磁気記録方法 | |
| KR950003184B1 (ko) | 광자기 기록매체 | |
| JP3192281B2 (ja) | 光磁気記録媒体の記録方法 | |
| JP3192302B2 (ja) | 光磁気記録媒体及びその記録方法 | |
| JP3092363B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH06251443A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2707796B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH0877626A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2815034B2 (ja) | 光磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP3089659B2 (ja) | 光磁気記録媒体及びその記録方法 | |
| KR930010474B1 (ko) | 광자기 기록매체 및 광자기 기록매체의 제조방법 | |
| JP2782957B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH09120595A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2757560B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2770836B2 (ja) | 光磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP2505602B2 (ja) | 光磁気記録担体及び光磁気記録担体の製造方法 | |
| JP3272539B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH08147776A (ja) | 光磁気記録媒体および光磁気記録再生方法 | |
| JPH06309710A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH07320320A (ja) | 光磁気記録媒体及び光磁気記録方法並びに光磁気記録情報の再生方法 | |
| JPH1125533A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH10334527A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH06325418A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH03230340A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH05342657A (ja) | 光磁気記録媒体 |