JPH063585U - 合成樹脂製コレット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 チップの吸着確認を行う際の判断規準となる
光の強度差を増大させ、チップの吸着確認時における前
記光源の発光量の低下に起因する誤確認を防止する。 【構成】 発光素子１０の上方には、合成樹脂製のコレ
ット１が位置している。コレット１の下端部にはチップ
９を吸着する吸着面７を有するテーパー部６が形成され
ている。テーパー部６のテーパー角θを略４０°、すな
わち鋭角状に設定し、発光素子１０から照射される光に
対するテーパー面１１の反射率を向上させる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はボンディング装置に配設される合成樹脂製コレットに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、チップの吸着確認を光によって行う、例えばボンディング装置において は、図２に示したコレット１が用いられている。すなわち、図示しないボンディ ング装置の所要部位には、下端側に開口する第１の中空部２に受光素子３が密接 収容されたコレットホルダー４か配設されている。前記第１の中空部２は、前記 受光素子３の下端側において図示しないエア回路と連通されており、コレットホ ルダー４の下端部に、不透明色の合成樹脂によって形成された前記コレット１が 設けられている。該コレット１は、上端側に開口する第２の中空部５を有すると ともに、該第２の中空部５が開口する上端部を前記コレットホルダー４に内嵌さ れている。一方、コレット１の下端側にはテーパー部６が形成され、該テーパー 部６の下端には吸着面７が形成されている。該テーパー部６のテーパー角θは略 ９０°であって、その内部には吸気孔８が前記吸着面７から前記第２の中空部５ に貫通されている。

【０００３】 また、前記コレット１は、前記エア回路（図示せず）によって前記第２の中空 部５の内部を負圧状態とすることにより、前記吸着面７にチップ９を吸着させる ものであって、このため、第２の中空部５が前記吸着孔８より大径状に形成され 、これにより前記コレット１は薄肉状の中空部材となっている。

【０００４】 一方、前記ボンディング装置（図示せず）には、前記コレット１の下方側に発 光素子１０が設けられており、該発光素子１０はコレット１の前記吸気孔８の延 長上に位置するとともに、発光素子は発光したままチップ９を吸着確認の際、受 光素子１０が作用するようになっている。そして、前記ボンディング装置におい ては、前記発光素子１０が作用する際、前記受光素子３か検出する光の強度によ って、コレット１におけるチップの有無、すなわち、チップの吸着確認を行うの である。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、このような従来のコレット１は合成樹脂によって形成されてい るため、チップの吸着確認を行う際、前記吸着面７にチップ９が吸着されている 場合であっても、前記発光素子１０の発した光が前記テーパー部６のテーパー面 １１から前記第２の中空部５へ透過してしまい、前記受光素子３では一定強度の 洩光を検出することとなる。

【０００６】 したがって前記コレット１にチップ９が吸着されているか否かを判断させる際 、その判断規準となる前記受光素子１０における検出光の強度差は小さいものと なっていた。このため、前記発光素子１０における曇りの発生や、供給される電 力の一時的な低下に伴って、発光素子１０における光の発光量が低下すると、吸 着面にチップが吸着されていないにもかかわらず、チップ有りと誤確認されてし まうことがあった。

【０００７】 本考案は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、テーパー部に おける光の透過量を減少させることにより、チップの吸着確認時における誤確認 の発生を防止する合成樹脂コレットの提供を目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

前記課題を解決するために本考案にあっては、上端部に中空部が開口される一 方、下端部にはチップを吸着する吸着面を有するテーパー部が形成され、該テー パー部の内部には前記吸着面から前記中空部へ貫通された該中空部よりも小口径 の吸気孔が形成され、前記吸気孔の延長上に位置する下方の光源から照射される とともに、前記中空部の内部から上方に向かって進行する光の強度によって、前 記吸着面におけるチップの有無が判断される合成樹脂製コレットにおいて、前記 テーパー部のテーパー角を鋭角状に設定した。

【０００９】

【作用】

前記構成において、前記吸着面にチップが吸着されている場合、前記光源と対 向する前記テーパー部のテーパー面に到着した光は、テーパー面によって反射さ れるとともに、その一部がテーパー部から前記中空部へ透過したのち、前記中空 部の内部から上方へ向かって進行する。このとき、前記テーパー部のテーパー角 が鋭角に設定されていることから、前記テーパー面における反射率が高くない前 記コレットが合成樹脂によって薄肉状に形成されたものであっても、テーパー部 から前記中空部に透過する光の量は微量となる。

【００１０】

【実施例】

以下、本考案の一実施例を図にしたがって説明する。すなわち図１に示したも のは、本考案にかかる合成樹脂製コレット１を示したものであって、従来例にお いて示したものと同様に、図示しないボンディング装置の所要部位には、下端側 に開口する第１の中空部２に受光素子３が密接収容されたコレットホルダー４が 配設されている。前記第１の中空部２は、前記受光素子３の下端側において図示 しないエア回路と連通されており、コレットホルダー４の下端部に、不透明色の 合成樹脂によって形成された前記コレット１が設けられている。コレット１は、 上端側に開口する第２の中空部５を有するとともに、該第２の中空部５が開口す る上端部を前記コレットホルダー４に内嵌されている。一方、コレット１の下端 側にはテーパー部６が形成され、該テーパー部６の下端には吸着面７が形成され ている。前記テーパー部６は、そのテーパー角θを鋭角状に、すなわち本実施例 においては略４０°に形成されており、その内部には、吸気孔８が、前記吸着面 ７から前記第２の中空部５に貫通されている。

【００１１】 また、前記コレット１は前記エア回路（図示せず）によって前記第２の中空部 ５の内部を負圧状態とすることにより、前記吸着面７にチップ９を吸着させるも のであって、このため、第２の中空部５は前記吸気孔８よりも大径状に形成され ており、これにより前記コレット１は薄肉状の中空部材となっている。

【００１２】 一方、前記ボンディング装置（図示せず）には、前記コレット１の下方側に発 光素子１０が設けられており、該発光素子１０はコレット１の前記吸気孔８の延 長上に位置するとともに、発光素子は発光したままチップ９を吸着確認の際、発 光素子１０が作用するようになっている。そして、前記ボンディング装置におい ては、前記発光素子１０が作用する際、前記受光素子３が検出する光の強度によ って、コレット１におけるチップの有無、すなわち、チップの吸着確認を行うよ うになっている。

【００１３】 以上の構成からなる本実施例において、チップの吸着確認を行う際、前記吸着 面７にチップ９が吸着されていない場合には、前記発光素子１０が発した光は、 前記吸気孔８より前記第２の中空部５へ進行するとともに、該第２の中空部５の 内部を通過し前記受光素子３に達する。一方、吸着面７にチップ９が吸着されて いる場合には（図１の状態）、発光素子１０が発した光は、発光素子１０と対向 する前記テーパー部６のテーパー面１１に到着し、該テーパー面１１によって反 射され、その一部がテーパー部６から前記第２の中空部５へ透過する。このとき 、テーパー部６のテーパー角θは略４０°に設定されていることから、テーパー 面１１における反射率が高く、前記コレット１が合成樹脂に形成され、かつ薄肉 状の中空部材であったとしても、テーパー部６から第２の中空部５に透過する光 の強度は微量となる。

【００１４】 よって、前記吸着面７にチップ９が吸着されていない場合と、吸着面７にチッ プ９が吸着されている場合との、前記受光素子１０における検出光の強度差は従 来よりも増大されることとなる。その結果、発光素子１０における曇りの発生や 、供給電力の一時的な低下等に伴う発光素子１０の発光量の低下によって、吸着 面７にチップ９が吸着されていない場合に、チップ有りと誤確認されることが防 止される。

【００１５】

【考案の効果】 以上説明したように本考案の合成樹脂製コレットは、上端部に中空部が開口さ れる一方、下端部にはチップを吸着する吸着面を有するテーパー部が形成され、 該テーパー部の内部には前記吸着面から前記中空部へ貫通された該中空部よりも 小口径の吸気孔が形成され、前記吸気孔の延長上に位置する下方の光源から照射 されるとともに、前記中空部の内部から上方に向って進行する光の強度によって 、前記吸着面におけるチップの有無が判断される合成樹脂製コレットにおいて、 前記テーパー部のテーパー角を鋭角状に設定した。

【００１６】 このため、前記光源から、照射される光に対し、前記テーパー部のテーパー面 における反射率が高くなり、前記コレットが合成樹脂によって薄肉状に形成され たものであっても、テーパー部から前記中空部に透過したのち、前記合成樹脂製 コレットの中空部の内部から上方へ向って進行する光の量を微量にすることがで きる。

【００１７】 よって、チップの吸着確認を行う際の判断規準となる光の強度差を増大させる ことができ、その結果、チップの吸着確認を行う際、前記光源における発光量の 低下に起因する誤確認を防止することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す説明図である。

【図２】従来例を示す説明図である。

【符号の説明】

１ コレット（合成樹脂製コレット） ５ 第２の中空部（中空部） ６ テーパー部 ７ 吸着面 ８ 吸気孔 ９ チップ １０ 発光素子（光源） １１ テーパー面 θ テーパー角

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 上端部に中空状が開口される一方、下端
   部にはチップを吸着する吸着面を有するテーパー部が形
   成され、該テーパー部の内部には前記吸着面から前記中
   空部へ貫通された該中空部よりも小口径の吸気孔が形成
   され、前記吸気孔の延長上に位置する下方の光源から照
   射されるとともに、前記中空部の内部から上方に向かっ
   て進行する光の強度によって、前記吸着面におけるチッ
   プの有無か判断される合成樹脂製のコレットにおいて、
   前記テーパー部のテーパー角を鋭角状に設定したことを
   特徴とする合成樹脂製コレット。