JPH06324079A - コンタクトプローブ - Google Patents
コンタクトプローブInfo
- Publication number
- JPH06324079A JPH06324079A JP31397592A JP31397592A JPH06324079A JP H06324079 A JPH06324079 A JP H06324079A JP 31397592 A JP31397592 A JP 31397592A JP 31397592 A JP31397592 A JP 31397592A JP H06324079 A JPH06324079 A JP H06324079A
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- JP
- Japan
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- conductive wire
- sleeve
- contact probe
- bush
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ピッチが狭小で、平面精度の不良な検査対象
物の端子等に確実に接触可能なコンタクトプローブの提
供。 【構成】 スリーブ２から一方端が突き出されている導
電ワイヤー５が、このスリーブ２内に内装されているコ
ンタクトプローブ３によって、該突き出し側に向けて常
時付勢されていると共にこの導電ワイヤー５が前記付勢
に抗して螺退状に押しもどされるコンタクトプローブ１
であって、前記スリーブ２から一方端が突き出されてい
る導電ワイヤー５の直径が０．１ｍｍ〜０．０５ｍｍで
あり、且つ該導電ワイヤー５の先端が、凸球面状とされ
ているコンタクトプローブ１。
物の端子等に確実に接触可能なコンタクトプローブの提
供。 【構成】 スリーブ２から一方端が突き出されている導
電ワイヤー５が、このスリーブ２内に内装されているコ
ンタクトプローブ３によって、該突き出し側に向けて常
時付勢されていると共にこの導電ワイヤー５が前記付勢
に抗して螺退状に押しもどされるコンタクトプローブ１
であって、前記スリーブ２から一方端が突き出されてい
る導電ワイヤー５の直径が０．１ｍｍ〜０．０５ｍｍで
あり、且つ該導電ワイヤー５の先端が、凸球面状とされ
ているコンタクトプローブ１。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はＬＳＩ、実装基板、Ｌ
ＣＤパネル等、各種電子部品の電気的検査に利用される
コンタクトプローブの開示に係るものである。
ＣＤパネル等、各種電子部品の電気的検査に利用される
コンタクトプローブの開示に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来よりのこの種のコンタクトプローブ
は、検査対象とされる電子部品により種々のものが利用
されているが、その一例として第３図に示されたものが
ある。かかるコンタクトプローブ１０１は出願人が先に
開示（特願平４−１５６２３５号）したものであり、ス
リーブ１０２から一方端が突き出されている極細径の導
電ワイヤー１０５がこのスリーブ１０２内に内装されて
いるコイルスプリング１０３によって、該突き出し側に
向けて常時付勢されていて、検査対象物たる端子１０
４、１０４等に接触することにより、この導電ワイヤー
１０５が前記付勢に抗して螺退状に押しもどされる構成
としたものである。
は、検査対象とされる電子部品により種々のものが利用
されているが、その一例として第３図に示されたものが
ある。かかるコンタクトプローブ１０１は出願人が先に
開示（特願平４−１５６２３５号）したものであり、ス
リーブ１０２から一方端が突き出されている極細径の導
電ワイヤー１０５がこのスリーブ１０２内に内装されて
いるコイルスプリング１０３によって、該突き出し側に
向けて常時付勢されていて、検査対象物たる端子１０
４、１０４等に接触することにより、この導電ワイヤー
１０５が前記付勢に抗して螺退状に押しもどされる構成
としたものである。
【０００３】かかる従来のコンタクトプローブ１０１
は、検査対象の端子間のピッチが、例えば液晶パネルの
カラー化等が進むにつれて狭小となる一方フラックス等
の無洗浄化が求められている現状に鑑み発明されたもの
であり、プランジャーを極細径の線状体たる導電ワイヤ
ーとして、ピッチの広狭に拘らず、導通絶縁検査を可能
とし、且つこの導電ワイヤーはその軸線が捻られながら
回転しつつ前進後退動するものであるため、フラックス
等があっても回転力により押しのけて、検査対象たる端
子等に接触することを可能にしたものである。又、プラ
ンジャーは回転しつつ前進後退動するものであるから、
回転量によりプランジャーの突出幅が異なり、検査対象
が通常複数個の端子等であるため、この端子等の相互間
に高低差が生じている場合にもかかる高低差に対応して
検査対象に的確に接触することを可能にした等の利点を
有していた。
は、検査対象の端子間のピッチが、例えば液晶パネルの
カラー化等が進むにつれて狭小となる一方フラックス等
の無洗浄化が求められている現状に鑑み発明されたもの
であり、プランジャーを極細径の線状体たる導電ワイヤ
ーとして、ピッチの広狭に拘らず、導通絶縁検査を可能
とし、且つこの導電ワイヤーはその軸線が捻られながら
回転しつつ前進後退動するものであるため、フラックス
等があっても回転力により押しのけて、検査対象たる端
子等に接触することを可能にしたものである。又、プラ
ンジャーは回転しつつ前進後退動するものであるから、
回転量によりプランジャーの突出幅が異なり、検査対象
が通常複数個の端子等であるため、この端子等の相互間
に高低差が生じている場合にもかかる高低差に対応して
検査対象に的確に接触することを可能にした等の利点を
有していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、かかるコン
タクトプローブのプランジャーは検査対象たる端子等の
ピッチに対応して直径が０．１〜０．２ｍｍ程度の極細
径とされているものであり、この場合には、耐摩耗性を
重視して硬度の高いタングステン線を使用している。し
かし、プランジャー先端の面が必ずしも平滑面でない
為、前記したフラックス等により平面精度の悪い検査対
象物との接触抵抗のバラツキが大きく正確な測定をなし
得ないことがあり（図５）、又、プランジャーの先端の
押圧によって検査対象物を損傷することがあった。
タクトプローブのプランジャーは検査対象たる端子等の
ピッチに対応して直径が０．１〜０．２ｍｍ程度の極細
径とされているものであり、この場合には、耐摩耗性を
重視して硬度の高いタングステン線を使用している。し
かし、プランジャー先端の面が必ずしも平滑面でない
為、前記したフラックス等により平面精度の悪い検査対
象物との接触抵抗のバラツキが大きく正確な測定をなし
得ないことがあり（図５）、又、プランジャーの先端の
押圧によって検査対象物を損傷することがあった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、かかる従来
の技術が有する課題に鑑みて案出されたものであり、請
求項１の発明は、スリーブ２から一方端が突き出されて
いる導電ワイヤー５が、このスリーブ２内に内装されて
いるコンタクトプローブ３によって、該突き出し側に向
けて常時付勢されていると共にこの導電ワイヤー５が前
記付勢に抗して螺退状に押しもどされるコンタクトプロ
ーブ１であって、前記スリーブ２から一方端が突き出さ
れている導電ワイヤー５の直径が、０．１ｍｍ〜０．０
５ｍｍであり、且つ該導電ワイヤー５の先端が、凸球面
状とされているコンタクトプローブ１である。又、請求
項２の発明は、直径が０．１ｍｍ〜０．０５ｍｍであ
り、且つ先端が凸球面状とされている導電ワイヤー５の
固定されるブッシュ１３の外側面又はこのブッシュ１３
の納まっているスリーブ１２の内側面のいずれか一方に
前記導電ワイヤー５の動作方向に螺回する溝１３ｂが設
けられており、他方のブッシュ１３の外側面又はスリー
ブ１２の内側面には、この溝１３ｂに係合する小球１２
ｃが納まる小孔１２ｂが設けられているコンタクトプロ
ーブ１１である。
の技術が有する課題に鑑みて案出されたものであり、請
求項１の発明は、スリーブ２から一方端が突き出されて
いる導電ワイヤー５が、このスリーブ２内に内装されて
いるコンタクトプローブ３によって、該突き出し側に向
けて常時付勢されていると共にこの導電ワイヤー５が前
記付勢に抗して螺退状に押しもどされるコンタクトプロ
ーブ１であって、前記スリーブ２から一方端が突き出さ
れている導電ワイヤー５の直径が、０．１ｍｍ〜０．０
５ｍｍであり、且つ該導電ワイヤー５の先端が、凸球面
状とされているコンタクトプローブ１である。又、請求
項２の発明は、直径が０．１ｍｍ〜０．０５ｍｍであ
り、且つ先端が凸球面状とされている導電ワイヤー５の
固定されるブッシュ１３の外側面又はこのブッシュ１３
の納まっているスリーブ１２の内側面のいずれか一方に
前記導電ワイヤー５の動作方向に螺回する溝１３ｂが設
けられており、他方のブッシュ１３の外側面又はスリー
ブ１２の内側面には、この溝１３ｂに係合する小球１２
ｃが納まる小孔１２ｂが設けられているコンタクトプロ
ーブ１１である。
【０００６】
【作用】この発明は、以下の作用を有している。即ち、
通常スプリング３により導電ワイヤ５はブッシュ６と共
に突き出し方向に付勢されているが、この導電ワイヤー
５は、検査箇所にその先端を押し当てることにより、ピ
ン６ａと溝２ａとの係合作用、あるいは小球１２ｃと溝
１６ｂとの係合作用とに規制されつつ、前記スプリング
５の付勢に抗して螺退状に押しもどされることになり、
前記導電ワイヤー５はその軸線が捻られながら回転す
る。そしてその際に前記導電ワイヤー５は、先端に押圧
力を受けているので検査対象の面の形状に追随して凸球
面状部５ａが検査対象に面的に接触する（図４）。尚、
前記導電ワイヤー５は必ずしも１回転以上回転させる必
要はない。
通常スプリング３により導電ワイヤ５はブッシュ６と共
に突き出し方向に付勢されているが、この導電ワイヤー
５は、検査箇所にその先端を押し当てることにより、ピ
ン６ａと溝２ａとの係合作用、あるいは小球１２ｃと溝
１６ｂとの係合作用とに規制されつつ、前記スプリング
５の付勢に抗して螺退状に押しもどされることになり、
前記導電ワイヤー５はその軸線が捻られながら回転す
る。そしてその際に前記導電ワイヤー５は、先端に押圧
力を受けているので検査対象の面の形状に追随して凸球
面状部５ａが検査対象に面的に接触する（図４）。尚、
前記導電ワイヤー５は必ずしも１回転以上回転させる必
要はない。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の一実施例の詳細を添付の図
１をもとに説明する。１は、この発明に係るコンタクト
プローブである。２は、略円筒状のスリーブでありコイ
ルスプリング３を内装し、該コイルスプリング３を挟ん
でその一方の開口部側に計測部（図示せず）に接続され
るターミナル４の一方端が嵌着されており、又、他方の
開口部側には、後述する導電ワイヤー５の固定ブッシュ
６が前記コイルスプリング３と該スリーブ２の開口縁に
ある内向きの鍔２ｂとの間に納められている。前記スリ
ーブ２の内側面には該スリーブ２の長さ方向へ向かって
螺回する溝２ａが設けられており、この溝２ａには、前
記固定ブッシュ６の外側に設けられたピン６ａが前記溝
２ａの周面と間隙を介して係合されている。
１をもとに説明する。１は、この発明に係るコンタクト
プローブである。２は、略円筒状のスリーブでありコイ
ルスプリング３を内装し、該コイルスプリング３を挟ん
でその一方の開口部側に計測部（図示せず）に接続され
るターミナル４の一方端が嵌着されており、又、他方の
開口部側には、後述する導電ワイヤー５の固定ブッシュ
６が前記コイルスプリング３と該スリーブ２の開口縁に
ある内向きの鍔２ｂとの間に納められている。前記スリ
ーブ２の内側面には該スリーブ２の長さ方向へ向かって
螺回する溝２ａが設けられており、この溝２ａには、前
記固定ブッシュ６の外側に設けられたピン６ａが前記溝
２ａの周面と間隙を介して係合されている。
【０００８】前記固定ブッシュ６からは、前記スリーブ
２の外方向に向けて導電ワイヤー５が突出されており、
この導電ワイヤー５は、０．１ｍｍ〜０．０５ｍｍのタ
ングステン等の極細状の線材を用いるものとし、検査対
象物の端子１４、１４等に接触する先端を凸球面状に形
成している。又、この導電ワイヤー５にはこの導電ワイ
ヤー５が前進後退を行う際にその横ブレ等の動きを規制
するガイドチューブ７が被嵌されており、更にこのガイ
ドチューブ７と前記スリーブ２とを一体として保持すべ
く、ガイドチューブ固定ブッシュ８を介して、ハウジン
グ９が、前記スリーブ２と螺合してある。尚、ガイドチ
ューブ固定ブッシュ８は、ハウジング９の一部としてこ
のハウジング９と一体的に成形される場合もある。
２の外方向に向けて導電ワイヤー５が突出されており、
この導電ワイヤー５は、０．１ｍｍ〜０．０５ｍｍのタ
ングステン等の極細状の線材を用いるものとし、検査対
象物の端子１４、１４等に接触する先端を凸球面状に形
成している。又、この導電ワイヤー５にはこの導電ワイ
ヤー５が前進後退を行う際にその横ブレ等の動きを規制
するガイドチューブ７が被嵌されており、更にこのガイ
ドチューブ７と前記スリーブ２とを一体として保持すべ
く、ガイドチューブ固定ブッシュ８を介して、ハウジン
グ９が、前記スリーブ２と螺合してある。尚、ガイドチ
ューブ固定ブッシュ８は、ハウジング９の一部としてこ
のハウジング９と一体的に成形される場合もある。
【０００９】尚、１０は、前記スリーブ２に一方端を嵌
入したターミナル４の他方端に嵌合するソケットであ
る。
入したターミナル４の他方端に嵌合するソケットであ
る。
【００１０】かかる実施例においては、前記スリーブ２
の内側面に設けた溝2aを前記固定ブッシュ６の外周面に
螺回状に設け、この固定ブッシュ６に設けたピン6aを前
記スリーブ２の内側面から突設させ、前記固定ブッシュ
６に設けた溝に該ピンを嵌合させることもある。
の内側面に設けた溝2aを前記固定ブッシュ６の外周面に
螺回状に設け、この固定ブッシュ６に設けたピン6aを前
記スリーブ２の内側面から突設させ、前記固定ブッシュ
６に設けた溝に該ピンを嵌合させることもある。
【００１１】次いで、この発明の他の実施例について図
２をもとに説明する。尚、前記実施例と同一の符号は同
一もしくは相応部分を示す。１１は、この実施例に係る
コンタクトプローブであり、スリーブ１２と、導電ワイ
ヤー５の固定ブッシュ１３との構成を除くすべての構成
を前記第１の実施例と同一にしている。
２をもとに説明する。尚、前記実施例と同一の符号は同
一もしくは相応部分を示す。１１は、この実施例に係る
コンタクトプローブであり、スリーブ１２と、導電ワイ
ヤー５の固定ブッシュ１３との構成を除くすべての構成
を前記第１の実施例と同一にしている。
【００１２】そこで、前記スリーブ１２と導電ワイヤー
５の固定ブッシュ１３とについて説明する。先ず、固定
ブッシュ１３は前記コイルスプリング３と前記スリーブ
１２の開口縁にある内向きの鍔１２ａとの間に納めら
れ、その外側面には、前記導電ワイヤー５の進退方向に
向って螺回する断面略半円形状の溝１３ｂが設けられて
おり、又前記スリーブ１２には所定の個所に該溝１３ｂ
と連通する小孔１２ｂが開設されている。そして前記小
孔１２ｂと溝１３ｂとを連絡するように小球１２ｃが回
動可能に前記小孔１２ｂと溝１３ｂとで構成される空間
に位置付けされている。
５の固定ブッシュ１３とについて説明する。先ず、固定
ブッシュ１３は前記コイルスプリング３と前記スリーブ
１２の開口縁にある内向きの鍔１２ａとの間に納めら
れ、その外側面には、前記導電ワイヤー５の進退方向に
向って螺回する断面略半円形状の溝１３ｂが設けられて
おり、又前記スリーブ１２には所定の個所に該溝１３ｂ
と連通する小孔１２ｂが開設されている。そして前記小
孔１２ｂと溝１３ｂとを連絡するように小球１２ｃが回
動可能に前記小孔１２ｂと溝１３ｂとで構成される空間
に位置付けされている。
【００１３】尚、かかる実施例においては前記固定ブッ
シュ１３の外側面に設けられた溝１３ｂをスリーブ１２
の内側面に前記第一の実施例同様該スリーブ１２の長さ
方向に向って、螺回状に設け、又、該スリーブ１２に設
けられている小孔１２ｂを固定ブッシュ１３の外側面に
設け、前記スリーブ１２の溝と固定ブッシュ１３に設け
られた小孔とにより構成される空間に小球１２ｃを位置
付けすることもある。
シュ１３の外側面に設けられた溝１３ｂをスリーブ１２
の内側面に前記第一の実施例同様該スリーブ１２の長さ
方向に向って、螺回状に設け、又、該スリーブ１２に設
けられている小孔１２ｂを固定ブッシュ１３の外側面に
設け、前記スリーブ１２の溝と固定ブッシュ１３に設け
られた小孔とにより構成される空間に小球１２ｃを位置
付けすることもある。
【００１４】
【発明の効果】この発明は、叙上の構成を有しているこ
とにより、以下の効果を奏しうる。
とにより、以下の効果を奏しうる。
【００１５】プランジャーを０．１ｍｍ〜０．０５ｍｍ
の極細径の線状体たる導電ワイヤーとし、しかも該導電
ワイヤーの先端を凸球面状とすることにより、ピッチが
狭少であり且つ通常粗面とされる検査対象物の端子等に
対しても、導電ワイヤー先端の追随性が良く充分な接触
抵抗を得ることが可能であり、正確な測定をなすことが
できる。又、導電ワイヤーの先端は凸球面状であるため
検査対象物の端子等への押圧による損傷を回避すること
が可能である。
の極細径の線状体たる導電ワイヤーとし、しかも該導電
ワイヤーの先端を凸球面状とすることにより、ピッチが
狭少であり且つ通常粗面とされる検査対象物の端子等に
対しても、導電ワイヤー先端の追随性が良く充分な接触
抵抗を得ることが可能であり、正確な測定をなすことが
できる。又、導電ワイヤーの先端は凸球面状であるため
検査対象物の端子等への押圧による損傷を回避すること
が可能である。
【図１】この発明の典型的な一実施例を示す断面図。
【図２】この発明の他の実施例を示す断面図。
【図３】従来の技術を示す断面図。
【図４】この発明の導電ワイヤーの接触状態を示す拡大
断面図。
断面図。
【図５】従来の技術の導電ワイヤーの接触状態を示す拡
大断面図。
大断面図。
１ コンタクトプローブ ２ スリーブ ３ スプリング ４ ターミナル ５ 導電ワイヤー ５ａ 凸球面状部 ６ 固定ブッシュ ７ ガイドチューブ ８ ガイドチューブ固定ブッシュ ９ ハウジング １０ ソケット １１ コンタクトプローブ １２ スリーブ １２ｂ 小孔 １２ｃ 小球 １３ 固定ブッシュ １４ 検査対象物の端子
【手続補正書】
【提出日】平成５年６月３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 コンタクトプローブ
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はＬＳＩ、実装基板、Ｌ
ＣＤパネル等、各種電子部品の電気的検査に利用される
コンタクトプローブの開示に係るものである。
ＣＤパネル等、各種電子部品の電気的検査に利用される
コンタクトプローブの開示に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来よりのこの種のコンタクトプローブ
は、検査対象とされる電子部品により種々のものが利用
されているが、その一例として第３図に示されたものが
ある。かかるコンタクトプローブ１０１は出願人が先に
開示（特願平４−１５６２３５号）したものであり、ス
リーブ１０２から一方端が突き出されている極細径の導
電ワイヤー１０５がこのスリーブ１０２内に内装されて
いるコイルスプリング１０３によって、該突き出し側に
向けて常時付勢されていて、検査対象物たる端子１０
４、１０４等に接触することにより、この導電ワイヤー
１０５が前記付勢に抗して螺退状に押しもどされる構成
としたものである。
は、検査対象とされる電子部品により種々のものが利用
されているが、その一例として第３図に示されたものが
ある。かかるコンタクトプローブ１０１は出願人が先に
開示（特願平４−１５６２３５号）したものであり、ス
リーブ１０２から一方端が突き出されている極細径の導
電ワイヤー１０５がこのスリーブ１０２内に内装されて
いるコイルスプリング１０３によって、該突き出し側に
向けて常時付勢されていて、検査対象物たる端子１０
４、１０４等に接触することにより、この導電ワイヤー
１０５が前記付勢に抗して螺退状に押しもどされる構成
としたものである。
【０００３】かかる従来のコンタクトプローブ１０１
は、検査対象の端子間のピッチが、例えば液晶パネルの
カラー化等が進むにつれて狭小となる一方フラックス等
の無洗浄化が求められている現状に鑑み発明されたもの
であり、プランジャーを極細径の線状体たる導電ワイヤ
ーとして、ピッチの広狭に拘らず、導通絶縁検査を可能
とし、且つこの導電ワイヤーはその軸線が捻られながら
回転しつつ前進後退動するものであるため、フラックス
等があっても回転力により押しのけて、検査対象たる端
子等に接触することを可能にしたものである。又、プラ
ンジャーは回転しつつ前進後退動するものであるから、
回転量によりプランジャーの突出幅が異なり、検査対象
が通常複数個の端子等であるため、この端子等の相互間
に高低差が生じている場合にもかかる高低差に対応して
検査対象に的確に接触することを可能にした等の利点を
有していた。
は、検査対象の端子間のピッチが、例えば液晶パネルの
カラー化等が進むにつれて狭小となる一方フラックス等
の無洗浄化が求められている現状に鑑み発明されたもの
であり、プランジャーを極細径の線状体たる導電ワイヤ
ーとして、ピッチの広狭に拘らず、導通絶縁検査を可能
とし、且つこの導電ワイヤーはその軸線が捻られながら
回転しつつ前進後退動するものであるため、フラックス
等があっても回転力により押しのけて、検査対象たる端
子等に接触することを可能にしたものである。又、プラ
ンジャーは回転しつつ前進後退動するものであるから、
回転量によりプランジャーの突出幅が異なり、検査対象
が通常複数個の端子等であるため、この端子等の相互間
に高低差が生じている場合にもかかる高低差に対応して
検査対象に的確に接触することを可能にした等の利点を
有していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、かかるコン
タクトプローブのプランジャーは検査対象たる端子等の
ピッチに対応して直径が０．１〜０．２ｍｍ程度の極細
径とされているものであり、この場合には、耐摩耗性を
重視して硬度の高いタングステン線を使用している。し
かし、プランジャー先端の面が必ずしも平滑面でない
為、前記したフラックス等により平面精度の悪い検査対
象物との接触抵抗のバラツキが大きく正確な測定をなし
得ないことがあり（図５）、又、プランジャーの先端の
押圧によって検査対象物を損傷することがあった。
タクトプローブのプランジャーは検査対象たる端子等の
ピッチに対応して直径が０．１〜０．２ｍｍ程度の極細
径とされているものであり、この場合には、耐摩耗性を
重視して硬度の高いタングステン線を使用している。し
かし、プランジャー先端の面が必ずしも平滑面でない
為、前記したフラックス等により平面精度の悪い検査対
象物との接触抵抗のバラツキが大きく正確な測定をなし
得ないことがあり（図５）、又、プランジャーの先端の
押圧によって検査対象物を損傷することがあった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、かかる従来
の技術が有する課題に鑑みて案出されたものであり、請
求項１の発明は、スリーブ２から一方端が突き出されて
いる導電ワイヤー５が、このスリーブ２内に内装されて
いるコンタクトプローブ３によって、該突き出し側に向
けて常時付勢されていると共にこの導電ワイヤー５が前
記付勢に抗して螺退状に押しもどされるコンタクトプロ
ーブ１であって、前記スリーブ２から一方端が突き出さ
れている導電ワイヤー５の直径が、０．１ｍｍ〜０．０
５ｍｍであり、且つ該導電ワイヤー５の先端が、凸球面
状とされているコンタクトプローブ１である。又、請求
項２の発明は、直径が０．１ｍｍ〜０．０５ｍｍであ
り、且つ先端が凸球面状とされている導電ワイヤー５の
固定されるブッシュ１３の軸線方向に設けられている螺
旋溝１３ｂと、小球１２ｃの収まる凹部１２ｂとが、前
記ブッシュ１３とこのブッシュ１３の収められているス
リーブ１２との対向した周面に設けられており、前記凹
部１２ｂに収められている小球１２ｃの一部が前記螺旋
溝１３ｂ内に収められているコンタクトプローブ１１で
ある。
の技術が有する課題に鑑みて案出されたものであり、請
求項１の発明は、スリーブ２から一方端が突き出されて
いる導電ワイヤー５が、このスリーブ２内に内装されて
いるコンタクトプローブ３によって、該突き出し側に向
けて常時付勢されていると共にこの導電ワイヤー５が前
記付勢に抗して螺退状に押しもどされるコンタクトプロ
ーブ１であって、前記スリーブ２から一方端が突き出さ
れている導電ワイヤー５の直径が、０．１ｍｍ〜０．０
５ｍｍであり、且つ該導電ワイヤー５の先端が、凸球面
状とされているコンタクトプローブ１である。又、請求
項２の発明は、直径が０．１ｍｍ〜０．０５ｍｍであ
り、且つ先端が凸球面状とされている導電ワイヤー５の
固定されるブッシュ１３の軸線方向に設けられている螺
旋溝１３ｂと、小球１２ｃの収まる凹部１２ｂとが、前
記ブッシュ１３とこのブッシュ１３の収められているス
リーブ１２との対向した周面に設けられており、前記凹
部１２ｂに収められている小球１２ｃの一部が前記螺旋
溝１３ｂ内に収められているコンタクトプローブ１１で
ある。
【０００６】
【作用】この発明は、以下の作用を有している。即ち、
通常スプリング３により導電ワイヤ５はブッシュ６と共
に突き出し方向に付勢されているが、この導電ワイヤー
５は、検査箇所にその先端を押し当てることにより、ピ
ン６ａと溝２ａとの係合作用、あるいは小球１２ｃと溝
１６ｂとの係合作用とに規制されつつ、前記スプリング
５の付勢に抗して螺退状に押しもどされることになり、
前記導電ワイヤー５はその軸線が捻られながら回転す
る。そしてその際に前記導電ワイヤー５は、先端に押圧
力を受けているので検査対象の面の形状に追随して凸球
面状部５ａが検査対象に面的に接触する（図４）。
通常スプリング３により導電ワイヤ５はブッシュ６と共
に突き出し方向に付勢されているが、この導電ワイヤー
５は、検査箇所にその先端を押し当てることにより、ピ
ン６ａと溝２ａとの係合作用、あるいは小球１２ｃと溝
１６ｂとの係合作用とに規制されつつ、前記スプリング
５の付勢に抗して螺退状に押しもどされることになり、
前記導電ワイヤー５はその軸線が捻られながら回転す
る。そしてその際に前記導電ワイヤー５は、先端に押圧
力を受けているので検査対象の面の形状に追随して凸球
面状部５ａが検査対象に面的に接触する（図４）。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の一実施例の詳細を添付の図
１に基づいて説明する。１は、この実施例に係るコンタ
クトプローブである。２は、略円筒状のスリーブであり
コイルスプリング３を内装し、該コイルスプリング３を
挟んでその一方の開口部側に計測部（図示せず）に接続
されるターミナル４の一方端が嵌着されており、又、他
方の開口部側には、後述する導電ワイヤー５の固定ブッ
シュ６が嵌入されている。前記スリーブ２はまた、内周
の軸線方向に螺旋状の溝２ａを有すると共に、一方の開
口端に内向きの鍔２ｂが設けられており、この鍔２ｂの
設けられている側のスリーブ２の外周が雄螺子部２ｃと
されている。
１に基づいて説明する。１は、この実施例に係るコンタ
クトプローブである。２は、略円筒状のスリーブであり
コイルスプリング３を内装し、該コイルスプリング３を
挟んでその一方の開口部側に計測部（図示せず）に接続
されるターミナル４の一方端が嵌着されており、又、他
方の開口部側には、後述する導電ワイヤー５の固定ブッ
シュ６が嵌入されている。前記スリーブ２はまた、内周
の軸線方向に螺旋状の溝２ａを有すると共に、一方の開
口端に内向きの鍔２ｂが設けられており、この鍔２ｂの
設けられている側のスリーブ２の外周が雄螺子部２ｃと
されている。
【０００８】前記スリーブ２に螺進退自在に組みつけら
れる固定ブッシュ６は、その外周から突き出すピン６ａ
を有すると共に、導電ワイヤー５を嵌着状態に取りつけ
てあり、前記溝２ａに該ピン６ａを嵌め入れて、前記ス
リーブ２内に組みつけられている。
れる固定ブッシュ６は、その外周から突き出すピン６ａ
を有すると共に、導電ワイヤー５を嵌着状態に取りつけ
てあり、前記溝２ａに該ピン６ａを嵌め入れて、前記ス
リーブ２内に組みつけられている。
【０００９】このように組み付けられた前記ブッシュ６
を前記導電ワイヤー５の突き出し方向に押すように、コ
イルスプリング３が前記スリーブ２内に収め入れられて
おり、このコイルスプリング３の他方端が前記ターミナ
ル４で支持されるように、該ターミナル４が前記スリー
ブ２に嵌着状態で止着してある。また、前記固定ブッシ
ュ６に設けられている前記導電ワイヤー５は、ガイドチ
ューブ７内を移動自在としてあり、このガイドチューブ
７は雌螺子部９ａを有する筒状のハウジング９内に嵌め
込み状態で止着されているガイドチューブ固定ブッシュ
８に対して嵌着状態で組み付けられている。なお、ガイ
ドチューブ固定ブッシュ８は、ハウジング９の一部とし
て該ハウジング９と一体的に成形される場合もある。そ
して前記ハウジング９は、前記固定ブッシュ６に組み付
けられている前記導電ワイヤー５を前記ガイドチューブ
固定ブッシュ８に止着されている前記ガイドチューブ７
内より突き出すように、前記スリーブ２の雄螺子部２ｃ
に前記雌螺子部９ａを螺着させることにより組み付けら
れている。
を前記導電ワイヤー５の突き出し方向に押すように、コ
イルスプリング３が前記スリーブ２内に収め入れられて
おり、このコイルスプリング３の他方端が前記ターミナ
ル４で支持されるように、該ターミナル４が前記スリー
ブ２に嵌着状態で止着してある。また、前記固定ブッシ
ュ６に設けられている前記導電ワイヤー５は、ガイドチ
ューブ７内を移動自在としてあり、このガイドチューブ
７は雌螺子部９ａを有する筒状のハウジング９内に嵌め
込み状態で止着されているガイドチューブ固定ブッシュ
８に対して嵌着状態で組み付けられている。なお、ガイ
ドチューブ固定ブッシュ８は、ハウジング９の一部とし
て該ハウジング９と一体的に成形される場合もある。そ
して前記ハウジング９は、前記固定ブッシュ６に組み付
けられている前記導電ワイヤー５を前記ガイドチューブ
固定ブッシュ８に止着されている前記ガイドチューブ７
内より突き出すように、前記スリーブ２の雄螺子部２ｃ
に前記雌螺子部９ａを螺着させることにより組み付けら
れている。
【００１０】前記導電ワイヤー５は、０．１ｍｍ〜０．
０５ｍｍのタングステン等の極細状の線材を用いるもの
とし、検査対象物の端子１４、１４等に接触する先端を
凸球面状に形成している。前記ガイドチューブ７は、こ
の導電ワイヤー５が前進後退を行う際にその横ブレ等の
動きを規制する機能を有している。
０５ｍｍのタングステン等の極細状の線材を用いるもの
とし、検査対象物の端子１４、１４等に接触する先端を
凸球面状に形成している。前記ガイドチューブ７は、こ
の導電ワイヤー５が前進後退を行う際にその横ブレ等の
動きを規制する機能を有している。
【００１１】なお、図中１０で示されるのは、前記スリ
ーブ２に一方端を嵌入したターミナル４の他方端に嵌合
するソケットである。
ーブ２に一方端を嵌入したターミナル４の他方端に嵌合
するソケットである。
【００１２】また、かかる実施例においては、前記スリ
ーブ２の内側面に設けた溝２ａを前記固定ブッシュ６の
外周面に螺回状に設け、この固定ブッシュ６に設けたピ
ン６ａを前記スリーブ２の内側面から突設させ、前記固
定ブッシュ６に設けた溝に該ピンを嵌合させることもあ
る。
ーブ２の内側面に設けた溝２ａを前記固定ブッシュ６の
外周面に螺回状に設け、この固定ブッシュ６に設けたピ
ン６ａを前記スリーブ２の内側面から突設させ、前記固
定ブッシュ６に設けた溝に該ピンを嵌合させることもあ
る。
【００１３】次いで、この発明の他の実施例を図２に基
づいて説明する。尚、前記実施例と同一の符号は同一も
しくは相応部分を示す。１１は、この実施例に係るコン
タクトプローブであり、スリーブ１２と、導電ワイヤー
５の固定ブッシュ１３との構成を除くすべての構成を前
記第１の実施例と同一にしている。
づいて説明する。尚、前記実施例と同一の符号は同一も
しくは相応部分を示す。１１は、この実施例に係るコン
タクトプローブであり、スリーブ１２と、導電ワイヤー
５の固定ブッシュ１３との構成を除くすべての構成を前
記第１の実施例と同一にしている。
【００１４】そこで、前記スリーブ１２と導電ワイヤー
５の固定ブッシュ１３とについて説明する。先ず、固定
ブッシュ１３は前記コイルスプリング３と前記スリーブ
１２の開口縁にある内向きの鍔１２ａとの間に納めら
れ、その外側面には、前記導電ワイヤー５の進退方向に
向って螺回する断面略半円形状の溝１３ｂが設けられて
おり、又前記スリーブ１２には所定の個所に該溝１３ｂ
と連通する凹部１２ｂが開設されている。そして前記凹
部１２ｂと溝１３ｂとを連絡するように小球１２ｃが回
動可能に前記凹部１２ｂと溝１３ｂとで構成される空間
に位置付けされている。
５の固定ブッシュ１３とについて説明する。先ず、固定
ブッシュ１３は前記コイルスプリング３と前記スリーブ
１２の開口縁にある内向きの鍔１２ａとの間に納めら
れ、その外側面には、前記導電ワイヤー５の進退方向に
向って螺回する断面略半円形状の溝１３ｂが設けられて
おり、又前記スリーブ１２には所定の個所に該溝１３ｂ
と連通する凹部１２ｂが開設されている。そして前記凹
部１２ｂと溝１３ｂとを連絡するように小球１２ｃが回
動可能に前記凹部１２ｂと溝１３ｂとで構成される空間
に位置付けされている。
【００１５】尚、かかる実施例においては前記固定ブッ
シュ１３の外側面に設けられた溝１３ｂをスリーブ１２
の内側面に前記第一の実施例同様該スリーブ１２の長さ
方向に向って、螺回状に設け、又、該スリーブ１２に設
けられている凹部１２ｂを固定ブッシュ１３の外側面に
設け、前記スリーブ１２の溝と固定ブッシュ１３に設け
られた凹部とにより構成される空間に小球１２ｃを位置
付けすることもある。
シュ１３の外側面に設けられた溝１３ｂをスリーブ１２
の内側面に前記第一の実施例同様該スリーブ１２の長さ
方向に向って、螺回状に設け、又、該スリーブ１２に設
けられている凹部１２ｂを固定ブッシュ１３の外側面に
設け、前記スリーブ１２の溝と固定ブッシュ１３に設け
られた凹部とにより構成される空間に小球１２ｃを位置
付けすることもある。
【００１６】
【発明の効果】この発明は、叙上の構成を有しているこ
とにより、以下の効果を奏しうる。
とにより、以下の効果を奏しうる。
【００１７】プランジャーを０．１ｍｍ〜０．０５ｍｍ
の極細径の線状体たる導電ワイヤーとし、しかも該導電
ワイヤーの先端を凸球面状とすることにより、ピッチが
狭少であり且つ通常粗面とされる検査対象物の端子等に
対しても、導電ワイヤー先端の追随性が良く充分な接触
抵抗を得ることが可能であり、正確な測定をなすことが
できる。又、導電ワイヤーの先端は凸球面状であるため
検査対象物の端子等への押圧による損傷を回避すること
が可能である。
の極細径の線状体たる導電ワイヤーとし、しかも該導電
ワイヤーの先端を凸球面状とすることにより、ピッチが
狭少であり且つ通常粗面とされる検査対象物の端子等に
対しても、導電ワイヤー先端の追随性が良く充分な接触
抵抗を得ることが可能であり、正確な測定をなすことが
できる。又、導電ワイヤーの先端は凸球面状であるため
検査対象物の端子等への押圧による損傷を回避すること
が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の典型的な一実施例を示す断面図。
【図２】この発明の他の実施例を示す断面図。
【図３】従来の技術を示す断面図。
【図４】この発明の導電ワイヤーの接触状態を示す拡大
断面図。
断面図。
【図５】従来の技術の導電ワイヤーの接触状態を示す拡
大断面図。
大断面図。
【符号の説明】 １ コンタクトプローブ ２ スリーブ ３ スプリング ４ ターミナル ５ 導電ワイヤー ５ａ 凸球面状部 ６ 固定ブッシュ ７ ガイドチューブ ８ ガイドチューブ固定ブッシュ ９ ハウジング １０ ソケット １１ コンタクトプローブ １２ スリーブ １２ｂ 凹部 １２ｃ 小球 １３ 固定ブッシュ １４ 検査対象物の端子
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
Claims (2)
- 【請求項１】 スリーブから一方端が突き出されている
導電ワイヤーが、このスリーブ内に内装されているコイ
ルスプリングによって該突き出し側に向けて常時付勢さ
れていると共にこの導電ワイヤーが前記付勢に抗して螺
退状に押しもどされるコンタクトプローブであって、前
記スリーブから突き出されている前記導電ワイヤーの直
径が０．１ｍｍ〜０．０５ｍｍであり、且つ該導電ワイ
ヤーの先端が凸球面状とされていることを特徴とするコ
ンタクトプローブ。 - 【請求項２】 導電ワイヤーの固定されるブッシュの外
側面又はこのブッシュの納まっているスリーブの内側面
のいずれか一方に前記導電ワイヤーの動作方向に螺回す
る溝が設けられており、他方のブッシュの外側面又はス
リーブの内側面にはこの溝に係合する小球が納まる小孔
が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のコ
ンタクトプローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31397592A JPH06324079A (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | コンタクトプローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31397592A JPH06324079A (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | コンタクトプローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06324079A true JPH06324079A (ja) | 1994-11-25 |
Family
ID=18047737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31397592A Pending JPH06324079A (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | コンタクトプローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06324079A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023084888A1 (ja) * | 2021-11-12 | 2023-05-19 | 株式会社村田製作所 | 測定用プローブ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4831336U (ja) * | 1971-08-23 | 1973-04-17 | ||
| JPH0471248A (ja) * | 1990-07-11 | 1992-03-05 | Nec Kyushu Ltd | 測定用プローブ |
-
1992
- 1992-10-29 JP JP31397592A patent/JPH06324079A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4831336U (ja) * | 1971-08-23 | 1973-04-17 | ||
| JPH0471248A (ja) * | 1990-07-11 | 1992-03-05 | Nec Kyushu Ltd | 測定用プローブ |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023084888A1 (ja) * | 2021-11-12 | 2023-05-19 | 株式会社村田製作所 | 測定用プローブ |
| JPWO2023084888A1 (ja) * | 2021-11-12 | 2023-05-19 |
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