JPH063532U - テーブル・ベース固定機構付き微動ステージ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 微動ステージにおいて、位置決め後における
テーブルの移動方向の剛性を確保すること。 【構成】 微動ステージ１におけるテーブル３の裏面に
は、その中央部分にベース２の側に向けて突出させた矩
形断面の突出部３３がガイド２１、２２と平行に延びて
いる。この突出部３３の両側には、２対のピエゾ素子６
１、６２および７１、７２が、この突出部を挟み対向配
置されている。これらのピエゾ素子６１、６２および７
１、７２は、その歪み方向がＸ方向とは直交する方向に
一致させた状態としてある。各ピエゾ素子６１、６２お
よび７１、８１に所定値の電圧を印加して、伸長させる
と、テーブル裏面の突出部３３は、両側から２対のピエ
ゾ素子によってクランプされた状態になる。これらのピ
エゾ素子はベース２の側に固定されているので、テーブ
ル３がベース２の側に固定された状態となる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、リニアアクチュエータによってベース上に支持されているテーブル を所定の方向に微動させるように構成された微動ステージに関し、特に、テーブ ルの移動方向に対して直交する方向においてテーブルとベースを固定する固定機 構付き微小ステージに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

ナノメータステージなどとして呼ばれている微動ステージは、本考案の実施例 を示す図１と同様に、ベース２の上面に形成したガイド２１、２２に沿って、テ ーブル３を一方向に移動可能に支持し、このテーブル３の側方に一体形成した押 しブロック３１を、同じくその側方に配置したリニアアクチュエータ４のリニア ヘッド４１を用いてガイド２１、２２に沿った方向に向けて微動させるようにな っている。

【０００３】 この形式の微動ステージにおいては、リニアアクチュエータ４によってテーブ ル３が正確に位置決めされるように、ガイド２１、２２に沿って配置した引張ば ね５１、５２によって、テーブル３の押しブロック３１を常にリニアアクチュエ ータ４のリニアヘッド４１の側に付勢している。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

このように従来の微動ステージは、その移動方向においては引張ばねによって 、リニアアクチュエータヘッド４１が押しブロック３１に押しつけられているの みである。したがって、テーブルを位置決めした後において、引張ばねの伸びる 方向には剛性が充分でない。

【０００５】 本考案の課題は、この点に着目し、移動方向（スラスト方向）に対して充分な 剛性を確保するためのベース・テーブルの固定機構を有する微動ステージを提案 することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上記の課題を解決するための、本考案の微動ステージにおいては、伸縮可能な 伸縮手段を、テーブルとベースの間に配置し、この伸縮手段を伸縮させることに より、テーブルをベースの側に固定するようにしている。この伸縮手段としてピ エゾ素子を用いることができる。

【０００７】 また、伸縮手段の代わりに、電磁石を、ベースとテーブルの間に配置しておき 、これらを固定する場合には電磁石を付勢して、磁力により双方を吸引すること によって、これらを相互に固定するようにしてもよい。

【０００８】

【実施例】

以下に、図面を参照して本考案の実施例を説明する。

【０００９】 図１および図２は、本例の微動ステージの概略平面図および概略側面図である 。これらの図に示すように、微動ステージ１は、ベース２の上面に形成したガイ ド２１、２２に沿って、テーブル３をＸ方向に移動可能に支持し、このテーブル ３の側方に一体形成した押しブロック３１を、同じくその側方に配置したリニア アクチュエータ４のリニアヘッド４１を用いてガイド２１、２２に沿った方向に 向けて微動させるようになっている。

【００１０】 この形式の微動ステージにおいては、リニアアクチュエータ４によってテーブ ル３が正確に位置決めされるように、ガイド２１、２２に沿って配置した引張ば ね５１、５２によって、テーブル３の押しブロック３１を常にリニアアクチュエ ータ４のリニアヘッド４１の側に付勢している。

【００１１】 ここに、図２および図３から分かるように、テーブル３の裏面には、その中央 部分にベース側に向けて突出させた矩形断面の突出部３３がガイド２１、２２と 平行に延びている。この突出部３３の両側には、２対のピエゾ素子６１、６２お よび７１、７２が、この突出部を挟み対向配置されている。

【００１２】 これらのピエゾ素子６１、６２および７１、７２は、その歪み方向がＸ方向と は直交する方向に一致させた状態としてある。図３の矢印はピエゾ素子の歪み方 向を表している。これらのピエゾ素子の突出部３３の側に対峙した面には、例え ばウレタンゴムのような衝撃吸収材６１ａ、６２ａ、７１ａ、７２ａ（図におい ては６１ａ、６２ａのみを示してある。）を貼ってある。一方、これらのピエゾ 素子の反対側の端は、Ｌ形断面のブラケット８１、８２および９１、９２（図に おいては８１、８２のみを示してある。）によって、ベース２の側に固定支持さ れている。

【００１３】 このように構成した本例の微動ステージにおけるベースとテーブルの固定動作 を説明する。リニアアクチュエータ４によってテーブル３を移動して、その位置 決めが終了した後は、各ピエゾ素子６１、６２および７１、８１に所定値の電圧 を印加して、伸長させる。この結果、テーブル裏面の突出部３３は、両側から２ 対のピエゾ素子によってクランプされた状態になる。これらのピエゾ素子はベー ス２の側に固定されているので、テーブル３がベース２の側に固定された状態が 形成される。

【００１４】 このようにして、テーブルの位置決め後は、ピエゾ素子を伸長させて、テーブ ルをベース側に固定しているので、移動方向の荷重に対するテーブルの剛性を充 分なものとすることができる。固定を解除するには、ピエゾ素子への電圧供給を 停止すればよい。

【００１５】 なお、本例においてはピエゾ素子を利用したが、この代わりに、電磁石を用い て、磁力によってテーブルの側をベースの側に吸引固定するようにしてもよい。

【考案の効果】

以上説明したように、本考案の微動ステージにおいては、そのテーブルとベー スとの間にピエゾ素子等に代表される伸縮可能な伸縮手段を配置し、この伸縮手 段を伸縮させることによってテーブルをベースの側に固定するようにしている。 したがって、位置決め後においてテーブルを強固にベースの側に固定でき、移動 方向の剛性を充分なものとすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例の微動ステージの概略平面図で
ある。

【図２】図１の微動ステージの概略側面図である。

【図３】図２の丸で囲んだ部分を拡大して示す部分構成
図である。

【符号の説明】

１・・・微動ステージ ２・・・ベース ２１、２２・・・ガイド ３・・・テーブル ３１・・・押しブロック ３３・・・突出部 ４・・・リニアアクチュエータ ４１・・・リニアヘッド ５１、５２・・・引張ばね ６１、６２、７１、７２・・・ピエゾ素子

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ベース上に形成したガイドに沿ってテー
   ブルがリニアアクチュエータによって所定の方向に微動
   されるようになった微動ステージにおいて、伸縮可能な
   伸縮手段を、前記ベースとテーブルの間に配置し、この
   伸縮手段を伸縮させることによって、前記ベースに対し
   てテーブルを固定するようになっていることを特徴とす
   るテーブル・ベース固定機構付き微動ステージ。
2. 【請求項２】 請求項１において、前記伸縮手段は少な
   くとも１個のピエゾ素子を含むことを特徴とするテーブ
   ル・ベース固定機構付き微動ステージ。
3. 【請求項３】 請求項１において、前記伸縮手段の代わ
   りに少なくとも１個の電磁石を配置し、この電磁石を励
   磁することによって、前記ベースに対してテーブルを固
   定するようになっていることを特徴とするテーブル・ベ
   ース固定機構付き微動ステージ。