JPH06347327A - 二光束干渉計 - Google Patents
二光束干渉計Info
- Publication number
- JPH06347327A JPH06347327A JP16318793A JP16318793A JPH06347327A JP H06347327 A JPH06347327 A JP H06347327A JP 16318793 A JP16318793 A JP 16318793A JP 16318793 A JP16318793 A JP 16318793A JP H06347327 A JPH06347327 A JP H06347327A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- light
- aspherical
- reflected
- beam splitter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 点光源１２からの光Ｌ1を集光距離ｆ1の位置
に集光する非球面集光鏡１４、及び前記非球面鏡１４に
よる集光位置を焦点位置とし焦点距離ｆ3（<<ｆ2）の非
球面コリメータ鏡１６により細平行光束Ｌ3を形成す
る。該細平行光束Ｌ3をビームスプリッタ１８により分
割し、一分割光Ｌ5をキューブ型走査鏡２２の一反射面
２２ａで受光し、対向反射面２２ｂで入光方向とは逆方
向に反射する。その反射光束を、第二固定鏡２４により
再度前記キューブ型走査鏡２２の対向反射面２２ｂに返
光し、前第二記固定鏡２４よりの反射光を前記キューブ
型走査鏡２２を介して前記ビームスプリッタ１８に返光
し、前記第一固定鏡２０よりの反射光Ｌ4とで細干渉光
Ｌ6を形成することを特徴とする二光束干渉計。 【効果】 細光束干渉光を得ることが可能となる。
に集光する非球面集光鏡１４、及び前記非球面鏡１４に
よる集光位置を焦点位置とし焦点距離ｆ3（<<ｆ2）の非
球面コリメータ鏡１６により細平行光束Ｌ3を形成す
る。該細平行光束Ｌ3をビームスプリッタ１８により分
割し、一分割光Ｌ5をキューブ型走査鏡２２の一反射面
２２ａで受光し、対向反射面２２ｂで入光方向とは逆方
向に反射する。その反射光束を、第二固定鏡２４により
再度前記キューブ型走査鏡２２の対向反射面２２ｂに返
光し、前第二記固定鏡２４よりの反射光を前記キューブ
型走査鏡２２を介して前記ビームスプリッタ１８に返光
し、前記第一固定鏡２０よりの反射光Ｌ4とで細干渉光
Ｌ6を形成することを特徴とする二光束干渉計。 【効果】 細光束干渉光を得ることが可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は二光束干渉計、特に細光
束の干渉光を形成する二光束干渉計に関する。
束の干渉光を形成する二光束干渉計に関する。
【０００２】
【従来の技術】赤外分光分析装置等には短時間で多くの
データを得るため、フーリエ変換変換型のものが汎用さ
れる。このようなフーリエ変換赤外分光分析装置にあっ
ては干渉光を必要とするが、この干渉光を得るために通
常は二光束干渉計が用いられる。すなわち、前記二光束
干渉計は光源から出光される光束を平行光束とし、該平
行光束をビームスプリッタにより二分割して一方の分割
光を固定鏡に、他方の分割光を走査鏡によりそれぞれ再
度ビームスプリッタへ返光し、さらに前記ビームスプリ
ッタにより合成・干渉させて所望の干渉光を得るもので
ある。
データを得るため、フーリエ変換変換型のものが汎用さ
れる。このようなフーリエ変換赤外分光分析装置にあっ
ては干渉光を必要とするが、この干渉光を得るために通
常は二光束干渉計が用いられる。すなわち、前記二光束
干渉計は光源から出光される光束を平行光束とし、該平
行光束をビームスプリッタにより二分割して一方の分割
光を固定鏡に、他方の分割光を走査鏡によりそれぞれ再
度ビームスプリッタへ返光し、さらに前記ビームスプリ
ッタにより合成・干渉させて所望の干渉光を得るもので
ある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、例えば小型
のセルに対し、前記干渉光を照射し、その透過光ないし
反射光を得ようとすると、前記干渉光を光束断面径の小
さな平行光束（以下、簡単のために細光束）とすること
が必要である。しかしながら、一般的な二光束干渉計を
用いて細光束を得ることは困難であった。無論、二光束
干渉計から得られる干渉光束をスリット等により細い光
束に絞ることは可能であるが、これでは光量の減少を伴
い、光源放射の利用効率の著しい悪化を招く。本発明は
前記従来技術の課題に鑑みなされたものであり、その目
的は簡易な構成でしかも効率的に細い干渉光束を得るこ
とのできる二光束干渉計を提供することにある。
のセルに対し、前記干渉光を照射し、その透過光ないし
反射光を得ようとすると、前記干渉光を光束断面径の小
さな平行光束（以下、簡単のために細光束）とすること
が必要である。しかしながら、一般的な二光束干渉計を
用いて細光束を得ることは困難であった。無論、二光束
干渉計から得られる干渉光束をスリット等により細い光
束に絞ることは可能であるが、これでは光量の減少を伴
い、光源放射の利用効率の著しい悪化を招く。本発明は
前記従来技術の課題に鑑みなされたものであり、その目
的は簡易な構成でしかも効率的に細い干渉光束を得るこ
とのできる二光束干渉計を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明にかかる二光束干渉計は、非球面集光鏡と、非
球面コリメータ鏡と、ビームスプリッタと、第一固定鏡
と、キューブ型走査鏡と、第二固定鏡とを備える。そし
て、前記非球面集光鏡は、実質的な点光源からの光を集
光距離ｆ2の位置に集光する。非球面コリメータ鏡は、
前記非球面鏡による集光位置を焦点位置とし、焦点距離
ｆ3（<<ｆ2）を有する。ビームスプリッタは、前記非球
面コリメータ鏡により形成された細光束を二分割する。
第一固定鏡は、前記ビームスプリッタによりの第一分割
光を再度前記ビームスプリッタに返光する。キューブ型
走査鏡は、前記ビームスプリッタよりの第二分割光を一
反射面で受光し、対向反射面で入光方向とは逆方向に反
射する。第二固定鏡は、前記キューブ型走査鏡からの反
射光束を、再度前記キューブ型走査鏡の対向反射面に返
光する。
に本発明にかかる二光束干渉計は、非球面集光鏡と、非
球面コリメータ鏡と、ビームスプリッタと、第一固定鏡
と、キューブ型走査鏡と、第二固定鏡とを備える。そし
て、前記非球面集光鏡は、実質的な点光源からの光を集
光距離ｆ2の位置に集光する。非球面コリメータ鏡は、
前記非球面鏡による集光位置を焦点位置とし、焦点距離
ｆ3（<<ｆ2）を有する。ビームスプリッタは、前記非球
面コリメータ鏡により形成された細光束を二分割する。
第一固定鏡は、前記ビームスプリッタによりの第一分割
光を再度前記ビームスプリッタに返光する。キューブ型
走査鏡は、前記ビームスプリッタよりの第二分割光を一
反射面で受光し、対向反射面で入光方向とは逆方向に反
射する。第二固定鏡は、前記キューブ型走査鏡からの反
射光束を、再度前記キューブ型走査鏡の対向反射面に返
光する。
【０００５】そして、前第二記固定鏡よりの反射光を前
記キューブ型走査鏡を介して前記ビームスプリッタに返
光し、前記第一固定鏡よりの反射光とで干渉光を形成す
ることを特徴とする。また、前記凹面鏡は楕円鏡であ
り、該楕円鏡の一焦点位置に光源を配置し、他方の焦点
位置と前記非球面鏡の焦点位置を一致させて配置するこ
とが好適である。また、前記干渉光は量子型半導体検出
器により検出され、該検出器はＭＣＴ検知素子と、該検
知素子を冷却状態に保つ冷却用外筒と、該外筒に直接設
置された凸レンズとを備え、該凸レンズにより干渉光を
検知素子上に集光することが好適である。
記キューブ型走査鏡を介して前記ビームスプリッタに返
光し、前記第一固定鏡よりの反射光とで干渉光を形成す
ることを特徴とする。また、前記凹面鏡は楕円鏡であ
り、該楕円鏡の一焦点位置に光源を配置し、他方の焦点
位置と前記非球面鏡の焦点位置を一致させて配置するこ
とが好適である。また、前記干渉光は量子型半導体検出
器により検出され、該検出器はＭＣＴ検知素子と、該検
知素子を冷却状態に保つ冷却用外筒と、該外筒に直接設
置された凸レンズとを備え、該凸レンズにより干渉光を
検知素子上に集光することが好適である。
【０００６】
【作用】本発明にかかる二光束干渉計は、前述したよう
に点光源からの光をまず非球面集光鏡で集光し、非球面
コリメータ鏡に照射する。この際、前記非球面集光鏡の
集光位置と非球面コリメータ鏡の焦点位置は一致してい
るため、非球面コリメータ鏡から出光される光は平行光
束となる。しかも非球面集光鏡面からの集光距離ｆ1に
対し、非球面コリメータ鏡の焦点位置ｆ3は小さくなっ
ているため、前記非球面コリメータ鏡より出光される平
行光束は非常に細い光束となる。細平行光束は、ビーム
スプリッタにより二分割され、その一方は一般の二光束
干渉計と同様に第一固定鏡に反射されるが、他方はコー
ナ・キューブ型走査鏡の一面で反射される。そして、さ
らにコーナ・キューブ型走査鏡の対向面で反射されて、
前記入光光束とはやや位置をずらせて平行に出射され
る。該出射光は第二固定鏡により反射され、逆の光路を
たどり、コーナ・キューブ型走査鏡を介して前記ビーム
スプリッタに返光される。従って、コーナ・キューブ型
走査鏡の二反射面を各個別に用いているので、コーナ・
キューブ型走査鏡を極めて小型且つ高精度に形成しなく
ても、細平行光束に十分に対応することができ、しかも
走査鏡の走査に伴い、その走査距離の二倍の光路差を得
ることができる。なお、前記非球面集光鏡を楕円鏡とす
ると、その一焦点位置に点光源を、他方の焦点一に非球
面コリメータ鏡の焦点位置を配置させることで、より偏
差の少ない平行光束を得ることができる。
に点光源からの光をまず非球面集光鏡で集光し、非球面
コリメータ鏡に照射する。この際、前記非球面集光鏡の
集光位置と非球面コリメータ鏡の焦点位置は一致してい
るため、非球面コリメータ鏡から出光される光は平行光
束となる。しかも非球面集光鏡面からの集光距離ｆ1に
対し、非球面コリメータ鏡の焦点位置ｆ3は小さくなっ
ているため、前記非球面コリメータ鏡より出光される平
行光束は非常に細い光束となる。細平行光束は、ビーム
スプリッタにより二分割され、その一方は一般の二光束
干渉計と同様に第一固定鏡に反射されるが、他方はコー
ナ・キューブ型走査鏡の一面で反射される。そして、さ
らにコーナ・キューブ型走査鏡の対向面で反射されて、
前記入光光束とはやや位置をずらせて平行に出射され
る。該出射光は第二固定鏡により反射され、逆の光路を
たどり、コーナ・キューブ型走査鏡を介して前記ビーム
スプリッタに返光される。従って、コーナ・キューブ型
走査鏡の二反射面を各個別に用いているので、コーナ・
キューブ型走査鏡を極めて小型且つ高精度に形成しなく
ても、細平行光束に十分に対応することができ、しかも
走査鏡の走査に伴い、その走査距離の二倍の光路差を得
ることができる。なお、前記非球面集光鏡を楕円鏡とす
ると、その一焦点位置に点光源を、他方の焦点一に非球
面コリメータ鏡の焦点位置を配置させることで、より偏
差の少ない平行光束を得ることができる。
【０００７】
【実施例】以下、図面に基づき本発明の好適な実施例を
説明する。図１には本発明の一実施例にかかる二光束干
渉計の概略構成が示されている。同図に示す二光束干渉
計１０は、実質的な点光源１２と、該光源１２より出射
された光Ｌ1を集光する非球面集光鏡としての楕円集光
鏡１４と、前記楕円集光鏡１４と対面して配置され該楕
円集光鏡１４の反射光Ｌ2を受光する非鏡面コリメータ
鏡としての放物面鏡１６と、前記放物面鏡１６よりの光
束Ｌ3を二分割するビームスプリッタ１８と、該ビーム
スプリッタ１８により反射された第一光束Ｌ4を反射し
再度ビームスプリッタ１８に返光する第一固定鏡２０
と、前記ビームスプリッタ１８を透過した第二光束Ｌ5
を反射するキューブ型走査鏡２２と、該キューブ型走査
鏡２２と対向配置された第二固定鏡２４とを含む。そし
て、前記点光源１２は、前記楕円集光鏡１４の一方の焦
点位置に配置されており、このため点光源１２から出射
された光Ｌ1は楕円集光鏡１４に反射されて該楕円集光
鏡１４の他方の焦点位置に集光される。なお、この焦点
位置に迷光を除去するアパーチャ２６が配置されてい
る。
説明する。図１には本発明の一実施例にかかる二光束干
渉計の概略構成が示されている。同図に示す二光束干渉
計１０は、実質的な点光源１２と、該光源１２より出射
された光Ｌ1を集光する非球面集光鏡としての楕円集光
鏡１４と、前記楕円集光鏡１４と対面して配置され該楕
円集光鏡１４の反射光Ｌ2を受光する非鏡面コリメータ
鏡としての放物面鏡１６と、前記放物面鏡１６よりの光
束Ｌ3を二分割するビームスプリッタ１８と、該ビーム
スプリッタ１８により反射された第一光束Ｌ4を反射し
再度ビームスプリッタ１８に返光する第一固定鏡２０
と、前記ビームスプリッタ１８を透過した第二光束Ｌ5
を反射するキューブ型走査鏡２２と、該キューブ型走査
鏡２２と対向配置された第二固定鏡２４とを含む。そし
て、前記点光源１２は、前記楕円集光鏡１４の一方の焦
点位置に配置されており、このため点光源１２から出射
された光Ｌ1は楕円集光鏡１４に反射されて該楕円集光
鏡１４の他方の焦点位置に集光される。なお、この焦点
位置に迷光を除去するアパーチャ２６が配置されてい
る。
【０００８】一方、前記放物面鏡１６の焦点位置も前記
楕円集光鏡１４の第二焦点位置に一致しているため、放
物面鏡１６からの反射光Ｌ3は平行光束となる。しか
も、前記楕円集光鏡１４の第二焦点の焦点距離ｆ1を放
物面鏡１６の焦点距離ｆ2よりも小さくすると、光束の
幅Ｗはほぼ前記集光鏡の集光面のｆ3／ｆ1となり、放物
面鏡１６により得られる光束は強くしかも細いものとな
る。前記細平行光束Ｌ3はビームスプリッタ１８に導光
され、該ビームスプリッタ１８により反射された第一分
割光Ｌ4は第一固定鏡２０により反射され、再度ビーム
スプリッタ１８に返光される。これに対し、ビームスプ
リッタ１８を透過した第二分割光Ｌ5はキューブ型走査
鏡２２の図中下側反射面２２ａに導光され、該下側反射
面２２ａで反射された第二光束は対向反射面２２ｂで再
度反射され、第二固定鏡２４に導光される。そして、第
二固定鏡２４で反射された第二光束Ｌ5は再度走査鏡２
２の上側反射面２２ｂ及び下側面２２ａに反射されてビ
ームスプリッタ１８に返光される。ビームスプリッタ１
８では前記第一固定鏡２０よりの反射光Ｌ4と、走査鏡
２２からの反射光Ｌ5を合成・干渉させ、干渉光Ｌ6を形
成する。
楕円集光鏡１４の第二焦点位置に一致しているため、放
物面鏡１６からの反射光Ｌ3は平行光束となる。しか
も、前記楕円集光鏡１４の第二焦点の焦点距離ｆ1を放
物面鏡１６の焦点距離ｆ2よりも小さくすると、光束の
幅Ｗはほぼ前記集光鏡の集光面のｆ3／ｆ1となり、放物
面鏡１６により得られる光束は強くしかも細いものとな
る。前記細平行光束Ｌ3はビームスプリッタ１８に導光
され、該ビームスプリッタ１８により反射された第一分
割光Ｌ4は第一固定鏡２０により反射され、再度ビーム
スプリッタ１８に返光される。これに対し、ビームスプ
リッタ１８を透過した第二分割光Ｌ5はキューブ型走査
鏡２２の図中下側反射面２２ａに導光され、該下側反射
面２２ａで反射された第二光束は対向反射面２２ｂで再
度反射され、第二固定鏡２４に導光される。そして、第
二固定鏡２４で反射された第二光束Ｌ5は再度走査鏡２
２の上側反射面２２ｂ及び下側面２２ａに反射されてビ
ームスプリッタ１８に返光される。ビームスプリッタ１
８では前記第一固定鏡２０よりの反射光Ｌ4と、走査鏡
２２からの反射光Ｌ5を合成・干渉させ、干渉光Ｌ6を形
成する。
【０００９】本実施例において、干渉光Ｌ6はフーリエ
変換赤外分光分析器に用いられており、ガスセル２８を
通過し、ＭＣＴ検知器３０に入光される。ここで、前記
干渉光Ｌ6は細光束となっているため、ガスセル２８自
体の径を前記干渉光Ｌ6に合わせて小さくすることがで
き、微量ガスサンプルの連続測定を可能とし、しかも応
答性の向上を図ることができる。前記ＭＣＴ検出器３０
は、液体窒素が充填された冷却器３２と、該冷却器３２
に密着して設けられたＭＣＴ検知素子３４と、冷却状態
を保つため内部を真空とされた冷却用外筒３６と、該外
筒３６に直接設置された凸レンズ３８とを備える。そし
て、前記ガスセル２８を通過した干渉光束Ｌ6は外筒３
６上の凸レンズ３８を介してＭＣＴ検知素子３４上に集
光される。なお、本実施例において、前記凸レンズ３８
は赤外域干渉光Ｌ6を良好に透過するＫＢｒないしＺｎ
Ｓｅにより形成されている。このように本実施例におい
てはガスセル２８から出光される赤外域干渉光Ｌ6自体
が細光束であるので、ＭＣＴ検出器３０の外筒３６に直
接凸レンズ３８を設けたのみで十分に集光可能である。
このため、集光鏡等の光学系を別途設ける場合と比較
し、装置自体を小型化することができる。
変換赤外分光分析器に用いられており、ガスセル２８を
通過し、ＭＣＴ検知器３０に入光される。ここで、前記
干渉光Ｌ6は細光束となっているため、ガスセル２８自
体の径を前記干渉光Ｌ6に合わせて小さくすることがで
き、微量ガスサンプルの連続測定を可能とし、しかも応
答性の向上を図ることができる。前記ＭＣＴ検出器３０
は、液体窒素が充填された冷却器３２と、該冷却器３２
に密着して設けられたＭＣＴ検知素子３４と、冷却状態
を保つため内部を真空とされた冷却用外筒３６と、該外
筒３６に直接設置された凸レンズ３８とを備える。そし
て、前記ガスセル２８を通過した干渉光束Ｌ6は外筒３
６上の凸レンズ３８を介してＭＣＴ検知素子３４上に集
光される。なお、本実施例において、前記凸レンズ３８
は赤外域干渉光Ｌ6を良好に透過するＫＢｒないしＺｎ
Ｓｅにより形成されている。このように本実施例におい
てはガスセル２８から出光される赤外域干渉光Ｌ6自体
が細光束であるので、ＭＣＴ検出器３０の外筒３６に直
接凸レンズ３８を設けたのみで十分に集光可能である。
このため、集光鏡等の光学系を別途設ける場合と比較
し、装置自体を小型化することができる。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように本発明にかかる二光
束干渉計によれば、凹面集光鏡により集光された光を放
物面鏡により平行光束としたので、細光束干渉光を得る
ことが可能となる。
束干渉計によれば、凹面集光鏡により集光された光を放
物面鏡により平行光束としたので、細光束干渉光を得る
ことが可能となる。
【図１】本発明の一実施例にかかる二光束干渉計の概略
構成の説明図である。
構成の説明図である。
１０ 二光束干渉計 １４ 楕円集光鏡（凹面集光鏡） １６ 放物面鏡 １８ ビームスプリッタ ２０ 第一固定鏡 ２２ 走査鏡 ２４ 第二固定鏡
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年６月１４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
フロントページの続き (72)発明者 名越 利之 東京都八王子市石川町2967番地の５ 日本 分光株式会社内 (72)発明者 若林 克明 東京都八王子市石川町2967番地の５ 日本 分光株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 実質的な有限大の放射面をもつ光源から
の放射光を所定位置に集光する長及び短焦点距離ｆ1の
非球面集光鏡と、 前記非球面鏡による集光位置を焦点位置とし、焦点距離
ｆ3（<<ｆ2）の非球面コリメータ鏡と、 前記非球面コリメータ鏡により形成された光束断面径の
小さな平行光束を二分割するビームスプリッタと、 前記ビームスプリッタによりの第一分割光を再度前記ビ
ームスプリッタに返光する第一固定鏡と、 前記ビームスプリッタよりの第二分割光を一反射面で受
光し、対向反射面で入光方向とは逆方向に反射するコー
ナ・キューブ型走査鏡と、 前記コーナ・キューブ型走査鏡からの反射光束を、再度
前記コーナ・キューブ型走査鏡の対向反射面に返光する
第二固定鏡と、 を備え、前記第二固定鏡よりの反射光を前記コーナ・キ
ューブ型走査鏡を介して前記ビームスプリッタに返光
し、前記第一固定鏡よりの反射光とで干渉光を形成する
ことを特徴とする二光束干渉計。 - 【請求項２】 請求項１記載の干渉計において、非球面
集光鏡は楕円鏡であり、また非球面コリメータ鏡として
放物面鏡を用い、該楕円鏡の長焦点位置に光源を配置
し、他方の短焦点位置と前記非球面鏡の焦点位置を一致
させて配置したことを特徴とする二光束干渉計。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の干渉計におい
て、前記干渉光は量子型半導体検出器により検出され、
該検出器は検知素子と、該検知素子を冷却状態に保つ冷
却用外筒と、該外筒に直接設置された凸レンズとを備
え、該凸レンズにより干渉光を検知素子上に集光するこ
とを特徴とする二光束干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16318793A JPH06347327A (ja) | 1993-06-07 | 1993-06-07 | 二光束干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16318793A JPH06347327A (ja) | 1993-06-07 | 1993-06-07 | 二光束干渉計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06347327A true JPH06347327A (ja) | 1994-12-22 |
Family
ID=15768920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16318793A Pending JPH06347327A (ja) | 1993-06-07 | 1993-06-07 | 二光束干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06347327A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003501653A (ja) * | 1999-06-08 | 2003-01-14 | ツェー・エス・クリーン・ジステームス・アクチエンゲゼルシャフト | 分析装置 |
| JP2012117936A (ja) * | 2010-12-01 | 2012-06-21 | Ritsumeikan | 赤外顕微鏡、及び赤外顕微鏡システム |
-
1993
- 1993-06-07 JP JP16318793A patent/JPH06347327A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003501653A (ja) * | 1999-06-08 | 2003-01-14 | ツェー・エス・クリーン・ジステームス・アクチエンゲゼルシャフト | 分析装置 |
| JP4790949B2 (ja) * | 1999-06-08 | 2011-10-12 | ツェー・エス・クリーン・ジステームス・アクチエンゲゼルシャフト | 分析装置 |
| JP2012117936A (ja) * | 2010-12-01 | 2012-06-21 | Ritsumeikan | 赤外顕微鏡、及び赤外顕微鏡システム |
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