JPH06312457A - 耐食性フッ素樹脂薄膜被覆の形成方法 - Google Patents
耐食性フッ素樹脂薄膜被覆の形成方法Info
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- JPH06312457A JPH06312457A JP10421593A JP10421593A JPH06312457A JP H06312457 A JPH06312457 A JP H06312457A JP 10421593 A JP10421593 A JP 10421593A JP 10421593 A JP10421593 A JP 10421593A JP H06312457 A JPH06312457 A JP H06312457A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 信頼性および耐久性に優れた耐食性フッ素樹
脂薄膜被覆を形成する方法を提供する。 【構成】 部品を覆うように成形された少なくとも2つ
のフッ素樹脂成形物を作製するステップと、少なくとも
2つのフッ素樹脂成形物によって部品を覆うステップ
と、部品を覆った状態で少なくとも2つのフッ素樹脂成
形物を加熱溶接するステップとを備える。
脂薄膜被覆を形成する方法を提供する。 【構成】 部品を覆うように成形された少なくとも2つ
のフッ素樹脂成形物を作製するステップと、少なくとも
2つのフッ素樹脂成形物によって部品を覆うステップ
と、部品を覆った状態で少なくとも2つのフッ素樹脂成
形物を加熱溶接するステップとを備える。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、耐食性フッ素樹脂薄
膜被覆の形成方法に関するものであり、特に、信頼性お
よび耐久性に優れた耐食性フッ素樹脂薄膜被覆を形成す
る方法に関するものである。
膜被覆の形成方法に関するものであり、特に、信頼性お
よび耐久性に優れた耐食性フッ素樹脂薄膜被覆を形成す
る方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】フッ素樹脂は、耐熱性、耐薬品性および
電気絶縁性に優れており、従来より、被覆材料として多
用されている。
電気絶縁性に優れており、従来より、被覆材料として多
用されている。
【0003】従来、このフッ素樹脂を種々の部品等の表
面に薄膜被覆する際には、フッ素樹脂を部品等の表面に
スプレーして塗布することによりコーティングを行なう
方法、もしくは、型を用いて射出成形によりインサート
する方法が用いられている。
面に薄膜被覆する際には、フッ素樹脂を部品等の表面に
スプレーして塗布することによりコーティングを行なう
方法、もしくは、型を用いて射出成形によりインサート
する方法が用いられている。
【0004】このようなフッ素樹脂の薄膜被覆の形成
は、たとえば、半導体製造技術および医療機器等に適用
されるターボ型ポンプのインペラ(羽根車)にも利用さ
れている。以下、このターボ型ポンプのインペラへのフ
ッ素樹脂薄膜被覆の形成について、図を参照して詳しく
説明する。
は、たとえば、半導体製造技術および医療機器等に適用
されるターボ型ポンプのインペラ(羽根車)にも利用さ
れている。以下、このターボ型ポンプのインペラへのフ
ッ素樹脂薄膜被覆の形成について、図を参照して詳しく
説明する。
【0005】図4は、磁気的作用によって支持されたイ
ンペラを有するターボ型ポンプの一例の構造を示す断面
図である。
ンペラを有するターボ型ポンプの一例の構造を示す断面
図である。
【0006】図4を参照して、このターボ型ポンプにお
いて、ポンプケーシング50内に設けられたインペラ
は、永久磁石3が取付けられたカップリング側インペラ
30と、位置センサ用ターゲット7が取付けられた磁気
軸受側インペラ40とから構成されている。
いて、ポンプケーシング50内に設けられたインペラ
は、永久磁石3が取付けられたカップリング側インペラ
30と、位置センサ用ターゲット7が取付けられた磁気
軸受側インペラ40とから構成されている。
【0007】図5は、カップリング側インペラの一例を
示す図である。図5(a)は永久磁石3が取付けられた
方と反対側から見た正面図の一部であり、図5(b)は
図5(a)のC−C′線で示す断面図である。
示す図である。図5(a)は永久磁石3が取付けられた
方と反対側から見た正面図の一部であり、図5(b)は
図5(a)のC−C′線で示す断面図である。
【0008】図5(a)および図5(b)を参照して、
このカップリング側インペラは、アルミニウム合金等の
非磁性金属部材21からなり、背面側に永久磁石3が取
付けられ、正面側には溝26を有している。また、数か
所に、磁気軸受側インペラと接続するためのねじ穴27
が設けられている。
このカップリング側インペラは、アルミニウム合金等の
非磁性金属部材21からなり、背面側に永久磁石3が取
付けられ、正面側には溝26を有している。また、数か
所に、磁気軸受側インペラと接続するためのねじ穴27
が設けられている。
【0009】図6は、磁気軸受側インペラの一例を示す
図である。図6(a)は位置センサ用ターゲット7が取
付けられた側から見た正面図の一部であり、図6(b)
は図6(a)のD−D′線で示す断面図である。
図である。図6(a)は位置センサ用ターゲット7が取
付けられた側から見た正面図の一部であり、図6(b)
は図6(a)のD−D′線で示す断面図である。
【0010】図6(a)および図6(b)を参照して、
この磁気軸受側インペラは、軟鉄部材25からなり、正
面側に位置センサ用ターゲット7が取付けられている。
また、この軟鉄部材25は、継鉄としての作用を有して
いる。
この磁気軸受側インペラは、軟鉄部材25からなり、正
面側に位置センサ用ターゲット7が取付けられている。
また、この軟鉄部材25は、継鉄としての作用を有して
いる。
【0011】従来、図5に示すカップリング側インペラ
および図6に示す磁気軸受側インペラへの耐食性フッ素
樹脂薄膜被覆の形成は、フッ素樹脂を全表面にスプレー
して塗布することによりコーティングする方法がとられ
ていた。そして、コーティングされたこれら2つをねじ
止めして接合することにより、耐食性フッ素樹脂薄膜が
被覆されたインペラを作製していた。
および図6に示す磁気軸受側インペラへの耐食性フッ素
樹脂薄膜被覆の形成は、フッ素樹脂を全表面にスプレー
して塗布することによりコーティングする方法がとられ
ていた。そして、コーティングされたこれら2つをねじ
止めして接合することにより、耐食性フッ素樹脂薄膜が
被覆されたインペラを作製していた。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】一般に、フッ素樹脂薄
膜被覆の形成において、スプレーして塗布することによ
りコーティングする方法を用いた場合には、部品の細部
や角部においてピンホールと呼ばれる微細な穴ができて
しまうため、均一な樹脂層を形成することができず、被
覆の信頼性および耐久性に欠けるという問題があった。
膜被覆の形成において、スプレーして塗布することによ
りコーティングする方法を用いた場合には、部品の細部
や角部においてピンホールと呼ばれる微細な穴ができて
しまうため、均一な樹脂層を形成することができず、被
覆の信頼性および耐久性に欠けるという問題があった。
【0013】一方、型を用いて射出成形によりインサー
トする方法を用いた場合には、型の中に部品等を中立に
保持することが必要になる。この部品の保持は、支持部
材を用いて行なうことができるが、この場合には、支持
部材を取付けた部分に被覆を形成することができない。
また、成形後に支持部材を取り外してこの部分を樹脂で
埋めた場合には、薄膜被覆に他の部分と特性の異なる部
分ができてしまい、同様に、被覆の信頼性および耐久性
に欠けるという問題があった。
トする方法を用いた場合には、型の中に部品等を中立に
保持することが必要になる。この部品の保持は、支持部
材を用いて行なうことができるが、この場合には、支持
部材を取付けた部分に被覆を形成することができない。
また、成形後に支持部材を取り外してこの部分を樹脂で
埋めた場合には、薄膜被覆に他の部分と特性の異なる部
分ができてしまい、同様に、被覆の信頼性および耐久性
に欠けるという問題があった。
【0014】たとえば、前述のターボ型ポンプのインペ
ラに耐食性フッ素樹脂薄膜被覆を形成する場合には、ス
プレーしてコーティングする方法が用いられているが、
この場合にも同様の問題があった。また、インペラに耐
食性フッ素樹脂薄膜被覆を形成する場合には、カップリ
ング側インペラおよび磁気軸受側インペラのそれぞれ永
久磁石および位置センサ用ターゲットが取付けられた正
面側は、被覆の膜厚を薄くする必要がある。しかしなが
ら、従来の方法では、信頼性および耐久性に優れた耐食
性フッ素樹脂薄膜被覆を、薄く形成することは不可能で
あった。
ラに耐食性フッ素樹脂薄膜被覆を形成する場合には、ス
プレーしてコーティングする方法が用いられているが、
この場合にも同様の問題があった。また、インペラに耐
食性フッ素樹脂薄膜被覆を形成する場合には、カップリ
ング側インペラおよび磁気軸受側インペラのそれぞれ永
久磁石および位置センサ用ターゲットが取付けられた正
面側は、被覆の膜厚を薄くする必要がある。しかしなが
ら、従来の方法では、信頼性および耐久性に優れた耐食
性フッ素樹脂薄膜被覆を、薄く形成することは不可能で
あった。
【0015】この発明の目的は、これらの問題点を解決
し、信頼性および耐久性に優れた耐食性フッ素樹脂薄膜
被覆を形成する方法を、提供することにある。
し、信頼性および耐久性に優れた耐食性フッ素樹脂薄膜
被覆を形成する方法を、提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明による耐
食性フッ素樹脂薄膜被覆の形成方法は、部品に耐食性フ
ッ素樹脂薄膜被覆を形成する方法であって、部品を覆う
ように成形された少なくとも2つのフッ素樹脂成形物を
作製するステップと、少なくとも2つのフッ素樹脂成形
物によって部品を覆うステップと、部品を覆った状態
で、少なくとも2つのフッ素樹脂成形物を加熱溶接する
ステップとを備えている。
食性フッ素樹脂薄膜被覆の形成方法は、部品に耐食性フ
ッ素樹脂薄膜被覆を形成する方法であって、部品を覆う
ように成形された少なくとも2つのフッ素樹脂成形物を
作製するステップと、少なくとも2つのフッ素樹脂成形
物によって部品を覆うステップと、部品を覆った状態
で、少なくとも2つのフッ素樹脂成形物を加熱溶接する
ステップとを備えている。
【0017】請求項2の発明による耐食性フッ素樹脂薄
膜被覆の形成方法は、請求項1の発明において、少なく
とも2つのフッ素樹脂成形物のうち、1つはシート状で
あることを特徴としている。
膜被覆の形成方法は、請求項1の発明において、少なく
とも2つのフッ素樹脂成形物のうち、1つはシート状で
あることを特徴としている。
【0018】請求項3の発明による耐食性フッ素樹脂薄
膜被覆の形成方法は、請求項1または請求項2の発明に
おいて、フッ素樹脂は、四フッ化エチレンとパーフロロ
アルキルビニルエーテルとの共重合樹脂(以下、「PF
A」と略す)を含んでいる。
膜被覆の形成方法は、請求項1または請求項2の発明に
おいて、フッ素樹脂は、四フッ化エチレンとパーフロロ
アルキルビニルエーテルとの共重合樹脂(以下、「PF
A」と略す)を含んでいる。
【0019】請求項4の発明による耐食性フッ素樹脂薄
膜被覆の形成方法は、請求項1ないし請求項3の発明に
おいて、部品は、ポンプに用いられる部品を含んでい
る。
膜被覆の形成方法は、請求項1ないし請求項3の発明に
おいて、部品は、ポンプに用いられる部品を含んでい
る。
【0020】請求項5の発明による耐食性フッ素樹脂薄
膜被覆の形成方法は、部品の少なくとも1つの平坦面に
耐食性フッ素樹脂薄膜被覆を形成する方法であって、部
品の少なくとも1つの平坦面を露出して残りの部分を覆
うように成形されたフッ素樹脂成形物を作製するステッ
プと、部品の露出した平坦面を覆うシート状のフッ素樹
脂薄膜を作製するステップと、フッ素樹脂成形物および
フッ素樹脂薄膜によって部品を覆うステップと、部品を
覆った状態でフッ素樹脂成形物とフッ素樹脂薄膜とを加
熱溶接するステップとを備えている。
膜被覆の形成方法は、部品の少なくとも1つの平坦面に
耐食性フッ素樹脂薄膜被覆を形成する方法であって、部
品の少なくとも1つの平坦面を露出して残りの部分を覆
うように成形されたフッ素樹脂成形物を作製するステッ
プと、部品の露出した平坦面を覆うシート状のフッ素樹
脂薄膜を作製するステップと、フッ素樹脂成形物および
フッ素樹脂薄膜によって部品を覆うステップと、部品を
覆った状態でフッ素樹脂成形物とフッ素樹脂薄膜とを加
熱溶接するステップとを備えている。
【0021】
【作用】この発明によれば、部品を覆うように成形され
た少なくとも2つのフッ素樹脂成形物によって部品を覆
い、この状態でこれらのフッ素樹脂成形物を加熱溶接し
ている。そのため、従来のスプレーによりコーティング
する場合のように、ピンホールができることがない。ま
た、従来の射出成形によりインサートする場合のよう
に、部品を中立に保持する必要もない。したがって、信
頼性および耐久性に優れた、耐食性フッ素樹脂薄膜被覆
を形成することができる。
た少なくとも2つのフッ素樹脂成形物によって部品を覆
い、この状態でこれらのフッ素樹脂成形物を加熱溶接し
ている。そのため、従来のスプレーによりコーティング
する場合のように、ピンホールができることがない。ま
た、従来の射出成形によりインサートする場合のよう
に、部品を中立に保持する必要もない。したがって、信
頼性および耐久性に優れた、耐食性フッ素樹脂薄膜被覆
を形成することができる。
【0022】また、この発明によれば、フッ素樹脂成形
物としてシート状のフッ素樹脂成形物を用いることによ
り、信頼性および耐久性に優れ、かつ、膜厚の薄い耐食
性フッ素樹脂薄膜被覆を、容易に形成することができ
る。
物としてシート状のフッ素樹脂成形物を用いることによ
り、信頼性および耐久性に優れ、かつ、膜厚の薄い耐食
性フッ素樹脂薄膜被覆を、容易に形成することができ
る。
【0023】さらに、この発明によれば、部品の平坦面
に耐食性フッ素樹脂薄膜被覆を形成する際、平坦面を露
出して残りの部分を覆うように成形されたフッ素樹脂成
形物と、露出した平坦面を覆うシート状のフッ素樹脂薄
膜とによって部品を覆い、この状態で、これらのフッ素
樹脂成形物とフッ素樹脂薄膜とを加熱溶接している。そ
のため、部品の平坦面に、信頼性および耐久性に優れ、
かつ、膜厚の薄い耐食性フッ素樹脂薄膜被覆を、容易に
形成することができる。
に耐食性フッ素樹脂薄膜被覆を形成する際、平坦面を露
出して残りの部分を覆うように成形されたフッ素樹脂成
形物と、露出した平坦面を覆うシート状のフッ素樹脂薄
膜とによって部品を覆い、この状態で、これらのフッ素
樹脂成形物とフッ素樹脂薄膜とを加熱溶接している。そ
のため、部品の平坦面に、信頼性および耐久性に優れ、
かつ、膜厚の薄い耐食性フッ素樹脂薄膜被覆を、容易に
形成することができる。
【0024】
【実施例】以下、本発明に従い、ターボ型ポンプのイン
ペラへ耐食性フッ素樹脂薄膜を形成する方法について、
図を参照して説明する。
ペラへ耐食性フッ素樹脂薄膜を形成する方法について、
図を参照して説明する。
【0025】図1は、本発明に従い、カップリング側イ
ンペラに耐食性フッ素樹脂薄膜被覆を形成する一工程を
示す図である。図1(a)は永久磁石が取付けられた側
から見た正面図の一部であり、図1(b)は図1(a)
のA−A′線で示す断面図である。
ンペラに耐食性フッ素樹脂薄膜被覆を形成する一工程を
示す図である。図1(a)は永久磁石が取付けられた側
から見た正面図の一部であり、図1(b)は図1(a)
のA−A′線で示す断面図である。
【0026】図1(a)および図1(b)を参照して、
まず、耐食性フッ素樹脂のPFAを予め成形または機械
加工することにより、PFA部材1を作製する。なお、
このPFA部材1には、図5と同様に一方に溝が形成さ
れているが、図中は省略している。次に、作製されたP
FA部材1の中に、アルミニウム合金等の非磁性金属部
材2内に挿入された永久磁石3のセットを入れる。な
お、この非磁性金属部材2は、後の加熱溶接工程におい
て、PFA部材1中で永久磁石3の位置がずれるのを防
ぐ作用がある。続いて、開放面側に、リング状に切取っ
たPFAシート4を被せる。
まず、耐食性フッ素樹脂のPFAを予め成形または機械
加工することにより、PFA部材1を作製する。なお、
このPFA部材1には、図5と同様に一方に溝が形成さ
れているが、図中は省略している。次に、作製されたP
FA部材1の中に、アルミニウム合金等の非磁性金属部
材2内に挿入された永久磁石3のセットを入れる。な
お、この非磁性金属部材2は、後の加熱溶接工程におい
て、PFA部材1中で永久磁石3の位置がずれるのを防
ぐ作用がある。続いて、開放面側に、リング状に切取っ
たPFAシート4を被せる。
【0027】図2は、本発明に従い、磁気軸受側インペ
ラに耐食性フッ素樹脂薄膜被覆を形成する一工程を示す
図である。図2(a)は位置センサ用ターゲットが取付
けられた側から見た正面図の一部であり、図2(b)は
図2(a)のB−B′線で示す断面図である。
ラに耐食性フッ素樹脂薄膜被覆を形成する一工程を示す
図である。図2(a)は位置センサ用ターゲットが取付
けられた側から見た正面図の一部であり、図2(b)は
図2(a)のB−B′線で示す断面図である。
【0028】図2(a)および図2(b)を参照して、
まず、耐食性フッ素樹脂のPFAを予め成形または機械
加工することにより、PFA部材5を作製する。次に、
作製されたPFA部材5の中に、継鉄6によって覆われ
た位置センサ用ターゲット7のセットを入れる。続い
て、開放面側に、リング状に切取ったPFAシート8を
被せる。
まず、耐食性フッ素樹脂のPFAを予め成形または機械
加工することにより、PFA部材5を作製する。次に、
作製されたPFA部材5の中に、継鉄6によって覆われ
た位置センサ用ターゲット7のセットを入れる。続い
て、開放面側に、リング状に切取ったPFAシート8を
被せる。
【0029】図3は、本発明に従い、図1に示すカップ
リング側インペラについて、加熱溶接を行なう工程を示
す図である。
リング側インペラについて、加熱溶接を行なう工程を示
す図である。
【0030】図3を参照して、まず、非磁性金属部材2
に挿入された永久磁石3がPFA部材1とPFAシート
4とによって覆われてなるカップリング側インペラを、
下型9と上型10とで挟み込む状態で、簡易成形型11
内に入れた後、上型押え12によって上型10を押え
る。次に、このようにセットした状態で、PFAの融点
まで温度を上げて加熱し、PFA部材1とPFAシート
4とを溶接する。なお、図2に示す磁気軸受側インペラ
についても、同様にして、加熱溶接が行なわれる。
に挿入された永久磁石3がPFA部材1とPFAシート
4とによって覆われてなるカップリング側インペラを、
下型9と上型10とで挟み込む状態で、簡易成形型11
内に入れた後、上型押え12によって上型10を押え
る。次に、このようにセットした状態で、PFAの融点
まで温度を上げて加熱し、PFA部材1とPFAシート
4とを溶接する。なお、図2に示す磁気軸受側インペラ
についても、同様にして、加熱溶接が行なわれる。
【0031】このようにして形成された耐食性フッ素樹
脂薄膜被覆は、ピンホールがなく、信頼性および耐久性
に優れている。
脂薄膜被覆は、ピンホールがなく、信頼性および耐久性
に優れている。
【0032】また、インペラを作製する際には、被覆が
形成されたカップリング側インペラと磁気軸受側インペ
ラとを、レーザ溶接すると良い。このように溶接すれ
ば、従来のねじ止めによる接合の場合のように、ねじ止
め部で気密性に欠けるという問題が生じることがなく、
歪みのないインペラを製造することができる。
形成されたカップリング側インペラと磁気軸受側インペ
ラとを、レーザ溶接すると良い。このように溶接すれ
ば、従来のねじ止めによる接合の場合のように、ねじ止
め部で気密性に欠けるという問題が生じることがなく、
歪みのないインペラを製造することができる。
【0033】なお、以上の実施例に関する開示は、本発
明の単なる具体例に過ぎず、本発明の技術的範囲を何ら
制限するものではない。すなわち、本発明は、インペラ
への耐食性フッ素樹脂薄膜被覆の形成に限らず、他の部
品等の耐食性フッ素樹脂薄膜被覆の形成にも、広く適用
することができる。
明の単なる具体例に過ぎず、本発明の技術的範囲を何ら
制限するものではない。すなわち、本発明は、インペラ
への耐食性フッ素樹脂薄膜被覆の形成に限らず、他の部
品等の耐食性フッ素樹脂薄膜被覆の形成にも、広く適用
することができる。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、信頼性および耐久性に優れた耐食性フッ素樹脂薄膜
被覆を形成することができる。
ば、信頼性および耐久性に優れた耐食性フッ素樹脂薄膜
被覆を形成することができる。
【0035】また、この発明によれば、信頼性および耐
久性に優れ、かつ、膜厚の薄い耐食性フッ素樹脂薄膜被
覆を、容易に形成することができる。
久性に優れ、かつ、膜厚の薄い耐食性フッ素樹脂薄膜被
覆を、容易に形成することができる。
【図1】本発明に従い、カップリング側インペラに耐食
性フッ素樹脂薄膜被覆を形成する一工程を示す図であ
る。
性フッ素樹脂薄膜被覆を形成する一工程を示す図であ
る。
【図2】本発明に従い、磁気軸受側インペラに耐食性フ
ッ素樹脂薄膜被覆を形成する一工程を示す図である。
ッ素樹脂薄膜被覆を形成する一工程を示す図である。
【図3】本発明に従い、カップリング側インペラについ
て加熱溶接を行なう工程を示す図である。
て加熱溶接を行なう工程を示す図である。
【図4】ターボ型ポンプの一例の構造を示す断面図であ
る。
る。
【図5】従来のカップリング側インペラの一例を示す図
である。
である。
【図6】従来の磁気軸受側インペラの一例を示す図であ
る。
る。
1,5 PFA部材 2 非磁性金属部材 3 永久磁石 4,8 PFAシート 6 継鉄 7 位置センサ用ターゲット 9 下型 10 上型 11 簡易成形型 12 上型押え なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (5)
- 【請求項1】 部品に耐食性フッ素樹脂薄膜被覆を形成
する方法であって、 前記部品を覆うように成形された少なくとも2つのフッ
素樹脂成形物を作製するステップと、 前記少なくとも2つのフッ素樹脂成形物によって前記部
品を覆うステップと、 前記部品を覆った状態で、前記少なくとも2つのフッ素
樹脂成形物を加熱溶接するステップとを備える、耐食性
フッ素樹脂薄膜被覆の形成方法。 - 【請求項2】 前記少なくとも2つのフッ素樹脂成形物
のうち、1つはシート状であることを特徴とする、請求
項1記載の耐食性フッ素樹脂薄膜被覆の形成方法。 - 【請求項3】 前記フッ素樹脂は、四フッ化エチレンと
パーフロロアルキルビニルエーテルとの共重合樹脂を含
む、請求項1または請求項2記載の耐食性フッ素樹脂薄
膜被覆の形成方法。 - 【請求項4】 前記部品は、ポンプに用いられる部品を
含む、請求項1ないし請求項3記載の耐食性フッ素樹脂
薄膜被覆の形成方法。 - 【請求項5】 部品の少なくとも1つの平坦面に耐食性
フッ素樹脂薄膜被覆を形成する方法であって、 前記部品の少なくとも1つの平坦面を露出して残りの部
分を覆うように成形されたフッ素樹脂成形物を作製する
ステップと、 前記部品の露出した平坦面を覆うシート状のフッ素樹脂
薄膜を作製するステップと、 前記フッ素樹脂成形物および前記フッ素樹脂薄膜によっ
て、前記部品を覆うステップと、 前記部品を覆った状態で、前記フッ素樹脂成形物と前記
フッ素樹脂薄膜とを加熱溶接するステップとを備える、
耐食性フッ素樹脂薄膜被覆の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10421593A JPH06312457A (ja) | 1993-04-30 | 1993-04-30 | 耐食性フッ素樹脂薄膜被覆の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10421593A JPH06312457A (ja) | 1993-04-30 | 1993-04-30 | 耐食性フッ素樹脂薄膜被覆の形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06312457A true JPH06312457A (ja) | 1994-11-08 |
Family
ID=14374741
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10421593A Withdrawn JPH06312457A (ja) | 1993-04-30 | 1993-04-30 | 耐食性フッ素樹脂薄膜被覆の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06312457A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11504549A (ja) * | 1996-02-20 | 1999-04-27 | クリトン・メディカル・インコーポレーテッド | 受動磁気ラジアル軸受と血液中に浸漬されたアキシャル軸受とを有する無シール型回転血液ポンプ |
| JP2009018192A (ja) * | 2008-10-01 | 2009-01-29 | Heartware Inc | 血栓形成阻止手段を備えたシールレス血液ポンプ |
| CN112237680A (zh) * | 2020-09-15 | 2021-01-19 | 安徽通灵仿生科技有限公司 | 一种带有肝素涂层与疏水保护的轴流式心脏辅助装置 |
| CN114571644A (zh) * | 2022-02-22 | 2022-06-03 | 浙江大学 | 一种具有全氟表面的复合式闭式叶轮 |
-
1993
- 1993-04-30 JP JP10421593A patent/JPH06312457A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11504549A (ja) * | 1996-02-20 | 1999-04-27 | クリトン・メディカル・インコーポレーテッド | 受動磁気ラジアル軸受と血液中に浸漬されたアキシャル軸受とを有する無シール型回転血液ポンプ |
| JP2009018192A (ja) * | 2008-10-01 | 2009-01-29 | Heartware Inc | 血栓形成阻止手段を備えたシールレス血液ポンプ |
| CN112237680A (zh) * | 2020-09-15 | 2021-01-19 | 安徽通灵仿生科技有限公司 | 一种带有肝素涂层与疏水保护的轴流式心脏辅助装置 |
| CN112237680B (zh) * | 2020-09-15 | 2023-08-25 | 安徽通灵仿生科技有限公司 | 一种带有肝素涂层与疏水保护的轴流式心脏辅助装置 |
| CN114571644A (zh) * | 2022-02-22 | 2022-06-03 | 浙江大学 | 一种具有全氟表面的复合式闭式叶轮 |
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