JPH06324123A - 電子ビームテスタ - Google Patents
電子ビームテスタInfo
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- JPH06324123A JPH06324123A JP5002020A JP202093A JPH06324123A JP H06324123 A JPH06324123 A JP H06324123A JP 5002020 A JP5002020 A JP 5002020A JP 202093 A JP202093 A JP 202093A JP H06324123 A JPH06324123 A JP H06324123A
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- Japan
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- electron beam
- integrated circuit
- timing
- image
- beam tester
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- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電子ビームを用いて集積回路の内部配線の電
圧やタイミングを非接触で測定する電子ビームテスタに
関し、特に、集積回路の動作状態を目視で確認できるス
トロボ二次画像を取得できる電子ビームテスタに関し、
集積回路画像取得の迅速化を図ると共に、集積回路の動
作状態を目視で瞬時に確認できる電子ビームテスタを提
供することを目的とする。 【構成】 基準となる基準タイミングを所定回数のフレ
ーム毎に微小時間変化させて変化タイミングとしてタイ
ミング制御手段が出力し、基準タイミング及び変化タイ
ミングに基づいて照射手段がパルス化された電子ビーム
を集積回路に照射し、集積回路から検出される二次電子
に基づてい集積回路の画像を取得するようにしたので、
１フレーム内で電子ビームの照射タイミングを変化させ
ることなく画像取得を行うこととなり、画像取得を高速
化できる。さらに、この高速に取得された画像に基づい
て集積回路の動作確認・配線導通検査を容易に行えるよ
う構成する。
圧やタイミングを非接触で測定する電子ビームテスタに
関し、特に、集積回路の動作状態を目視で確認できるス
トロボ二次画像を取得できる電子ビームテスタに関し、
集積回路画像取得の迅速化を図ると共に、集積回路の動
作状態を目視で瞬時に確認できる電子ビームテスタを提
供することを目的とする。 【構成】 基準となる基準タイミングを所定回数のフレ
ーム毎に微小時間変化させて変化タイミングとしてタイ
ミング制御手段が出力し、基準タイミング及び変化タイ
ミングに基づいて照射手段がパルス化された電子ビーム
を集積回路に照射し、集積回路から検出される二次電子
に基づてい集積回路の画像を取得するようにしたので、
１フレーム内で電子ビームの照射タイミングを変化させ
ることなく画像取得を行うこととなり、画像取得を高速
化できる。さらに、この高速に取得された画像に基づい
て集積回路の動作確認・配線導通検査を容易に行えるよ
う構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子ビームを用いて集
積回路の内部配線の電圧やタイミングを非接触で測定す
る電子ビームテスタに関し、特に、集積回路の動作状態
を目視で確認できるストロボ二次画像を取得できる電子
ビームテスタに関する。
積回路の内部配線の電圧やタイミングを非接触で測定す
る電子ビームテスタに関し、特に、集積回路の動作状態
を目視で確認できるストロボ二次画像を取得できる電子
ビームテスタに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、電子ビームテスタは集積回路の
内部配線における電圧波形を検出する場合には、集積回
路における測定点付近の画像を取得し、この画像に基づ
いて電圧波形の測定を行う。この画像は、集積回路の表
面上でパルス化された電子ビームを二次元に走査し、そ
こから放出される二次電子を捕獲し増幅器、信号処理回
路を経てモニター上に表示される。集積回路表示から放
出される二次電子は配線の電圧情報を含んでいる。つま
り、電圧が高い部分からの二次電子放出量は少なく、電
圧が低い部分からは多いので、集積回路表面と二次電子
検出器の間に配置されているエネルギー分析器の分析電
圧を適切に選べば、モニター上には電位コントラストの
ある画像が表示される。
内部配線における電圧波形を検出する場合には、集積回
路における測定点付近の画像を取得し、この画像に基づ
いて電圧波形の測定を行う。この画像は、集積回路の表
面上でパルス化された電子ビームを二次元に走査し、そ
こから放出される二次電子を捕獲し増幅器、信号処理回
路を経てモニター上に表示される。集積回路表示から放
出される二次電子は配線の電圧情報を含んでいる。つま
り、電圧が高い部分からの二次電子放出量は少なく、電
圧が低い部分からは多いので、集積回路表面と二次電子
検出器の間に配置されているエネルギー分析器の分析電
圧を適切に選べば、モニター上には電位コントラストの
ある画像が表示される。
【０００３】波形測定は、画像上の特定の点に電子ビー
ムを照射し、放出される二次電子のエネルギーをエネル
ギー分析器で分析しながら、照射するタイミングをずら
していくことによって、行われる。
ムを照射し、放出される二次電子のエネルギーをエネル
ギー分析器で分析しながら、照射するタイミングをずら
していくことによって、行われる。
【０００４】このタイミングを変化させてずらしていく
従来の電子ビームテスタを図５ないし図７に基づいて説
明する。この図５は集積回路の配線Ａ〜Ｅの動作タイミ
ングチャート及びタイミングＴ0 〜Ｔ4 における位相
像、図６は従来の電子ビームテスタの動作フローチャー
ト、図７は図５（Ｂ）の各タイミングチャートに対応す
る各画像である。
従来の電子ビームテスタを図５ないし図７に基づいて説
明する。この図５は集積回路の配線Ａ〜Ｅの動作タイミ
ングチャート及びタイミングＴ0 〜Ｔ4 における位相
像、図６は従来の電子ビームテスタの動作フローチャー
ト、図７は図５（Ｂ）の各タイミングチャートに対応す
る各画像である。
【０００５】前記各図において、従来の電子ビームテス
タは、試料の集積回路表面に対して電子ビームを二次元
に走査する際に照射タイミングをずらして複数の位相に
おける画像を同一フレーム内に表示し、この表示された
位相像に基づいて集積回路の動作状態を確認するように
構成される。
タは、試料の集積回路表面に対して電子ビームを二次元
に走査する際に照射タイミングをずらして複数の位相に
おける画像を同一フレーム内に表示し、この表示された
位相像に基づいて集積回路の動作状態を確認するように
構成される。
【０００６】この構成に基づく従来の電子ビームテスタ
の動作について説明する。まず、集積回路における配線
Ａ〜Ｅに対して図５（ａ）に示すタイミングチャートの
信号を繰り返し印加する。この信号の任意点を位相の基
準点として所定間隔の基準タイミングＴ0 〜Ｔ4 毎にパ
ルス化された電子ビームを集積回路の配線Ａ〜Ｅの領域
に照射する。
の動作について説明する。まず、集積回路における配線
Ａ〜Ｅに対して図５（ａ）に示すタイミングチャートの
信号を繰り返し印加する。この信号の任意点を位相の基
準点として所定間隔の基準タイミングＴ0 〜Ｔ4 毎にパ
ルス化された電子ビームを集積回路の配線Ａ〜Ｅの領域
に照射する。
【０００７】このような電子ビームの照射状態におい
て、電子ビームの照射タイミングの位相を初期化して基
準タイミングＴ0 （ＰＨ＝０）に設定する（ステップ１
０）。この基準タイミングＴ0 で照射された電子ビーム
に対して集積回路から放出される二次電子を検出し、こ
の検出した二次電子に基づいて画像を取得する（ステッ
プ１１）。この画像が取得されると予め設定された１フ
レーム内に取り込む画像数Ｎ（基準タイミング数に相
当）＝５から順次減算する（ステップ１２）。この減算
結果が「０」であるから否かを判断し（ステップ１
３）、この減算結果が「０」と診断した場合には位相像
の検出が完了したものとして終了する。
て、電子ビームの照射タイミングの位相を初期化して基
準タイミングＴ0 （ＰＨ＝０）に設定する（ステップ１
０）。この基準タイミングＴ0 で照射された電子ビーム
に対して集積回路から放出される二次電子を検出し、こ
の検出した二次電子に基づいて画像を取得する（ステッ
プ１１）。この画像が取得されると予め設定された１フ
レーム内に取り込む画像数Ｎ（基準タイミング数に相
当）＝５から順次減算する（ステップ１２）。この減算
結果が「０」であるから否かを判断し（ステップ１
３）、この減算結果が「０」と診断した場合には位相像
の検出が完了したものとして終了する。
【０００８】前記減算結果が「０」でないと判断された
場合には、基準タンミングＴ0 がＴ 1 （Ｔ1 からＴ2 ，
Ｔ2 からＴ3 ，Ｔ3 からＴ4 ）へと順次移行する（ステ
ップ１４）。この移行後の基準タイミングＴ1 （又はＴ
2 〜Ｔ4 ）についてさらに画像取得（ステップ１１）を
繰り返すこととなる。つまり、表示された画像の１フレ
ームの中に複数のタイミングの画像が取得されている。
集積回路の動作している配線は、画像の１フレームに中
で白から黒、黒から白に変化する。電源やグランドのよ
うに電圧が変化しない配線は、明るさは変化しない。
場合には、基準タンミングＴ0 がＴ 1 （Ｔ1 からＴ2 ，
Ｔ2 からＴ3 ，Ｔ3 からＴ4 ）へと順次移行する（ステ
ップ１４）。この移行後の基準タイミングＴ1 （又はＴ
2 〜Ｔ4 ）についてさらに画像取得（ステップ１１）を
繰り返すこととなる。つまり、表示された画像の１フレ
ームの中に複数のタイミングの画像が取得されている。
集積回路の動作している配線は、画像の１フレームに中
で白から黒、黒から白に変化する。電源やグランドのよ
うに電圧が変化しない配線は、明るさは変化しない。
【０００９】このようにして総ての基準タイミングＴ0
〜Ｔ4 に対応する各画像を１フレーム内に収納し、図５
（ｂ）に示すように各種視野における瞬時の動作状態を
確認できることとなる。
〜Ｔ4 に対応する各画像を１フレーム内に収納し、図５
（ｂ）に示すように各種視野における瞬時の動作状態を
確認できることとなる。
【００１０】また、従来の電子ビームテスタとしてＤＦ
Ｉ（Dinamic Fault Image ）技術を用いたものがあり、
この概略構成を図８に示す。この他の技術は、多数の画
像メモリＭ1 ，Ｍ2 ，…，Ｍm を持ち、１フレーム毎に
照射タンミングを変え順次前記メモリに画像Ｉ1 ，
Ｉ2 ，…，Ｉm を格納していくもで、メモリの深さ方向
（Ｍ1 →Ｍm ）に各配線の時間変化が画像として記録さ
れているものである。そして、一旦ストロボ画像を取得
した後は、この画像を使って不良解折や動作の検証を行
うものである。
Ｉ（Dinamic Fault Image ）技術を用いたものがあり、
この概略構成を図８に示す。この他の技術は、多数の画
像メモリＭ1 ，Ｍ2 ，…，Ｍm を持ち、１フレーム毎に
照射タンミングを変え順次前記メモリに画像Ｉ1 ，
Ｉ2 ，…，Ｉm を格納していくもで、メモリの深さ方向
（Ｍ1 →Ｍm ）に各配線の時間変化が画像として記録さ
れているものである。そして、一旦ストロボ画像を取得
した後は、この画像を使って不良解折や動作の検証を行
うものである。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】従来の電子ビームテス
タは以上のように構成されていたことから、１フレーム
に中で複数のタイミングを変えているので、１フレーム
の走査時間が長くなるという欠点がある。走査時間が長
くなると別の位置の配線をみようとする場合、移動機構
と画像の追従が悪くなってしまうという課題を有してい
た。
タは以上のように構成されていたことから、１フレーム
に中で複数のタイミングを変えているので、１フレーム
の走査時間が長くなるという欠点がある。走査時間が長
くなると別の位置の配線をみようとする場合、移動機構
と画像の追従が悪くなってしまうという課題を有してい
た。
【００１２】また、他のＤＩＦを用いた電子ビームテス
タにおいて、同一視野で照射タイミングを変えて画像を
取得するだけのもので、いろいろな視野で瞬時に動作状
態を確認できないという問題があった。
タにおいて、同一視野で照射タイミングを変えて画像を
取得するだけのもので、いろいろな視野で瞬時に動作状
態を確認できないという問題があった。
【００１３】本発明は前記課題を解消するためになされ
たもので、集積回路画像取得の迅速化を図ると共に、集
積回路の動作状態を目視で瞬時に確認できる電子ビーム
テスタを提供することを目的とする。
たもので、集積回路画像取得の迅速化を図ると共に、集
積回路の動作状態を目視で瞬時に確認できる電子ビーム
テスタを提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明に係る電子ビーム
テスタは、集積回路のテストパターンの繰り返しに同期
化したパルス化された電子ビームを集積回路に対して照
射する電子ビーム照射手段と、電子ビームが照射された
集積回路から放射される二次電子の信号を検出する二次
電子検出手段とを有し、検出された二次電子信号に基づ
いて集積回路の動作を試験する電子ビームテスタにおい
て、前記電子ビーム照射手段から照射される電子ビーム
のタイミングを、集積回路のテストパターンの繰り返し
を基準として１フレーム毎に基準タイミングとして出力
すると共に、前記フレームを所定回数繰り返す毎に基準
タイミングから微小時間変化させて変化タイミングとし
て出力するタイミング制御手段を備えるものである。
テスタは、集積回路のテストパターンの繰り返しに同期
化したパルス化された電子ビームを集積回路に対して照
射する電子ビーム照射手段と、電子ビームが照射された
集積回路から放射される二次電子の信号を検出する二次
電子検出手段とを有し、検出された二次電子信号に基づ
いて集積回路の動作を試験する電子ビームテスタにおい
て、前記電子ビーム照射手段から照射される電子ビーム
のタイミングを、集積回路のテストパターンの繰り返し
を基準として１フレーム毎に基準タイミングとして出力
すると共に、前記フレームを所定回数繰り返す毎に基準
タイミングから微小時間変化させて変化タイミングとし
て出力するタイミング制御手段を備えるものである。
【００１５】
【作用】本発明において、基準となる基準タイミングを
所定回数のフレーム毎に微小時間変化させて変化タイミ
ングとしてタイミング制御手段が出力し、基準タイミン
グ及び変化タイミングに基づいて照射手段がパルス化さ
れた電子ビームを集積回路に照射し、集積回路から検出
される二次電子に基づてい集積回路の画像を取得するよ
うにしたので、１フレーム内で電子ビームの照射タイミ
ングを変化させることなく画像取得を行うこととなり、
画像取得を高速化できる。さらに、この高速に取得され
た画像に基づいて集積回路の動作確認・配線導通検査を
容易に行える。
所定回数のフレーム毎に微小時間変化させて変化タイミ
ングとしてタイミング制御手段が出力し、基準タイミン
グ及び変化タイミングに基づいて照射手段がパルス化さ
れた電子ビームを集積回路に照射し、集積回路から検出
される二次電子に基づてい集積回路の画像を取得するよ
うにしたので、１フレーム内で電子ビームの照射タイミ
ングを変化させることなく画像取得を行うこととなり、
画像取得を高速化できる。さらに、この高速に取得され
た画像に基づいて集積回路の動作確認・配線導通検査を
容易に行える。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の一実施例に係る電子ビームテ
スタを図１〜図４に基づいて説明する。
スタを図１〜図４に基づいて説明する。
【００１７】図１は本実施例電子ビームテスタの概略ブ
ロック構成図、図２は図１記載の実施例の動作フローチ
ャート、図３は図１記載の実施例における集積回路に入
力する信号の動作タイミングチャート、図４は図３記載
の動作タイミングチャートにおける各タイミングの表示
画像を示す。
ロック構成図、図２は図１記載の実施例の動作フローチ
ャート、図３は図１記載の実施例における集積回路に入
力する信号の動作タイミングチャート、図４は図３記載
の動作タイミングチャートにおける各タイミングの表示
画像を示す。
【００１８】前記各図において、本実施例に係る電子ビ
ームテスタは、電子銃１から試料の集積回路１０の表面
に照射する電子ビームをパルス化して所定のタイミング
で照射制御するタイミング制御回路２１と、この照射さ
れた電子ビームを集積回路１０の所定領域へ走査偏向さ
せる走査偏向器６を駆動制御する走査偏向器駆動回路２
２と、電子ビームが照射された集積回路１０から放出さ
れる二次電子が二次電子検出器７及びエネルギ分析器８
で検出・分析されて出力される検出信号を演算処理する
信号処理回路２３と、集積回路１０が載置された載置台
を移動する移動機構１４を制御する移動機構制御部３０
と、試料室１１及び電子ビーム鏡筒１３内を真空状態と
する真空排気制御部４０と、電子ビーム鏡筒１３内の各
光学系等を制御する鏡筒制御部５０と、装置全体を制御
し演算動作を行う中央演算部６０と、この演算結果に基
づいて各照射タイミングで取得された集積回路１０の画
像を表示する表示部７０とを備える。
ームテスタは、電子銃１から試料の集積回路１０の表面
に照射する電子ビームをパルス化して所定のタイミング
で照射制御するタイミング制御回路２１と、この照射さ
れた電子ビームを集積回路１０の所定領域へ走査偏向さ
せる走査偏向器６を駆動制御する走査偏向器駆動回路２
２と、電子ビームが照射された集積回路１０から放出さ
れる二次電子が二次電子検出器７及びエネルギ分析器８
で検出・分析されて出力される検出信号を演算処理する
信号処理回路２３と、集積回路１０が載置された載置台
を移動する移動機構１４を制御する移動機構制御部３０
と、試料室１１及び電子ビーム鏡筒１３内を真空状態と
する真空排気制御部４０と、電子ビーム鏡筒１３内の各
光学系等を制御する鏡筒制御部５０と、装置全体を制御
し演算動作を行う中央演算部６０と、この演算結果に基
づいて各照射タイミングで取得された集積回路１０の画
像を表示する表示部７０とを備える。
【００１９】タイミング制御回路２１、走査偏向器駆動
回路２２及び信号処理回路２３は、電子ビーム制御部２
０を構成している。次に、前記構成に基づく本実施例の
動作を説明する。
回路２２及び信号処理回路２３は、電子ビーム制御部２
０を構成している。次に、前記構成に基づく本実施例の
動作を説明する。
【００２０】まず、中央演算部６０は電子ビームの照射
タイミングの位相を初期化して、基準タイミングＴ
0 （ＰＨ＝０）に設定する（ステップ１）。この照射タ
イミングの位相変更の回数Ｃ＝Ｎを設定する（ステップ
２）。また、この基準タイミングＴ0 に基づいて電子ビ
ームは、タイミング制御回路２１により制御されたサブ
ブランカ３及びメインブランカ４により所定の方向へ偏
向されて対物絞り移行でパルス化電子ビームとなる。こ
のパルス化電子ビームが走査偏向器駆動回路２２の制御
により走査偏向器６を介して集積回路１０上の所定領域
に照射される。この電子ビームが照射された集積回路１
０から二次電子が放出され、この二次電子を二次電子検
出器７が検出すると共にエネルギ分析器８が分析し、こ
の検出・分析された二次電子の信号を信号処理回路２３
が処理する。この処理された信号が中央演算部６０に入
力され、所定の演算処理を行うことにより基準タイミン
グＴ0（図３を参照）における画像（図４（ａ）を参
照）を取得する（ステップ３）。なお、この画像は中央
演算部６０への制御の下に表示部７０にリアルタイムで
表示されることとなる。
タイミングの位相を初期化して、基準タイミングＴ
0 （ＰＨ＝０）に設定する（ステップ１）。この照射タ
イミングの位相変更の回数Ｃ＝Ｎを設定する（ステップ
２）。また、この基準タイミングＴ0 に基づいて電子ビ
ームは、タイミング制御回路２１により制御されたサブ
ブランカ３及びメインブランカ４により所定の方向へ偏
向されて対物絞り移行でパルス化電子ビームとなる。こ
のパルス化電子ビームが走査偏向器駆動回路２２の制御
により走査偏向器６を介して集積回路１０上の所定領域
に照射される。この電子ビームが照射された集積回路１
０から二次電子が放出され、この二次電子を二次電子検
出器７が検出すると共にエネルギ分析器８が分析し、こ
の検出・分析された二次電子の信号を信号処理回路２３
が処理する。この処理された信号が中央演算部６０に入
力され、所定の演算処理を行うことにより基準タイミン
グＴ0（図３を参照）における画像（図４（ａ）を参
照）を取得する（ステップ３）。なお、この画像は中央
演算部６０への制御の下に表示部７０にリアルタイムで
表示されることとなる。
【００２１】さらに、中央演算部６０は予め設定された
数Ｎの全画像が取得されたか否かを判断し（ステップ
４）、全画像が取得されていないと判断した場合には、
全画像の予め設定された数Ｎから画像取得毎に「１」を
減算する（ステップ５）。この減算結果により位相変更
の回数Ｃが「０」であるか否かを判断する（ステップ
６）。この判断で位相変更の回数Ｃが「０」でないと判
断された場合には、位相ＰＨをＴm+1 とする（ステップ
７）。つまり、基準タイミングの場合にはＴ0 からＴ1
へ、さらにＴ2 へと順次移行してステップ３に戻ること
により画像取得を繰り返すこととなる。
数Ｎの全画像が取得されたか否かを判断し（ステップ
４）、全画像が取得されていないと判断した場合には、
全画像の予め設定された数Ｎから画像取得毎に「１」を
減算する（ステップ５）。この減算結果により位相変更
の回数Ｃが「０」であるか否かを判断する（ステップ
６）。この判断で位相変更の回数Ｃが「０」でないと判
断された場合には、位相ＰＨをＴm+1 とする（ステップ
７）。つまり、基準タイミングの場合にはＴ0 からＴ1
へ、さらにＴ2 へと順次移行してステップ３に戻ること
により画像取得を繰り返すこととなる。
【００２２】他方、ステップ６において位相変更の回数
が「０」と判断された場合には、基準タイミングＴ
0 （又はＴ1 ，Ｔ2 ）から微小時間変化させて位相ＰＨ
＝Ｔ0 ＋ｔ1 （又はＴ0 ＋ｔ2 ，Ｔ1 ＋ｔ1 ，Ｔ1 ＋ｔ
2 ，Ｔ2 ＋ｔ1 ，Ｔ2 ＋ｔ2 ）とし、これを変化タイミ
ングとして出力する（ステップ８）。Ｂのこ変化タイミ
ングＴ0 ＋ｔ1 が出力されると再度ステップ２に戻り、
この変化タイミングＴ0 ＋ｔ1 に基づいて画像取得（ス
テップ３）を繰り返すこととなる。
が「０」と判断された場合には、基準タイミングＴ
0 （又はＴ1 ，Ｔ2 ）から微小時間変化させて位相ＰＨ
＝Ｔ0 ＋ｔ1 （又はＴ0 ＋ｔ2 ，Ｔ1 ＋ｔ1 ，Ｔ1 ＋ｔ
2 ，Ｔ2 ＋ｔ1 ，Ｔ2 ＋ｔ2 ）とし、これを変化タイミ
ングとして出力する（ステップ８）。Ｂのこ変化タイミ
ングＴ0 ＋ｔ1 が出力されると再度ステップ２に戻り、
この変化タイミングＴ0 ＋ｔ1 に基づいて画像取得（ス
テップ３）を繰り返すこととなる。
【００２３】このように基準タイミングＴ0 ，Ｔ1 ，Ｔ
2 の画像取得終了後に微小時間だけ変化させた変化タイ
ミングＴ0 ＋ｔ1 ，Ｔ1 ＋ｔ1 ，Ｔ2 ＋ｔ1 で画像取得
を行い、さらに微小時間順次変化させて変化タイミング
Ｔ0 ＋ｔ2 ，Ｔ1 ＋ｔ2 ，Ｔ 2 ＋ｔ2 のように変化させ
て、この各変化タイミングに基づいて画像取得を行う。
この基準タイミングＴ0 〜Ｔ2 及び変化タイミングＴ0
＋ｔ1 〜Ｔ2 ＋ｔ2 に基づいて取得した画像を図４
（ａ）〜（ｉ）に示す。この変化タイミングＴ0 ＋ｔ1
〜Ｔ2 ＋ｔ2 により、微小なパルス信号が入力されて駆
動する配線パターンであっても動作状態を確認するため
に視覚により配線異常を追跡検出することができる。
2 の画像取得終了後に微小時間だけ変化させた変化タイ
ミングＴ0 ＋ｔ1 ，Ｔ1 ＋ｔ1 ，Ｔ2 ＋ｔ1 で画像取得
を行い、さらに微小時間順次変化させて変化タイミング
Ｔ0 ＋ｔ2 ，Ｔ1 ＋ｔ2 ，Ｔ 2 ＋ｔ2 のように変化させ
て、この各変化タイミングに基づいて画像取得を行う。
この基準タイミングＴ0 〜Ｔ2 及び変化タイミングＴ0
＋ｔ1 〜Ｔ2 ＋ｔ2 に基づいて取得した画像を図４
（ａ）〜（ｉ）に示す。この変化タイミングＴ0 ＋ｔ1
〜Ｔ2 ＋ｔ2 により、微小なパルス信号が入力されて駆
動する配線パターンであっても動作状態を確認するため
に視覚により配線異常を追跡検出することができる。
【００２４】図５（ａ）及び図６で示した従来技術にお
いては、基準タイミングＴ0 〜Ｔ4の各の間（Ｔ0 −Ｔ
1 ，Ｔ1 −Ｔ2 ，Ｔ2 −Ｔ3 ，Ｔ3 −Ｔ4 ）において各
配線に入力された電圧が変化しているにもかかわらず、
例えば配線Ｃについては、あたかも変化していないよう
に観察されることとなる。これに対して本実施例の場合
には配線Ａ，Ｂ，Ｃのいずれの信号変化に対しても変化
タイミングＴ0 ＋ｔ1〜Ｔ2 ＋ｔ2 のいずれかで動作状
態を確認できる。
いては、基準タイミングＴ0 〜Ｔ4の各の間（Ｔ0 −Ｔ
1 ，Ｔ1 −Ｔ2 ，Ｔ2 −Ｔ3 ，Ｔ3 −Ｔ4 ）において各
配線に入力された電圧が変化しているにもかかわらず、
例えば配線Ｃについては、あたかも変化していないよう
に観察されることとなる。これに対して本実施例の場合
には配線Ａ，Ｂ，Ｃのいずれの信号変化に対しても変化
タイミングＴ0 ＋ｔ1〜Ｔ2 ＋ｔ2 のいずれかで動作状
態を確認できる。
【００２５】この画像が取得された集積回路の動作を
白，黒のコントラストをつけて見るために、これまで画
像取得中にエネルギ分析器８の分析電圧を変化させて設
定していた。これを、予め動作している配線の波形測定
を行わせ、自動的に停電位部分の分析電圧ＶrLと高電位
部分の分析電圧ＶrHを求め、その中間の分析電圧ＶrSを
設定するようにしたものである。
白，黒のコントラストをつけて見るために、これまで画
像取得中にエネルギ分析器８の分析電圧を変化させて設
定していた。これを、予め動作している配線の波形測定
を行わせ、自動的に停電位部分の分析電圧ＶrLと高電位
部分の分析電圧ＶrHを求め、その中間の分析電圧ＶrSを
設定するようにしたものである。
【００２６】ＶrS＝ＶrL＋（ＶrL＋ＶrH）／２
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明において、
基準となる基準タイミングを所定回数のフレーム毎に微
小時間変化させて変化タイミングとしてタイミング制御
手段が出力し、基準タイミング及び変化タイミングに基
づいて照射手段がパルス化された電子ビームを集積回路
に照射し、集積回路から検出される二次電子に基づてい
集積回路の画像を取得するようにしたので、１フレーム
内で電子ビームの照射タイミングを変化させることなく
画像取得を行うこととなり、画像取得を高速化できる。
さらに、この高速に取得された画像に基づいて集積回路
の動作確認・配線導通検査を容易に行えるという効果を
有する。
基準となる基準タイミングを所定回数のフレーム毎に微
小時間変化させて変化タイミングとしてタイミング制御
手段が出力し、基準タイミング及び変化タイミングに基
づいて照射手段がパルス化された電子ビームを集積回路
に照射し、集積回路から検出される二次電子に基づてい
集積回路の画像を取得するようにしたので、１フレーム
内で電子ビームの照射タイミングを変化させることなく
画像取得を行うこととなり、画像取得を高速化できる。
さらに、この高速に取得された画像に基づいて集積回路
の動作確認・配線導通検査を容易に行えるという効果を
有する。
【図１】本発明の一実施例に係る電子ビームテスタの概
略ブロック構成図である。
略ブロック構成図である。
【図２】図１記載の実施例の動作フローチャートであ
る。
る。
【図３】図１記載の実施例におれる集積回路に入力する
信号の動作タイミングチャートである。
信号の動作タイミングチャートである。
【図４】図３記載の動作タイミングチャートにおける各
タイミングの表示画像である。
タイミングの表示画像である。
【図５】従来の電子ビームテスタの試料となる集積回路
の配線Ａ〜Ｅの動作タイミングチャート及びタイミング
Ｔ0 〜Ｔ4 における位相像である。
の配線Ａ〜Ｅの動作タイミングチャート及びタイミング
Ｔ0 〜Ｔ4 における位相像である。
【図６】従来の電子ビームテスタの動作フローチャート
である。
である。
【図７】図５の各タイミングチャートに対応する各画像
である。
である。
【図８】他の従来の電子ビームテスタの概略構成図であ
る。
る。
１…電子銃 ２…第１レンズ ３…サブブランカ ４…メインブランカ ５…第２レンズ ６…走査偏向器 ７…二次電子検出器 ８…エネルギ分析器 ９…第３レンズ １０…集積回路 １１…試料室 １３…電子ビーム鏡筒 １４…集積回路移動機構 ２０…電子ビーム制御部 ２１…タイミング制御回路 ２２…走査偏向器駆動回路 ２３…信号処理回路 ３０…移動機構制御部 ４０…真空排気制御部 ５０…鏡筒制御部 ６０…中央演算部 ７０…表示部
Claims (4)
- 【請求項１】 集積回路のテストパターンの繰り返しに
同期化したパルス化された電子ビームを集積回路に対し
て照射する電子ビーム照射手段と、 電子ビームが照射された集積回路から放射される二次電
子の信号を検出する二次電子検出手段とを有し、 検出された二次電子信号に基づいて集積回路の動作を試
験する電子ビームテスタにおいて、 前記電子ビーム照射手段から照射される電子ビームのタ
イミングを、集積回路のテストパターンの繰り返しを基
準として１フレーム毎に基準タイミングとして出力する
と共に、前記フレームを所定回数繰り返す毎に基準タイ
ミングから微小時間変化させて変化タイミングとして出
力するタイミング制御手段を備えることを特徴とする電
子ビームテスタ。 - 【請求項２】 前記請求項１記載の電子ビームテスタに
おいて、前記二次電子検出手段により画像取得を繰り返
している間に、集積回路の表面上を二次元走査する位置
を変更する移動手段を備えることを特徴とする電子ビー
ムテスタ。 - 【請求項３】 前記請求項１又は２に記載の電子ビーム
テスタにおいて、 前記タイミング制御手段は、予め指定された複数のタイ
ミングを変化タイミングとして繰り返し出力することを
特徴とする電子ビームテスタ。 - 【請求項４】 前記請求項１ないし３にそれぞれ記載の
電子ビームテスタにおいて、前記タイミング制御手段
は、集積回路のテストパターンにおける信号変化に対応
して変化タイミングを繰り返し出力することを特徴とす
る電子ビームテスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5002020A JPH06324123A (ja) | 1993-01-08 | 1993-01-08 | 電子ビームテスタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5002020A JPH06324123A (ja) | 1993-01-08 | 1993-01-08 | 電子ビームテスタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06324123A true JPH06324123A (ja) | 1994-11-25 |
Family
ID=11517657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5002020A Withdrawn JPH06324123A (ja) | 1993-01-08 | 1993-01-08 | 電子ビームテスタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06324123A (ja) |
-
1993
- 1993-01-08 JP JP5002020A patent/JPH06324123A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000404 |