JPH06324106A - バーン−イン試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体集積回路のバーン−イン試験を簡素化
することを目的とする。 【構成】 半導体集積回路のバーン−イン試験装置が、
半導体集積回路の品種コードを識別する品種コード識別
部１と、品種コード毎に必要なパターン信号の波形情報
及びパターン信号が必要なライン情報を格納するパター
ン情報記憶部２１と、波形情報からパターン信号を生成
するパターン発生器２２と、ライン情報から接続信号を
生成する信号生成部２３と、パターン信号を接続信号に
従って必要なラインに接続して供給するライン接続部２
４とを備える。半導体集積回路を試験ボードに装着する
ことにより、自動的に半導体集積回路の品種が判定さ
れ、必要なパターン信号が必要なピンに供給される。半
導体集積回路の品種毎に試験ボードを備える必要がな
く、また、その取替えの工数が削減され、バーン−イン
試験が簡素化される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、バーン−イン試験装置
に関し、更に詳しくは、半導体集積回路の入力に一定レ
ベルの所定電圧又は時間と共に変化する信号から成るパ
ターン信号を与えながらバーン−イン試験を行うための
バーン−イン試験装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体集積回路では、初期故障を無くす
等により製品の信頼性を保証するために、バ―ン−イン
試験と呼ばれる信頼性加速試験が行われる。半導体集積
回路は、このバ―ン−イン試験において、所定の高い温
度と電源電圧とから成るストレスが最低限加えられて、
潜在的不良個所の顕在化が加速される。半導体集積回路
は、バーン−イン試験の後、引続きの作動試験等によっ
て顕在化した不良個所を有する製品が排除され、その信
頼性が確保される。

【０００３】バ―ン−イン試験には、不良個所の顕在化
を加速するための電気回路として、所定の高い電源電圧
を印加した上で、集積回路の全ての接続ピンを一定電圧
に維持するのみのスタティック・バ―ン−イン試験と、
集積回路の全ての接続ピン又は所定の接続ピンに対して
作動のための信号パタ―ンを印加するダイナミック・バ
―ン−イン試験とが含まれる。一般にこれらバーン−イ
ン試験は、バーン−イン炉内で半導体集積回路を搭載す
ると共にこれにテスト用の信号を供給する試験ボードを
利用して行われる。

【０００４】一般に、バーン−イン試験の際に印加され
る一定レベルの電圧及びパターン波形から成るテスト信
号の種類並びにそのテスト信号が供給される接続ピン
は、半導体集積回路の種類毎に異なる。このため、テス
ト信号を生成するパターン発生器及び試験ボードは、半
導体集積回路の種類毎に夫々異なるものが使用される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】半導体集積回路の種類
は近年ますます増加する傾向に有り、特にゲートアレイ
等の半導体集積回路の場合にはその種類が多いので、バ
ーン−イン試験の際に使用される試験ボードの種類は極
めて多い。このため、試験ボード自体のコスト及びその
取り替えの工数によりバーン−イン試験に必要な費用が
増大する。しかし、従来、例えば試験ボードの種類を有
効に削減可能なバーン−イン試験装置は知られていなか
った。

【０００６】本発明は、上記従来のバーン−イン試験の
問題に鑑み、半導体集積回路の種類毎に異なる試験ボー
ドを用意する必要がないため、試験ボードの数を削減可
能であり、従って、バーン−イン試験にかかる費用を削
減可能なバーン−イン試験装置を提供することを目的と
する。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明のバーン−イン試験装置は、品種識別データ
を有する半導体装置をバーン−イン試験するためのバー
ン−イン試験装置において、前記品種識別データから品
種コードを識別する品種コード識別部と、前記品種コー
ドに対応するパターン信号の波形情報と該パターン信号
を供給すべきライン指定を含むライン情報とが記憶され
たパターン情報記憶部と、前記波形情報に従い、少なく
とも１つのパターン信号を出力するパターン発生器と、
前記ライン情報に従い、前記出力されたパターン信号を
前記ライン指定に対応する出力ラインに供給する信号出
力部とを備えることを特徴とする。

【０００８】ここで、本明細書で使用する「パターン発
生器」には、試験信号を成す通常のテストパターンを発
生させるパターン発生器の他に、一定レベルの電圧を半
導体装置の所定の接続ピンに供給するものも含まれる。
また、パターン発生器は、夫々が１つのパターン信号又
は一定レベルの電圧を出力する複数のパターン発生器の
集合により構成される場合、及び、夫々がパターン信号
又は一定レベルの電圧を出力する信号生成チャネルの集
合からなる１つのパターン発生器である場合を含む。

【０００９】

【作用】バーン−イン試験に必要なパターン信号の波形
情報及びそのパタン信号を供給すべきラインを指定する
ライン情報が、品種コードの判定結果によりパターン情
報記憶部から読み出され、これら各情報に基づいてパタ
ーン信号が生成されると共に、生成された各パターン信
号がそれを必要とするラインに夫々供給されるので、半
導体集積回路の種類毎に異なる試験ボードを必要とする
ことなく、バーン−イン試験が行われる。

【００１０】

【実施例】図面を参照して本発明を更に詳しく説明す
る。図１は、本発明の一実施例のバーン−イン試験装置
の構成を示すブロック図である。同図において、このバ
ーン−イン試験装置は、品種コード識別部１及びパター
ン発生回路２から構成され、パターン発生回路１は、パ
ターン情報記憶部２１、パターン発生器２２、接続信号
生成部２３、及び、ライン接続部２４から成る。パター
ン発生器２２は、ライン接続部２４の出力ライン２５の
数と同じチャネル数を有し、各チャネルで夫々１つのパ
ターン信号を生成する。

【００１１】品種コード識別部１は、被試験半導体集積
回路の品種識別データが入力され、これから半導体集積
回路の種類を示す品種コードを識別する。この実施例の
場合、品種コード識別部１は、所定の識別用の信号を半
導体集積回路に入力し、これに応答して半導体集積回路
から出力される信号を読み取ることで品種コードの識別
を行う。なお、これに代えて、半導体集積回路には品種
に対応するコード番号を記録し、これを品種コード識別
部１が読み取る構成も採用できる。

【００１２】パターン発生器２２は、一定レベルの電圧
を出力するチャネル、所定の周波数のクロック信号を発
生させるチャネル、或いは特殊なパターンを生成するチ
ャネル等、種々のチャネルを備える。パターン発生器２
２は、品種コード識別部１の出力を受けて、パターン情
報記憶部２１に格納されている波形情報から、必要なパ
ターン信号の波形を引き出し、それにより必要なパター
ン信号を対応する各チャネルで生成する。この波形情報
は、例えば、品種コードと、半導体集積回路の接続ピン
毎に必要なパターン信号との表の形式として格納され
る。

【００１３】接続信号生成部２３は、パターン情報記憶
部２１に格納されているライン情報からライン接続信号
を生成する。ライン情報は、例えば、各パターン信号を
供給すべきライン乃至は接続ピンを指定する、品種コー
ド毎の表の形式として格納される。接続信号生成部２３
により形成されるライン接続信号は、例えば、ライン接
続部２４の各入力ラインとこれに接続すべき出力ライン
との導通を制御する信号とすることが出来る。

【００１４】ライン接続部２４は、パターン発生器２２
から出力される各パターン信号と、接続信号生成部２３
から出力されるライン接続信号とを受けて、各パターン
信号を必要なラインに供給するために、各出力ラインを
所定の入力ラインに切換え接続する。この実施例の場合
には、ライン接続部２４の入力数と出力数とは同数であ
る。

【００１５】図２は、図１の実施例のバーン−イン試験
装置を採用して、例えばダイナミック・バーン−イン試
験を行うバーン−イン試験炉を例示する模式的断面図で
ある。同図において、被試験半導体集積回路３は、接続
ピンが試験ボード９のソケット１０に装着されて、炉内
部に収容された試験ボード９に取付けられる。半導体集
積回路３に所定のパターンを供給するために、品種コー
ド識別部１及びパターン発生回路２が炉外に設けられ
る。炉内と炉外とはコネクタ８により配線が接続され
る。

【００１６】被試験半導体集積回路３のチップには、品
種識別データを回路構成に含む品種識別回路４が設けら
れており、品種コード識別部１は、信号線５を経由して
品種識別のための検出用信号を出力する。品種識別回路
４からは、これに応答して、品種コードを識別するため
の出力が、信号線５を経由して品種コード識別部１に入
力される。

【００１７】品種コード識別部１で得られた品種コード
は、信号線６を経由してパターン発生回路２に入力され
る。パターン発生回路２は、この品種コードに基づいて
被試験半導体集積回路３のバーン−イン試験に必要なパ
ターン信号を生成する。得られた各パターン信号は、コ
ネクタ８、試験ボード９のプリント配線７、及び試験ボ
ード９のソケット１０を経由して、半導体集積回路３の
接続ピンに供給される。

【００１８】上記構成を採用することにより、パターン
発生回路２で生成された各パターン信号は、全て半導体
集積回路３の対応する接続ピンに供給される。試験ボー
ド９は、接続ピンの形状がソケット１０に適合すること
を前提として、半導体集積回路３の種類の相違に拘らず
常に同じものが採用できる。従って、スタティック及び
ダイナミックの各バーン−イン試験で同じ試験ボードを
採用することも出来、試験ボードの種類を半導体集積回
路の種類に応じて変える必要がない。このため、試験ボ
ードの種類及び個数の低減はもとより、従来、試験の度
に必要であった試験ボード取り替えのための工数も削減
できる。また、試験ボードの形式を間違える等のミスも
生じない。

【００１９】図３は、本発明の第二の実施例のバーン−
イン試験装置の構成を示す図２と同様な図面である。第
二の実施例のバーン−イン試験装置では、ライン接続部
を成すマトリックスボックス１１がパターン発生回路２
０の外部に設けられており、また、そのマトリックスボ
ックス１１の構成が図１のライン接続部２４と構成が異
なる点で、第一の実施例のバーン−イン試験装置と異な
る。

【００２０】図４は、マトリックスボックス１１の構成
を示す回路図である。同図において、マトリックスボッ
クス１１は、デコーダ１２と、入力端子１３に接続され
た入力マトリックスライン１ａ、１ｂ、１Ｃと、出力端
子１４に接続された出力マトリックスライン２ａ、２
ｂ、・・・２ｆと、各マトリックスラインを導通させる
スイッチ１５とから構成される。

【００２１】各入力マトリックスライン１ａ、１ｂ、１
ｃには、相互に異なる波形のパターン信号が入力端子１
３を経由して入力される。デコーダ１２は、各出力マト
リックスライン２ａ、２ｂ、・・・２ｆに対応するデコ
ーダブロックａ、ｂ、・・・ｆから成る。各デコーダブ
ロックａ、ｂ、・・・ｆは、ライン接続信号を受けて対
応する各出力マトリックスライン２ａ、２ｂ、・・・２
ｆを入力マトリックスラインのいずれかに導通させる３
つのスイッチ１５を制御する。これにより、入力端子１
３から与えられた波形の相互に異なる各パターン入力が
夫々を必要とする出力マトリックスライン２ａ、２ｂ、
・・・２ｆを経由して出力される。

【００２２】上記第二の実施例の構成によると、パター
ン発生器２０は、単に、パターン信号の波形の種類毎に
パターン信号生成チャネルを備えることで足りるので、
第一の実施例のパターン発生器２２に比して、チャネル
数が少なくて足りる。従って、バーン−イン試験装置を
小型化でき、低コストで製作できるという利点がある。

【００２３】従来、ＩＣテスタにおいては、半導体集積
回路内部に品種識別データを記録し、このデータから半
導体集積回路毎に最適のプログラム、テストパターンを
自動的に選択する例が見られた。また、バーン−イン試
験装置では、試験ボードのコードを指定することによ
り、自動的に供給電圧を選択する方式が試みられてい
る。しかし、本発明の如く、バーン−イン試験装置にお
いて、品種識別データから品種コードを識別して、自動
的にパターン信号を発生させると共に、そのパターン信
号を供給するラインを自動的に選択して接続する例は知
られていない。特に本発明のバーン−イン試験装置は、
スタティック及びダイナミックのバーン−イン試験の工
程を簡素化すると共にその試験ボードの種類を削減する
ことによる大きな利点を有する。

【００２４】上記各実施例の構成は、いずれも単に例示
である。従って、本発明のバーン−イン試験装置には、
これら各実施例から種々の変更・修正を行って得られた
バーン−イン試験装置も含まれる。

【００２５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のバーン−
イン試験装置によると、バーン−イン試験装置に必要な
試験ボードの種類を削減出来るので、試験ボード自体の
費用の低減のみならず試験ボードの取り替えの工数も削
減できるので、バーン−イン試験を簡素化し、そのコス
トを低減できるという顕著な効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施例のバーン−イン試験装置
の構成を示すブロック図である。

【図２】図１のバーン−イン試験装置を採用するバーン
−イン試験炉の断面図である。

【図３】本発明の第二の実施例のバーン−イン試験装置
を採用するバーン−イン試験炉の断面図である。

【図４】図３のバーン−イン試験装置におけるマトリッ
クスボックスの構成を示す回路図である。

【符号の説明】

１ 品種コード識別部 ２、２０ パターン発生回路 ２１ パターン情報記憶部 ２２ パターン発生器 ２３ 接続信号生成部 ２４ ライン接続部 ３ 被試験半導体集積回路 ４ 品種識別回路 ５、６、７ 信号線 ８ ソケット ９ 試験ボード １０ ソケット １１ マトリックスボックス

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 品種識別データを有する半導体装置をバ
   ーン−イン試験するためのバーン−イン試験装置におい
   て、 前記品種識別データから品種コードを識別する品種コー
   ド識別部と、 前記品種コードに対応するパターン信号の波形情報と該
   パターン信号を供給すべきライン指定を含むライン情報
   とが記憶されたパターン情報記憶部と、 前記波形情報に従い、少なくとも１つのパターン信号を
   出力するパターン発生器と、 前記ライン情報に従い、前記出力されたパターン信号を
   前記ライン指定に対応する出力ラインに供給する信号出
   力部とを備えることを特徴とするバーン−イン試験装
   置。
2. 【請求項２】 前記信号出力部が、前記ライン情報に従
   いライン接続信号を生成する接続信号生成部と、該ライ
   ン接続信号が入力され、前記パターン信号が出力される
   信号ラインを前記ライン指定に対応する出力ラインに接
   続するライン接続部とから構成されることを特徴とする
   請求項１に記載のバーン−イン試験装置。
3. 【請求項３】 前記パターン発生器が、相互に異なる波
   形を有するパターン信号の数に対応する数のチャネルか
   ら構成されることを特徴とする請求項１又は２に記載の
   バーン−イン試験装置。
4. 【請求項４】 前記ライン接続部が、マトリックス状に
   配設された複数の入力端及び出力端と、該各入力端及び
   出力端を導通させるスイッチ手段と、該スイッチ手段を
   制御する制御部とを備えることを特徴とする請求項１乃
   至３の一に記載のバーン−イン試験装置。