JPH0471248A - 測定用プローブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体集積回路装置（以降ＩＣと呼ぶ）の電
気的特性試験を行う際に、ＩＣの回路端子と接触し、特
性値を拾う測定用プローブに関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の測定用プローブは、ＩＣの自動選別装置
（以下単にハンドラと呼ぶ）の測定素子として使用され
、ＩＣの回路の出力あるいは入力端子と接触させ、信号
のやり取りを行っていた。

この測定用プローブの構造は、図面には示さないが、例
えば、導電材で製作された環状のスリーブに、コイルス
プリングが圧縮され、接触子を端子にコイルスプリング
の復元力で押圧していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上述した従来の測定用プローブは、接触
子が一方向のみ押圧力を与えられているので、例えば、
ＩＣの測定端子にほこりが乗っている場合、接触子がそ
のほこりを介して端子と接触することになる。このため
、しばしば、測定中に、接触不良を起し、正確な測定が
出来ないという欠点がある。

本発明の目的は、かかる欠点を解消する測定用プローブ
を提供することである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の測定用プローブは、半導体集積回路の測定端子
と接触する球形状の先端をもつ測定子と、この測定子の
後端部を挿入する環状のスリーブと、前記測定子の後端
部を押すとともに前記スリーブ内に挿入されるコイルス
プリングとを有する測定用プローブにおいて、前記スリ
ーブの内壁にはめ込められた球形外形の部材を備え、こ
の部材の前記スリーブの内壁より露出する部分が前記測
定子の外周囲に形成された螺旋状溝にはめ込められてい
ることを特徴としている。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す測定用プローブの断面
図である。この測定用プローブは、同図に示すように、
一端が球面形状に形成され、他端側の所定の範囲で螺旋
状溝２が形成された測定子１と、この螺旋状溝２にはめ
込まれるビン３が内側に埋設されるとともに測定子１の
一端を露出させ、他端側を挿入する環状のスリーブ４と
、この環状のスリーブ４内に挿入されるとともに一端で
測定子１の他端側を押し付けるコイルスプリング６とで
構成されている。

次に、この測定用プローブの動作を説明する。

まず、ＩＣの端子部５に測定子１の一端を押し付けると
、測定子１はコイルスプリング６の圧縮に伴い測定子１
はスリーブ４内に押し込められると同時に螺旋状？ｌ！
２にはめ込められたビン３に強制され、回転する。この
回転作用により、端子部５に付着したごみは取り除かれ
る。このように、測定する毎に測定子１は回転し、ごみ
を除去して、かつ所定の圧力で接触することになる。

第２図は本発明の他の実施例を示す測定プローブの部分
の断面図である。この実施例における測定用プローブは
、同図に示すように、前述の実施例のビンの代りに、ボ
ール３ａを設けたことである。このボール３ａは、スリ
ーブ４の内側の窪みにはめ込められているので、前述の
実施例におけるビンと比べ、ボール３ａは自由に窪み内
で回転するので、測定子の回転がより円滑に行なわれる
という利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、ＩＣの端子に測定子が接
触するときに、接触圧力に伴い測定子を回転させる機構
を設けることによって、常に接触時に、測定子が端子面
の汚れを除去するので、良好な電気的接触を得て、正確
な測定が出来る測定用プローブが得られるという効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す測定用プローブの断面
図、第２図は本発明の他の実施例を示す測定用プローブ
の部分の断面図である。 １・・・測定子、２・・・螺旋状溝、３・・・ビン、３
ａ・・・ボール、４・・・スリーブ、５・・・端子部、
６・・・コイルスプリング。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　半導体集積回路の測定端子と接触する球形状の先端を
   もつ測定子と、この測定子の後端部を挿入する環状のス
   リーブと、前記測定子の後端部を押すとともに前記スリ
   ーブ内に挿入されるコイルスプリングとを有する測定用
   プローブにおいて、前記スリーブの内壁にはめ込められ
   た球形外形の部材を備え、この部材の前記スリーブの内
   壁より露出する部分が前記測定子の外周囲に形成された
   螺旋状溝にはめ込められていることを特徴とする測定用
   プローブ。